JP2011120011A - アナログ−デジタル変換器 - Google Patents

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Abstract

【課題】簡単な構成で高速性、高精度および低消費電力を満たすSAR ADCの実現。
【解決手段】多ビットデジタル信号に応じて参照アナログ信号を出力するDAC14と、入力アナログ信号Vinを参照アナログ信号と比較する第1および第2のコンパレータ21,22と、第1と第2のコンパレータの一方の比較結果を選択する選択回路25と、選択した比較結果に基づいて、複数のステップで参照アナログ信号が入力アナログ信号に近づくように多ビットデジタル信号を順に変化させる制御回路23と、を備えるアナログ−デジタル変換器であって、制御回路は、複数のステップの途中の中間ステップまで第1のコンパレータの比較結果を選択し、中間ステップ以後は第2のコンパレータの比較結果を選択するように選択回路を制御し、多ビットデジタル信号のビット値を、非2進アルゴリズムに従って変化させる。
【選択図】図9

Description

本発明は、逐次比較型アナログ−デジタル変換器(SAR ADC)に関する。
マイクロコンピュータやシステムLSIに搭載するアナログ−デジタル変換器(ADC)は、小型化および高精度化の観点から逐次比較型が多く用いられている。
図1は、従来のSAR ADCの構成例を示すブロック図である。また、図2は、SAR ADCにおける変換動作を説明する図である。
図1に示すように、従来のSAR ADCは、コンパレータ12と、制御回路13と、DA変換器(デジタル−アナログ変換器)14と、を備える。アナログ入力信号Vinは、例えば、サンプルホールド(SH)回路11で一旦保持されてコンパレータ12に入力される。
図2に示すように、SAR ADCは、nビット(ここでは8ビット)の分解能を備え、フルスケール電圧がVFSであるとする。1ステップ目に、制御回路13は、1ビット目(b1)のビット値が“1”で、2ビット目以降(b2〜bn)のビット値が“0”であるデジタル信号を出力し、DA変換器14はこのデジタル信号に対応した電圧の参照アナログ信号Vrを発生して出力する。1ステップ目の参照アナログ信号Vrの電圧は、VFS/2である。コンパレータ12は、アナログ入力信号Vinの電圧を参照アナログ信号Vrの電圧と比較し、比較結果を出力する。制御回路13は、比較結果に基づいて、1ビット目(b1)のビット値を決定する。例えば、VinがVrより大きければb1を“1”に、VinがVrより小さければb1を“0”に決定する。図2では、b1は“1”である。以下の説明で、コンパレータが比較すると記載する場合は、電圧を比較することを示し、DA変換器がデジタル信号に対応した参照アナログ信号を発生する場合は、デジタル信号に対応した電圧の参照アナログ信号を発生することを示すものとする。
2ステップ目に、制御回路13は、b1が1ステップ目に決定した値(ここでは“1”)で、2ビット目(b2)のビット値が“1”で、3ビット目以降(b3〜bn)のビット値が“0”であるデジタル信号を出力し、DA変換器14はこのデジタル信号に対応した参照アナログ信号Vrを発生して出力する。図2の例では、2ステップ目の参照アナログ信号Vrは、3VFS/4である。コンパレータ12は、アナログ入力信号Vinを参照アナログ信号Vrと比較し、比較結果を出力する。制御回路13は、比較結果に基づいて、2ビット目(b2)のビット値を決定する。例えば、VinがVrより大きければb2を“1”に、VinがVrより小さければb2を“0”に決定する。図2では、b2は“1”である。
以下、VrがVinに近づくように3ビット目以降のビット値を順次決定し、nビット目(ここでは8ビット目)のビット値が決定されると、VrがVinにもっとも近づいた状態になるので、デジタル信号をAD変換値として出力する。
以上説明した参照アナログ信号Vrを変化させる幅を、前のステップで変化させた幅の1/2に減少させながらVrをVinに近づけるように変化させるアルゴリズムは、2進アルゴリズムと呼ばれる。
上記のように、DA変換器を利用するSAR ADCでは、近似するデジタル値を算出する信号処理が電圧で行われる。一般的なSAR ADCでは、動作速度がDA変換器の出力の整定時間により制限されるため高速化が難しく、高速化するために駆動能力の大きな素子を使用すると、消費電力が増大するという問題があった。
非特許文献1および2は、サイクル時間を短くし、DA変換器の出力の整定が不十分な状態で比較を行うことに起因する整定誤差を、非2進アルゴリズムを適用することで許容する方式を提案している。この方式では、2進アルゴリズムよりステップ数が多くなるが、サイクル時間が短くなるので、全体としては高速化することができる。
しかし、この方式ではステップ数が多くなるので、ダイナミックコンパレータを使用すると、ステップ数の増加分だけ消費電力が増加してしまうという問題がある。
なお、非特許文献3は、DA変換器を使用したSAR ADCにおける非2進(冗長)アルゴリズムについて記載している。
一方、DA変換器の出力の整定時間が長いという問題を解決するため、近年、非特許文献4および5は、高速動作および低消費電力を実現できるSAR ADCとして、電荷共有(Charge-Sharing)SAR ADCを提案している。電荷共有SAR ADCでは、近似するデジタル値を算出する信号処理が電荷で行われる。電荷共有SAR ADCの構成および動作について図を参照して説明する。
図3は、アナログ入力信号Vinの電圧をnビットのAD変換デジタル信号に変換して出力する電荷共有SAR ADCの構成を示す図である。図3に示すように、電荷共有SAR ADCは、入力信号容量Csと、複数の参照容量回路16−1…16−n−1と、コンパレータ12と、制御回路17と、を備える。
入力信号容量Csは、一方の端子(入力端子)がスイッチSW1を介してアナログ入力信号Vinの入力端子に接続され、他方の端子(基準端子)が基準電位(ここではGND)の電源に接続される。
