JP2011141981A - 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも、基材上に、第一電極層、有機発光媒体層、第二電極層、パッシベーション層がこの順に積層されてなる有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記第二電極層は、少なくともアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む第一金属層と、前記第一金属層上に積層される無機化合物層と、前記無機化合物層上に積層される第二金属層と、から成ることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子としたもの。
【選択図】図2
Description
しかし、有機発光媒体層に異物が混入したり、TFT基板のバンクなどの段差があると、段差部において、第二電極層に欠陥(ボイド、膜切れ)が生じてしまう。
また、第一金属層、第二金属層を成膜速度の速い真空蒸着法を用いて成膜することで、製造時間の短縮でき、無機化合物層を均一な成膜ができるスパッタリング法やCVD法などを用いて成膜することで、第一金属層にできた空間を修正でき、これらを組み合わせて第二電極層を形成することにより有機EL素子の劣化を抑えることができる。
隔壁の好ましい高さは0.1μm以上10μm以下であり、より好ましくは0.5μm以上2μm以下である。隔壁12の高さが10μmを超えると対向電極の形成及び封止を妨げてしまい、0.1μm未満だと第一電極層11の端部を覆い切れない、あるいは発光媒体層の形成時に隣接する画素とショートしたり混色したりしてしまうからである。
本発明における有機発光媒体層13としては、発光物質を含む単層膜、あるいは多層膜で形成することができる。多層膜で形成する場合の構成例としては、正孔輸送層、電子輸送性発光層または正孔輸送性発光層、電子輸送層からなる2層構成や正孔輸送層、発光層、電子輸送層からなる3層構成、さらには、必要に応じて正孔(電子)注入機能と正孔(電子)輸送機能を分けたり、正孔や電子の輸送をプロックする層などを挿入することにより、さらに多層形成することがより好ましい。
有機発光媒体層13の形成方法としては、材料に応じて、真空蒸着法や、スリットコート、スピンコート、スプレーコート、ノズルコート、フレキソ、グラビア、マイクログラビア、凹版オフセットなどのコーティング法や印刷法、インクジェット法などを用いることができる。
第一金属層15の形成方法としてはスパッタリング法や真空蒸着法などを用いることができるが、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法などの膜形成速度に優れる各種の真空蒸着法を用いることが好ましい。ここで真空蒸着法とは、真空チャンバ内の蒸着金属を加熱して金属粒子を蒸発させ、この金属粒子を対象となる基板上の所定位置に付着させて薄膜を形成するものである。
そこで、本発明では、第一金属層15上に無機化合物層16とその上に形成される第二金属層17から成るバリア層を形成する。無機化合物層16を形成することにより一度膜欠陥を遮断し、さらに第二金属層17を形成し、第二電極層14を第一金属層15、無機化合物層16、及び第二金属層17の積層膜とすることにより、第二電極層14の劣化を抑えることができる(図2(b))。
このような無機化合物層16を第一金属層15上に形成することで、第一金属層中に空間23が生じても、その空間が無機化合物層で覆われるため外部からの水分や空気の浸入を防ぐことができる。
無機化合物層16と第二金属層17は、少なくとも1層ずつ積層すれば目的は達成できるが、下地基板の段差の程度に応じて、無機化合物層16、第二金属層17、無機化合物層16、第二金属層17と2層以上積層しても良い(図2(c))。
このように、第一金属層、第二金属層を成膜速度の速い真空蒸着法を用いて成膜することで、製造時間の短縮でき、無機化合物層を均一な成膜ができるスパッタリング法やCVD法などを用いて成膜することで、第一金属層にできた空間を修正でき、これらを組み合わせて第二電極層を形成することにより有機EL素子の劣化を抑えることができる。
接着剤19の材料としては、公知の接着性樹脂シートを使用することができるが、例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂などの光硬化型接着性樹脂、熱硬化型接着性樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレンなどの酸変性物からなる熱可塑性接着性樹脂などを使用することができる。接着層には、必要に応じて、ギャップ制御のためにガラスや樹脂からなる球状、棒状などのスペーサーを混入しても良く、乾燥剤や酸素吸収剤などを混入してもよい。
ガラス基材からなる電極基材10上に、第一電極層11としてITO膜(150nm)をスパッタリング法およびフォトリソ、エッチング法を用いてパターン形成した。
次に、隔壁12として、感光性ポリイミド樹脂を用い、フォトリソ法を用いて第一電極層11の端部を覆うと共に、画素を形成した。
最後に、パッシベーション層18としてCVD法を用いてSiNx膜を300nm形成した後に、接着剤19として光硬化型のエポキシ接着剤、第二基材20としてガラス基材を順に積層した。
このパネルを60℃、90RH%下に1000Hr保存しても、100個のダークスポットの拡大は観察されなかった。また、隔壁12周辺部からダークエリアが発生・拡大している画素は観察されなかった。
実施例1の第二電極層14上に無機化合物層16と第二金属層17の層を、それぞれの厚さが実施例1に記載した無機化合物層16及び第二金属層17と同じになるように、実施例1と同一の方法を用いて積層した。それ以外は実施例1と同様にして有機ELディスプレイを作製した。実施例1と同様、作製した有機ELディスプレイの異物検査を実施した後に、点灯検査を実施し、異物部がダークスポットとなっている100画素を抽出した。このパネルを60℃、90RH%下に1000Hr保存しても、100個のダークスポットの拡大は観察されなかった。また、隔壁12周辺部からダークエリアが発生・拡大している画素は観察されなかった。
実施例1に記載した有機ELディスプレイにおいて、第二電極層14として、第一金属層15のみ形成し、薄型封止として、パッシベーション層18、接着剤層19、第二基材20を積層した。
11 第一電極層
12 隔壁
13 有機発光媒体層
14 第二電極層
15 第一金属層
16 無機化合物層
17 第二金属層
18 パッシベーション層
19 接着剤層
20 第二基材
21 異物
22 基板の段差
23 気泡
Claims (8)
- 少なくとも、基材上に、第一電極層、有機発光媒体層、第二電極層、パッシベーション層がこの順に積層されてなる有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記第二電極層は、少なくともアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む第一金属層と、前記第一金属層上に積層される無機化合物層と、前記無機化合物層上に積層される第二金属層と、から成ることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記無機化合物層と前記第二金属層はそれぞれが2層以上第一金属層上に積層されていることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記無機化合物層は、導電性無機化合物からなり、前記無機化合物層は前記第一金属層上の全面を覆うように形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記無機化合物層は、絶縁性無機化合物からなり、前記無機化合物層は前記第一金属層上の一部を覆うようにされていることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記第二金属層はアルミニウム又は銀からなることを特徴とする請求項1乃至4に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 少なくとも、基材上に、第一電極層、有機発光媒体層、第二電極層、パッシベーション層をこの順に積層する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、
前記第二電極層を積層する工程は、
