JP2011119638A - 電子部品の製造装置及び電子部品の製造方法 - Google Patents

電子部品の製造装置及び電子部品の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2011119638A
JP2011119638A JP2010105288A JP2010105288A JP2011119638A JP 2011119638 A JP2011119638 A JP 2011119638A JP 2010105288 A JP2010105288 A JP 2010105288A JP 2010105288 A JP2010105288 A JP 2010105288A JP 2011119638 A JP2011119638 A JP 2011119638A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
release film
mold
lower mold
upper mold
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2010105288A
Other languages
English (en)
Inventor
Jae Kwang Kim
クワン キム、ジェ
Chang Sub Song
サブ ソン、チャン
Jun Suk Jung
ソク ジュン、ジュン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electro Mechanics Co Ltd filed Critical Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Publication of JP2011119638A publication Critical patent/JP2011119638A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • H01L21/565Moulds
    • H01L21/566Release layers for moulds, e.g. release layers, layers against residue during moulding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

【課題】本発明は、多孔性部材に吸着固定される電子部品をモールド射出成形する電子部品の製造装置及び電子部品の製造方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例による電子部品の製造装置は、電子部品が装着される多孔性部材であって少なくとも1つからなり、上記電子部品が収容される内部空間が形成される上部及び下部金型と、上記上部及び下部金型の内部空間に離型フィルムを提供する離型フィルム提供部と、上記電子部品がモールド射出成形されるように上記内部空間にモールディング樹脂を提供するモールディング樹脂提供部と、を含むことができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、多孔性部材に吸着固定される電子部品をモールド射出成形する電子部品の製造装置及び電子部品の製造方法に関する。
一般的に、半導体基板に表面実装するための半導体チップ、固体コンデンサー等のような電子部品をモールド射出成形する方法が行われている。
関連する電子部品をモールド射出成形する電子部品の製造装置には、上部金型と下部金型からなる製造金型と、上記製造金型に供給される離型フィルム供給ユニットと、を含む。
ここで、上記上部金型には電子部品が装着され、上記下部金型にはモールディング樹脂が充填されるキャビティが形成される。
上記上部金型には、上記電子部品が装着されるために真空吸入部と連通される真空吸入孔が形成される。
また、上記モールディング樹脂が上記製造金型に付着する現象を防止するために、上記キャビティ内に離型フィルムを装着させる。上記離型フィルムを上記キャビティ内に装着させるため、真空吸入部と連通される真空吸入孔が上記下部金型に形成されるようにする。
このような電子部品の製造装置では、上記真空吸入孔において上記キャビティ内の空気を吸入する圧力により、上記電子部品の外観が扁平に維持されるのが難しいという問題点がある。
また、上記真空吸入孔に上記離型フィルムが流入された状態でモールド射出成形されるため、上記電子部品の外観が変形されるという問題点がある。
また、上記製造金型には真空吸入孔を加工しなければならないため、製造金型の製造も容易でないという問題点がある。
本発明の目的は、多孔性部材に吸着固定される電子部品をモールド射出成形する電子部品の製造装置及び電子部品の製造方法を提供することにある。