参照容量回路16−1は、参照容量C1と、参照容量C1の一方の端子を参照電圧Vrefの電源に接続するスイッチSW11と、参照容量C1の他方の端子を基準電位GNDの電源に接続するスイッチSW12と、参照容量C1の一方の端子を入力信号容量Csの入力端子に接続するスイッチSW13と、参照容量C1の他方の端子を入力信号容量Csの基準端子(ここではGND)に接続するスイッチSW14と、参照容量C1の他方の端子を入力信号容量Csの入力端子に接続するスイッチSW15と、参照容量C1の一方の端子を入力信号容量Csの基準端子(ここではGND)に接続するスイッチSW16と、を備える。このような構成により、SW13〜SW16を開状態にし、SW11およびSW12を閉状態にすることにより、参照容量C1は、参照電圧源Vrefに充電される。さらに、参照容量C1は、SW11、SW12、SW15およびSW16を開状態にし、SW13およびSW14を閉状態にすることにより、一方の端子が入力信号容量Csの入力端子に、他方の端子が入力信号容量Csの基準端子に接続される順接続状態になり、SW11〜SW14を開状態にし、SW15およびSW16を閉状態にすることにより、一方の端子が入力信号容量Csの基準端子に、他方の端子が入力信号容量Csの入力端子に接続される逆接続状態になる。
他の参照容量回路16−2〜16−n−1は、参照容量回路16−1と同じ構成を備えるが、参照容量C1〜Cn−1の容量値が異なる。参照容量Cn−1〜C1および入力信号容量Csの容量値は、1:2:4…2n−2:2n−1、すなわち2の累乗の比率に設定される。
コンパレータ12は、入力信号容量Csの入力端子の電圧が、基準電位(GND)より高いか低いかを判定する。
制御回路17は、コンパレータ12の判定結果に基づいて、入力信号容量Csの入力端子の電圧が基準電位GNDに近づくように、参照容量回路16−1〜16−n−1を、接続状態を選択しながら順次入力信号容量Cs接続し、すべての参照容量回路16−1〜16−n−1の入力信号容量Csへの接続がすべて終了した時の参照容量回路16−1〜16−n−1の接続状態および最後の判定結果から、アナログ入力信号の電圧に対応するAD変換値を算出する。
図4から図6は、図3の電荷共有SAR ADCの動作を説明する図である。ここでは、説明を簡単にするために、n=3の場合、すなわち3ビットの場合を例として説明する。したがって、2個の参照容量回路16−1および16−2が設けられ、参照容量C2、C1および入力信号容量Csの容量値は、1:2:4であり、C、2C、4Cで表す。また、この電荷共有SAR ADCがデジタル変換できるアナログ入力信号Vinは、+Vrefから−Vrefの範囲であり、この範囲外のVinは“111”または“000”になる。
電荷共有SAR ADCの動作を、図4から図6を参照して説明する。
まず、サンプリングステップを行う。サンプリングステップでは、図4の(A)に示すように、SW1を閉状態にして入力信号容量Csにアナログ入力信号Vinを印加すると共に、参照容量回路16−1、16−2において、SW11およびSW12を閉状態に、SW13〜SW16を開状態にして、参照容量C1、C2に参照電圧Vrefを印加する。この後、SW1を開状態に、SW11およびSW12を開状態にする。これにより、入力信号容量Csには、Qin=4C×Vinの電荷が蓄積され、参照容量C1およびC2に、2C×VrefおよびC×Vrefが蓄積される。
第1比較ステップでは、図4の(B)に示すように、コンパレータ12が、入力信号容量Csの入力端子の電圧が、GNDより高いか低いかを判定する。
第2比較ステップでは、第1比較ステップの判定結果が“1”の場合、図5の(A)に示すように、参照容量回路16−1のSW15およびSW16を閉状態にし、参照容量C1の一方の端子が入力信号容量Csの基準端子に、参照容量C1の他方の端子が入力信号容量Csの入力端子に接続される逆接続状態で接続される。これにより、入力信号容量Csおよび参照容量C1に蓄積された電荷の合計Qx=4C×Vin−2C×Vrefとなり、基準端子の電圧Vx=Qx/(4C+2C)=(4×Vin−2×Vref)/6となる。この状態で、コンパレータ12が比較を行う。
また、第1比較ステップの判定結果が“0”の場合、図5の(B)に示すように、参照容量回路16−1のSW13およびSW14を閉状態にし、参照容量C1の一方の端子が入力信号容量Csの入力端子に、参照容量C1の他方の端子が入力信号容量Csの基準端子に接続される順接続状態で接続される。これにより、入力信号容量Csおよび参照容量C1に蓄積された電荷の合計Qx=4C×Vin+2C×Vrefとなり、基準端子の電圧Vx=Qx/(4C+2C)=(4×Vin+2×Vref)/6となる。この状態で、コンパレータ12が比較を行う。
第3比較ステップでは、第2比較ステップの判定結果が“1”の場合、図6の(A)に示すように、参照容量回路16−2のSW15およびSW16を閉状態にし、参照容量C2の一方の端子が入力信号容量Csの基準端子に、参照容量C2の他方の端子が入力信号容量Csの入力端子に接続される逆接続状態で接続される。第2比較ステップを行った時の入力信号容量Csおよび参照容量C1に蓄積された電荷の合計をQx2とすると、この参照容量C2により、Qx=Qx2−C×Vrefとなり、基準端子の電圧Vx=Qx/(4C+2C+C)=(Qx2−C×Vref)/7となる。この状態で、コンパレータ12が比較を行う。
また、第2比較ステップの判定結果が“0”の場合、図6の(B)に示すように、参照容量回路16−2のSW13およびSW14を閉状態にし、参照容量C2の一方の端子が入力信号容量Csの入力端子に、参照容量C2の他方の端子が入力信号容量Csの基準端子に接続される順接続状態で接続される。これにより、Qx=Qx2+C×Vrefとなり、基準端子の電圧Vx=Qx/(4C+2C+C)=(Qx2+C×Vref)/7となる。この状態で、コンパレータ12が比較を行う。
ここで、Vinの具体的な電圧値を例として説明を行う。図7は、0(GND)<Vin<+Vref/4である場合の入力端子の電圧Vxの変化例を説明する図であり、この場合のデジタル変換値は“100”であることが正しい変換結果である。
第1比較ステップの時には、図7の(A)に示すように、入力信号容量Csに蓄積された電荷Qx=4C×Vinであり、基準端子の電圧Vx=Qx/4C=Vinとなり、0(GND)<Vin<+Vref/4であるから、判定結果は“1”となる。
第2比較ステップの時には、図7の(B)に示すように、Qx=4C×Vin−2C×Vref、Vx=(4×Vin−2×Vref)/6であり、0(GND)<Vin<+Vref/4であるから、判定結果は“0”となる。
第3比較ステップの時には、図7の(C)に示すように、Qx=4C×Vin−2C×Vref−C×Vref=(4×Vin−3×Vref)C、Vx=(4×Vin−3×Vref)/7であり、0(GND)<Vin<+Vref/4であるから、判定結果は“0”となる。
以上のようにして、変換デジタル値は“100”になる。
上記の電荷共有SAR ADCでは、参照容量Cn−1〜C1および入力信号容量Csの容量値は、1:2:4…2n−2:2n−1、すなわち2の累乗の比率に設定される。
