JP2011121814A - ニオブ酸化合物微粒子の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ニオブ酸化合物微粒子の製造に関し、粒子径および化学組成の均一性に優れ、高い結晶性を有するニオブ酸化合物微粒子を容易に製造する方法を提供する。
【解決手段】酸化物基準のモル％表示で、ＭＯ（ＭはＢａ、Ｓｒ、ＣａおよびＭｇからなる群より選ばれる１種以上の元素）を１０〜６０％、Ｎｂ_２Ｏ_５を５〜４０％およびＢ_２Ｏ_３を２５〜６０％からなる溶融物を得る工程と、前記溶融物を急速冷却して非晶質物質を得る工程と、前記非晶質物質からニオブ酸化合物の結晶を析出させる工程と、得られた析出物からニオブ酸化合物結晶を分離、精製する工程と、をこの順に包含することを特徴とする製造方法である。
【選択図】図１

Description

本発明はニオブ酸化合物微粒子の製造方法に関する。

ニオブ酸化合物は、従来から、圧電材料、誘電材料、電気光学材料、高屈折材料、触媒材料等として広く利用されている。近年、前記材料においては微細化や高機能化が進んでおり、これらの材料に用いるニオブ酸化合物粒子には、粒子径が小さいことや比表面積が大きいことが要求されている。

一般に、ニオブ酸化合物粒子は固相反応法を用いて製造される。すなわち、原料粉末を混合して焼成し、焼成物をさらに粉砕して作製されている。しかし、このような固相反応法では、微細な粒子が得られにくいばかりでなく、均一な粒子径を有するものを得ることが難しかった。また、粉砕時のエネルギーが粒子内に歪として残存するおそれがあった。

固相反応法以外で酸化ニオブ微粒子を製造する方法として、塩化ニオブまたはオキシ塩化ニオブの蒸気を噴霧し、それを加水分解して酸化ニオブ微粒子を得る方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。しかし、特許文献１に記載された方法では、蒸気噴霧工程等を不活性ガスの湿潤雰囲気で行う必要があるなど、操作が複雑となるばかりでなく、得られる粒子の比表面積は必ずしも高いとはいえなかった。

また、フッ化ニオブ塩の水溶液に塩基性溶液を添加し中和することによって水酸化ニオブを沈殿させ、これを焼成して針状または柱状の酸化ニオブ粒子を得る方法が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。しかし、特許文献２に記載された方法では、高価なフッ化物原料を使用するばかりでなく、結晶性をよくするために高温処理を行う必要があり、製造コストが高くつくという問題があった。

上記のように、ニオブ酸化合物は、圧電材料、誘電材料、電気光学材料、高屈折材料、触媒材料等として利用される重要な物質であり、ニオブ酸化合物の微粒子の開発が急務となっている。

特開２００３−２６７７２８号公報 特開２００５−２５５４５４号公報

本発明の目的は、粒子径および化学組成の均一性に優れ、高い結晶性を有するニオブ酸化合物微粒子を容易に得ることができる、ニオブ酸化合物微粒子の製造方法を提供することにある。

本発明の態様に係るニオブ酸化合物微粒子の製造方法は、酸化物基準のモル％表示で、ＭＯ（Mは、Ｂａ、Ｓｒ、ＣａおよびＭｇから選ばれる少なくとも１種の元素を示す。）を１０〜６０％、Ｎｂ_２Ｏ_５を５〜４０％、およびＢ_２Ｏ_３を２５〜６０％からなる溶融物を得る工程と、前記溶融物を急速冷却して非晶質物質を得る工程と、前記非晶質物質からニオブ酸化合物の結晶を析出させる工程と、前記工程で得られた析出物から前記ニオブ酸化合物の結晶を分離し精製する工程を具備することを特徴としている。

本発明によれば、粒子径および化学組成の均一性に優れ、高い結晶性を有するニオブ酸化合物微粒子を容易に製造することができる。そして、本発明により得られたニオブ酸化合物微粒子は、圧電材料、誘電材料、電気光学材料、高屈折材料、触媒材料等として所望の高い機能を発現し、長期に亘り高い信頼性を維持することができる。

