JP2011107882A - シリコンウェーハの工程計画立案システム、工程計画立案方法及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】工程計画立案装置1は、プロセス別に個々の生産装置を経て得られる工程経路ごとの品質情報を蓄積したデータベースから該品質情報を取得して、生産装置の組合せによって得られるシリコンウェーハの品質分布を統計学的に推定する品質分布推定手段132と、生産装置の組合せによって得られる品質分布に基づいて、製造するシリコンウェーハに対して要求される品質規格を満たす生産装置の組合せを判定する生産装置組合せ判定手段134と、判定した生産装置の組合せに基づいて、プロセス別に選択可能な複数の生産装置を経て得られる工程経路を決定し、生産計画を提示する工程計画決定手段135とを備える。
【選択図】図2
Description
さらに、生産装置組合せ判定部134は、工程計画推定条件設定部131によって設定された生産量情報及び生産能力情報に基づいて、高い生産能力順に並び替えられた生産装置組合せについて降順に、予め規定された各生産装置の生産能力の情報から、製造するシリコンウェーハに対して要求される生産量を満たすのに実施できるか否かを判別し、要求される生産量を満たすのに実施可能な生産装置組合せを高い生産能力順に選定して、工程計画決定部135に送出する(ステップS5)。
2 データベース
3−1,3−2,3−3,3−n プロセスAにおける生産装置
4−1,4−2,4−3,4−n プロセスBにおける生産装置
5−1,5−2,5−3,5−n プロセスCにおける生産装置
10 工程計画立案システム
11 条件情報入力部
12 品質情報入力部
13 制御部
14 記憶部
15 工程計画出力部
131 工程計画推定条件設定部
132 生産装置組合せ別品質分布推定部
133 歩留り推定部
134 生産装置組合せ判定部
135 工程計画決定部
135b 更新型工程計画決定部
136 品質監視部
200 工程計画立案システム
Claims (7)
- シリコンウェーハの製造における複数のプロセスにて、プロセス別に選択可能な複数の生産装置を有する製造ラインに対して生産計画を提示する工程計画立案装置を備える工程計画立案装置システムであって、
プロセス別に選択可能な複数の生産装置と、
プロセス別に個々の生産装置を経て得られる工程経路ごとの品質情報を蓄積したデータベースとを備え、
前記工程計画立案装置は、
前記データベースから該品質情報を取得して、生産装置の組合せによって得られるシリコンウェーハの品質分布を統計学的に推定する品質分布推定手段と、
前記生産装置の組合せによって得られるシリコンウェーハの品質分布に基づいて、製造するシリコンウェーハに対して要求される品質規格を満たす生産装置の組合せを判定する生産装置組合せ判定手段と、
判定した生産装置の組合せに基づいて、プロセス別に選択可能な複数の生産装置を経て得られる工程経路を決定し、生産計画を提示する工程計画決定手段と、
を備えることを特徴とする工程計画立案システム。 - 前記生産装置組合せ判定手段は、
前記品質分布推定手段によって推定した品質分布に対して、製造するシリコンウェーハに対して要求される品質規格を満たす歩留りを推定し、
所定の歩留りを満たし、且つ前記品質規格を満たす当該生産装置の組合せ毎の品質分布を有する生産装置の組合せを判定することを特徴とする、請求項1に記載の工程計画立案システム。 - 前記生産装置組合せ判定手段は、
生産装置の組合せによって得られるシリコンウェーハの各品質分布について品質及び/又は歩留りの高い品質分布を有する生産装置の組合せから降順に、前記品質規格を満たす生産装置の組合せを判定することを特徴とする、請求項1又は2に記載の工程計画立案システム。 - 前記生産装置組合せ判定手段は、
製造するシリコンウェーハに対して要求される品質規格を満たす生産装置の組合せを判定する際に、予め規定された各生産装置の生産能力の情報から、製造するシリコンウェーハに対して要求される生産量を満たすのに実施できるか否かを判別して、前記生産装置の組合せを判定することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の工程計画立案システム。 - 前記工程計画立案装置は、
前記生産計画に基づいて製造されたシリコンウェーハについて、生産装置の組合せごとの品質及び歩留りの情報を監視する品質監視手段と、
監視する生産装置の組合せについて所定の歩留りを満たしていないと判断する場合に、プロセス別に選択可能な複数の生産装置を経て得られる工程経路を改めて決定し、生産計画を更新する更新型工程計画決定手段と、
をさらに備えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の工程計画立案システム。 - シリコンウェーハの製造における複数のプロセスにて、プロセス別に選択可能な複数の生産装置を有する製造ラインに対して生産計画を提示する工程計画立案方法であって、
プロセス別に個々の生産装置を経て得られる工程経路ごとの品質情報を蓄積したデータベースから該品質情報を取得して、生産装置の組合せによって得られるシリコンウェーハの品質分布を統計学的に推定するステップと、
前記生産装置の組合せによって得られるシリコンウェーハの品質分布に基づいて、製造するシリコンウェーハに対して要求される品質規格を満たす生産装置の組合せを判定するステップと、
判定した生産装置の組合せに基づいて、プロセス別に選択可能な複数の生産装置を経て得られる工程経路を決定し、生産計画を提示するステップと、
を含むことを特徴とする工程計画立案方法。 - シリコンウェーハの製造における複数のプロセスにて、プロセス別に選択可能な複数の生産装置を有する製造ラインに対して生産計画を提示する工程計画立案装置として構成するコンピュータに、
プロセス別に個々の生産装置を経て得られる工程経路ごとの品質情報を蓄積したデータベースから該品質情報を取得して、生産装置の組合せによって得られるシリコンウェーハの品質分布を統計学的に推定するステップと、
前記生産装置の組合せによって得られるシリコンウェーハの品質分布に基づいて、製造するシリコンウェーハに対して要求される品質規格を満たす生産装置の組合せを判定するステップと、
判定した生産装置の組合せに基づいて、プロセス別に選択可能な複数の生産装置を経て得られる工程経路を決定し、生産計画を提示するステップと、
を実行させるためのプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009260919A JP5540659B2 (ja) | 2009-11-16 | 2009-11-16 | シリコンウェーハの工程計画立案システム、工程計画立案方法及びプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009260919A JP5540659B2 (ja) | 2009-11-16 | 2009-11-16 | シリコンウェーハの工程計画立案システム、工程計画立案方法及びプログラム |
Publications (2)
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JP2011107882A true JP2011107882A (ja) | 2011-06-02 |
JP5540659B2 JP5540659B2 (ja) | 2014-07-02 |
Family
ID=44231295
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009260919A Active JP5540659B2 (ja) | 2009-11-16 | 2009-11-16 | シリコンウェーハの工程計画立案システム、工程計画立案方法及びプログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5540659B2 (ja) |
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