F.Kuttner "A 1.2V 10b 20MS/S Non-Binary Successive Approximation ADC in 0.13um CMOS"Tech. Digest of ISSCC (Feb. 2002) M.Hesener, T.Eichler, A.Hanneberg, D.Herbison, F.Kuttner, H.Wenske"A 14b 40MS/s Redundant SAR ADC with 480MHz Clock in 0.13um CMOS"Tech. Digest of ISSCC (Feb. 2007) T.Ogawa, H.Kobayashi, M.Hotta, Y.Takahashi, H.San, N.Takai "SAR ADC Algorithm with Redundancy", IEEE Asia Pacific Conference on Circuits and Systems, Macao, pp.268-271, Dec. 2008 J.Craninckx and G.Van der Plas, "A 65fJ/Conversion-Step 0-to-50MS/s 0-to-0.7mW 9b Charge-Sharing SAR ADC in 90nm Digital CMOS", ISSCC Dig. Tech. Papers, pp. 246-247, Feb. 2007 V.Giannini, P.Nuzzo, V.Chironi, A.Baschirotto, G.V.Plas, J.Craninckx, "An 820uW 9b 40MS/s Noise-Tolerant Dynamic-SARADC in 90nm Digital CMOS", ISSCC (Feb. 2007)
一般のSAR ADCでは、すべてのステップで高消費電力、低ノイズのコンパレータを使用する。これに対して、非特許文献2は、電荷共有SAR ADCにおいて、前半で低消費電力および高ノイズのコンパレータを使用し、後半で高消費電力および低ノイズのコンパレータを使用し、一層の低消費電力化を図ることを提案している。提案された方式では、2進アルゴリズムの最後に1LSB遷移の冗長ステップを追加し、最初は高ノイズ・低消費電力のコンパレータを用い、最後2ステップで低ノイズ・高消費電力のコンパレータを用いている。そして、高ノイズのコンパレータのノイズによる判定誤差を、低ノイズのコンパレータを用いた最後の2ステップで補正することにより、高精度・低消費電力化を実現している。ここではコンパレータはダイナミックコンパレータを用いる。ダイナミックコンパレータは、定常電流を流さないので、動作するコンパレータのみが電力を消費する。したがって、前半の低消費電力のコンパレータを用いる期間で低消費電力化できる。
しかし、非特許文献2に提案された方式には、2個のコンパレータの間の入力換算オフセットのミスマッチにより精度が劣化するという問題がある。
図8は、非特許文献2に記載されたコンパレータの回路図である。図示のコンパレータは、広く知られたダイナミックコンパレータであるが、可変容量VRpおよびVRnを設けてオフセットを調整可能にし、2個のコンパレータ間の入力換算オフセット電圧を1/2LSB以内に調整するようにしている。
しかし、可変容量VRpおよびVRnを設けると、その分回路が複雑で大きくなり、製造工程にオフセット調整工程を設ける必要があり、その分コストが増加するという問題がある。
本発明は、簡単な構成で高速性、高精度および低消費電力を満たすSAR ADCを実現することを目的とする。
本発明によれば、上記問題を解決するため、2個のオフセットのあるコンパレータを途中で切り換えて使用するSAR(Successive Approximation Register)アナログ−デジタル変換器(ADC)に、非2進アルゴリズムを適用する。
すなわち、本発明を、DA変換器を有するSARアナログ−デジタル変換器に適用した第1の態様によれば、SARアナログ−デジタル変換器は、多ビットデジタル信号に応じて参照アナログ信号を出力するデジタル−アナログ変換器と、入力アナログ信号を参照アナログ信号と比較する第1のコンパレータと、入力アナログ信号を参照アナログ信号と比較する第2のコンパレータと、第1のコンパレータと第2のコンパレータの一方の比較結果を選択する選択回路と、選択した比較結果に基づいて、複数のステップで、参照アナログ信号が入力アナログ信号に近づくように多ビットデジタル信号を順に変化させる制御回路と、を備えるアナログ−デジタル変換器であって、制御回路は、複数のステップの途中の中間ステップまで第1のコンパレータの比較結果を選択し、中間ステップ以後は第2のコンパレータの比較結果を選択するように選択回路を制御し、多ビットデジタル信号のビット値を、非2進アルゴリズムに従って変化させることを特徴とする。
また、本発明を、電荷共有SARアナログ−デジタル変換器に適用した第2の態様によれば、サンプリング時にアナログ入力信号が印加される入力端子と、基準電位に接続される基準端子と、を有し、サンプリング時に印加されるアナログ入力信号の電圧に対応した電荷量を保持する入力信号容量と、サンプリング時に印加される参照電圧の電圧に対応した電荷量を保持する1個以上の参照容量であって、各参照容量の2つの端子は、入力信号容量の入力端子と基準端子に、順接続状態と逆接続状態のいずれかの接続状態で接続可能に構成された1個以上の参照容量と、入力信号容量の入力端子の電圧が、基準電位より高いか低いかを判定する第1のコンパレータと、入力信号容量の入力端子の電圧が、基準電位より高いか低いかを判定する第2のコンパレータと、第1のコンパレータと第2のコンパレータの一方の比較結果を選択する選択回路と、選択した比較結果に基づいて、複数のステップで、入力信号容量の入力端子の電圧が基準電位に近づくように、1個以上の参照容量の入力信号容量との接続状態を選択しながら順次接続し、判定結果からアナログ入力信号の電圧に対応するデジタル値を算出する制御回路と、を備えるアナログ−デジタル変換器であって、制御回路は、複数のステップの途中の中間ステップまで第1のコンパレータの比較結果を選択し、中間ステップ以後は第2のコンパレータの比較結果を選択するように選択回路を制御し、入力信号容量および1個以上の参照容量の容量値は、非2進で設定されていることを特徴とする。
第1および第2のコンパレータは、ダイナミックコンパレータであり、非選択時には定常電流が流れないことが望ましい。
第1のコンパレータは、第2のコンパレータに比べて、低消費電力であるが、高ノイズであり、例えば、第1のコンパレータは、第2のコンパレータに比べて、同じ回路構成を備えるが、サイズが小さい。
