JP7133775B2 - 表示装置、製造システム及び表示方法 - Google Patents
表示装置、製造システム及び表示方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7133775B2 JP7133775B2 JP2019529743A JP2019529743A JP7133775B2 JP 7133775 B2 JP7133775 B2 JP 7133775B2 JP 2019529743 A JP2019529743 A JP 2019529743A JP 2019529743 A JP2019529743 A JP 2019529743A JP 7133775 B2 JP7133775 B2 JP 7133775B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- component
- productivity
- display device
- components
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 155
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 133
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 106
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 59
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 50
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 35
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 17
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 claims description 13
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 claims description 13
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 13
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 7
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 12
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 11
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 10
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 7
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q50/00—Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
- G06Q50/04—Manufacturing
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41875—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by quality surveillance of production
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
- H05K13/083—Quality monitoring using results from monitoring devices, e.g. feedback loops
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/32—Operator till task planning
- G05B2219/32366—Line performance evaluation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Tourism & Hospitality (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Marketing (AREA)
- Primary Health Care (AREA)
- Strategic Management (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Economics (AREA)
- General Business, Economics & Management (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Human Resources & Organizations (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
上記課題を解決するために、本開示の一態様に係る表示装置は、複数の処理を実行することで製造物を製造する製造設備の生産性を表示する表示装置であって、前記製造設備は、複数の構成要素からなる構成要素群を複数備え、前記複数の処理の各々は、複数の前記構成要素群から選択された複数の構成要素によって実行され、複数の前記構成要素群は、複数の第1の構成要素からなる第1の構成要素群と、複数の第2の構成要素からなる第2の構成要素群とを含み、前記表示装置は、前記製造設備から製造ログ情報を取得する取得部と、前記製造ログ情報に基づいて、前記第1の構成要素と前記第2の構成要素との組み合わせ毎に、生産性を示す指標を算出する算出部と、前記組み合わせ毎の生産性を示す指標を、前記複数の第1の構成要素を配置した第1の軸、及び、前記複数の第2の構成要素を配置した第2の軸を有する格子状マップにおいて前記組み合わせに対応する交点の位置に表示する表示部とを備える。
[1-1.構成]
まず、実施の形態1に係る表示装置、及び、当該表示装置を備える製造システムの構成について、図1を用いて説明する。図1は、本実施の形態に係る製造システム10の構成を示す図である。
続いて、本実施の形態に係る表示部130が表示する生産性指標マップについて、図4を用いて説明する。図4は、本実施の形態に係る表示装置100が表示する生産性指標マップ200の一例を示す図である。
続いて、本実施の形態に係る表示装置100の第1の動作(格子状マップの表示)について、図6を用いて説明する。図6は、本実施の形態に係る表示装置100の第1の動作(表示方法)を示すフローチャートである。具体的には、図6は、表示装置100が行う生産性指標マップ200の表示処理を示している。
続いて、本実施の形態に係る表示装置100の第2の動作(異常判定)について説明する。図9は、本実施の形態に係る表示装置100の第2の動作を示すフローチャートである。
以上のように、本実施の形態に係る表示装置100及び表示方法によれば、複数の構成要素の組み合わせ毎の生産性を示す指標が格子状マップに二次元的に表示されるので、構成要素毎の生産性の良し悪しが分かりやすくなる。このため、生産性が悪い構成要素を容易に推定することが可能になる。
ここで、本実施の形態に係る表示装置100が表示する生産性指標マップの変形例について説明する。
続いて、実施の形態2について説明する。
まず、本実施の形態に係る表示装置の構成について、図13を用いて説明する。図13は、本実施の形態に係る表示装置400の構成を示すブロック図である。
次に、本実施の形態に係る表示装置400の動作について、図14を用いて説明する。図14は、本実施の形態に係る表示装置400の動作を示すフローチャートである。
以上、1つ又は複数の態様に係る表示装置、製造システム及び表示方法について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、これらの実施の形態に限定されるものではない。本開示の主旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したもの、及び、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本開示の範囲内に含まれる。
20 製造設備
30 製造物
31 基板
32 部品
100、400 表示装置