本発明の一実施例による電子部品の製造装置は、電子部品が装着される多孔性部材であって少なくとも1つからなり、上記電子部品が収容される内部空間が形成される上部及び下部金型と、上記上部及び下部金型の内部空間に離型フィルムを提供する離型フィルム提供部と、上記電子部品がモールド射出成形されるように上記内部空間にモールディング樹脂を提供するモールディング樹脂提供部と、を含むことができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記上部及び下部金型のうちいずれか1つには上記電子部品が装着され、他の1つには上記内部空間を形成するキャビティが形成されることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記上部金型及び下部金型のうち他の1つは多孔性部材からなり、上記離型フィルムは上記上部金型及び下部金型のうち他の1つにより吸入されて上記キャビティに装着されることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記電子部品は、上記上部及び下部金型のうちいずれか1つにマウントフレームを媒介として装着されることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記電子部品は、上記マウントフレームとリードフレームが接触するタンタルコンデンサーであることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記離型フィルム提供部は、離型フィルム提供ローラと上記離型フィルム巻取ローラを含み、上記離型フィルムは、上記離型フィルム提供ローラと巻取ローラのうち少なくとも1つの駆動により移送されることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記離型フィルム提供部は、エア噴射孔と真空吸入孔が形成されるプレートを含み、上記離型フィルムは、上記エア噴射孔からエアを噴射して上記内部空間に提供することができる。
他の側面において、本発明の他の一実施例による電子部品の製造装置は、電子部品が収容される内部空間が形成され、少なくとも1つには真空吸入孔が形成される上部及び下部金型と、上記上部及び下部金型のうちいずれか1つに装着され、上記電子部品が装着され、多孔性部材からなる吸着プレートと、上記上部及び下部金型の内部空間に離型フィルムを提供する離型フィルム提供部と、上記電子部品がモールド射出成形されるように上記内部空間にモールディング樹脂を提供するモールディング樹脂提供部と、を含むことができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記上部及び下部金型のうち他の1つには上記内部空間を形成するキャビティが形成されることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記上部金型及び下部金型のうち他の1つは多孔性部材からなり、上記離型フィルムは、上記上部金型及び下部金型のうち他の1つにより吸入されて上記キャビティに装着されることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記上部金型及び下部金型のうち他の1つには上記離型フィルムを吸入する真空吸入孔が形成され、上記離型フィルムが接触する上記上部及び下部金型のうち他の1つには多孔性吸着プレートが含まれることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記上部及び下部金型のうち他の1つと上記多孔性吸着プレートとの間には気体連通間隙が形成されることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記電子部品は、上記吸着プレートにマウントフレームを媒介として装着されることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記電子部品は、上記マウントフレームとリードフレームが接触するタンタルコンデンサーであることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記上部及び下部金型のうちいずれか1つと上記吸着プレートとの間には気体連通間隙が形成されることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記離型フィルム提供部は、離型フィルム提供ローラと上記離型フィルム巻取ローラを含み、上記離型フィルムは上記離型フィルム提供ローラと巻取ローラのうち少なくとも1つの駆動により移送されることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造装置の上記離型フィルム提供部は、エア噴射孔と真空吸入孔が形成されるプレートを含み、上記離型フィルムは、上記エア噴射孔からエアを噴射して上記内部空間に提供されることができる。