(a)少なくともアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む第一金属層を積層する工程と、
(b)無機化合物層を積層する工程と、
(c)第二金属層を積層する工程と、
をこの順に行なうことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 前記工程(a)及び(c)は真空蒸着法であり、前記工程(b)は反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法、CVD法の何れかであることを特徴とする請求項6に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 前記工程(b)及び(c)は、それぞれ2回以上行なうことを特徴とする請求項7に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014136616A1 (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-12 | 富士フイルム株式会社 | 有機el積層体 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10294182A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2003243181A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発光素子 |
JP2004139991A (ja) * | 2002-10-18 | 2004-05-13 | Lg Electron Inc | 有機el素子 |
JP2004171957A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-06-17 | Toshiba Corp | 有機el素子及び有機el表示装置 |
JP2005005068A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-01-06 | Toppoly Optoelectronics Corp | 反射防止構造を有する発光素子 |
JP2005276755A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法、蒸着装置、電子機器 |
JP2006134738A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Toppan Printing Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法および製造装置並びに、それを用いて製造した有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2006185659A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2006228737A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Samsung Sdi Co Ltd | 複数層カソードを含む有機発光素子 |
JP2007213914A (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Canon Inc | 有機el素子アレイ |
JP2008130486A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Canon Inc | 有機el素子および同有機el素子を有する有機el表示装置 |
JP2009506480A (ja) * | 2005-05-23 | 2009-02-12 | トムソン ライセンシング | 複合透明上部電極をもつ照明または画像表示のための発光パネル |
JP2009146886A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-07-02 | Tohoku Univ | 有機el素子、有機el表示装置、及びその製造方法 |
JP2010277758A (ja) * | 2009-05-27 | 2010-12-09 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置および電子機器 |
-
2010
- 2010-01-06 JP JP2010001046A patent/JP2011141981A/ja active Pending
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10294182A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2003243181A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発光素子 |
JP2004139991A (ja) * | 2002-10-18 | 2004-05-13 | Lg Electron Inc | 有機el素子 |
JP2004171957A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-06-17 | Toshiba Corp | 有機el素子及び有機el表示装置 |
JP2005005068A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-01-06 | Toppoly Optoelectronics Corp | 反射防止構造を有する発光素子 |
JP2005276755A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法、蒸着装置、電子機器 |
JP2006134738A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Toppan Printing Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法および製造装置並びに、それを用いて製造した有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2006185659A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2006228737A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Samsung Sdi Co Ltd | 複数層カソードを含む有機発光素子 |
JP2009506480A (ja) * | 2005-05-23 | 2009-02-12 | トムソン ライセンシング | 複合透明上部電極をもつ照明または画像表示のための発光パネル |
JP2007213914A (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Canon Inc | 有機el素子アレイ |
JP2008130486A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Canon Inc | 有機el素子および同有機el素子を有する有機el表示装置 |
JP2009146886A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-07-02 | Tohoku Univ | 有機el素子、有機el表示装置、及びその製造方法 |
JP2010277758A (ja) * | 2009-05-27 | 2010-12-09 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置および電子機器 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014136616A1 (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-12 | 富士フイルム株式会社 | 有機el積層体 |
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