JP2011110682A - ロボットハンド及びその製造方法 - Google Patents

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徹 田山
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Abstract

【課題】 高温下で使用することができるロボットハンド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ロボットハンド１は、冷媒を流通させるための貫通溝５が延在する板状部材３と、貫通溝１５を覆うように板状部材３の一方の主面３ａに配置されたＦＲＰ成形体２と、貫通溝１５を覆うように板状部材３の他方の主面３ｂに配置されたＦＲＰ成形体４と、を備えている。このロボットハンド１においては、板状部材３及びＦＲＰ成形体２，４によって冷媒が流通する流路が形成される。従って、その流路に冷媒を流通させることにより、炉に対してガラス基板を搬入及び搬出するなど、高温下で使用することが可能となる。
【選択図】 図２

Description

本発明は、産業用ロボットに適用されるロボットハンド及びその製造方法に関する。
従来、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造工程においてガラス基板を搬送するための産業用ロボットに適用されるロボットハンド及びその製造方法が種々提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。
特開２００２−２９２５９１号公報 特開２００２−２９２５９２号公報
ところで、上述したようなロボットハンドには、炉に対してガラス基板を搬入及び搬出するなど、高温（例えば３００℃）下での使用が要求される場合がある。
そこで、本発明は、高温下で使用することができるロボットハンド及びその製造方法を提供することを課題とする。
上記課題を解決するため、本発明に係るロボットハンドは、冷媒を流通させるための貫通溝が延在する板状部材と、貫通溝を覆うように板状部材の一方の主面に配置された第１の繊維強化プラスチック成形体と、貫通溝を覆うように板状部材の他方の主面に配置された第２の繊維強化プラスチック成形体と、を備えることを特徴とする。
このロボットハンドでは、板状部材、第１の繊維強化プラスチック成形体及び第２の繊維強化プラスチック成形体によって、冷媒が流通する流路が形成される。従って、その流路に冷媒を流通させることにより、第１の繊維強化プラスチック成形体及び第２の繊維強化プラスチック成形体が効率良く且つ確実に冷却されるので、高温下で使用することが可能となる。なお、貫通溝とは、板状部材の厚さ方向を深さ方向とする溝であって、板状部材の一方の主面と他方の主面とに開口する溝をいう。
本発明に係るロボットハンドにおいては、貫通溝の始端及び終端は、板状部材の所定の部分に位置しており、第１の繊維強化プラスチック成形体又は第２の繊維強化プラスチック成形体において貫通溝の始端に対応する位置には、冷媒を導入させるための導入口が形成され、第１の繊維強化プラスチック成形体又は第２の繊維強化プラスチック成形体において貫通溝の終端に対応する位置には、冷媒を導出させるための導出口が形成されていることが好ましい。この構成によれば、板状部材の全体に渡るように貫通溝を延在させつつ、冷媒の導入及び導出をスペース的に効率良く行うことが可能となる。
本発明に係るロボットハンドにおいては、第１の繊維強化プラスチック成形体及び第２の繊維強化プラスチック成形体の少なくとも一方は、繊維強化プラスチックからなる内側層及び外側層、並びに内側層と外側層との間に配置された制振弾性層を有することが好ましい。この場合、制振弾性層によって、振動減衰時間の短縮化等、振動減衰特性の向上を図ることができる。しかも、繊維強化プラスチックからなる内側層と外側層とに制振弾性層が挟まれているので、制振弾性層の適用に起因した剛性の低下を防止することができる。従って、この構成によれば、剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることが可能となる。なお、制振弾性層は、繊維強化プラスチックに比べ、柔軟な材料であることが好ましく、特にゴム、エラストマー等の弾性材料からなる層である。