第1の態様によれば、制御回路は、中間ステップ以前の複数のステップでは、多ビットデジタル信号のビット値を2進アルゴリズムに従って変化させる。また、第2の態様によれば、中間ステップ以前に入力信号容量に接続される参照容量の容量値は、2進で設定されていることが望ましい。
本発明によれば、冗長な非2進アルゴリズムを適用するため、比較処理(ステップ)の回数および参照容量の個数は若干増加するが、2個のコンパレータのオフセットミスマッチの許容範囲を広くできる。
本発明によれば、高速動作可能で低消費電力のSAR ADCの精度を向上させることができる。
図1は、従来の逐次比較型ADCの構成例を示すブロック図である。 図2は、逐次比較型ADCにおける変換動作を説明する図である。 図3は、一般的な電荷共有SAR ADCの構成例を示すブロック図である。 図4は、電荷共有SAR ADCにおける変換動作を説明する図である。 図5は、電荷共有SAR ADCにおける変換動作を説明する図である。 図6は、電荷共有SAR ADCにおける変換動作を説明する図である。 図7は、電荷共有SAR ADCにおける、あるアナログ入力信号値に対する比較ステップと判定結果を説明する図である。 図8は、オフセット調整のための可変容量を備えるコンパレータの回路図である。 図9は、本発明の第1実施形態のSAR ADCの構成を示す図である。 図10は、第1実施形態のSAR ADCが備えるコンパレータ部の構成を示す図である。 図11は、第1実施形態のSAR ADCが備えるコンパレータの回路図である。 図12は、第1実施形態のSAR ADCにおける参照アナログ信号を変化させるデジタル信号の重みデータと、SAR ADCにおける動作を説明する図である。 図13は、本発明の第2実施形態のSAR ADCの構成を示す図である。 図13は、第2実施形態のSAR ADCにおける参照アナログ信号を変化させるデジタル信号の重みデータおよび許容誤差を示す図である。 図15は、本発明の第3実施形態の電荷共有SAR ADCの構成を示す図である。 図16は、第3実施形態の電荷共有SAR ADCにおける入力信号容量、複数個の参照容量およびコンパレータの部分の構成を示す図である。 図17は、第3実施形態の電荷共有SAR ADCにおける参照容量の容量値および許容誤差を示す図である。
図9は、本発明の第1実施形態の逐次比較近似アナログ・デジタル変換器(SAR ADC)の構成を示す図である。図9に示すように、第1実施形態のSAR DACは、コンパレータユニット20と、制御回路23と、DA変換器(DAC)14と、を備える。アナログ入力信号Vinは、例えば、サンプルホールド(SH)回路11で一旦保持されてコンパレータユニット20に入力される。
図10は、コンパレータユニット20の構成を示す図である。コンパレータユニット20は、第1のコンパレータ21と、第2のコンパレータ22と、コンパレータを動作状態にする信号Compを第1のコンパレータ21と第2のコンパレータ22のいずれかに印加するかを選択する動作状態選択回路24と、選択信号selectに応じて第1のコンパレータ21と第2のコンパレータ22の出力のいずれかを選択して出力する選択回路(セレクタ)25と、を備える。動作状態選択回路24は、選択信号selectに応じて、信号Compを第1のコンパレータ21と第2のコンパレータ22のいずれかに印加するかを選択する。
図11は、第1のコンパレータ21および第2のコンパレータ22の回路図である。図11のコンパレータは、図8の従来例のコンパレータと類似の回路構成を有するダイナミックコンパレータであるが、可変容量VRpおよびVRnは設けられていないことが異なる。第1のコンパレータ21と第2のコンパレータ22は同じ回路構成を有するが、第1のコンパレータ21のサイズは第2のコンパレータ22のサイズより小さい。第1のコンパレータ21は、サイズが小さいため、第2のコンパレータ22に比べて消費電力は小さいが、ノイズが大きい。図11のコンパレータは、信号Compが印加される時には定常電流が流れ高速で比較動作を行うが、信号Compが印加されない時には動作せず、定常電流も流れないために消費電力はほぼゼロになる。
図9に戻って、制御回路23は、図1の制御回路13と同様に、逐次比較近似を行うようにDAC14に与えるデジタル信号を変化させるが、変化させるシフト重みを非2進で変化させること、および使用するコンパレータを途中で第1のコンパレータ21から第2のコンパレータ22に切り換えるように選択信号selectを発生することが異なる。
図12は、第1実施形態のSAR DACが5ビットDACであるとした場合の動作例を説明する図である。5ビットであるから、AD変換値は、0から31の32レベルを有する。
シフト重みが2進の場合、5ビットDACであれば比較動作は5ステップ行うが、第1実施形態のSAR DACでは、図12の(A)に示すように、比較動作を6ステップ行う。そして、第1から第3ステップでは、低消費電力であるが高ノイズの第1のコンパレータ21を使用し、第4から第6ステップでは、高消費電力であるが低ノイズの第2のコンパレータ22を使用する。図10において、第1から第3ステップでは、動作状態選択回路24が信号Compを第1のコンパレータ21に供給し、セレクタ25が第1のコンパレータ21の出力を選択する。第1から第3ステップの間、第2のコンパレータ22は非動作状態である。第4から第6ステップでは、動作状態選択回路24が信号Compを第2のコンパレータ22に供給し、セレクタ25が第2のコンパレータ22の出力を選択する。第4から第6ステップの間、第1のコンパレータ21は非動作状態である。
図12の(A)に示すように、第1ステップの比較レベルは、16であり、第2から第6ステップのシフト重みは6、4、2、2、1であり、非2進で設定されている。図12の(A)では、Vinのレベルが23と24の間で、エラーが無いとした場合の判定結果および比較レベルの変化を示している。この時、判定結果は、第1から第6ステップで“1”、“1”、“0”、“0”、“1”、“1”である。第1ステップの比較レベルが16であり、第1ステップの判定結果が“1”であり、第2ステップのシフト重みが6であるので、第2ステップの比較レベルは、16+6=22となる。第2ステップの比較レベルが22であり、第2ステップの判定結果が“1”であり、第3ステップのシフト重みが4であるので、第3ステップの比較レベルは、22+4=26となる。以下同様に、第4から第6ステップの比較レベルは、24、22、23と変化する。
