JP2011117897A - 屈折率分布の計測方法および計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】計測方法は、被検物120の屈折率よりも低い第1の屈折率を有する第1の媒質中で被検物に参照光を入射させて被検物の第1の透過波面を計測する。被検物の屈折率よりも低く、第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有する第2の媒質中で被検物に参照光を入射させて被検物の第2の透過波面を計測する。第1、第2の媒質中にて被検物の配置位置を計測する。第1および第2の透過波面の計測結果を用いて被検物の内部屈折率分布を算出する。内部屈折率分布を算出する際、第1、第2の透過波面の計測結果と、被検物と同一形状および特定の内部屈折率分布を有する基準被検物が、計測された第1、第2の媒質中での被検物の配置位置と同一位置に配置されているときの透過波面とを用いて被検物の形状成分を除去する。
【選択図】図1
Description
ただし、モールド成形では、成形条件によって、光学素子の内部に屈折率の不均一が生じることがある。このような内部屈折率の不均一は、光学素子の光学特性に大きな影響を及ぼし、所望の光学特性を得られなくするおそれがある。このため、高屈折率を有する光学素子の内部の光学的均質性を高精度に計測することが求められている。
光学的均質性の測定法としては、一般に干渉測定法が知られている。干渉測定法によれば、被検物(光学素子)を高精度に加工して、その透過波面を計測することで、内部屈折率分布を計測することが可能である。また、被検物をガラスプレートに挟み、その間に注入した被検物とほぼ等しい屈折率を有するオイルに被検物を浸すことで、該被検物の面精度誤差を低減させる方法も提案されている。
本発明は、高屈折率の被検物を低屈折率の媒質に浸す場合でも、被検物の内部屈折率分布を高精度に計測できる計測方法および計測装置を提供する。
なお、光学素子をモールド成形する成形ステップと、該光学素子を評価する評価ステップとを有し、評価ステップにおいて、上記計測方法を用いて光学素子の内部屈折率分布を計測する光学素子の製造方法も本発明の他の一側面を構成する。
図1(a)には、被検物を空気中(第1の媒質中)で計測する際のTalbot干渉計(屈折率分布計測装置)の概略構成を示している。レンズ等の光学素子である被検物120は、液槽121内に配置され、空気に浸されている。空気の屈折率(第1の屈折率)は、被検物120の屈折率よりも0.01以上低いものとする。
レーザ光源(例えば、He−Neレーザ)100から射出されたレーザ光101は、ピンホール(光学部材)110を通過する際に回折される。ピンホール110により回折された回折光としての参照光102は、液槽121内の空気の中を通り、ピンホール110を物体面とする被検物120に入射してこれを透過する。ピンホール110の直径φは、参照光102を理想球面波と見なせる程度に小さく、物体側の開口NAOとレーザ光源100の波長λとを用いて、以下の式(1)を満たすように設計されている。
被検物120および液槽121内の空気を透過したレーザ光は、2次元回折格子である直交回折格子130を通り、検出器であるCCD140によって撮像(計測)される。
被検物120の像側NAが小さい場合、回折格子130とCCD140間の距離Zが、以下の式(2)で示されるTalbot条件を満たすと、CCD140上に回折格子130の偽解像が干渉縞として得られる。
計測装置の構成要素であるレーザ光源100、ピンホール110、回折格子130およびCCD140と、液槽121(被検物120)とは、被検物120の光軸に平行に設置されたレール150によりガイドされて、光軸方向に相対移動可能である。レーザ光源100、ピンホール110、回折格子130、CCD140および液槽121により透過波面計測部が構成される。
図1(b)には、被検物120を水中(第2の媒質中)で計測する際のTalbot干渉計の概略構成を示している。被検物120は、液槽121内に配置され、水に浸されている。水の屈折率(第2の屈折率)は、被検物120の屈折率よりも0.01以上小さく、かつ当然ながら空気の屈折率と異なっている。
回折格子130とCCD140は、図1(a)に示した空気を媒質として用いる場合に比べて、被検物120から離して配置される。