また、本発明に係るロボットハンドの製造方法は、冷媒を流通させるための貫通溝が延在する板状部材を用意する工程と、フィルム状の接着剤を介して板状部材の一方の主面に第１の繊維強化プラスチック成形体を固定し、第１の繊維強化プラスチック成形体によって貫通溝を覆うと共に、フィルム状の接着剤を介して板状部材の他方の主面に第２の繊維強化プラスチック成形体を固定し、第２の繊維強化プラスチック成形体によって貫通溝を覆う工程と、を備えることを特徴とする。
このロボットハンドの製造方法では、貫通溝が延在する板状部材の一方の主面及び他方の主面に対し、それぞれ対応するように第１の繊維強化プラスチック成形体及び第２の繊維強化プラスチック成形体がフィルム状の接着剤を介して固定される。そのため、板状部材に予め形成された貫通溝が接着剤によって埋まるのを防止することができる。なお、フィルム状の接着剤として、例えば、３Ｍ社製、Scotch-weld Structural Adhesive Film、品番ＡＦ−１６３、ＡＦ−１９１等を使用することができる。
本発明によれば、高温下で使用することができるロボットハンド及びその製造方法を提供することが可能となる。
本発明に係るロボットハンドの第１実施形態の斜視図である。 図１のロボットハンドの分解斜視図である。 図１のロボットハンドの製造方法の一工程を示す斜視図である。 図３の次工程を示す斜視図である。 図１のロボットハンドの他の実施形態の分解斜視図である。 本発明に係るロボットハンドの第２実施形態の斜視図である。 図６のロボットハンドの分解斜視図である。 図６のロボットハンドの他の実施形態の分解斜視図である。 本発明に係るロボットハンドの他の実施形態の斜視図である。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［第１実施形態］
図１及び２に示されるように、ロボットハンド１は、芯材として、長方形状の断面を有する筒状のＦＲＰ成形体（第１の繊維強化プラスチック成形体）２を備えている。ＦＲＰ成形体２の各側面上には、長方形板状の板状部材３がフィルム状の接着剤を介して固定されており、各板状部材３上には、表面材として、長方形板状のＦＲＰ成形体（第２の繊維強化プラスチック成形体）４が固定されている。このロボットハンド１は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造工程においてガラス基板を搬送するための産業用ロボットに適用される。なお、ＦＲＰ成形体２，４は、ＧＦＲＰ（glass fiber reinforced plastics）やＣＦＲＰ（carbon fiber reinforced plastics）等の繊維強化プラスチックからなる。また、板状部材３は、ＧＦＲＰやＣＦＲＰ等の繊維強化プラスチック、エポキシやビニルエステル等の樹脂、或いはアルミニウム等の金属等からなる。
ロボットハンド１の材料としてＣＦＲＰを使用する場合には、炭素繊維を一方向に引き揃えながらエポキシ樹脂を含浸させて製造した炭素繊維一方向プリプレグ、例えば、Ｅ６０２６Ｅ−２６Ｎ（新日本石油株式会社製、ＣＦ：日本グラファイトファイバー製ピッチ系高弾性率ＣＦ、ＸＮ−６０、マトリックス樹脂：エポキシ樹脂、ＣＦ質量：２６０ｇ／ｍ2、樹脂含有量：２７．５質量％）、Ｅ８０２６Ｃ−２５Ｎ（新日本石油株式会社製、ＣＦ：日本グラファイトファイバー製ピッチ系高弾性率ＣＦ、ＸＮ−８０、マトリックス樹脂：エポキシ樹脂、ＣＦ質量：２５０ｇ／ｍ2、樹脂含有量：３２．０質量％）、Ｙ２４Ｎ３３Ｃ２６９（新日本石油株式会社製、ＣＦ：東レ製ＰＡＮ系ＣＦ、Ｔ７００Ｓ、マトリックス樹脂：エポキシ樹脂、ＣＦ質量：２７０ｇ／ｍ2、樹脂含有量：３３．０質量％）等を使用することができる。一方向炭素繊維プリプレグは、ＣＦの配向方向において高い弾性率が得られることから、そのＣＦの配向方向がロボットハンド１の長手方向と一致するように積層することが望ましい。
