JP2011114003A - 半導体検査装置の座標補正方法及び半導体検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1つのショット内の複数点について位置ずれ情報を検出し、当該複数点の位置ずれ情報に基づいてショット歪みの情報を取得し、取得されたショット歪情報に基づいて、各ショットに固有の座標補正情報を算出する。
【選択図】図4
Description
まず、半導体検査装置の実施例を説明する。図1に、半導体検査装置の一例である走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)システムの構成例を示す。走査型電子顕微鏡システムの筐体1には、一次電子4を発生する電子源2が格納されている。電子源2において発生された一次電子4は、一次電子加速電極3により加速された後、コンデンサレンズ5、走査コイル7を順番に通過し、対物レンズ8においてビーム径が絞られるようにウェーハ9に照射される。
図4に、ウェーハ歪みの座標補正情報を生成する処理ステップに加え、ショット歪みの座標補正情報を生成する処理ステップを含むレシピ処理の一例を示す。
xγ=n1・xi・yi+n2・xi+n3・yi+n4 (式1)
yγ=n5・xi・yi+n6・xi+n7・yi+n8 (式2)
前述の実施例1においては、ショット歪みの情報が、1つのウェーハ9上に存在する全てのショットで同じ場合について説明した。しかしながら、ショット歪を構成する回転、原点校正及び広がりの各量は、必ずしも同じになるとは限らない。例えばレンズ起因の歪みや露光条件(気温・気圧)による歪みは、時間と共に線形的に変化する特定を有している。
ni_m={(ni_b−ni_a)・(m−a)/(b−a)}+ni_a (式3)
前述の実施例の場合には、いずれもショット歪みの検出時に、実測対象であるショットについてp点の検出点を設定し、それぞれについて位置ずれ情報を検出する場合について説明した。
前述の実施例の場合には、ショット歪みの情報として、ショットの回転、原点校正及び広がりに関する情報の全てを取得する場合について説明したが、これらのうちの一つ又は任意の2つを取得するようにしても良い。また、ショット内の原点の位置ずれ情報(原点校正)は、ウェーハ歪みについて取得された原点の位置ずれ情報(原点校正)をそのまま適用又はショットの位置に応じて補正したものを使用しても良い。なお、ショットの内の検出点は複数点であれば、ショット歪みとして取得しようとする情報に応じて2つでも3つでも構わない。
Claims (10)
- ステージ上に載置されたウェーハ上の複数点について位置ずれ情報を検出し、ウェーハ歪みの情報を取得する処理と、
取得されたウェーハ歪みの情報に基づいて、ウェーハ全体を対象とする座標補正情報を算出する処理と
ウェーハ内に形成された少なくとも1つのショット内の複数点について位置ずれ情報を検出し、当該複数点の位置ずれ情報に基づいてショット歪みの情報を取得する処理と、
取得されたショット歪みの情報に基づいて、各ショットに固有の座標補正情報を算出する処理と
を有する半導体検査装置の位置補正方法。 - 請求項1に記載の半導体検査装置の位置補正方法において、
前記ショット歪みの情報として、ショットの回転、原点校正及び広がりに関する情報の少なくとも一つを取得する
ことを特徴とする半導体検査装置の位置補正方法。 - 請求項1に記載の半導体検査装置の位置補正方法において、
ウェーハ全体を対象とした座標補正情報を与える原点校正情報に基づいて、前記ショット歪みの原点校正を実行する
ことを特徴とする半導体検査装置の位置補正方法。 - 請求項1に記載の半導体検査装置の位置補正方法において、
前記ショット内の複数点についての位置ずれ情報の検出は同一のウェーハ上に位置する一部のショットに対して実行され、位置ずれ情報の検出対象とならなかったショットに関する座標補正情報は、位置ずれ情報が取得された2つのショット間の位置関係に応じた線形補間演算により又は線形外挿演算により算出する処理
を更に有することを特徴とする半導体検査装置の位置補正方法。 - 請求項1に記載の半導体検査装置の位置補正方法において、
前記ショット内の複数点についての位置ずれ情報の検出対象であるショットが、ウェーハ歪の情報を取得する際に使用した検出点を含む場合には、当該ショットに関して新たに検出する位置ずれ情報の検出点の数をショット歪の情報の取得に使用する数よりも1つ減じると共に、新たに取得する検出点を、ウェーハ歪の情報を取得する際に使用された検出点以外の位置に設定する
ことを特徴とする半導体検査装置の位置補正方法。 - 電子線を発生する電子源と、
検査対象であるウェーハを載置するステージと、
前記電子線をウェーハ上の所定位置に照射する光学系と、
前記ウェーハ上で発生した二次電子又は反射電子を検出する検出手段と、
前記光学系及び前記ステージを制御する制御手段と、
ステージ上に載置されたウェーハ上の複数点について位置ずれ情報を検出し、ウェーハ歪の情報を取得する手段と、
取得されたウェーハ歪の情報に基づいて、ウェーハ全体を対象とする座標補正情報を算出する手段と
ウェーハ内に形成された少なくとも1つのショット内の複数点について位置ずれ情報を検出し、当該複数点の位置ずれ情報に基づいてショット歪の情報を取得する手段と、
取得されたショット歪の情報に基づいて、各ショットに固有の座標補正情報を算出する手段と
を有する半導体検査装置。 - 請求項6に記載の半導体検査装置において、
前記ショット歪の情報として、ショットの回転、原点校正及び広がりに関する情報の少なくとも一つを取得する
ことを特徴とする半導体検査装置。 - 請求項6に記載の半導体検査装置において、
ウェーハ全体を対象とした座標補正情報を与える原点校正情報に基づいて、前記ショット歪みの原点校正を実行する
ことを特徴とする半導体検査装置。 - 請求項6に記載の半導体検査装置において、