レーザ光源100から射出されたレーザ光101は、ピンホール110により回折されて回折光(参照光)102となり、液槽121内の水の中を通って、ピンホール110を物体面とする被検物120に入射し、これを透過する。被検物120及び液槽121内の水を透過したレーザ光は、回折格子130を通り、CCD140により撮像(計測)される。
図2のフローチャートには、上記CCD140により撮像された画像を用いて、被検物120の内部屈折率分布(以下、単に屈折率分布ともいう)GIを算出する手順を示している。この算出は、図1(a)に示したマイクロコンピュータ等の演算ユニット160によって、コンピュータプログラムに従って行われる。演算ユニット160は算出部として機能する。
まず、図1(a)に示したように、液槽121内に空気(図2には媒質1と記す)を満たす(ステップS10)。
次に、以下に示すステップAの手順により、液槽121内の媒質が空気である場合の透過波面を計測し、波面収差W1を算出する(ステップS20:第1の計測ステップ)。
ステップAについて説明する。本実施例において、透過波面の計測結果には、(1)被検物の屈折率分布、(2)被検物の形状の影響、(3)被検物の形状誤差の影響および(4)計測システムによるオフセットが含まれる。ここから、(2)被検物の形状の影響と(4)計測システムによるオフセットを後述するシミュレーションによって計算し、透過波面の計測結果から差し引く。ステップAは、その残りである(1)被検物の屈折率分布と(3)被検物の形状誤差(形状成分)の影響を、波面収差W1として算出する工程である。
ステップAは、次の10のステップにより構成される。まず、光学素子(ピンホール110、液槽121、格子130およびCCD140)および被検物120の配置である光学配置を設定する(ステップS201)。
続いてステップS201で設定した光学配置においてCCD140でどのような透過波面が得られるかを計算する(ステップS202)。このとき、被検物120の屈折率分布は未知であるため、適当な屈折率分布を仮定するかあるいは屈折率分布が無い理想的な(特定の)屈折率分布を想定して透過波面を計算する。
次に、計算された透過波面が計測可能な波面かどうかを判断する(ステップS203)。Talbot干渉計においてCCD140上の全面で回折格子130の偽解像を得るためには、NAを0.3程度以下に抑える必要がある。CCD140に到達する光束のNAが0.3より大きい場合、被検物120上の異なる位置を通った光がCCD140上で重なる場合およびCCD140上の光束サイズが大きすぎたり小さすぎたりする場合等では、ステップS201に戻って光学配置を再設定する。計算された透過波面が計測可能と判断できた場合は、そのときに設定された光学配置を計測で用いる配置として採用し(ステップS204)、決定された光学配置付近に被検物120と各光学素子をレール150上で移動させて配置する(ステップS205)。以下の説明では、回折格子130とCCD140をまとめてセンサと称する。
続いて被検物120および光学素子間の面間隔(被検物120および光学素子の配置位置)を計測するステップ(位置計測ステップ)を、図3を用いて説明する。ここでは、液槽121の外側からケース121および被検物120の厚みを計測可能な面間隔測定器170を用いる。
各光学素子の面間隔を計測する場合は、面間隔測定器(位置計測部)170を計測時の光束中に挿入する(ステップS206)。ここでいう光束とは、図1(a)に示す参照光102を含み、ピンホール110から射出した光がCCD140に到達するまでの光束である。面間隔測定器170を挿入するスペースがない場合は、図3に示すように、ミラー171を光束中に挿入し、面間隔測定器170を計測時の光束外に設置してもよい。この場合、面間隔測定器170は移動させる必要がない。
続いて、面間隔測定器170を用いて、液槽121の窓ガラスから被検物120までの間隔を計測する(ステップS207)。このときに、液槽121の窓ガラスの厚みや液槽121から回折格子130およびCCD140までの距離を計測してもよい。図3では、ピンホール110と液槽121との間にミラー171を挿入したが、ミラー171を液槽121と回折格子130との間に挿入すれば、ピンホール110から液槽121までの距離を計測することもできる。
面間隔測定器170は、例えば、低コヒーレンス光源と、参照光と被検光を分割するビームスプリッターを有し、参照光と被検光の光路長が一致したときに干渉信号が得られるタイプのものを用いてもよい。この場合、被検光側に液槽121や被検物120等の複数の光学素子があっても、参照光の光路長を変化させることで、各面の位置を求めることができる。また、計測される各面間の距離は、光学的面間隔、すなわち真空中の距離に相当するため、各面間の材質および媒質の屈折率を用いて幾何学的な面間隔を求める。
