JP2011129611A - 反射型マスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ハードマスク層を備えた反射型マスクブランクを準備し、前記ハードマスク層をエッチングしてハードマスクパターンを形成し、前記ハードマスクパターンをマスクとして前記吸収層をエッチングして吸収層パターンを形成し、前記ハードマスクパターンおよび前記バッファ層をエッチングする工程を含む反射型マスクの製造方法であって、前記ハードマスクパターンを形成した後、前記吸収層のエッチングを2回に分けて行い、1回目の前記吸収層のエッチングを行った後、洗浄し、次に2回目の前記吸収層のエッチングを行って前記吸収層パターンを形成することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明の反射型マスクの製造方法は、基板と、この基板上に形成されたEUV光を反射する多層の反射層と、反射層上に形成されたEUV光を吸収する吸収層と、反射層と吸収層との間に、反射層へのエッチング損傷を防止するためのバッファ層と、吸収層上に形成された吸収層をエッチングする際に使用するハードマスク層と、を備えた反射型マスクブランクを準備し、順に、ハードマスク層上に、被転写体に対する転写パターンとなる吸収層パターンを形成するためのレジストパターンを形成し、ハードマスク層をエッチングしてハードマスクパターンを形成し、上記のレジストパターンまたはハードマスクパターンをマスクとして吸収層をエッチングして吸収層パターンを形成し、バッファ層をエッチングしてバッファ層パターンを形成し、ハードマスクパターンをエッチングして除去する工程を含む反射型マスクの製造方法であって、上記のハードマスクパターンを形成した後、吸収層のエッチングを2回に分けて行い、1回目の吸収層のエッチングを行った後、洗浄し、次に2回目の吸収層のエッチングを行って吸収層パターンを形成することを特徴とするものである。
本発明の反射型マスクの製造方法は、さらに2つの実施形態に分かれる。以下、詳しく説明する。
図1は、本発明の反射型マスクの製造方法における第1の実施形態を示す工程断面模式図である。
ここで、本発明の反射型マスクの製造方法を適用する上記の反射型マスクブランクを構成する各材料の望ましい形態について述べる。
本発明の反射型マスクの製造方法に用いる基板101としては、パターン位置精度を高精度に保持するために低熱膨張係数を有し、高反射率および転写精度を得るために平滑性、平坦度が高く、マスク製造工程の洗浄などに用いる洗浄液への耐性に優れたものが好ましく、合成石英ガラス、SiO2−TiO2系の低熱膨張ガラス、β石英固溶体を析出した結晶化ガラスなどのガラス基板などを用いることができる。マスクブランクスの平坦度としては、例えば、パターン領域において50nm以下が求められている。
多層の反射層102は、EUV露光に用いられるEUV光(波長13.5nm程度)を高い反射率で反射する材料が用いられ、MoとSiからなる多層膜が多用されており、例えば、2.74nm厚のMoと4.11nmのSiを各40層積層した多層膜よりなる反射層が挙げられる。MoとSiからなる多層膜の場合、DCマグネトロンスパッタ法により、まずSiターゲットを用いて、Arガス雰囲気下でSi膜を成膜し、その後、Moターゲットを用いて、Arガス雰囲気下でMo膜を成膜し、これを1周期として、30〜60周期、好ましくは40周期積層されて、多層反射層が得られる。EUV光を高い反射率で反射させるために、13.5nm程度のEUV光を入射角6.0度で入射したときの多層の反射層102の反射率は、通常、60%以上を示すように設定されている。
多層の反射層102の反射率を高めるには屈折率の大きいMoを最上層とするのが好ましいが、Moは大気で酸化され易くて反射率が低下するので、酸化防止やマスク洗浄時における保護のための保護膜として、スパッタリング法などによりSiやRuを成膜し、キャッピング層を設けることが好ましい。例えば、キャッピング層としてSiは、反射層102の最上層に11nmの厚さに設けられる。本発明の図面では、キャッピング層は反射層と同じ符号で示している。
EUV露光に用いられるEUV光を吸収する吸収層104aをドライエッチングしてパターン形成するときに、下層の反射層102に損傷を与えるのを防止するために、通常、反射層102と吸収層104aとの間にバッファ層103aが設けられる。本発明の反射型マスクの製造方法において、バッファ層103aの材料としてはCrが好ましい。Crは、吸収層104aのエッチング時に耐性が高く、後述するように、バッファ層103aの材料とハードマスク層の材料とを同じ材料とすることにより、同時にエッチングすることが可能となり、工程が短縮されるからである。
マスクパターンを形成し、EUV光を吸収する吸収層104aの材料としては、Ta、TaB、TaBNなどのTaを主成分とする材料が、膜厚30nm〜100nm程度の範囲、より好ましくは50nm〜85nmの範囲で用いられる。
また、マスクパターンの光学検査時の検出感度を上げるために、吸収層104a上に検査光(199nmあるいは257nm)に対して低反射とした低反射層105aを設ける場合が多い。低反射層105aの材料としては、例えば、タンタルの酸化物(TaO)、酸窒化物(TaNO)、ホウ素酸化物(TaBO)、ホウ素酸窒化物(TaBNO)などの酸素を含むタンタル化合物が挙げられ、膜厚5nm〜30nm程度の範囲で用いられる。