図12の(B)は、Vinのレベルが23と24の間で、エラーが無いとした場合の判定結果および比較レベルの変化を図示している。AD変換値は、上記の比較レベルの変化を演算し、最後のステップの判定結果が“1”であれば最後のステップの比較レベルをAD変換値とし、最後のステップの判定結果が“0”であれば最後のステップの比較レベルから1減じたレベルがAD変換値になる。従って上記の場合には、第6ステップの比較レベルが23であり、第6ステップの判定結果が“1”であるので、AD変換値は23になる。
図12の(C)は、第1のコンパレータ21のオフセットと第2のコンパレータ22のオフセットが異なるオフセットミスマッチがあるとした場合の判定結果および比較レベルの変化を示している。最終的な判定は第2のコンパレータ22の出力を利用して行われるので、オフセットミスマッチの影響は、第1のコンパレータ21の比較レベルが第2のコンパレータ22の比較レベルから異なるという形で現れる。図12の(C)は、第1のコンパレータ21の比較レベルが第2のコンパレータ22の比較レベルより2レベル高くなるとした場合の判定結果および比較レベルの変化例を示している。第1から第3ステップにおける比較レベルは、第4から第6ステップに比べて2レベル高くなるので、第1ステップの比較レベルは16から18になる。Vinがレベル23であれば判定結果は“1”である。第2ステップの比較レベルは22であるが、オフセットミスマッチのために24になり、Vinがレベル23であるので判定結果は“0”になり、エラーが発生する。この場合、第3ステップの比較レベルは18であるが、オフセットミスマッチのために20になり、判定結果は“1”になる。この状態で、第2のコンパレータ22に切り換えられる。第4ステップの比較レベルは20であり、オフセットミスマッチがなくなるため比較レベルは20であり、判定結果は“1”になる。第5ステップでは、比較レベルは22になり、判定結果は“1”になる。第6ステップでは、比較レベルは23になり、判定結果は“1”になる。上記のように、最終ステップの判定結果が“1”の場合には、最終ステップの比較レベルがAD変換値になるので、AD変換値は23になる。
図12の(C)で説明したように、第1実施形態では、第1のコンパレータ21から第2のコンパレータ22に切り換えた場合のオフセットミスマッチが存在しても許容範囲内であれば、非2進アルゴリズムを適用するので、正しいAD変換値を演算することができる。
以上説明したように、第1実施形態では、前側のステップでは低消費電力だが高ノイズの第1のコンパレータを使用し、後側のステップでは高消費電力だが低ノイズの第2のコンパレータを使用するので、全ステップで高消費電力・低ノイズのコンパレータを使用する従来例に比べて消費電力を低減でき、非2進アルゴリズムを適用するので、第1のコンパレータと第2のコンパレータのオフセットミスマッチの影響を吸収して正しいAD変換値を演算できる。
図13は、本発明の第2実施形態の10ビットSAR ADCの構成を示す図である。
第2実施形態の10ビット電荷共有SAR ADCは、DAC14と、コンパレータユニット20と、タイミング発生回路35と、Cレジスタ36と、メモリー38と、加算器39と、減算器40と、マルチプレクサ41と、Aレジスタ42と、AD_outレジスタ43と、を備える。サンプルホールド回路(SH)11、DAC14およびコンパレータユニット20は、第1実施形態と同じであり、コンパレータユニット20は、第1のコンパレータ21と、第2のコンパレータ22と、を有する。タイミング発生回路35、Cレジスタ36、メモリー38、加算器39、減算器40、マルチプレクサ41、Aレジスタ42およびAD_outレジスタ43が、第1実施形態の制御回路23に相当する部分を形成する。
タイミング発生回路35は、リセット信号ResetおよびクロックCLKを受けて、各部を制御するタイミング信号sample_CLK, Comp, select, CR_CLK, address1-11, AR_Reset, AR_CLK, AD_out_CLKを発生して出力する。
信号sample_CLKは、サンプリング期間オンになる信号である。サンプルホールド回路(SH)11は、信号sample_CLKに応じてアナログ入力信号Vinを取り込んで保持する。
コンパレータユニット20は、信号compおよびselectに応じて、動作状態にするコンパレータを選択してその比較結果を出力する。
Cレジスタ36は、信号CR_CLKに応じてコンパレータユニット20の出力をラッチしてComp_outとして出力する。
メモリー38は、ROMで構成され、シフト重み値を信号address1-10に対応させて記憶しており、入力された信号address1-10に応じて記憶された値を出力する。また、メモリー38は、信号address11に対応させて、加算器39には“0”を、減算器40には“1”を出力するように値を記憶している。
加算器39は、Aレジスタ42の出力値にメモリー38の出力値を加算してマルチプレクサ41に出力し、減算器40は、Aレジスタ42の出力値からメモリー38の出力値を減算してマルチプレクサ41に出力する。
マルチプレクサ41は、Cレジスタ36の出力する判定結果に基づいて加算器39または減算器40の出力の一方を選択して出力する。
Aレジスタ42は、信号AR_Resetに応じてあらかじめ設定されている初期値を出力し、それ以降信号AR_CLKに応じてマルチプレクサ61の出力をラッチし、DAC14、加算器39および減算器40に出力する。
AD_outレジスタ43は、AD_out_CLKに応じてマルチプレクサ41の出力をラッチし、Ad変換値として出力する。
図14は、第2実施形態において、DAC14に与えるkステップ目の比較レベルDAC(k)、許容される1LSB換算のオフセット誤差er(k)、およびLSBで表した誤差許容値を示す。比較レベルDAC(1)は、Aレジスタ42に初期値として設定され、比較レベルDAC(2)〜DAC(11)は、メモリー38に信号address1-10に対応させて記憶される。ここでは、ステップ(k)(k=1〜6)が第1のコンパレータ21を使用する前側ステップで、ステップ(k)(k=7〜11)が第2のコンパレータ22を使用する後側ステップである。
第2実施形態の10ビットSAR ADCは、比較処理を11ステップ行い、10ビットAD変換値を演算する以外は第1実施形態と同じように動作する。動作を簡単に説明する。
サンプリング時には、SH11が信号sample_CLKに応じてアナログ入力信号Vinを取り込んで保持すると共に、Aレジスタ42が信号AR_RESETに応じてあらかじめ設定されている初期値DAC(1)を出力する。これに応じてDAC14は、DAC(1)に対応する参照アナログ信号を発生して出力する。また、コンパレータユニット20は、信号select, Compに応じて第1コンパレータ21が動作状態になり、第1コンパレータ21の判定結果が出力されるように設定する。