また、面間隔測定器170は、特開2001−099624号公報にて開示されているように、内蔵された光源の波長を変化させられるものであってもよい。この場合、波長を変化(位相シフト)させて画像を取得することで、各光学面からの反射光を分離し、位置を特定することが可能になる。
さらに、面間隔測定器170は、特開平10−325795号公報にて開示されているように、集光レンズと該集光レンズの位置を特定できる位置センサとを有するものであってもよい。この場合、干渉強度から光学素子の各面のフォーカス位置を求め、かつ集光レンズの移動距離を求めることで、各面間の面間隔を計測することが可能になる。
次に、ステップS207で計測した面間隔情報を用いて、被検物120が特定の屈折率分布を有する場合のシミュレーション波面Wsimを計算する(ステップS208)。このステップは、ステップS204と同じ光学配置(被検物および光学素子が同一位置に配置された状態)において、被検物の屈折率分布が既知である場合の透過波面を別途計算するステップである。このように屈折率分布が既知である被検物を、基準被検物ともいう。基準被検物は、被検物と同一形状を有する。既知の屈折率分布は、設計値でもよいし、計測値でもよい。
シミュレーション波面Wsimは、基準被検物に対応する透過波面ということもできる。基準被検物内のある点(x,y)におけるWsimは、以下の式(3)のように表される。
次に、図1(a)に示すTalbot干渉計、すなわち被検物120を空気に浸した状態で透過波面(第1の透過波面)Wmを計測する(ステップS208)。このステップには、CCD140による干渉縞の画像の取得と、不図示の処理回路による透過波面の画像回復を含む。透過波面の画像回復(以下、波面回復ともいう)は、FFT(高速フーリエ変換)法によって行う。FFT法による波面回復は、収差が干渉縞のキャリア縞を乱す性質を利用して、キャリア縞と収差とを分離する方法である。
具体的には、干渉縞に2次元FFTを行い、周波数マップに変換する。次に、周波数マップにおけるキャリア周波数の近傍部分のみを切り出して、キャリア周波数が原点になるように座標変換をした上で、iFFT(逆高速フーリエ変換)を行う。これにより、複素振幅マップの位相項が求められる。その結果得られた位相マップが、透過波面となる。
Wmは、図4のL1〜L5を用いて、以下の式のように表される。
ステップAの最後に、ステップS208で求めたシミュレーション波面WsimとステップS209で求めた透過波面Wmとの差分に相当する波面収差W1を、以下の式(5)により求める(ステップS210)。なお、ここでは式を簡略化するため、屈折率Ngは被検物120の中心屈折率N(0,0)と等しいものとする。
本実施例のように、計測装置としてTalbot干渉計を用いることで、被検物と媒質との屈折率差によって生じる大きな収差を計測することができる。Talbot干渉計は、ラテラルシアリング干渉計の一種であり、透過波面が横ずらし(シア)された自身の透過波面との差分を干渉縞として計測する。このため、シアリング干渉計は、透過波面の波面形状の勾配(傾き)に相当する量を求める計測装置と言える。透過波面の横ずらし量は、シア量と呼び、シア量を小さくすることで、大きな透過波面収差に対しても、干渉縞が密にならない程度の小さい収差(シア波面)として計測が可能になる。
シアリング干渉計では、一般に、シア量が小さすぎるとシア波面がノイズに埋もれて精度が低下するため、シア量は瞳の直径に対して3〜5%程度がよいとされる。しかし、本実施例では、大きな収差の透過波面を小さいシア波面で計測するために、シア量を1.5% 以下、好ましくは0.4〜0.9%程度まで小さくするとよい。
シア量shearは、Talbot距離Zと、CCD140上の干渉縞データの直径Dとを用いて、以下の式(9)により定義される。
以上説明したように、本実施例では、被検物の屈折率よりも0.01以上低い屈折率を有する空気中で、該被検物に参照光を入射させて該被検物の第1の透過波面を計測する。また、被検物の屈折率よりも0.01以上低く、かつ空気の屈折率とは異なる屈折率を有する水中で、被検物に参照光を入射させて該被検物の第2の透過波面を計測する。さらに、空気中および水中のそれぞれの被検物の配置位置を計測する。また、特定の屈折率分布を有する基準被検物が空気中および水中のそれぞれでの計測時の配置位置と同一位置に配置されているときの透過波面を計算する。また、計測された第1および第2の透過波面と、計算された第1および第2の透過波面の差分をそれぞれ求める。そして、第1および第2の透過波面の差分に基づいて被検物の屈折率分布を求める。