ハードマスク層の材料としては、Ta系の低反射層および吸収層とエッチングの選択比が十分に取れる必要があると共に、エッチング完了後には容易に取り除くことができる必要があり、クロム(Cr)、酸化クロム(CrO)、窒化クロム(CrN)、酸窒化クロム(CrNO)などのCr系材料からなる厚さ10nm程度のハードマスク層が好ましい。Cr系の材料は、特に酸素含有タンタル化合物のエッチングに用いるフッ素系ガスのプラズマに対して非常に強い耐性を持つことから、一旦吸収層エッチングを行った後、レジストを除去し、洗浄後、再度吸収層エッチングを行う本発明の製造方法を適用するのに好ましい材料である。
図1には図示していないが、EUV露光用マスクブランクのパターン側と反対側の面に、マスクを露光装置に設置するときの静電チャック用に導電層が設けられることが多い。導電層の材料としては、導電性を示す金属や金属窒化物などの薄膜を設けたものであり、例えば、クロム(Cr)や窒化クロム(CrN)などを厚さ20nm〜150nm程度に成膜して用いられる。
図2は、本発明の反射型マスクの製造方法における第2の実施形態を示す工程断面模式図である。本実施形態の製造方法に用いる反射型マスクブランクを構成する材料の望ましい形態は、上記の第1の実施形態と同じなので、説明は省略する。
以下の手順で反射型マスクブランクを作製した。
光学研磨された大きさ6インチ角(厚さ0.25インチ)の合成石英基板の一方の主面上に、DCマグネトロンスパッタ法により、Arガス雰囲気下で、Siターゲットを用いてSi膜を4.2nm成膜し、続いてMoターゲットを用いてMo膜を2.8nm成膜し、これを1周期として40周期積層して反射層とした後、最後にSi膜を11nm成膜してキャッピング層とし、MoとSiの多層膜よりなるEUV光を反射する反射層を形成した。
次に、DCマグネトロンスパッタ法により、Arと窒素の混合ガス雰囲気下で、上記の多層反射膜上にCrターゲットを用いてCr膜を10nmの厚さに成膜し、バッファ層とした。
この低反射層上にCr膜を10nmの厚さに成膜し、ハードマスク層とし、EUV露光用の反射型マスクブランクスを得た。
次に2回目の吸収層エッチングを行って残存していた吸収層欠陥を除去し、欠陥のない吸収層パターンを形成した。
実施例1と同じ反射型マスクブランクを用い、このブランク上に電子線レジストを塗布し、電子線描画装置でパターン描画して、レジストパターンを形成した。
101、201 基板
102、202 反射層・キャッピング層
103a、203a バッファ層
103、203 バッファ層パターン
104a、204a 吸収層
104、204 吸収層パターン
105a、205a 低反射層
105、205 低反射層パターン
106a、206a ハードマスク層
106、206 ハードマスクパターン
107、207 レジストパターン
108 修正ダメージ
109、209 パーティクル
110、210 吸収層欠陥
211 ハーフエッチングされた吸収層欠陥
300 反射型マスク
301、401、501 基板
302、402、502 反射層・キャッピング層
303、403、503 バッファ層
304、404、504 吸収層パターン
305、405、505 低反射層パターン
310、510 吸収層欠陥
408 FIBまたはEB
412 ダメージ
513 AFMの探針
Claims (4)
- 基板と、前記基板上に形成されたEUV光を反射する反射層と、前記反射層上に形成されたEUV光を吸収する吸収層と、前記反射層と前記吸収層との間に、前記反射層へのエッチング損傷を防止するためのバッファ層と、前記吸収層上に前記吸収層をエッチングする際に使用するハードマスク層と、を備えた反射型マスクブランクを準備し、
順に、前記ハードマスク層上に、被転写体に対する転写パターンとなる吸収層パターンを形成するためのレジストパターンを形成し、前記ハードマスク層をエッチングしてハードマスクパターンを形成し、前記レジストパターンまたは前記ハードマスクパターンをマスクとして前記吸収層をエッチングして吸収層パターンを形成し、前記バッファ層をエッチングしてバッファ層パターンを形成し、前記ハードマスクパターンをエッチングして除去する工程を含む反射型マスクの製造方法であって、
前記ハードマスクパターンを形成した後、前記吸収層のエッチングを2回に分けて行い、1回目の前記吸収層のエッチングを行った後、洗浄し、次に2回目の前記吸収層のエッチングを行って前記吸収層パターンを形成することを特徴とする反射型マスクの製造方法。 - 前記吸収層と前記ハードマスク層との間に、前記吸収層パターンを光学検査するときに使用する光の波長に対する反射率が低い低反射層を有することを特徴とする請求項1に記載の反射型マスクの製造方法。
- 前記ハードマスクパターンを形成した後、前記レジストパターンを除去し、前記ハードマスクパターンの検査、修正を行い、1回目の前記吸収層のエッチングを行った後、洗浄し、次に2回目の前記吸収層のエッチングを行って前記吸収層パターンを形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の反射型マスクの製造方法。
- 前記ハードマスクパターンを形成した後、続けて前記吸収層の1回目のエッチングを行い、次に前記レジストパターンを除去し、前記ハードマスクパターンおよび前記吸収層パターンを検査し、前記反射層に損傷が生じない程度の厚さに前記吸収層の厚さを残して黒欠陥部を修正した後、洗浄し、次に2回目の前記吸収層のエッチングを行って前記吸収層パターンを形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の反射型マスクの製造方法。
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