他の側面において、本発明の一実施例による電子部品の製造方法は、少なくとも1つが多孔性部材を含む上部金型及び下部金型を提供するステップと、上記多孔性部材に吸着されるように電子部品を配置するステップと、上記上部金型及び下部金型の間に離型フィルムを提供するステップと、上記離型フィルムをキャビティが形成された上部金型及び下部金型のうち他の1つに提供するステップと、上記離型フィルムを上記キャビティに接触配置されるようにするステップと、上記キャビティ内にモールディング樹脂を投入して合型し、上記電子部品がモールド射出成形されるようにするステップと、を含むことができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造方法において、上記上部金型及び下部金型のうちいずれか1つは上記多孔性部材からなることができる。
また、本発明の一実施例による電子部品の製造方法において、上記多孔性部材は、上記上部金型及び下部金型のうちいずれか1つに装着されることができる。
本発明による電子部品の製造装置及び電子部品の製造方法によると、製造金型を多孔性部材に製造することによって、電子部品や離型フィルムが均一な圧力で吸着されることができる。
また、製造金型に真空吸入孔が形成されないため、電子部品の製品面において、特に、製造金型に吸入される電子部品がリードフレームである場合にリードフレームを扁平に維持することができるという効果がある。
本発明の一実施例による電子部品の製造装置に概略断面図である。 図1のAの拡大図である。 キャビティに離型フィルムが吸着された状態を示した概略断面図である。 キャビティにモールディング樹脂を提供することを示した概略断面図である。 上部及び下部フィルムが合型され、電子部品がモールド射出成形される様子を示した概略断面図である。 本発明の他の一実施例による電子部品の製造装置の上部金型の様子を示した概略断面図である。 本発明の他の一実施例による電子部品の製造装置の下部金型の様子を示した概略断面図である。 本発明の他の一実施例による離型フィルム提供部を示した概略断面図である。
以下では図面を参照し、本発明の具体的な実施例を詳細に説明する。但し、本発明の思想は提示される実施例に限らず、本発明の思想を理解する当業者は同一の思想の範囲内で他の構成要素の追加、変更、削除等を通して退歩的な他の発明や本発明の思想の範囲内に含まれる他の実施例を容易に提案することができ、これも本願発明の思想の範囲内に含まれる。
また、各実施例の図面に示す同一または類似する思想の範囲内で機能が同一の構成要素は同一の参照符号を用いて説明する。
図1は、本発明の一実施例による電子部品の製造装置に概略断面図であり、図2は、図1のAの拡大図である。
また、図3は、キャビティに離型フィルムが吸着された状態を示した概略断面図であり、図4は、キャビティにモールディング樹脂を提供することを示した概略断面図であり、図5は、上部及び下部フィルムが合型され、電子部品がモールド射出成形される様子を示した概略断面図である。
図1から図5を参照すると、本発明による電子部品の製造装置10は、上部及び下部金型22、26からなる製造金型20、離型フィルム提供部30及びモールディング樹脂提供部60を含むことができる。
上記上部及び下部金型のうち少なくとも1つには電子部品25が装着され、他の1つには上記製造金型20の内部空間となるキャビティ50が形成されることができる。
本実施例では上部金型22に電子部品25が装着され、下部金型26にキャビティ50が形成される。
上記上部金型22は多孔性部材からなり、真空吸入部40と連通される。上記真空吸入部40の駆動により上記電子部品25が上記上部金型22に吸着される。上記電子部品25の個数は必要に応じて選択可能である。
ここで、上記電子部品25は、上記上部金型22にマウントフレーム24を媒介として装着されることができる。上記マウントフレーム24は、フィルムのように薄いシートからなり、表面実装のためのリードフレーム252が金型と直接接触して汚染されることを防止することができる。上記マウントフレーム24に利用される材質は、高温・高圧に耐性があるポリイミドフィルム(Polyimide film)であってもよい。上記マウントフレーム24は接着剤により上記上部金型22に接着されることができる。
また、下部金型26も多孔性部材からなることができ、離型フィルム35を吸着することができるように真空吸入部42と連通される。上記真空吸入部42は、上記離型フィルム35を吸着して上記下部金型26のキャビティ50面に吸着される。
このように上部金型22と下部金型26が多孔性部材で構成され、吸入圧力を均一化させることによって、電子部品25と離型フィルム35が変形されることを防止することができる。また、上記多孔性部材は上記電子部品25のリードフレーム252が変形されることなく、扁平に維持することができる。