第1比較ステップでは、VinとDAC(1)に対応する参照アナログ信号が比較される。この時、メモリー38は、DAC(2)を出力しており、加算器39はDAC(1)+DAC(2)を、減算器40はDAC(1)−DAC(2)を出力している。マルチプレクサ41は、比較結果に基づいて、加算器39または減算器40の出力を選択して出力する。Aレジスタ42は、マルチプレクサ41の出力をラッチし、DAC14、加算器39および減算器40に出力する。したがって、Aレジスタ42は、第2比較ステップの比較レベルに相当するDAC(1)+DAC(2)またはDAC(1)−DAC(2)を出力する。
第2比較ステップでは、VinとDAC(1)+DAC(2)またはDAC(1)−DAC(2)に対応する参照アナログ信号が比較され、第3比較ステップの比較レベルが演算される。
以下、第11比較ステップまで同様の動作が繰り返される。
第6比較ステップが終了すると、タイミング発生回路35は、信号selectを変化させ、これに応じてコンパレータユニット20は、第2コンパレータ22が動作状態になり、第2コンパレータ22の判定結果が出力されるように設定する。
最終の第11比較ステップでは、メモリー38は、加算器39に“0”を、減算器40に “1”を出力しており、加算器39は、Aレジスタ42の出力する第11比較ステップの比較レベルに0を加算して、すなわち第11比較ステップの比較レベルを出力し、減算器40は、第11比較ステップの比較レベルから1を減じた値を出力する。マルチプレクサ41は、第11比較ステップの比較結果に応じて加算器39または減算器40を選択して出力し、AD_outレジスタ43は、AD_out_CLKに応じてマルチプレクサ41の出力をラッチし、AD変換値として出力する。
以上で、AD変換処理が終了する。
ここで、図14に示した比較レベルを決定するアルゴリズムを説明する。
まず、コンパレータオフセットによる誤差を見積もる。第1のコンパレータ21の入力換算オフセットをVos1、第2のコンパレータ22の入力換算オフセットをVos2とする。非2進の冗長アルゴリズムでは、最終ステップを基準に誤差を考えるので、前側ステップの比較においては、Vos1−Vos2の誤差があることになる。そして、Vos2がADC全体のオフセットになる。前側ステップでノイズの大きい第1のコンパレータ21を使用するため、冗長アルゴリズムはオフセット誤差とノイズを補正できるように設計する必要がある。
例えば、10ビットで、第1のコンパレータ21は、オフセット+4LSBでノイズの3σ=1LSB、第2のコンパレータ22は、オフセット−2LSBでノイズの3σ=0.2LSBとする。第2実施形態のアルゴリズムでは、第7〜第11比較ステップでノイズの小さい第2のコンパレータ22を使用している。誤差許容地が8LSBなので、2個のコンパレータのオフセットミスマッチとノイズの合計が±8LSB以内であれば補正可能である。また、出力の階調が−8〜+1031であるから第2のコンパレータ22のオフセットが±8LSB以内であれば、出力が飽和することなく1024階調で出力される。最終デジタル変換値からオフセット分を減算すればオフセットを補正できる。
2個のコンパレータを使用する場合、前側ステップで使用する第1のコンパレータの比較処理で各ステップの誤差が均等になる。このような場合は、比較レベルを2進で重み付けし、許容したい誤差に応じて同じ重みの比較レベルを2つにし、そのステップの比較処理から第2のコンパレータ22に切り換えるとよい。
以上のようなアルゴリズムに従って、図14のDAC(k)を決定した。
図15は、本発明の第3実施形態の10ビット電荷共有SAR ADCの構成を示す図であり、図16は、第3実施形態の電荷共有SAR ADCにおける入力信号容量、複数個の参照容量およびコンパレータの部分の構成を示す図である。
図15に示すように、第3実施形態の電荷共有SAR ADCは、C_array52およびコンパレータユニット20を有する比較処理部51と、タイミング発生回路55と、Cレジスタ56と、シフトレジスタ57と、メモリー58と、加算器59と、減算器60と、マルチプレクサ61と、Aレジスタ62と、AD_outレジスタ63と、を備える。比較処理部51を除く部分が、図3の制御回路17に相当する部分を形成する。
図16に示すように、C_array52は、スイッチSW1と、入力信号容量Csと、10個の参照容量回路53−1…53−10と、を備える。図16に示すように、各参照容量回路の構成は、図3に示した従来の電荷共有SAR ADCと同じ構成を有する。しかし、従来のnビット電荷共有SAR ADCは、n−1個、すなわち10ビットの場合は9個の参照容量回路を備えるのに対して、本実施形態の10ビット電荷共有SAR ADCは、10個の参照容量回路を備え、10個の参照容量回路に設けられる参照容量C0〜C10の容量値が、非2進アルゴリズムに従って設定されていることが図3に示した従来の電荷共有SAR ADCと異なる。参照容量回路は、10個設けられているため、比較ステップは11ステップ行われることになる。参照容量回路53−1…53−10のスイッチSW11およびSW12は、信号sample_CLKにより制御され、スイッチSW13〜SW16は、シフトレジスタ57の出力する信号SR_outで制御される。
図17は、参照容量C1〜C10(C(k)(k=1〜9))の容量値Cu(k)、許容される1LSB換算のオフセット誤差er(k)、およびLSBで表した誤差許容値を示す。容量値Cu(k)は、C10の容量値を1として相対値で示す。なお、入力信号容量Csの容量値は、C10の容量値の512倍で、C10の容量値をCとすると、512Cである。図17に示した参照容量の容量値Cu(k)の設定については後述する。
図15に戻り、タイミング発生回路55は、リセット信号ResetおよびクロックCLKを受けて、各部を制御するタイミング信号sample_CLK, SR_Reset, SR_CLK, Comp, CR_CLK, address1-11, AR_Reset, AR_CLK, AD_out_CLKを発生して出力する。
sample_CLKは、サンプリング期間オンになる信号で、図16のSW1および各参照容量回路のスイッチSW11、SW12は、sample_CLKがオンの期間閉状態になり、それ以外の期間は開状態になる。
コンパレータユニット20は、信号compおよびselectに応じて、動作状態にするコンパレータを選択してその比較結果を出力する。
Cレジスタ56は、信号CR_CLKに応じてコンパレータユニット20の出力をラッチしてComp_outとして出力する。