本発明の実施例１で得られた微粒子のＸ線回折パターンを示す図である。

以下、本発明のニオブ酸化合物微粒子の製造方法の実施形態について説明する。

本発明の実施形態の製造方法は、酸化物基準のモル％表示で、ＭＯ（ＭはＢａ、Ｓｒ、ＣａおよびＭｇから選ばれる少なくとも１種の元素を示す。以下同じ。）を１０〜６０％、Ｎｂ_２Ｏ_５を５〜４０％、Ｂ_２Ｏ_３を２５〜６０％からなる溶融物を得る工程（以下、溶融工程という）と、この溶融物を急速冷却して非晶質物質を得る工程（以下、急冷工程という）と、この非晶質物質からニオブ酸化合物の結晶を析出させる工程（以下、結晶化工程という）と、得られた析出物からニオブ酸化合物の結晶を分離し精製する工程（以下、分離・精製工程という）とを備えている。各工程について以下に詳述する。

［溶融工程］
溶融工程は、酸化物基準のモル％表示で、ＭＯを１０〜６０％、Ｎｂ_２Ｏ_５を５〜４０％およびＢ_２Ｏ_３を２５〜６０％からなる溶融物を得る工程であり、続く急冷工程で非晶質物質を得るために行われる。上記の組成域の溶融物は、完全に溶融することが可能で、適度な粘性を有する。また、この溶融物は、続く急冷工程で急速冷却操作により結晶化することがなく、非晶質物質を生成するため好ましい。

溶融物が非晶質物質を形成するとき、ＭＯはネットワークモディファイヤーとして、Ｂ_２Ｏ_３はネットワークフォマーとして、Ｎｂ_２Ｏ_５はネットワークモディファイヤー、またはネットワークモディファイヤーとネットワークフォマーとの中間として、それぞれ作用する。

Ｎｂ_２Ｏ_５が４０％を超えるか、またはＭＯが６０％を超える場合、あるいはＢ_２Ｏ_３が２５％未満の場合には、溶融物は続く急冷工程で結晶化しやすく、非晶質物質を得ることができない。一方、Ｎｂ_２Ｏ_５が５％未満であるか、ＭＯが１０％未満である場合、あるいはＢ_２Ｏ_３が６０％を超える場合には、分離・精製工程でニオブ酸化合物微粒子を効率よく得ることができない。

特に、溶融物中のＭＯ、Ｎｂ_２Ｏ_５およびＢ_２Ｏ_３の含有割合が、それぞれ２０〜５０％、８〜３５％および２０〜５５％である場合には、溶融工程で完全に溶融させることができるうえに、急冷工程で非晶質物質を得ることがより容易であり、かつニオブ酸化合物微粒子を効率よく得ることができる。

また、溶融物において、酸化物基準のモル％表示でのＢ_２Ｏ_３とＭＯの比（以下、Ｂ_２Ｏ_３／ＭＯモル比と示す。）は、０．５〜３．５であることが好ましい。Ｂ_２Ｏ_３／ＭＯモル比が前記範囲内にある溶融物は、完全に溶融することが可能で適度な粘性を有するうえに、続く急冷工程で溶融物を急速冷却することにより非晶質物質を得ることができる。Ｂ_２Ｏ_３／ＭＯモル比が０．５未満であると、急冷工程で非晶質物質を得ることが難しい。また、Ｂ_２Ｏ_３／ＭＯモル比が３．５を超えると、急冷工程で非晶質物質を得ることが難しいばかりでなく、分離・精製工程でニオブ酸化合物微粒子を得ることができない。

溶融工程では、目的とするニオブ酸化合物微粒子の各構成成分を供給するための各化合物が、原料として用いられる。すなわち、Ｍ源となる化合物、Ｎｂ源となる化合物、およびＢ源となる化合物が、それぞれ原料として用いられる。そして、これらの原料を、得られる溶融物の組成が前記組成となるように所定の比率で混合し、得られた原料混合物を加熱することにより溶融物を得る。溶融雰囲気は特に制御する必要はなく、大気雰囲気で溶融することができる。

ここで、原料混合物の組成は、原則として、当該混合物から得られる溶融物の組成と対応するものである。ただし、溶融処理中に揮発等により失われる成分がある場合は、所望の組成の溶融物が得られるように、各原料の仕込み量を補正する。