上記電子部品25は、モールディングにより外観を形成する必要がある電子部品であれば特に限定されないが、表面実装がリードフレーム252からなるタンタルコンデンサーであることができる。
ここで、多孔性部材は、モールディング時に必要な条件である高温及び高圧に耐えられるセラミック材質であることができる。
上記モールディング樹脂提供部60は、上記電子部品25がモールド射出成形されるよう、上記キャビティ50内にモールディング樹脂を提供する。上記モールディング樹脂提供部60は、ケース62と上記ケース62を覆うカバー64からなることができる。上記ケース62内のモールディング樹脂は、液状型、粉末(powder)型であることができ、主にEMC(Epoxy mold compound)であることができる。
上記離型フィルム提供部30は、離型フィルム提供ローラ32と上記離型フィルム巻取ローラ34を含むことができる。上記離型フィルム35は、上記離型フィルム提供ローラ32と巻取ローラ34のうち少なくとも1つの駆動により移送されることができる。
上記離型フィルム35は、上記下部金型26上に移送されるように上記離型フィルム提供部30が配置され、上記下部金型26と連通する真空吸入部42の駆動により上記下部金型26のキャビティ50に装着されることができる。
以下では上述した電子部品の製造装置10を利用してモールド射出成形された電子部品の製造方法について説明する。
先ず、図1のように、少なくとも1つが多孔性部材を含む上部金型及び下部金型22、26を提供する。そして、上記多孔性部材からなる上部金型22に電子部品25を配置し、吸着して固定する。
また、上記上部及び下部金型22、26の間に離型フィルム35を提供する。
ここで、図3のように、上記離型フィルム35を真空吸入部42で吸着し、上記下部金型26のキャビティ50に吸着されるようにする。
そして、図4のように、モールディング樹脂を上記キャビティ50内に投入する。その後、図5のように合型し、高温及び高圧状態でモールド射出成形する。
その後、上部及び下部金型22、26を分離し、電子部品25になるようにダイシング(dicing)して製造する。
ここで、多孔性部材は、上部金型22と別途の部品からなることができ、上記上部金型22に固定されたまま上記電子部品25を吸着することができる。
図6は、本発明の他の一実施例による電子部品の製造装置の上部金型の様子を示した概略断面図である。
図6を参照すると、上部金型26は多孔性部材からなる構造ではなく、真空吸入孔222が形成される一般的な金型からなる。図6では真空吸入孔222が1つの孔として示されているが、当業者の選択によって多数個であってもよい。
但し、上記上部金型26に内側に吸着プレート70が装着され、上記吸着プレート70には上記電子部品25が吸着されることができる。
図6の実施例においても、上記電子部品25は、上記吸着プレート70にマウントフレーム24を媒介として装着されることができる。
ここで、上記上部金型22と上記吸着プレート70との間には気体連通間隙224が形成され、多孔性吸着プレート70に均一な吸入圧力がかかるようにすることができる。
それ以外の電子部品の製造装置を構成する部品については、図1から図5の実施例の説明を援用することができる。
図7は、本発明の他の一実施例による電子部品の製造装置の下部金型の様子を示した概略断面図である。
図7を参照すると、本実施例の下部金型26は多孔性部材からなる構造ではなく、真空吸入孔262が形成される一般的な金型からなる。真空吸入孔262の個数は当業者の選択によって決定される。
但し、離型フィルム35が吸着される部分を多孔性吸着プレート72として具備することによって、上記離型フィルム35を均一な圧力で吸入することができる。ここで、上記下部金型26と上記多孔性吸着プレート72との間には気体連通間隙265が形成されることができる。
図8は、本発明の他の一実施例による離型フィルム提供部を示した概略断面図である。
本実施例の離型フィルム提供部30は、ローラで移送されて金型に提供される方式ではなく、プレート36移送方式である。
上記プレート36には、上記離型フィルム35が上記プレート36に吸着されるようにする真空吸入孔362が形成されることができる。また、上記下部金型26に移送された後、エア噴射孔364によって離型フィルム35を噴射して上記下部金型26に密着されるようにする。
本発明による電子部品の製造装置及び電子部品の製造方法によると、製造金型を多孔性部材に製造することによって、電子部品や離型フィルムが均一な圧力で吸着されることができる。
また、製造金型に真空吸入孔が形成されないため、電子部品の製品面において、特に、製造金型に吸入される電子部品がリードフレームである場合にリードフレームを扁平に維持することができるという効果がある。
10 電子部品の製造装置
20 製造金型
30 離型フィルム提供部
40 真空吸入部
50 キャビティ
60 モールディング樹脂提供部

