JP2011118049A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2011118049A5
JP2011118049A5 JP2009273679A JP2009273679A JP2011118049A5 JP 2011118049 A5 JP2011118049 A5 JP 2011118049A5 JP 2009273679 A JP2009273679 A JP 2009273679A JP 2009273679 A JP2009273679 A JP 2009273679A JP 2011118049 A5 JP2011118049 A5 JP 2011118049A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exposure
roll
exposure apparatus
laser
pulse
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009273679A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5650902B2 (ja
JP2011118049A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2009273679A priority Critical patent/JP5650902B2/ja
Priority claimed from JP2009273679A external-priority patent/JP5650902B2/ja
Publication of JP2011118049A publication Critical patent/JP2011118049A/ja
Publication of JP2011118049A5 publication Critical patent/JP2011118049A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5650902B2 publication Critical patent/JP5650902B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2009273679A 2009-12-01 2009-12-01 ナノインプリント用モールドの露光装置及びナノインプリント用モールドの製造方法 Expired - Fee Related JP5650902B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009273679A JP5650902B2 (ja) 2009-12-01 2009-12-01 ナノインプリント用モールドの露光装置及びナノインプリント用モールドの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009273679A JP5650902B2 (ja) 2009-12-01 2009-12-01 ナノインプリント用モールドの露光装置及びナノインプリント用モールドの製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2011118049A JP2011118049A (ja) 2011-06-16
JP2011118049A5 true JP2011118049A5 (enExample) 2012-12-20
JP5650902B2 JP5650902B2 (ja) 2015-01-07

Family

ID=44283488

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009273679A Expired - Fee Related JP5650902B2 (ja) 2009-12-01 2009-12-01 ナノインプリント用モールドの露光装置及びナノインプリント用モールドの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5650902B2 (enExample)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9000325B2 (en) 2010-06-16 2015-04-07 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Roller mold manufacturing device and manufacturing method
JP5968601B2 (ja) * 2011-06-30 2016-08-10 株式会社ホロン ロールモールド製作装置およびロールモールド作製方法
RU2565328C1 (ru) 2011-08-31 2015-10-20 Асахи Касеи И-Матириалс Корпорейшн Подложка для оптической системы и полупроводниковое светоизлучающее устройство
CN102566260A (zh) * 2011-12-30 2012-07-11 西安交通大学 超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法
US10401729B2 (en) 2012-05-14 2019-09-03 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Roller mold manufacturing apparatus and method
JP6047051B2 (ja) * 2013-03-28 2016-12-21 日立マクセル株式会社 光学素子および光学装置
JP6818479B2 (ja) 2016-09-16 2021-01-20 デクセリアルズ株式会社 原盤の製造方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3668600B2 (ja) * 1997-11-07 2005-07-06 大日本スクリーン製造株式会社 画像出力装置
JPH11149642A (ja) * 1997-11-14 1999-06-02 Canon Inc 光記録媒体およびその製造方法
JP4258013B2 (ja) * 2001-08-08 2009-04-30 株式会社オーク製作所 多重露光描画装置および多重露光描画方法
US7754415B2 (en) * 2004-01-27 2010-07-13 Asahi Kasei Chemicals Corporation Process for producing laser engravable printing substrate
JP2007144995A (ja) * 2005-10-25 2007-06-14 Dainippon Printing Co Ltd 光硬化ナノインプリント用モールド及びその製造方法
JP4559997B2 (ja) * 2006-03-31 2010-10-13 財団法人光産業技術振興協会 偏光板
JP4367442B2 (ja) * 2006-06-23 2009-11-18 ヤマハ株式会社 光ディスク描画方法および光ディスク描画装置
JP2008004243A (ja) * 2006-06-26 2008-01-10 Yamaha Corp 光ディスク描画方法および光ディスク装置並びに光ディスク記録媒体
JP5028892B2 (ja) * 2006-07-18 2012-09-19 コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 画像形成装置及びプリントヘッド
CN104076600B (zh) * 2008-01-25 2019-02-15 旭化成株式会社 无缝塑模的制造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011118049A5 (enExample)
US8835798B2 (en) Method and apparatus for laser processing the surface of a drum
JP2002141301A5 (enExample)
CN102318451B (zh) 用于激光加工相对窄和相对宽的结构的方法和设备
JP2007260773A5 (enExample)
JPH11186189A5 (ja) レーザ照射装置及び半導体装置の作製方法
Naessens et al. Flexible fabrication of microlenses in polymer layers with excimer laser ablation
TW201026420A (en) Method and apparatus for forming grooves in the surface of a polymer layer
JP2012187618A (ja) ガラス基板のレーザ加工装置
JP4183119B2 (ja) 光造形装置
Zhang et al. High aspect-ratio micromachining of polymers with an ultrafast laser
JP2010274328A5 (enExample)
JP5650902B2 (ja) ナノインプリント用モールドの露光装置及びナノインプリント用モールドの製造方法
JP6533644B2 (ja) ビーム整形マスク、レーザ加工装置及びレーザ加工方法
JP2009537333A (ja) 移動基板をマイクロ構造化するための方法およびユニット
US20170334142A1 (en) Method for three-dimensional printing
JP2008126283A (ja) 微細構造体の製造方法、露光方法
JP2003257025A5 (enExample)
CN1821883A (zh) 对光滑表面进行微米结构光刻蚀的方法及装置
JP4436162B2 (ja) レーザ加工装置
JP2003014915A (ja) Dammann型グレーティングをつけた光学素子
JP6107131B2 (ja) ナノ構造体及びその作製方法
JP2005210103A5 (enExample)
US8585390B2 (en) Mold making system and mold making method
JP2006100810A5 (enExample)