シフトレジスタ57は、信号SR_Resetに応じて保持している値をリセットした後、信号SR_CLKに応じてCレジスタ56の出力を順に取り込んでレジスタに格納し、信号SR_outとして出力する。
メモリー58は、ROMで構成され、入力信号容量Csおよび参照容量C1〜C10の容量値に対応する値を信号address1-10に対応させて記憶しており、入力された信号address1-10に応じて記憶された値を出力する。また、メモリー58は、信号address11に対応させて、加算器59には“0”を、減算器60には“1”を出力するように値を記憶している。
加算器59は、Aレジスタ62の出力値にメモリー58の出力値を加算してマルチプレクサ61に出力し、減算器60は、Aレジスタ62の出力値からメモリー58の出力値を減算してマルチプレクサ61に出力する。
マルチプレクサ61は、Cレジスタ56の出力する判定結果に基づいて加算器59または減算器60の出力の一方を選択して出力する。
Aレジスタ62は、信号AR_Resetに応じてあらかじめ設定されている初期値を出力し、それ以降信号AR_CLKに応じてマルチプレクサ61の出力をラッチし、加算器59および減算器60に出力する。
AD_outレジスタ63は、AD_out_CLKに応じてマルチプレクサ61の出力をラッチし、デジタル変換値として出力する。
次に、実施形態の10ビット電荷共有SAR ADCの動作を説明する。実施形態の電荷共有SAR ADCは、1回のサンプリングステップと11回の比較ステップを行い、各ステップは1クロックで行われる。前述のように、従来の10ビット電荷共有SAR ADCは、9個の参照容量回路を備えており、1回のサンプリングステップと10回の比較ステップを行うのに対して、実施形態の10ビット電荷共有SAR ADCは、10個の参照容量回路53−1…53−10を備えており、11回の比較ステップを行う。10個の参照容量回路53−1…53−10は、10個の参照容量C1〜C10を備えており、参照容量C1〜C10の容量値は、図17に示すように、非2進アルゴリズムに従って重み付けされている。また、第6比較ステップが終了すると、タイミング発生回路55は、信号selectを変化させ、これに応じてコンパレータユニット20は、第2コンパレータ22が動作状態になり、第2コンパレータ22の判定結果が出力されるように設定する。
まず、信号Resetに応じて、サンプリングステップを行う。サンプリングステップでは、従来例と同様に、SW1を閉状態にして入力信号容量Csにアナログ入力信号Vinを印加すると共に、参照容量回路53−1…53−10において、SW11およびSW12を閉状態に、SW13〜SW16を開状態にして、参照容量C1〜C10に参照電圧Vrefを印加する。この後、SW1を開状態に、SW11およびSW12を開状態にする。これにより、入力信号容量Csには、Qin=512C×Vinの電荷が蓄積され、参照容量C1〜C10に、Cu(k)×Vref(k=1〜10)が蓄積される。さらに、Aレジスタ62は、初期値512、すなわち10ビットのデジタル値の中間値を出力するように設定される。また、コンパレータユニット20は、信号select, Compに応じて第1コンパレータ21が動作状態になり、第1コンパレータ21の判定結果が出力されるように設定する。
第1比較ステップでは、第1コンパレータ21が、入力信号容量Csの入力端子の電圧が、GNDより高いか低いかを判定する。この時、メモリー58は、1番目のアドレスに記憶されたC1のCu(1)=256を出力し、加算器59はAレジスタ62の出力する初期値512に256を加算した値768を、減算器60はAレジスタ62の出力する初期値512から256を減算した値256を、それぞれ出力する。マルチプレクサ61は、判定結果が“高(1)”の場合は加算器59の出力する値768を、判定結果が“低(0)”の場合は減算器60の出力する値256を選択し、Aレジスタ62は、マルチプレクサ61の出力する値をラッチして出力する。
第2比較ステップでは、第1比較ステップの判定結果が“1”の場合、参照容量回路53−1のSW15およびSW16を閉状態にし、参照容量C1の一方の端子が入力信号容量Csの基準端子に、参照容量C1の他方の端子が入力信号容量Csの入力端子に接続される逆接続状態で接続される。これにより、入力信号容量Csおよび参照容量C1に蓄積された電荷の合計Qx=512C×Vin−256C×Vrefとなり、基準端子の電圧Vx=Qx/(512C+256C)=(512×Vin−256×Vref)/768となる。この状態で、第1のコンパレータ21が比較を行う。
また、第1比較ステップの判定結果が“0”の場合、参照容量回路23−1のSW13およびSW14を閉状態にし、参照容量C1の一方の端子が入力信号容量Csの入力端子に、参照容量C1の他方の端子が入力信号容量Csの基準端子に接続される順接続状態で接続される。これにより、入力信号容量Csおよび参照容量C1に蓄積された電荷の合計Qx=512C×Vin+256C×Vrefとなり、基準端子の電圧Vx=Qx/(512C+256C)=(512×Vin+256×Vref)/768となる。この状態で、第1のコンパレータ21が比較を行う。
この時、メモリー58は、2番目のアドレスに記憶されたC2のCu(2)=128を出力し、加算器59はAレジスタ62の出力する値(768または256)に128を加算した値(896または384)を、減算器60はAレジスタ62の出力する値(768または256)から128を減算した値(640または128)を、それぞれ出力する。マルチプレクサ61は、判定結果が“高(1)”の場合は加算器59の出力する値(896または384)を、判定結果が“低(0)”の場合は減算器30の出力する値(640または128)を選択し、Aレジスタ62は、マルチプレクサ61の出力する値をラッチして出力する。
以下、第3比較ステップから第11比較ステップで、参照容量C2〜C10が前のステップの判定結果に応じて入力容量Csに接続され、ステップに応じてメモリー58の出力するCu(3)〜Cu(10)を、前の比較ステップでAレジスタ32に保持された値に対して加算または減算を繰り返し、デジタル変換値が生成される。
上記のように、第6比較ステップが終了すると、タイミング発生回路55は、信号selectを変化させ、これに応じてコンパレータユニット20は、第2コンパレータ22が動作状態になり、第2コンパレータ22の判定結果が出力されるように設定する。
最終の第11比較ステップでは、メモリー58は、加算器59に“0”を、減算器60に “1”を出力しており、加算器59は、Aレジスタ62の出力する第11比較ステップの比較レベルをそのまま出力し、減算器60は、第11比較ステップの比較レベルから1を減じた値を出力する。マルチプレクサ61は、第11比較ステップの比較結果に応じて加算器59または減算器60を選択して出力し、AD_outレジスタ63は、AD_out_CLKに応じてマルチプレクサ61の出力をラッチし、AD変換値として出力する。