Ｍ源としては、Ｍの炭酸塩（ＭＣＯ_３）、Ｍの水酸化物（Ｍ（ＯＨ）_２）およびＭの酸化物（ＭＯ）から選ばれる１種以上の化合物を用いることが好ましい。これらの化合物は、安価で操作性が良好であるため使用が好ましい。また、Ｍの塩化物（ＭＣｌ_２）、Ｍの硫酸塩（ＭＳＯ_４）、Ｍのホウ酸塩（ＭＢ_２Ｏ_４、ＭＢ_４Ｏ_７）、およびＭのシュウ酸塩（Ｍ（ＣＯＯ）_２）、Ｍの酢酸塩（Ｍ（ＣＨ_３ＣＯＯ）_２）等の有機酸塩から選ばれる１種以上の化合物を用いてもよい。以上の化合物は、結晶水を含む場合はその含水化合物をも含むものとする。

Ｎｂ源としては、Ｎｂの酸化物（ＮｂＯ、Ｎｂ_２Ｏ_３、ＮｂＯ_２、Ｎｂ_２Ｏ_５）を用いることが好ましい。また、塩化ニオブ（ＮｂＣｌ_５）やオキシ塩化ニオブ（ＮｂＯＣｌ_３）、またはフッ化ニオブ（ＮｂＦ_５）を用いてもよい。

Ｂ源としては、酸化ホウ素（Ｂ_２Ｏ_３）またはホウ酸（Ｈ_３ＢＯ_３）を用いることが好ましい。前記したように、Ｍのホウ酸塩（ＭＢ_２Ｏ_４、ＭＢ_４Ｏ_７）を用いてもよい。

各原料の純度は、所望の特性を低下させない範囲であれば特に限定されるものではないが、結晶水や水和水を除いた純度が９９％以上であることが好ましく、より好ましくは純度９９．９％以上とする。また、溶融して均一な組成の溶融物が得られる範囲であれば、各原料の粒度（粒子径）も特に限定されない。これらの原料は、回転式ミキサ、ボールミル、遊星ミル等の混合・粉砕手段を用いて、乾式または湿式で混合してから溶融することが好ましい。

原料混合物の溶融は、抵抗加熱炉、高周波誘導炉、またはプラズマアーク炉を用いて行うことが好ましい。抵抗加熱炉は、ニクロム合金等の金属製、炭化ケイ素製、またはケイ化モリブデン製の発熱体を備えた電気炉であることが好ましい。高周波誘導炉は、誘導コイルを備えており、出力を制御できるものであればよく、プラズマアーク炉は、カーボン等からなる電極を備え、それによって発生するプラズマアークを利用できるものであればよい。さらに、赤外線加熱やレーザー直接加熱によって溶融させてもよい。

溶融に用いる容器（るつぼ）は、アルミナ製、白金製、またはロジウムを含む白金合金製であることが好ましいが、耐火煉瓦製のものを用いることもできる。また、原料成分の揮散や蒸発を防止するため、容器に蓋等を装着することが好ましい。さらに、溶融工程に続いて急冷工程が行いやすいように、容器は排出口を備えることが好ましい。

前記原料混合物は、粉体状態で溶融してもよいし、予め成型された混合物を溶融してもよい。原料混合物の溶融は、９００℃〜１６００℃の温度で行うことが好ましく、１１００〜１５００℃の温度範囲で行うことがより好ましい。得られた溶融物は、均一性を高めるために撹拌してもよい。

［急冷工程］
急冷工程は、前記溶融工程で得られた溶融物を急速に室温付近まで冷却し、より均一な組成を有する非晶質物質を得る工程である。冷却速度は、１００℃／秒以上とすることが好ましく、１×１０^４℃／秒以上とすることがより好ましい。

急冷工程では、高速で回転する双ローラーの間に溶融物を滴下してフレーク状の非晶質物質を得る方法や、冷却したカーボン板や金属板の間に溶融物をプレスして非晶質物質を得る方法が好適に用いられる。中でも前者の方法は、急冷の程度が高くかつ大量に処理することができるので、より好ましい。ここで、双ローラーとしては、金属製、カーボン製、またはセラミックス製のものを用いることが好ましい。さらに、高速で回転するドラムにより、溶融物から連続的にファイバー状（長繊維）の非晶質物質を巻き取る方法や、側壁に細孔を設けたスピナーを高速で回転させて、ファイバー状（短繊維）の非晶質物質を得る方法を用いてもよい。これらの方法によれば、溶融物を効果的に急速冷却し、高純度で化学組成が均一な非晶質物質を得ることができる。