Claims (20)

  1. 電子部品が装着される多孔性部材であって少なくとも1つからなり、前記電子部品が収容される内部空間が形成される上部金型及び下部金型と、
    前記上部金型及び下部金型の内部空間に離型フィルムを提供する離型フィルム提供部と、
    前記電子部品がモールド射出成形されるように前記内部空間にモールディング樹脂を提供するモールディング樹脂提供部と、
    を含む電子部品の製造装置。
  2. 前記上部金型及び下部金型のうちいずれか1つには前記電子部品が装着され、
    他の1つには前記内部空間を形成するキャビティが形成されることを特徴とする請求項1に記載の電子部品の製造装置。
  3. 前記上部金型及び下部金型のうち他の1つは多孔性部材からなり、
    前記離型フィルムは前記上部金型及び下部金型のうち他の1つにより吸入されて前記キャビティに装着されることを特徴とする請求項2に記載の電子部品の製造装置。
  4. 前記電子部品は、前記上部金型及び下部金型のうちいずれか1つにマウントフレームを媒介として装着されることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の電子部品の製造装置。
  5. 前記電子部品は、前記マウントフレームとリードフレームが接触するタンタルコンデンサーであることを特徴とする請求項4に記載の電子部品の製造装置。
  6. 前記離型フィルム提供部は、離型フィルム提供ローラと離型フィルム巻取ローラを含み、
    前記離型フィルムは、前記離型フィルム提供ローラと前記離型フィルム巻取ローラのうち少なくとも1つの駆動により移送されることを特徴とする請求項1から5の何れか1項に記載の電子部品の製造装置。
  7. 前記離型フィルム提供部は、エア噴射孔と真空吸入孔が形成されるプレートを含み、
    前記離型フィルムは、前記エア噴射孔からエアを噴射して前記内部空間に提供する請求項1から6の何れか1項に記載の電子部品の製造装置。
  8. 電子部品が収容される内部空間が形成され、少なくとも1つには真空吸入孔が形成される上部金型及び下部金型と、
    前記上部金型及び下部金型のうちいずれか1つに装着され、前記電子部品が装着され、多孔性部材からなる吸着プレートと、
    前記上部金型及び下部金型の内部空間に離型フィルムを提供する離型フィルム提供部と、
    前記電子部品がモールド射出成形されるように前記内部空間にモールディング樹脂を提供するモールディング樹脂提供部と、を含む電子部品の製造装置。
  9. 前記上部金型及び下部金型のうち他の1つには前記内部空間を形成するキャビティが形成されることを特徴とする請求項8に記載の電子部品の製造装置。
  10. 前記上部金型及び下部金型のうち他の1つは多孔性部材からなり、
    前記離型フィルムは、前記上部金型及び下部金型のうち他の1つにより吸入されて前記キャビティに装着されることを特徴とする請求項9に記載の電子部品の製造装置。
  11. 前記上部金型及び下部金型のうち他の1つには前記離型フィルムを吸入する真空吸入孔が形成され、
    前記離型フィルムが接触する前記上部金型及び下部金型のうち他の1つには多孔性吸着プレートが含まれることを特徴とする請求項9に記載の電子部品の製造装置。
  12. 前記上部金型及び下部金型のうち他の1つと前記多孔性吸着プレートとの間には気体連通間隙が形成されることを特徴とする請求項11に記載の電子部品の製造装置。
  13. 前記電子部品は、前記吸着プレートにマウントフレームを媒介として装着されることを特徴とする請求項8から12の何れか1項に記載の電子部品の製造装置。
  14. 前記電子部品は、前記マウントフレームとリードフレームが接触するタンタルコンデンサーであることを特徴とする請求項13に記載の電子部品の製造装置。
  15. 前記上部及び下部金型のうちいずれか1つと前記吸着プレートとの間には気体連通間隙が形成されることを特徴とする請求項8から14の何れか1項に記載の電子部品の製造装置。
  16. 前記離型フィルム提供部は、離型フィルム提供ローラと離型フィルム巻取ローラを含み、
    前記離型フィルムは、前記離型フィルム提供ローラと前記離型フィルム巻取ローラのうち少なくとも1つの駆動により移送されることを特徴とする請求項8から15の何れか1項に記載の電子部品の製造装置。
  17. 前記離型フィルム提供部は、エア噴射孔と真空吸入孔が形成されるプレートを含み、
    前記離型フィルムは、前記エア噴射孔からエアを噴射して前記内部空間に提供される請求項8から16の何れか1項に記載の電子部品の製造装置。
  18. 少なくとも1つが多孔性部材を含む上部金型及び下部金型を提供するステップと、
    前記多孔性部材に吸着されるように電子部品を配置するステップと、
    前記上部金型及び下部金型の間に離型フィルムを提供するステップと、
    前記離型フィルムをキャビティが形成された上部金型及び下部金型のうち他の1つに提供するステップと、
    前記離型フィルムを前記キャビティに接触配置されるようにするステップと、
    前記キャビティ内にモールディング樹脂を投入して合型し、前記電子部品がモールド射出成形されるようにするステップと、
    を含む電子部品の製造方法。
  19. 前記上部金型及び下部金型のうちいずれか1つは前記多孔性部材からなることを特徴とする請求項18に記載の電子部品の製造方法。
  20. 前記多孔性部材は、前記上部金型及び下部金型のうちいずれか1つに装着されることを特徴とする請求項18または19に記載の電子部品の製造方法。
JP2010105288A 2009-12-01 2010-04-30 電子部品の製造装置及び電子部品の製造方法 Pending JP2011119638A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090117644A KR101101669B1 (ko) 2009-12-01 2009-12-01 전자부품 제조장치 및 전자부품 제조방법
KR10-2009-0117644 2009-12-01