また、炭素繊維を平織り状に製織したものにエポキシ樹脂を含浸させて製造した炭素繊維平織りプリプレグ、例えば、ＦＭＰ６１−２０２６Ａ（新日本石油株式会社製、ＣＦ：東レ製ＰＡＮ系ＣＦ、Ｔ３００、マトリックス樹脂：エポキシ樹脂、ＣＦ質量：２００ｇ／ｍ2、樹脂含有量：４０．０質量％）等を使用することができる。炭素繊維平織りプリプレグは、ＣＦが０°及び９０°の２方向に配向されているため、ロボットハンド１に機械加工を施す場合にＣＦがささくれ立つ現象を防止する効果を有する。このことから、炭素繊維平織りプリプレグをロボットハンド１の表面に積層することにより、穴あけやザグリ等の機械加工によるバリの発生を防ぐことができる。
各板状部材３には、冷却水や冷却ガス等の冷媒を流通させるための貫通溝５が延在している。貫通溝５は、板状部材３の厚さ方向を深さ方向とする溝であって、板状部材３の一方の主面３ａと他方の主面３ｂとに開口している。貫通溝５の始端５ａ及び終端５ｂは、板状部材３の基端部分（所定の部分）３ｃに位置している。貫通溝５は、始端５ａから板状部材３の長手方向に沿って延在し、板状部材３の先端部分３ｄにおいて曲線状に折り返して板状部材３の長手方向に沿って延在し、終端５ｂに至っている。
ＦＲＰ成形体４において貫通溝５の始端５ａに対応する位置には、冷媒を導入させるための導入口６が形成されている。また、ＦＲＰ成形体４において貫通溝５の終端５ｂに対応する位置には、冷媒を導出させるための導出口７が形成されている。
以上のように構成されたロボットハンド１においては、ＦＲＰ成形体２が貫通溝５の一方の開口を覆うように板状部材３の一方の主面３ａに配置され、ＦＲＰ成形体４が貫通溝５の他方の開口を覆うように板状部材３の他方の主面３ｂに配置されることになる。そして、板状部材３及びＦＲＰ成形体２，４によって冷媒が流通する流路が形成され、導入口６から導出口７へとその流路に対し冷媒が循環させられる。
次に、上述したロボットハンド１の製造方法について説明する。まず、ウォータジェット加工やＮＣ加工等によって貫通溝５が形成された板状部材３を用意する。その一方で、アルミニウムやＭＣナイロンからなる芯金にプリプレグを巻き付けて積層することにより、ＦＲＰ成形体２となるプリプレグ積層体を得る。また、プリプレグを板状に積層した後、冷媒の導入口６及び導出口７を形成することにより、ＦＲＰ成形体４となるプリプレグ積層体を得る。
続いて、図３に示されるように、ＦＲＰ成形体２となるプリプレグ積層体の各側面上に、フィルム状の接着剤を介して板状部材３を固定する。これにより、フィルム状の接着剤を介して板状部材３の一方の主面３ａにＦＲＰ成形体２が固定され、ＦＲＰ成形体２によって貫通溝５の一方の開口が覆われることになる。更に、図４に示されるように、各板状部材３上に、フィルム状の接着剤を介してＦＲＰ成形体４となるプリプレグ積層体を固定する。これにより、フィルム状の接着剤を介して板状部材３の他方の主面３ｂにＦＲＰ成形体４が固定され、ＦＲＰ成形体４によって貫通溝５の他方の開口が覆われることになる。このように、貫通溝５が形成された板状部材３に対するＦＲＰ成形体２，４の固定にフィルム状の接着剤を用いることで、貫通溝５内に接着剤が流れ出して貫通溝５が接着剤によって埋まるのを防止することができる。更に、ＦＲＰ成形体４を配置した後、前述の炭素繊維平織りプリプレグを最外部に巻きつけることもできる。このことにより、穴あけやザグリ等の機械加工によるバリの発生を防ぐことが可能になる。
続いて、オートクレーブ法等によって熱硬化させた後に芯金を抜き取ることにより、ロボットハンド１を得る。このロボットハンド１は、上述したように、例えばガラス基板を搬送するための産業用ロボットに適用され、その産業用ロボットにおいては、冷媒の導入口６及び導出口７に冷媒ラインが接続されて、ロボットハンド１に冷媒が循環させられる。
以上説明したように、ロボットハンド１においては、板状部材３及びＦＲＰ成形体２，４によって冷媒が流通する流路が形成される。従って、その流路に冷媒を流通させることにより、ＦＲＰ成形体２，４が効率良く且つ確実に冷却されるので、炉に対してガラス基板を搬入及び搬出するなど、高温（例えば３００℃）下で使用することが可能となる。