前記ショット内の複数点についての位置ずれ情報の検出は同一のウェーハ上に位置する一部のショットに対して実行され、位置ずれ情報の検出対象とならなかったショットに関する座標補正情報は、位置ずれ情報が取得された2つのショット間の位置関係に応じた線形補間演算により又は線形外挿演算により算出する
ことを特徴とする半導体検査装置。 - 請求項6に記載の半導体検査装置において、
前記ショット内の複数点についての位置ずれ情報の検出対象であるショットが、ウェーハ歪の情報を取得する際に使用した検出点を含む場合には、当該ショットに関して新たに検出する位置ずれ情報の検出点の数をショット歪の情報の取得に使用する数よりも1つ減じると共に、新たに取得する検出点を、ウェーハ歪の情報を取得する際に使用された検出点以外の位置に設定する
ことを特徴とする半導体検査装置。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
CN106814307A (zh) * | 2017-01-10 | 2017-06-09 | 深圳鼎缘电子科技有限公司 | 一种腔体滤波器自动调试方法及系统 |
JP7360978B2 (ja) | 2020-03-18 | 2023-10-13 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 荷電粒子ビーム装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0210819A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | パターン欠陥の検査方法 |
JPH09246336A (ja) * | 1996-03-01 | 1997-09-19 | Hitachi Ltd | パターン付きウエハ検査方法および装置 |
JPH10326741A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-08 | Canon Inc | 露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 |
JP2000164659A (ja) * | 1998-11-27 | 2000-06-16 | Fujitsu Ltd | 半導体メモリの不良解析システム及び表面観察装置の試料ステージのナビゲーション方法 |
JP2003031629A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Hitachi Ltd | パターン検査方法及びその装置 |
JP2003167032A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Yokogawa Electric Corp | 半導体チップの位置測定方法及び位置制御方法 |
JP2004273850A (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | パターン検査方法及び装置 |
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2009
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0210819A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | パターン欠陥の検査方法 |
JPH09246336A (ja) * | 1996-03-01 | 1997-09-19 | Hitachi Ltd | パターン付きウエハ検査方法および装置 |
JPH10326741A (ja) * | 1997-05-23 | 1998-12-08 | Canon Inc | 露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法 |
JP2000164659A (ja) * | 1998-11-27 | 2000-06-16 | Fujitsu Ltd | 半導体メモリの不良解析システム及び表面観察装置の試料ステージのナビゲーション方法 |
JP2003031629A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Hitachi Ltd | パターン検査方法及びその装置 |
JP2003167032A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Yokogawa Electric Corp | 半導体チップの位置測定方法及び位置制御方法 |
JP2004273850A (ja) * | 2003-03-10 | 2004-09-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | パターン検査方法及び装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106814307A (zh) * | 2017-01-10 | 2017-06-09 | 深圳鼎缘电子科技有限公司 | 一种腔体滤波器自动调试方法及系统 |
CN106814307B (zh) * | 2017-01-10 | 2020-05-12 | 深圳鼎缘电子科技有限公司 | 一种腔体滤波器自动调试方法及系统 |
JP7360978B2 (ja) | 2020-03-18 | 2023-10-13 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 荷電粒子ビーム装置 |
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