また、非晶質物質がフレーク状またはファイバー状の場合には、微細なニオブ酸化合物粒子（微粒子）を得やすい。非晶質物質がフレーク状の場合には、その平均厚さが２００μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下となるように、急速冷却することが好ましい。また、ファイバー状の場合には、その平均直径が５０μｍ以下、より好ましくは３０μｍ以下となるように急速冷却することが好ましい。非晶質物質の平均厚さまたは平均直径を上記上限値以下とした場合には、ニオブ酸化合物微粒子を得やすい。

なお、フレーク状の非晶質物質の平均厚さは、ノギスまたはマイクロメーターにより測定することができる。また、ファイバー状の非晶質物質の平均直径は、ノギスまたはマイクロメーターにより測定するか、または顕微鏡観察により測定することができる。

［結晶化工程］
結晶化工程は、前記急冷工程で得られた非晶質物質を加熱し、目的とするニオブ酸化合物の結晶（微粒子）を含む結晶化物を析出させる工程である。前記非晶質物質の加熱により、ニオブ酸化合物であるＭＮｂ_２Ｏ_６の結晶、およびホウ酸塩が析出する。結晶化工程は、大気雰囲気中５００〜９００℃の温度で行うことが好ましい。結晶化工程での加熱温度（以下、結晶化温度ともいう）が５００℃未満であると、連続して加熱を行っても結晶が析出しにくく、一方結晶化温度が９００℃を超えると、非晶質物質が融解するおそれがある。結晶析出を効率よく行い、かつ析出する結晶の粒子径の増大を抑制するために、結晶化温度を６００〜８００℃にすることが好ましい。なお、５００〜９００℃の温度範囲内では、結晶化温度を高くするほど析出する結晶の粒子径が大きくなる傾向があるので、所望の粒子径に応じて結晶化温度を設定すればよい。

結晶化工程は、結晶核生成とそれに続く結晶（粒子）成長の２段階からなるため、この２段階を異なる温度で行ってもよい。そして、それぞれ異なる温度で２〜６４時間保持し、結晶核生成および結晶（粒子）成長を行わせることが好ましい。なお、結晶化の時間を長くすることで結晶の粒子径を大きくすることはできるが、粒子径の増大に与える影響は結晶化温度ほど大きくないので、粒子径を微調整するときは結晶化時間を変化させて対応することが好ましい。

［分離・精製工程］
分離・精製工程は、結晶化工程で得られた結晶化物の分離・精製を行い、目的とするニオブ酸化合物微粒子を単離する工程である。結晶化物は、ニオブ酸化合物であるＭＮｂ_２Ｏ_６の結晶微粒子部分と、主にＭＯを含むホウ酸塩からなるマトリックス部分とからなる。このような結晶化物からニオブ酸化合物の結晶微粒子を分離するために、水または酸溶液を用いてマトリックス部分を溶解・除去する。ここで、水はイオン交換水または蒸留水を示す。酸溶液としては、塩酸、硝酸、硫酸等の無機酸溶液、酢酸、ギ酸、プロピオン酸等の有機酸溶液が好ましい。これらの中でも、分離能の良さからは塩酸、硝酸を用いることが好ましく、ｐＨ緩衝能を有することからは酢酸を用いることが特に好ましい。酸溶液の濃度は、前記マトリックス部分に対する溶解能の高さから、０．０５ｍｏｌ／Ｌ〜５ｍｏｌ／Ｌの範囲とすることが好ましい。

マトリックス部分の溶解処理およびニオブ酸化合物微粒子の分離操作は、酸溶液等の温度が室温から９０℃の範囲で行うことが好ましい。溶液を室温未満に冷却する必要はない。また、溶液の温度が９０℃を超える場合は沸騰するおそれがあり、また成分の揮発や蒸発が生じるため、密閉等の方法を講じない限り好ましくない。

ニオブ酸化合物微粒子の分離処理は、前記酸溶液等を用いて結晶化物からマトリックス部分を溶解した後、微粒子を沈降させて上澄みと分離することにより行われる。微粒子と上澄みとの分離は、自然沈降、ろ過、フィルタープレス、遠心沈降等を用いて行うことが好ましい。マトリックス部分の溶解と微粒子の上澄みからの分離操作は、微粒子のみが得られるまで繰り返し実施してもよい。微粒子が沈降しにくい場合には、沈降剤を用いてもよい。