また、ロボットハンド１においては、貫通溝５の始端５ａ及び終端５ｂが板状部材３の基端部分３ｃに位置しており、ＦＲＰ成形体４において貫通溝５の始端５ａに対応する位置に導入口６が形成され、ＦＲＰ成形体４において貫通溝５の終端５ｂに対応する位置に導出口７が形成されている。これにより、基端部分３ｃから先端部分３ｄに至る板状部材３の全体に渡るように貫通溝５を延在させつつ、冷媒の導入及び導出をスペース的に効率良く行うことが可能となる。
なお、図５に示されるように、ＦＲＰ成形体４は、繊維強化プラスチックからなる内側層４１及び外側層４２、並びに内側層４１と外側層４２との間に配置された制振弾性層４３を有するように構成されてもよい。この場合、制振弾性層４３によって、振動減衰時間の短縮化等、振動減衰特性の向上を図ることができる。しかも、繊維強化プラスチックからなる内側層４１と外側層４２とに制振弾性層４３が挟まれているので、制振弾性層４３の適用に起因した剛性の低下を防止することができる。従って、この構成によれば、剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることが可能となる。なお、制振弾性層４３は、繊維強化プラスチックに比べ、柔軟な材料であることが好ましく、特にゴム、エラストマー等の弾性材料からなる層である。制振弾性層の貯蔵弾性率としては、０．１〜５００ＭＰａ、好ましくは０．１〜１００ＭＰａ、更に好ましくは０．１〜５０ＭＰａであることが望ましい。また、制振弾性層としては、炭素繊維プリプレグからＣＦＲＰへの転換を熱硬化により行うことから、その際の熱に対しても安定な材料を使用することが好ましい。更に、制振弾性層は、ＣＦＲＰのマトリックス樹脂であるエポキシ樹脂材との接着性に優れた材料であることが好ましい。このような観点から、柔軟性樹脂材料としては、好ましくはスチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、ブチルゴム（ＩＩＲ）、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＭ，ＥＰＤＭ）等のゴムや、柔軟鎖を持つポリマーであるゴム、エラストマー等を添加することにより、弾性率を低くしたエポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等、繊維強化プラスチックに比べ柔軟な材料からなる。
［第２実施形態］
図６及び７に示されるように、ロボットハンド１０は、芯材として、Ｖ字形板状のＦＲＰ成形体（第１の繊維強化プラスチック成形体）１２を備えている。ＦＲＰ成形体１２上には、Ｖ字形板状の板状部材１３がフィルム状の接着剤を介して固定されており、板状部材１３上には、表面材として、Ｖ字形板状のＦＲＰ成形体（第２の繊維強化プラスチック成形体）１４が固定されている。このロボットハンド１０は、例えば半導体デバイスの製造工程においてシリコンウェハ等の半導体基板を搬送するための産業用ロボットに適用される。なお、ＦＲＰ成形体１２，１４は、ＧＦＲＰやＣＦＲＰ等の繊維強化プラスチックからなる。また、板状部材１３は、ＧＦＲＰやＣＦＲＰ等の繊維強化プラスチック、エポキシやビニルエステル等の樹脂、或いはアルミニウム等の金属等からなる。
ＦＲＰ成形体１２，１４の材料としては、前述の炭素繊維一方向プリプレグや炭素繊維平織りプリプレグを使用することができる。ＦＲＰ成形体１２，１４を製造する場合の好ましい積層構成として、表面及び裏面の両最外部には、炭素繊維平織りプリプレグを配置することにより、機械加工時のバリ発生を防止することができると共に、平織りプリプレグの間には、ＣＦの配向方向がロボットハンド１０の長手方向と一致するように炭素繊維一方向プリプレグを積層することにより、高い弾性率も得ることができる構造が好ましい。また、ＦＲＰ成形体１２，１４は、炭素繊維一方向プリプレグのみを使用して製造することもできるが、その際には、ＣＦの配向方向をロボットハンド１０の長手方向と一致させた層に加えて、その長手方向と９０°の方向にもＣＦが配向するように、一方向プリプレグを積層することが好ましい。
板状部材１３には、冷却水や冷却ガス等の冷媒を流通させるための貫通溝１５が延在している。貫通溝１５は、板状部材１３の厚さ方向を深さ方向とする溝であって、板状部材１３の一方の主面１３ａと他方の主面１３ｂとに開口している。貫通溝１５の始端１５ａ及び終端１５ｂは、板状部材１３の基端部分（所定の部分）１３ｃに位置している。貫通溝１５は、始端１５ａから板状部材１３の一方の爪部分１３ｄに至り、その爪部分１３ｄにおいて曲線状に折り返して板状部材３の他方の爪部分１３ｅに至り、その爪部分１３ｅにおいて曲線状に折り返して終端１５ｂに至っている。
