JP2011142140A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010000813A JP5671799B2 (ja) | 2010-01-05 | 2010-01-05 | ホルダラック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010000813A JP5671799B2 (ja) | 2010-01-05 | 2010-01-05 | ホルダラック |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011142140A JP2011142140A (ja) | 2011-07-21 |
| JP2011142140A5 true JP2011142140A5 (https=) | 2013-02-28 |
| JP5671799B2 JP5671799B2 (ja) | 2015-02-18 |
Family
ID=44457803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010000813A Expired - Fee Related JP5671799B2 (ja) | 2010-01-05 | 2010-01-05 | ホルダラック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5671799B2 (https=) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013041877A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-28 | Nikon Corp | 管理装置、基板接合装置および管理方法 |
| CN105960703B (zh) * | 2014-02-03 | 2019-12-03 | Ev 集团 E·索尔纳有限责任公司 | 用于结合基体的方法及装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07249676A (ja) * | 1994-03-10 | 1995-09-26 | Fujitsu Ltd | レチクル保管方法とその装置 |
| JPH11307610A (ja) * | 1998-04-22 | 1999-11-05 | Nikon Corp | 基板搬送装置及び露光装置 |
| JP2006332563A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Nikon Corp | ウェハ搬送装置、ウェハ積層体搬送装置及び積層型半導体装置製造方法 |
| JP5305220B2 (ja) * | 2007-11-12 | 2013-10-02 | 株式会社ニコン | 基板張り合わせ装置 |
| JP4845916B2 (ja) * | 2008-03-27 | 2011-12-28 | 信越ポリマー株式会社 | 半導体ウェーハのマッピング方法 |
| JP4488255B2 (ja) * | 2008-05-27 | 2010-06-23 | Tdk株式会社 | 密閉容器の蓋開閉システム、当該蓋開閉システムを含む収容物挿脱システム、及び当該蓋開閉システムを用いた基板処理方法 |
| JP5476705B2 (ja) * | 2008-11-21 | 2014-04-23 | 株式会社ニコン | 積層半導体製造装置、積層半導体製造方法および基板ホルダラック |
-
2010
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