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2011119638A true JP2011119638A (ja) 2011-06-16

Family

ID=44068255

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010105288A Pending JP2011119638A (ja) 2009-12-01 2010-04-30 電子部品の製造装置及び電子部品の製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20110127689A1 (ja)
JP (1) JP2011119638A (ja)
KR (1) KR101101669B1 (ja)
CN (1) CN102082103A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017183443A (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 Towa株式会社 樹脂成形装置、樹脂成形方法、フィルム搬送用ローラ及び樹脂成形装置用フィルム供給装置
JP6416996B1 (ja) * 2017-07-24 2018-10-31 アサヒ・エンジニアリング株式会社 樹脂封止装置用の封止型

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013021199A (ja) * 2011-07-13 2013-01-31 Apic Yamada Corp 樹脂吸着搬送方法及び樹脂吸着搬送装置並びに樹脂封止方法
KR101311082B1 (ko) * 2011-10-31 2013-10-15 주식회사 테크웰시스템 이형 필름 공급 유닛 및 이를 갖는 전자 부품 몰딩 장치
CN103378260A (zh) * 2012-04-24 2013-10-30 展晶科技(深圳)有限公司 发光二极管封装结构的制造方法
CN103378263A (zh) * 2012-04-27 2013-10-30 展晶科技(深圳)有限公司 发光二极管封装结构的制造方法
WO2013183671A1 (ja) 2012-06-08 2013-12-12 日立化成株式会社 半導体装置の製造方法
WO2014149926A1 (en) 2013-03-15 2014-09-25 X-Card Holdings, Llc Methods of making a core layer for an information carrying card, and resulting products
KR101416114B1 (ko) * 2013-05-31 2014-07-09 주식회사 케이엔제이 전자부품의 수지성형장치 및 방법
JP6430143B2 (ja) * 2014-04-30 2018-11-28 Towa株式会社 樹脂成形装置及び樹脂成形方法並びに成形製品の製造方法
KR102337659B1 (ko) * 2018-02-21 2021-12-09 삼성전자주식회사 금형 검사 장치 및 금형 검사 방법
CN108962770B (zh) * 2018-07-13 2020-11-10 江苏长电科技股份有限公司 单体双金属板封装结构及其封装方法
CN108922856B (zh) * 2018-07-13 2020-11-10 江苏长电科技股份有限公司 单体双金属板封装结构及其封装方法
CN108962762B (zh) * 2018-07-13 2020-10-23 江苏长电科技股份有限公司 单体双金属板封装结构及其封装方法
CN108987288A (zh) * 2018-07-13 2018-12-11 江苏长电科技股份有限公司 单体双金属板封装结构及其封装方法
CN108695172B (zh) * 2018-07-13 2020-04-28 江苏长电科技股份有限公司 单体双金属板封装结构及其封装方法
CN108695171A (zh) * 2018-07-13 2018-10-23 江苏长电科技股份有限公司 单体双金属板封装结构及其封装方法
CN108695170A (zh) * 2018-07-13 2018-10-23 江苏长电科技股份有限公司 单体双金属板封装结构及其封装方法
CN110797450A (zh) * 2019-10-29 2020-02-14 长春希龙显示技术有限公司 基于模压技术的表面一致性封装led显示单元
CN110802868A (zh) * 2019-11-27 2020-02-18 江苏新迈机械有限公司 一种光洁开模的方法
CN110815927A (zh) * 2019-11-27 2020-02-21 江苏新迈机械有限公司 一种避免开模拉伤产品的模具

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH044734U (ja) * 1990-04-25 1992-01-16
JPH07283260A (ja) * 1994-01-27 1995-10-27 “ドリー・ペー”ライセンシング・ベー・ベー 電子部品を硬化プラスチックのケースに納める方法、該方法によってケースに納められた電子部品およびこの方法を実施するための金型
JPH10189630A (ja) * 1996-12-25 1998-07-21 Towa Kk 電子部品の樹脂封止成形方法
JP2001267345A (ja) * 2000-03-21 2001-09-28 Apic Yamada Corp 樹脂封止装置及び樹脂封止方法
JP2005225133A (ja) * 2004-02-13 2005-08-25 Towa Corp 半導体チップの樹脂封止成形方法および樹脂封止成形用金型
JP2008302550A (ja) * 2007-06-06 2008-12-18 Sumitomo Heavy Ind Ltd フィルム供給機構

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3504063A (en) * 1958-05-09 1970-03-31 Jerome H Lemelson Article decoration apparatus and method
JP3619773B2 (ja) * 2000-12-20 2005-02-16 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置の製造方法
JP4268389B2 (ja) 2002-09-06 2009-05-27 Towa株式会社 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置
JP4794354B2 (ja) * 2006-05-23 2011-10-19 Okiセミコンダクタ株式会社 半導体装置の製造方法
KR100878412B1 (ko) * 2006-09-28 2009-01-13 삼성전기주식회사 탄탈륨 캐패시터