ＦＲＰ成形体１４において貫通溝１５の始端１５ａに対応する位置には、冷媒を導入させるための導入口１６が形成されている。また、ＦＲＰ成形体１４において貫通溝１５の終端１５ｂに対応する位置には、冷媒を導出させるための導出口１７が形成されている。
以上のように構成されたロボットハンド１０においては、ＦＲＰ成形体１２が貫通溝１５の一方の開口を覆うように板状部材１３の一方の主面１３ａに配置され、ＦＲＰ成形体１４が貫通溝１５の他方の開口を覆うように板状部材１３の他方の主面１３ｂに配置されることになる。そして、板状部材１３及びＦＲＰ成形体１２，１４によって冷媒が流通する流路が形成され、導入口１６から導出口１７へとその流路に対し冷媒が循環させられる。
次に、上述したロボットハンド１０の製造方法について説明する。まず、ウォータジェット加工やＮＣ加工等によって貫通溝１５が形成された板状部材１３を用意する。その一方で、プリプレグを板状に積層することにより、ＦＲＰ成形体１２となるプリプレグ積層体を得る。また、プリプレグを板状に積層した後、冷媒の導入口１６及び導出口１７を形成することにより、ＦＲＰ成形体１４となるプリプレグ積層体を得る。
続いて、ＦＲＰ成形体１２となるプリプレグ積層体上に、フィルム状の接着剤を介して板状部材１３を固定する。これにより、フィルム状の接着剤を介して板状部材１３の一方の主面１３ａにＦＲＰ成形体１２が固定され、ＦＲＰ成形体１２によって貫通溝１５の一方の開口が覆われることになる。更に、板状部材１３上に、フィルム状の接着剤を介してＦＲＰ成形体１４となるプリプレグ積層体を固定する。これにより、フィルム状の接着剤を介して板状部材１３の他方の主面１３ｂにＦＲＰ成形体１４が固定され、ＦＲＰ成形体１４によって貫通溝１５の他方の開口が覆われることになる。このように、貫通溝１５が形成された板状部材１３に対するＦＲＰ成形体１２，１４の固定にフィルム状の接着剤を用いることで、貫通溝１５内に接着剤が流れ出して貫通溝１５が接着剤によって埋まるのを防止することができる。
続いて、オートクレーブ法等によって熱硬化させることにより、ロボットハンド１０を得る。このロボットハンド１０は、上述したように、例えば半導体基板を搬送するための産業用ロボットに適用され、その産業用ロボットにおいては、冷媒の導入口１６及び導出口１７に冷媒ラインが接続されて、ロボットハンド１０に冷媒が循環させられる。
以上説明したように、ロボットハンド１０においては、板状部材１３及びＦＲＰ成形体１２，１４によって冷媒が流通する流路が形成される。従って、その流路に冷媒を流通させることにより、ＦＲＰ成形体１２，１４が効率良く且つ確実に冷却されるので、半導体基板を搬送するに際して高温下で使用することが可能となる。
また、ロボットハンド１０においては、貫通溝１５の始端１５ａ及び終端１５ｂが板状部材１３の基端部分１３ｃに位置しており、ＦＲＰ成形体１４において貫通溝１５の始端１５ａに対応する位置に導入口１６が形成され、ＦＲＰ成形体１４において貫通溝１５の終端１５ｂに対応する位置に導出口１７が形成されている。これにより、基端部分１３ｃから爪部分１３ｄ，１３ｅに至る板状部材１３の全体に渡るように貫通溝１５を延在させつつ、冷媒の導入及び導出をスペース的に効率良く行うことが可能となる。
なお、図８に示されるように、ＦＲＰ成形体１４は、繊維強化プラスチックからなる内側層１４１及び外側層１４２、並びに内側層１４１と外側層１４２との間に配置された制振弾性層１４３を有するように構成されてもよい。この場合、制振弾性層１４３によって、振動減衰時間の短縮化等、振動減衰特性の向上を図ることができる。しかも、繊維強化プラスチックからなる内側層１４１と外側層１４２とに制振弾性層１４３が挟まれているので、制振弾性層１４３の適用に起因した剛性の低下を防止することができる。従って、この構成によれば、剛性の確保及び振動減衰特性の向上を図ることが可能となる。なお、制振弾性層１４３は、上述した制振弾性層４３と同様の材料からなる。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、ＦＲＰ成形体２（１２）において貫通溝５（１５）の始端５ａ（１５ａ）に対応する位置に、導入口６（１６）が形成されてもよいし、ＦＲＰ成形体２（１２）において貫通溝５（１５）の終端５ｂ（１５ｂ）に対応する位置に、導出口７（１７）が形成されてもよい。