本実施例によれば、被検物の屈折率が高い場合でも、被検物の高精度の位置決めを必要とすることなく、被検物の屈折率よりも低い屈折率を有する媒質を用いて該被検物の内部屈折率分布を高精度に計測することができる。
なお、本実施例では、2種類の媒質が空気と水である場合について説明したが、屈折率が互いに0.01以上異なる2種類の媒質であれば、これらの媒質に限定されない。また、2種類の媒質とは、同じ材料の温度を変えて屈折率を変えたものであってもよい。
また、本実施例では、Talbot干渉計を用いた場合について説明したが、これと異なるラテラルシアリング干渉計、ラジアルシアリング干渉計およびその他のシアリング干渉計を用いることもできる。
本実施例では、まず被検物120の中心厚みDか、中心厚み方向に平均化された中心屈折率Nglassを別途計測する(ステップT10)。
その後、ステップT20〜T60では、以下に示すステップBの手順により、液槽121内の媒質が空気である場合の波面収差W1と空気である場合の波面収差W2とを算出する。
ステップBでは、まず実施例1のステップS201〜S204と同じ工程を行う(ステップT301〜T304)。
その後、ステップT305では、前のステップT304(図2ではステップS204に相当する)で決定した光学配置付近に光学素子を配置する。このとき、後の工程で液槽121単体の面間隔を測定するために、被検物120は液槽121に入れない状態にしておく。
続いてステップS206と同様に面間隔測定器を挿入する(ステップT306)。その後、液槽121単体の光学的面間隔Z0を計測する(ステップT307)。さらに、液槽121に被検物120を挿入する(ステップT308)。そして、ステップT307と同様に、液槽121と被検物120の光学的面間隔を計測する(ステップT309)。このとき液槽121のガラス窓から被検物120までの光学的面間隔であって被検物120の前側の面間隔をZ1とし、後側の面間隔をZ3とする。また、被検物120の光学厚みをZ2とする
続いてステップT307とステップT309で計測した光学的面間隔(被検物120の光学厚みZ2を含む)から、媒質の屈折率を算出する(ステップT310)。
ステップT10で被検物120の中心厚みDが既知である場合は、次の式(11)に従って媒質の屈折率を算出する。ここで、N1は媒質1の屈折率である。
ステップBの最後に、ステップS209,S210と同様に、被検物120の透過波面を計測し(ステップT312)、計算波面と計測値の差分を算出する(ステップT313)。
本実施例によれば、媒質の屈折率が未知である場合にも、高精度に被検物120の屈折率分布を計測することができる。
ピンホール110は、レーザ光源100から射出されたレーザ光を用いて理想球面波を有する光(参照光)を生成する。この光は、照明系600によって収束光に変換される。収束光は、メニスカスレンズである被検物120を通過し、その透過波面が波面計測センサであるシャックハルトマンセンサ610により計測される。シャックハルトマンセンサ610は、図7に示すように、レンズアレイ611とCCD612とにより構成されている。
レール150上で被検物120を光軸方向に移動させることで、被検物120に入射する光束を発散光束、平行光束および収束光束のいずれにも変更することができる。これにより、シャックハルトマンセンサ610に入射する光束のNAを調節することができる。
シャックハルトマンセンサは、Talbot干渉計に比べて、センサ610に入射する光束のNAを厳しく管理する必要がある。シャックハルトマンセンサ610は、レンズアレイ611に入射した光を、CCD612に集光させる構造を有する。レンズアレイ611に傾いた透過波面が入射すると、集光点の位置がずれる。シャックハルトマンセンサ610は、透過波面の傾きを集光点の位置ずれに換算して計測できるため、大きな収差を持つ波面の計測が可能である。
本実施例での被検物120の内部屈折率分布の算出方法は、実施例1と同じであるため、ここでは説明を省略する。
