JP6533644B2 - ビーム整形マスク、レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Description
上記レーザ加工装置は、XYステージ6と、該XYステージ6の上方に、レーザ光Lの進行方向の上流から下流に向かってレーザ光源7と、カップリング光学ユニット8と、ビーム整形マスク1と、結像レンズ9と、対物レンズ10とをこの順に備えている。また、対物レンズ10から結像レンズ9に向かう光路がハーフミラー11で分岐された光路上には、撮像カメラ12が配置され、対物レンズ10から結像レンズ9に向かう光路が、400nm以下の波長のレーザ光Lを透過し、可視光を反射するダイクロイックミラー13で分岐された光路上には、照明光源14が配置されている。
先ず、XYステージ6上に基準基板16を、基準パターンを形成した面16aをXYステージ6側として載置し固定すると共に、基準基板16の基準パターンを形成した面16aとは反対側の面16bにフィルム15を密着させる。
4…開口
15…フィルム(被加工物)
20…開口パターン(被加工物の孔)
L…レーザ光
Claims (7)
- 被加工物にレーザ加工される孔の形状に相似形の開口を有するビーム整形マスクであって、
前記開口は、該開口内の光透過率が中央部から周縁部に向かって漸減すると共に、周縁部においても、レーザ光の複数ショットにより前記被加工物を貫通させてレーザ加工できる少なくとも最低限のレーザ強度が確保し得る光透過率を有するように形成されたことを特徴とするビーム整形マスク。 - 前記開口は、縦横に並べて複数個が設けられていることを特徴とする請求項1記載のビーム整形マスク。
- 前記被加工物は、樹脂製のフィルムであることを特徴とする請求項1又は2記載のビーム整形マスク。
- ビーム整形マスクに形成された開口を被加工物上に縮小投影して、該被加工物に孔をレーザ加工するレーザ加工装置であって、
前記ビーム整形マスクは、前記開口を、該開口内の光透過率が中央部から周縁部に向かって漸減すると共に、周縁部においても、レーザ光の複数ショットにより前記被加工物を貫通させてレーザ加工できる少なくとも最低限のレーザ強度が確保し得る光透過率を有するように形成したものであることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記被加工物は、樹脂製のフィルムであることを特徴とする請求項4記載のレーザ加工装置。
- ビーム整形マスクに形成された開口を被加工物上に縮小投影して、該被加工物に孔をレーザ加工するレーザ加工方法であって、
前記開口内の光透過率が中央部から周縁部に向かって漸減すると共に、周縁部においても、レーザ光の複数ショットにより前記被加工物を貫通させてレーザ加工できる少なくとも最低限のレーザ強度が確保し得る光透過率を有するように前記ビーム整形マスクに形成された前記開口を複数ショットの前記レーザ光を透過させ、
前記開口を透過した前記複数ショットのレーザ光を前記被加工物に照射して前記被加工物に前記孔を加工する、
ことを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記被加工物は、樹脂製のフィルムであることを特徴とする請求項6記載のレーザ加工方法。
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