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH044734U (ja) * 1990-04-25 1992-01-16
JPH07283260A (ja) * 1994-01-27 1995-10-27 “ドリー・ペー”ライセンシング・ベー・ベー 電子部品を硬化プラスチックのケースに納める方法、該方法によってケースに納められた電子部品およびこの方法を実施するための金型
JPH10189630A (ja) * 1996-12-25 1998-07-21 Towa Kk 電子部品の樹脂封止成形方法
JP2001267345A (ja) * 2000-03-21 2001-09-28 Apic Yamada Corp 樹脂封止装置及び樹脂封止方法
JP2005225133A (ja) * 2004-02-13 2005-08-25 Towa Corp 半導体チップの樹脂封止成形方法および樹脂封止成形用金型
JP2008302550A (ja) * 2007-06-06 2008-12-18 Sumitomo Heavy Ind Ltd フィルム供給機構

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017183443A (ja) * 2016-03-30 2017-10-05 Towa株式会社 樹脂成形装置、樹脂成形方法、フィルム搬送用ローラ及び樹脂成形装置用フィルム供給装置
JP6416996B1 (ja) * 2017-07-24 2018-10-31 アサヒ・エンジニアリング株式会社 樹脂封止装置用の封止型
JP2019024032A (ja) * 2017-07-24 2019-02-14 アサヒ・エンジニアリング株式会社 樹脂封止装置用の封止型

Also Published As

Publication number Publication date
CN102082103A (zh) 2011-06-01
US20110127689A1 (en) 2011-06-02
KR101101669B1 (ko) 2011-12-30
KR20110061103A (ko) 2011-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011119638A (ja) 電子部品の製造装置及び電子部品の製造方法
JP5944445B2 (ja) 樹脂封止電子部品の製造方法、突起電極付き板状部材、樹脂封止電子部品、及び突起電極付き板状部材の製造方法
US20090291532A1 (en) Method of resin encapsulation molding for electronic part
CN104245234B (zh) 单片化装置用真空吸附片和固定夹具的制造方法
CN103097282B (zh) 被配置成用于电气连接到印刷电路板上的气腔封装体以及其提供方法
KR102059738B1 (ko) 성형 다이, 수지 성형 장치, 수지 성형 방법 및 수지 성형품의 제조 방법
KR101703184B1 (ko) 수지 밀봉 전자 부품의 제조 방법, 돌기 전극 구비 판상 부재, 수지 밀봉 전자 부품, 및 돌기 전극 구비 판상 부재의 제조 방법
KR101813391B1 (ko) 수지 성형 장치 및 수지 성형 방법 및 성형형
TWI647085B (zh) 樹脂成形裝置及樹脂成形方法
CN202931555U (zh) Mems传声器
JP2009051107A (ja) 光素子の樹脂封止成形方法及び装置
JP2002079547A5 (ja)
TW201546913A (zh) 指紋辨識晶片封裝模組的製造方法
JP2008311520A5 (ja)
JP5411094B2 (ja) 樹脂封止済基板の冷却装置、冷却方法及び搬送装置、並びに樹脂封止装置
JP6557428B2 (ja) 樹脂封止装置及び樹脂封止方法
JP2007189032A (ja) 中空封止型半導体装置の製造方法
JP6400446B2 (ja) 突起電極付き板状部材の製造方法、突起電極付き板状部材、電子部品の製造方法、及び電子部品
FI20085790A (fi) Sähköisen komponentin sisältävä paketoitu piirilevyrakenne ja menetelmä sähköisen komponentin sisältävän paketoidun piirilevyrakenteen valmistamiseksi
JP2014019086A (ja) 成形型、基板吸着型、樹脂封止装置および樹脂封止電子部品の製造方法
JP2004090580A (ja) 樹脂モールド金型および樹脂モールド装置
KR101538099B1 (ko) 인쇄회로기판 이송용 캐리어 지그
TW201832892A (zh) 樹脂密封裝置及樹脂密封方法
JP3793730B2 (ja) 樹脂成形型及び樹脂成形方法
KR20090081500A (ko) 전자 부품 몰딩 장치 및 전자 부품 몰딩 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120418

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120424

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20121120