前記した微粒子の分離操作に続いて精製操作を行う。精製操作は溶解処理で生じた可溶性塩を除去するために行うものであり、水のみで洗浄してもよいが、前記分離操作と同様に酸の希薄溶液を用いて行ってもよい。この操作は繰り返してもよい。また、精製操作は室温から９０℃の温度で行うことが好ましく、最終的には水のみで行うことが好ましい。

本発明の実施形態の製造方法においては、前記したように溶融工程、急冷工程、結晶化工程および分離・精製工程を順に経ることで、粒子径および化学組成の均一性に優れ、高い結晶性を有するニオブ酸化合物の微粒子を得ることができる。得られるニオブ酸化合物としては、化学式：ＭＮｂ_２Ｏ_６で表される化合物を挙げることができる。この化合物は、電気特性および光学特性に優れている。特に、ＭがＳｒおよびＢａである場合には、一般式：Ｓｒ_ｘＢａ_１−ｘＮｂ_２Ｏ_６（ただし０＜ｘ＜１）で表されるニオブ酸ストロンチウムバリウムの微粒子が得られる。このニオブ酸ストロンチウムバリウムは、特に強誘電性に優れ好ましい。

さらに、本発明の実施形態では、正方晶系、斜方晶系、単斜晶系および六方晶系から選ばれる少なくとも１種の結晶系を有し、結晶性の高いニオブ酸化合物微粒子が得られる。得られるニオブ酸化合物微粒子の粒子径については、１〜２００ｍ^２／ｇの比表面積を有する範囲とすることが好ましい。比表面積が１〜２００ｍ^２／ｇである場合は、粒子径が十分に小さくなるため好ましい。ここで、比表面積は、窒素（Ｎ_２）吸着量よりＢＥＴの式から求めた値を示すものとする。

以下、本発明の具体的な実施例および比較例について説明する。なお、本発明はこれらにより限定されるものではない。

実施例１〜２１
溶融物の組成が、ＭＯ、Ｎｂ_２Ｏ_５およびＢ_２Ｏ_３基準のモル％表示で、それぞれ表１に示す割合となるように、炭酸バリウム（ＢａＣＯ_３）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ_３）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ_３）、炭酸マグネシウム（ＭｇＣＯ_３）、酸化ニオブ（Ｎｂ_２Ｏ_５）および酸化ホウ素（Ｂ_２Ｏ_３）をそれぞれ秤量し、乾式で混合し粉砕して原料混合物を得た。得られた原料混合物を、ロジウムを２０質量％含む白金製のノズル付きるつぼに充填し、ケイ化モリブデン製の発熱体を備えた電気炉を用いて、表１に示す１４００℃〜１５００℃の温度で０．５時間加熱し完全に溶融させた。

次に、ノズルの下端部を電気炉で加熱しながらガラス溶融物を滴下させ、３００ｒｐｍで回転する直径約１５ｃｍの双ローラーを通すことによって、液滴を１×１０^５℃／秒程度の冷却速度で急速冷却し、フレーク状の固形物を得た。得られたフレーク状固形物は透明な非晶質物質であった。フレークを粉砕した後に１５０μｍの篩を通し、フレーク粉砕物を得た。

得られたフレーク粉砕物を、表1に示す７５０℃または７８０℃の結晶化温度で８時間加熱し、ニオブ酸化合物の結晶を析出させた。

次いで、結晶化処理後のフレークを、７０℃の１ｍｏｌ／Ｌ酢酸溶液中で４時間振とう撹拌して、可溶性物質を溶脱した。溶脱した液を遠心分離して上澄みを捨てた。この分離操作を５回行った。さらに、７０℃の水で５回同様に洗浄した後、乾燥させることによって微粒子を得た。

得られた微粒子の鉱物相を、Ｘ線回折装置を用いて同定したところ、正方晶系、斜方晶系、単斜晶系または六方晶系のいずれかの結晶系を有するＭＮｂ_２Ｏ_６に帰属させることができた。実施例１で得られた微粒子のＸ線回折パターンを図１に示す。また、同定の結果を表２に示す。なお、表２の鉱物組成において、ｍ−、ｈ−、ｏ−およびｔ−は、それぞれ単斜晶系、六方晶系、斜方晶系および正方晶系を示している。