以上でAD変換処理が終了する。
次に、参照容量C1〜C10の容量値を設定する補正アルゴリズムを説明する。
この場合、各ステップでのオフセットを計算し、最終ステップとの差を誤差とする。各ステップの電荷換算オフセットQos(k)は、第1のコンパレータ21を使用する前側ステップでは、次の式で表される。
Figure 2011120011
また、電荷換算オフセットQos(k)は、第2のコンパレータ22を使用する後側ステップでは、次の式で表される。
Figure 2011120011
第1のコンパレータ21のオフセットバラツキが±aVの範囲、第2のコンパレータ22のオフセットバラツキが±bVの範囲の時、前側ステップでのオフセットによる電荷換算誤差Qerは次の式で表される。
Figure 2011120011
さらに、第1のコンパレータ21のノイズVno1の3σをcVとすると、前側のステップでの比較における誤差は次の式で表される。
Figure 2011120011
後側での比較における電荷共有に関する誤差が十分に小さい場合は、2個のコンパレータを用いた場合と同様に前側ステップでの比較における誤差(a+b+c)*Csum(M)を許容できるように、同じ重み付けの参照容量を2個設けることで補正できる。
図17の参照容量の重み付けは、10ビット、Vin=−1V〜+1V、Vref=1V、Cs=512C、第1のコンパレータ21は、オフセット+8mVでノイズの3σ=1mV、第2のコンパレータ22は、オフセット−7mVでノイズの3σ=0.2mVとし、上記のアルゴリズムに従ってCu(k)を決定した。
以上、本発明の実施形態を説明したが、記載した実施形態は発明を説明するためのもので、当業者には、特許請求の範囲において各種の変形例があり得ることが容易に理解可能である。
本発明は、逐次比較型AD変換回路に適用可能である。
11 サンプルホールド(SH)回路
14 DA変換器(DAC)
20 コンパレータユニット
21 第1のコンパレータ
22 第2のコンパレータ
23 制御回路
25 選択回路(セレクタ)

Claims (11)

  1. 多ビットデジタル信号に応じて参照アナログ信号を出力するデジタル−アナログ変換器と、
    入力アナログ信号を前記参照アナログ信号と比較する第1のコンパレータと、
    入力アナログ信号を前記参照アナログ信号と比較する第2のコンパレータと、
    前記第1のコンパレータと前記第2のコンパレータの一方の比較結果を選択する選択回路と、
    選択した前記比較結果に基づいて、複数のステップで、前記参照アナログ信号が前記入力アナログ信号に近づくように前記多ビットデジタル信号を順に変化させる制御回路と、を備えるアナログ−デジタル変換器であって、
    前記制御回路は、
    前記複数のステップの途中の中間ステップまで前記第1のコンパレータの比較結果を選択し、前記中間ステップ以後は前記第2のコンパレータの比較結果を選択するように前記選択回路を制御し、
    前記多ビットデジタル信号のビット値を、非2進アルゴリズムに従って変化させることを特徴とするアナログ−デジタル変換器。
  2. 前記第1のコンパレータおよび前記第2のコンパレータは、ダイナミックコンパレータである請求項1に記載のアナログ−デジタル変換器。
  3. 前記第1のコンパレータは、前記第2のコンパレータに比べて、低消費電力であるが、高ノイズである請求項1または2に記載のアナログ−デジタル変換器。
  4. 前記第1のコンパレータは、前記第2のコンパレータに比べて、同じ回路構成を備えるが、サイズが小さい請求項3に記載のアナログ−デジタル変換器。
  5. 前記制御回路は、前記中間ステップ以前の前記複数のステップでは、前記多ビットデジタル信号のビット値を、2進アルゴリズムに従って変化させる請求項1に記載のアナログ−デジタル変換器。
  6. サンプリング時にアナログ入力信号が印加される入力端子と、基準電位に接続される基準端子と、を有し、サンプリング時に印加されるアナログ入力信号の電圧に対応した電荷量を保持する入力信号容量と、
    サンプリング時に印加される参照電圧の電圧に対応した電荷量を保持する1個以上の参照容量であって、各参照容量の2つの端子は、前記入力信号容量の前記入力端子と前記基準端子に、順接続状態と逆接続状態のいずれかの接続状態で接続可能に構成された1個以上の参照容量と、
    前記入力信号容量の前記入力端子の電圧が、前記基準電位より高いか低いかを判定する第1のコンパレータと、
    前記入力信号容量の前記入力端子の電圧が、前記基準電位より高いか低いかを判定する第2のコンパレータと、
    前記第1のコンパレータと前記第2のコンパレータの一方の比較結果を選択する選択回路と、
    選択した前記比較結果に基づいて、複数のステップで、前記入力信号容量の前記入力端子の電圧が前記基準電位に近づくように、前記1個以上の参照容量の前記入力信号容量との接続状態を選択しながら順次接続し、判定結果から前記アナログ入力信号の電圧に対応するデジタル値を算出する制御回路と、を備えるアナログ−デジタル変換器であって、
    前記制御回路は、前記複数のステップの途中の中間ステップまで前記第1のコンパレータの比較結果を選択し、前記中間ステップ以後は前記第2のコンパレータの比較結果を選択するように前記選択回路を制御し、
    前記入力信号容量および前記1個以上の参照容量の容量値は、非2進で設定されていることを特徴とするアナログ−デジタル変換器。
  7. 前記第1のコンパレータおよび前記第2のコンパレータは、ダイナミックコンパレータである請求項6に記載のアナログ−デジタル変換器。
  8. 前記第1のコンパレータは、前記第2のコンパレータに比べて、低消費電力であるが、高ノイズである請求項6または7に記載のアナログ−デジタル変換器。
  9. 前記第1のコンパレータは、前記第2のコンパレータに比べて、同じ回路構成を備えるが、サイズが小さい請求項8に記載のアナログ−デジタル変換器。
  10. 前記入力信号容量および前記1個以上の参照容量の容量値は、すべて異なる請求項6から9のいずれか1項に記載のアナログ−デジタル変換器。
  11. 前記中間ステップ以前に前記入力信号容量に接続される前記参照容量の容量値は、2進で設定されている請求項1に記載のアナログ−デジタル変換器。
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