本発明の実施に用いる計測装置は、透過波面の波面形状の勾配又は光線の傾きに相当する量を計測可能であり、大きな収差を持つ透過波面においても該勾配又は傾きを計測可能な物理量として検出することができるものであればよい。このため、シャックハルトマン法に限らず、ハルトマン法やロンキーテストを用いた計測装置を用いてもよい。
図8には、モールド成形を利用した光学素子の製造フローの例を示している。
光学素子は、光学素子の設計工程、金型の設計工程および該金型を用いた光学素子のモールド成形工程を経て製造される。成形された光学素子は、その形状精度が評価され、精度不足である場合は金型を補正して再度モールド成形を行う。形状精度が良好であれば、該光学素子の光学性能が評価される。この光学性能の評価工程に、図2や図5を用いて説明した屈折率算出フローを組み込むことで、高屈折率硝材によりモールド成形される光学素子の量産が可能になる。
なお、光学性能が低い場合は、光学面を補正した光学素子を設計し直す。
以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。
121 液槽
130 2次元直交回折格子
170 面間隔測定器
Claims (6)
- 被検物の屈折率よりも低い第1の屈折率を有する第1の媒質中に前記被検物を配置し、前記被検物に参照光を入射させて該被検物の第1の透過波面を計測する第1の計測ステップと、
前記被検物の屈折率よりも低く、かつ前記第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有する第2の媒質中に前記被検物を配置し、前記被検物に前記参照光を入射させて該被検物の第2の透過波面を計測する第2の計測ステップと、
前記第1および第2の媒質中において前記被検物が配置された位置を計測する位置計測ステップと、
前記第1および第2の透過波面の計測結果を用いて前記被検物の内部屈折率分布を算出する算出ステップとを有し、
前記算出ステップにおいて、前記第1および第2の透過波面の計測結果と、前記被検物と同一形状および特定の内部屈折率分布を有する基準被検物が前記位置計測ステップにて計測された前記第1および前記第2の媒質中のそれぞれにおける前記被検物の配置位置と同一位置に配置されているときの透過波面とを用いて、前記被検物の形状成分を除去することを特徴とする屈折率分布計測方法。 - 前記算出ステップにおいて、前記第1および第2の媒質のうち少なくとも一方の屈折率を、前記被検物の厚みおよび屈折率のうち少なくとも1つに基づいて算出することを特徴とする請求項1に記載の屈折率分布計測方法。
- 前記第1および第2の計測ステップのそれぞれにおいて、前記第1および第2の透過波面の波面形状の勾配に相当する量を計測することを特徴とする請求項1又は2に記載の屈折率分布計測方法。
- 前記第1の屈折率と前記第2の屈折率とが互いに0.01以上異なることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の屈折率分布計測方法。
- 光学素子をモールド成形する成形ステップと、
前記光学素子を評価する評価ステップとを有し、
前記評価ステップにおいて、請求項1から4のいずれか一項に記載の計測方法を用いて前記光学素子の内部屈折率分布を計測することを特徴とする光学素子の製造方法。 - 被検物の屈折率よりも低い第1の屈折率を有する第1の媒質中に前記被検物を配置し、前記被検物に参照光を入射させて該被検物の第1の透過波面を計測する第1の計測、および前記被検物の屈折率よりも低く、かつ前記第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有する第2の媒質中に前記被検物を配置し、前記被検物に前記参照光を入射させて該被検物の第2の透過波面を計測する第2の計測を行う透過波面計測部と、
前記第1および第2の媒質中において前記被検物が配置された位置を計測する位置計測部と、
前記第1および第2の透過波面の計測結果を用いて前記被検物の内部屈折率分布を算出する算出部とを有し、
前記算出部は、前記第1および第2の透過波面の計測結果と、前記被検物と同一形状および特定の内部屈折率分布を有する基準被検物が前記位置計測ステップにて計測された前記第1および前記第2の媒質中のそれぞれにおける前記被検物の配置位置と同一位置に配置されているときの透過波面とを用いて、前記被検物の形状成分を除去することを特徴とする屈折率分布計測装置。
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