JP2011121842A - 単結晶引上げ用ルツボ及び単結晶引上げ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】石英ルツボ20は、側壁21の外周に、石英材料からなり、その上端部の高さ位置が、前記石英ルツボ20の側壁の下端から測定して、前記側壁の上端までの距離の60〜90%の範囲にあり、その下端部の高さ位置が、前記石英ルツボ20の側壁の下端から測定して、前記側壁の上端までの距離の5〜30%の範囲にある側壁補強部22を設けて、前記側壁部分を厚肉側壁部23とし、シリコン単結晶の引上げ時、石英ルツボ20が加熱されて軟化し、前記厚肉側壁23部が前記黒鉛ルツボ30の内壁面30a形状に対応して変形することで、石英ルツボ20の前記厚肉側壁部23が内面側に部分的に迫り出してなることを特徴とする。
【選択図】図3
Description
(1)シリコン原料融液を収容する石英ルツボ及び該石英ルツボの外側を覆う黒鉛ルツボの二重構造からなり、前記石英ルツボ内で長時間シリコン単結晶の引上げが行われるように、前記石英ルツボ内へシリコン原料融液が連続的又は断続的に供給されるシリコン単結晶引上げ用ルツボであって、前記石英ルツボは、側壁の外周に、石英材料からなり、その上端部の高さ位置が、前記石英ルツボの側壁の下端から測定して、前記側壁の上端までの距離の60〜90%の範囲にあり、その下端部の高さ位置が、前記石英ルツボの側壁の下端から測定して、前記側壁の上端までの距離の5〜30%の範囲にある側壁補強部を設けて前記側壁部分を厚肉側壁部とし、シリコン単結晶引上げ時に、石英ルツボが加熱されて軟化し、前記厚肉側壁部が前記黒鉛ルツボの内壁面形状に対応して変形することで、石英ルツボの前記厚肉側壁部が内面側に部分的に迫り出してなることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用ルツボ。
図1は、本発明の単結晶引上げ装置について模式的に示した側断面図であり、図2は、本発明の石英ルツボの一実施形態について模式的に示した側断面図であり、図3は、本発明の単結晶引上げ用ルツボを模式的に示した側断面図であり、(a)はシリコン融液ができた直後の状態、(b)は(a)のルツボにシリコン原料融液の供給を連続的又は断続的に行いながら引上げを長時間継続した時の状態を示したものである。
また、従来の技術では、前記側壁補強部22を、あらかじめ前記石英ルツボ20の内壁に設け、石英ルツボ20の前記厚肉側壁部23が内面側に部分的に迫り出してなるようにすることは、製造上困難である。石英ルツボは、回転するルツボ形状のモールド(型)に、遠心力を利用して石英原料粉を密着させ、その内部でアークを発生させ石英粉を溶融する、いわゆるアーク溶融法で製造するため、原料石英粉は、内面から外面に向かって溶融し、その温度は外側より内面側が高くなり、逆に溶融した石英ガラスの粘度は、内面側が低くなる。その結果、前記側壁補強部22を前記石英ルツボ20の内面側に設けた場合、溶融中の石英ルツボ内面は重力により少しずつ下方にたれ落ちるため、石英原料粉をモールドに密着させる際、前記側壁補強部22を凸状に成形しても、凸状に成形した部分も平坦化し下方に流れ、部分的に内面に迫り出す形状を実現することは難しい。そのため、本発明では、前記側壁補強部22を、一旦外側に設け、その後の熱による石英ルツボ20の軟化を利用することで、前記厚肉側壁部23を石英ルツボ20の内面側に部分的に迫り出す形状とすることが可能となる。
実施例1〜3は、外径が810mm、高さが500mmの石英ルツボ20と、その外側を覆う、内径が815mm、深さが480mmの黒鉛ルツボ30との二重構造からなるシリコン単結晶引上げ用ルツボ10を、それぞれサンプルとして作製した。