さらに、得られた微粒子の比表面積を、窒素吸着量からＢＥＴの式によって求めた。結果を表２に示す。この比表面積の値から、実施例１〜２１ではいずれも微粒子が得られていることがわかる。

比較例１
溶融物の組成が酸化物基準のモル％表示で、ＢａＯが１９％、Ｎｂ_２Ｏ_５が１．０％、Ｂ_２Ｏ_３が８０％となるように、炭酸バリウム（ＢａＣＯ_３）、酸化ニオブ（Ｎｂ_２Ｏ_５）および酸化ホウ素（Ｂ_２Ｏ_３）をそれぞれ秤量し、乾式で混合・粉砕し、原料混合物を得た。

次いで、得られた原料混合物を、実施例１と同様に溶融し、急速冷却、結晶化処理、および分離の操作を行ったが、粒子は得られなかった。

比較例２
溶融物の組成が酸化物基準のモル％表示で、ＢａＯが１７％、Ｎｂ_２Ｏ_５が１５％、Ｂ_２Ｏ_３が６８％となるように、炭酸バリウム（ＢａＣＯ_３）、酸化ニオブ（Ｎｂ_２Ｏ_５）および酸化ホウ素（Ｂ_２Ｏ_３）をそれぞれ秤量し、乾式で混合・粉砕し、原料混合物を得た。

次いで、得られた原料混合物を、実施例１と同様に溶融したが、完全には溶融せず、非晶質物質は得られなかった。

Claims (10)

1. 酸化物基準のモル％表示で、ＭＯ（Ｍは、Ｂａ、Ｓｒ、ＣａおよびＭｇから選ばれる少なくとも１種の元素を示す。）を１０〜６０％、Ｎｂ_２Ｏ_５を５〜４０％、およびＢ_２Ｏ_３を２５〜６０％からなる溶融物を得る工程と、
   前記溶融物を急速冷却して非晶質物質を得る工程と、
   前記非晶質物質からニオブ酸化合物の結晶を析出させる工程と、
   前記工程で得られた析出物から前記ニオブ酸化合物の結晶を分離し精製する工程
   を具備することを特徴とするニオブ酸化合物微粒子の製造方法。
2. 前記溶融物中の化学組成において、酸化物基準のモル％表示で前記Ｂ_２Ｏ_３と前記ＭＯの比（Ｂ_２Ｏ_３／ＭＯ）が、０．５〜３．５であることを特徴とする請求項１記載のニオブ酸化合物微粒子の製造方法。
3. 前記溶融物を得る工程は、前記ニオブ酸化合物を構成する各成分を含む原料混合物を９００〜１６００℃で加熱する工程を有することを特徴とする請求項１または２記載のニオブ酸化合物微粒子の製造方法。
4. 前記非晶質物質を得る工程は、前記溶融物を急速冷却してフレーク状またはファイバー状の非晶質物質を得る工程を有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項記載のニオブ酸化合物微粒子の製造方法。
5. 前記ニオブ酸化合物の結晶を析出させる工程は、前記非晶質物質を５００〜９００℃で加熱する工程を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項記載のニオブ酸化合物微粒子の製造方法。
6. 前記ニオブ酸化合物の結晶を分離し精製する工程は、前記ニオブ酸化合物の結晶を酸溶液または水を用いて分離し精製する工程を有することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項記載のニオブ酸化合物微粒子の製造方法。
7. 前記ニオブ酸化合物微粒子は、式：ＭＮｂ_２Ｏ_６で表される組成を有することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項記載のニオブ酸化合物微粒子の製造方法。
8. 前記ニオブ酸化合物微粒子は、一般式：Ｓｒ_ｘＢａ_１−ｘＮｂ_２Ｏ_６（０＜ｘ＜１）で示される組成を有することを特徴とする請求項７記載のニオブ酸化合物微粒子の製造方法。
9. 前記ニオブ酸化合物微粒子は、正方晶系、斜方晶系、単斜晶系および六方晶系から選ばれる少なくとも１種の結晶系を有することを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項記載のニオブ酸化合物微粒子の製造方法。
10. 前記ニオブ酸化合物微粒子の比表面積が１〜２００ｍ^２／ｇであることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項記載のニオブ酸化合物微粒子の製造方法。

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