また、ＦＲＰ成形体２（１２）が、繊維強化プラスチックからなる内側層及び外側層、並びに内側層と外側層との間に配置された制振弾性層を有するように構成されてもよいし、ＦＲＰ成形体２，４（１２，１４）の両方が、繊維強化プラスチックからなる内側層及び外側層、並びに内側層と外側層との間に配置された制振弾性層を有するように構成されてもよい。なお、芯材となるＦＲＰ成形体２，１２は、樹脂によって形成される場合もある。
また、図９に示されるように、ロボットハンド１は、円筒状（すなわち、断面円形の中空パイプ状）に構成されていてもよい。この場合、螺旋状に貫通溝５を形成したり（図９（ａ））、長手方向に沿って延在するように貫通溝５を形成したり（図９（ｂ））することができる。一例として、螺旋状に貫通溝５を形成するときには、貫通溝５の始端５ａを板状部材３の基端部分に位置させて導入口６をＦＲＰ成形体４に形成し、貫通溝５の終端５ｂを板状部材３の先端部分に位置させて導出口７をＦＲＰ成形体２に形成し、冷媒を帰還させるための冷媒ラインをロボットハンド１の内部に敷設すればよい。また、長手方向に沿って延在するように貫通溝５を形成するときには、板状部材３の先端部分において曲線状に折り返すことで、貫通溝５の始端５ａ及び終端５ｂを板状部材３の基端部分に位置させて導入口６及び導出口７をＦＲＰ成形体４に形成すればよい。なお、これらの貫通溝５は、複数本形成してもよい。
１，１０…ロボットハンド、２，１２…ＦＲＰ成形体（第１の繊維強化プラスチック成形体）、３，１３…板状部材、３ａ，１３ａ…一方の主面、３ｂ，１３ｂ…他方の主面、３ｃ，１３ｃ…基端部分（所定の部分）、４，１４…ＦＲＰ成形体（第２の繊維強化プラスチック成形体）、５，１５…貫通溝、５ａ，１５ａ…始端、５ｂ，１５ｂ…終端、６，１６…導入口、７，１７…導出口、４１，１４１…内側層、４２，１４２…外側層、４３，１４３…制振弾性層。

Claims (4)

  1. 冷媒を流通させるための貫通溝が延在する板状部材と、
    前記貫通溝を覆うように前記板状部材の一方の主面に配置された第１の繊維強化プラスチック成形体と、
    前記貫通溝を覆うように前記板状部材の他方の主面に配置された第２の繊維強化プラスチック成形体と、を備えることを特徴とするロボットハンド。
  2. 前記貫通溝の始端及び終端は、前記板状部材の所定の部分に位置しており、
    前記第１の繊維強化プラスチック成形体又は前記第２の繊維強化プラスチック成形体において前記貫通溝の前記始端に対応する位置には、前記冷媒を導入させるための導入口が形成され、
    前記第１の繊維強化プラスチック成形体又は前記第２の繊維強化プラスチック成形体において前記貫通溝の前記終端に対応する位置には、前記冷媒を導出させるための導出口が形成されていることを特徴とする請求項１記載のロボットハンド。
  3. 前記第１の繊維強化プラスチック成形体及び前記第２の繊維強化プラスチック成形体の少なくとも一方は、繊維強化プラスチックからなる内側層及び外側層、並びに前記内側層と前記外側層との間に配置された制振弾性層を有することを特徴とする請求項１又は２記載のロボットハンド。
  4. 冷媒を流通させるための貫通溝が延在する板状部材を用意する工程と、
    フィルム状の接着剤を介して前記板状部材の一方の主面に第１の繊維強化プラスチック成形体を固定し、前記第１の繊維強化プラスチック成形体によって前記貫通溝を覆うと共に、フィルム状の接着剤を介して前記板状部材の他方の主面に第２の繊維強化プラスチック成形体を固定し、前記第２の繊維強化プラスチック成形体によって前記貫通溝を覆う工程と、を備えることを特徴とするロボットハンドの製造方法。
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