なお、各サンプルの石英ルツボ20は、図2に示すように、側壁21の外周の所定の高さ位置に、石英ルツボと同じ材料からなる側壁補強部22を設けて前記側壁部分を厚肉側壁部23を形成し、図3(a)及び(b)に示すように、シリコン単結晶5の引上げ時、石英ルツボ20が加熱されて軟化し、前記厚肉側壁23部が前記黒鉛ルツボ30の内壁面30a形状に対応して変形することで、石英ルツボ20の前記厚肉側壁部23が内面側に部分的に迫り出すように構成されており、厚肉側壁部23の厚さA1(側壁補強部22を除いた側壁21の厚さA2に対しての割合(%)で表示)及び上端23a・下端23bの高さ位置H1、H3(石英ルツボ20の側壁21の下端Uから測定して、前記側壁21の上端Tまでの距離Xにおける相対位置(%)で表示)については、表1に示す。また、胴部上端20aの外径W1が、胴部下端20cの外径W2よりも6mm大きい。
また、前記石英ルツボ20にシリコン原料融液は、図1に示すように、融液供給ルツボ3で固体シリコン原料2を溶融させ、溶融したシリコン原料融液5を、融液供給管4を通して、前記石英ルツボ20内に供給した。
また、前記石英ルツボ20にシリコン原料融液は、図1に示すように、融液供給ルツボ3で固体シリコン原料2を溶融させ、溶融したシリコン原料融液5を、融液供給管4を通して、前記石英ルツボ20内に供給した。
各実施例及び比較例のルツボを、それぞれ、図1に示すような単結晶引上げ装置に用いて、シリコン融液の温度1500℃という引き上げ条件で、5本のシリコン単結晶インゴットの引上げ(260時間連続)を行った。その後、石英ルツボを回収し、石英ルツボ内壁の侵食に起因した内倒れ及び座屈の有無について確認することで評価を行った。
2 固体シリコン原料
3 融液供給ルツボ
4 融液供給管
5 シリコン原料融液
6 シリコン単結晶インゴット
10 シリコン単結晶引上げ用ルツボ
20 石英ルツボ
21 側壁
22 側壁補強部
23 厚肉側壁部
30 黒鉛ルツボ
Claims (6)
- シリコン原料融液を収容する石英ルツボ及び該石英ルツボの外側を覆う黒鉛ルツボの二重構造からなり、前記石英ルツボ内で長時間シリコン単結晶の引き上げが行われるように、前記石英ルツボ内へシリコン原料融液が連続的又は断続的に供給されるシリコン単結晶引上げ用ルツボであって、
前記石英ルツボは、側壁の外周に、石英材料からなり、その上端部の高さ位置が、前記石英ルツボの側壁の下端から測定して、前記側壁の上端までの距離の60〜90%の範囲にあり、その下端部の高さ位置が、前記石英ルツボの側壁の下端から測定して、前記側壁の上端までの距離の5〜30%の範囲にある側壁補強部を設けて、前記側壁部分を厚肉側壁部とし、シリコン単結晶引上げ時に、石英ルツボが加熱されて軟化し、前記厚肉側壁部が前記黒鉛ルツボの内壁面形状に対応して変形することで、石英ルツボの前記厚肉側壁部が内面側に部分的に迫り出してなることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用ルツボ。 - 前記厚肉側壁部は、前記石英ルツボの側壁補強部を除いた側壁の厚さに対して、110〜140%の厚さを有する請求項1記載のシリコン単結晶引上げ用ルツボ。
- 前記石英ルツボは、胴部上端の外径が、胴部下端の外径よりも0.1%以上大きい請求項1又は2記載のシリコン単結晶引上げ用ルツボ。
- 前記石英ルツボは、胴部上端の外径が、700〜1120mmの範囲である請求項1〜3のいずれか1項記載のシリコン単結晶引上げ用ルツボ。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載されたシリコン単結晶引上げ用ルツボを用いて、直径が300mm以上のシリコン単結晶インゴットを引き上げることを特徴とするシリコン単結晶引上げ方法。
- 前記単結晶の引上げは、複数の単結晶インゴットを連続的に引き上げることを特徴とする請求項5記載のシリコン単結晶引上げ方法。
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