110 取得部
120 算出部
130 表示部
140 記憶部
200、201、202、300 生産性指標マップ
210 縦軸
211 横軸
310 第1の軸
311 第2の軸
312 第3の軸
450 受付部
Claims (13)
- 複数の処理を実行することで製造物を製造する製造設備の生産性を表示する表示装置であって、
前記製造設備は、複数の構成要素からなる構成要素群を複数備え、
前記複数の処理の各々は、複数の前記構成要素群から選択された複数の構成要素によって実行され、
複数の前記構成要素群は、複数の第1の構成要素からなる第1の構成要素群と、複数の第2の構成要素からなる第2の構成要素群とを含み、
前記表示装置は、
前記製造設備から製造ログ情報を取得する取得部と、
前記製造ログ情報に基づいて、前記第1の構成要素と前記第2の構成要素との組み合わせ毎に、生産性を示す指標を算出する算出部と、
前記組み合わせ毎の生産性を示す指標を、前記複数の第1の構成要素を配置した第1の軸、及び、前記複数の第2の構成要素を配置した第2の軸を有する格子状マップにおいて前記組み合わせに対応する交点の位置に表示する表示部とを備える
表示装置。 - 前記算出部は、さらに、前記格子状マップにおける前記第1の軸及び前記第2の軸のいずれかに沿った行又は列毎に統計処理を行うことで、当該行又は列に対応する構成要素の異常の有無の判定又は異常度の算出を行い、
前記表示部は、さらに、前記判定の結果、又は、前記異常度を表示する
請求項1に記載の表示装置。 - 前記製造ログ情報は、前記複数の処理の各々に対して、処理を行った複数の構成要素と、処理の実績とを対応付けて示す
請求項1又は2に記載の表示装置。 - 前記実績は、対応する処理中のエラーの有無、対応する処理の開始時刻、対応する処理の終了時刻、及び、対応する処理の良不良の判定結果の少なくとも1つを示す
請求項3に記載の表示装置。 - 前記実績は、対応する処理の開始時刻及び対応する処理の終了時刻の少なくとも一方を示し、
前記算出部は、さらに、前記製造ログ情報のうち、対応する処理の開始時刻及び対応する処理の終了時刻の少なくとも一方が所定の集計期間に含まれる情報に基づいて、前記指標を算出する
請求項3又は4に記載の表示装置。 - さらに、複数の構成要素群に含まれる2つの構成要素群のユーザによる選択を受け付ける受付部を備え、
前記算出部は、前記受付部によって受け付けられた2つの構成要素群を前記第1の構成要素群及び前記第2の構成要素群として、前記指標を算出する
請求項1~5のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記格子状マップは、前記指標を色又は大きさの差異によって表すヒートマップである
請求項1~6のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記指標は、
(a)対応する組み合わせを含む1以上の処理のうち、不良と判定された数に相当する不良数、
(b)対応する組み合わせを含む1以上の処理のうち、不良と判定された処理の割合に相当する不良率、
(c)対応する組み合わせを含む1以上の処理で発生するエラーの頻度に相当するエラー頻度、
(d)対応する組み合わせを含む1以上の処理のうち、不良と判定された処理が行われる時間間隔に相当する発生間隔、
(e)対応する組み合わせを含む1以上の処理に要する時間に相当する生産時間、
(f)対応する組み合わせを含む1以上の処理を行うために待機する時間に相当する待ち時間、
(g)対応する組み合わせを含む1以上の処理が停止している時間に相当する停止時間、
(h)対応する組み合わせを含む1以上の処理を行うことで製造された複数の前記製造物の歩留まり、
(i)対応する組み合わせを含む1以上の処理を行うことで製造された複数の前記製造物の生産計画比、
(j)対応する組み合わせを含む1以上の処理を行うことで製造された複数の前記製造物の検査結果、及び、
(k)これらの少なくとも1つを統計処理することで算出された統計量
のうち少なくとも1つを含む
請求項1~7のいずれか1項に記載の表示装置。 - 複数の前記構成要素群は、さらに、複数の第3の構成要素からなる第3の構成要素群を含み、
前記算出部は、前記製造ログ情報に基づいて、前記第1の構成要素と前記第2の構成要素と前記第3の構成要素との組み合わせ毎に、生産性を示す指標を算出する
請求項1~8のいずれか1項に記載の表示装置。 - 前記格子状マップは、前記複数の第3の構成要素を配置した第3の軸をさらに有する3次元格子状マップである
請求項1~9のいずれか1項に記載の表示装置。 - 請求項1~10のいずれか1項に記載の表示装置と、
前記製造設備とを備える
製造システム。 - 複数の処理を実行することで製造物を製造する製造設備の生産性を表示する表示方法であって、
前記製造設備は、複数の構成要素からなる構成要素群を複数備え、
前記複数の処理の各々は、複数の前記構成要素群から選択された複数の構成要素によって実行され、
複数の前記構成要素群は、複数の第1の構成要素からなる第1の構成要素群と、複数の第2の構成要素からなる第2の構成要素群とを含み、
前記表示方法は、
前記製造設備から製造ログ情報を取得する取得し、
前記製造ログ情報に基づいて、前記第1の構成要素と前記第2の構成要素との組み合わせ毎に、生産性を示す指標を算出し、
前記組み合わせ毎の生産性を示す指標を、前記複数の第1の構成要素を配置した第1の軸、及び、前記複数の第2の構成要素を配置した第2の軸を有する格子状マップにおいて前記組み合わせに対応する交点の位置に表示する
表示方法。 - 請求項12に記載の表示方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017138094 | 2017-07-14 | ||
JP2017138094 | 2017-07-14 | ||
PCT/JP2018/026095 WO2019013225A1 (ja) | 2017-07-14 | 2018-07-10 | 表示装置、製造システム及び表示方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019013225A1 JPWO2019013225A1 (ja) | 2020-05-21 |
JP7133775B2 true JP7133775B2 (ja) | 2022-09-09 |
Family
ID=65001257
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019529743A Active JP7133775B2 (ja) | 2017-07-14 | 2018-07-10 | 表示装置、製造システム及び表示方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11526158B2 (ja) |
JP (1) | JP7133775B2 (ja) |
CN (1) | CN110892347A (ja) |
WO (1) | WO2019013225A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3926427A4 (en) * | 2019-02-13 | 2022-04-20 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | WORK EFFICIENCY EVALUATION METHOD, WORK EFFICIENCY EVALUATION SYSTEM AND PROGRAM |
EP3944730A4 (en) * | 2019-03-19 | 2022-03-30 | Fuji Corporation | MOUNTING ERROR CAUSE ESTIMATING DEVICE AND MOUNTING ERROR CAUSE ESTIMATING METHOD |
JP7326631B2 (ja) | 2020-08-25 | 2023-08-15 | 株式会社Fuji | エラー原因推定装置およびエラー原因推定方法 |
JP7484733B2 (ja) * | 2021-01-06 | 2024-05-16 | オムロン株式会社 | 管理システム、管理装置、管理方法、及びプログラム |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002182729A (ja) | 2000-12-13 | 2002-06-26 | Sony Corp | 生産制御方法 |
JP2003150234A (ja) | 2001-11-16 | 2003-05-23 | Nippon Steel Corp | 製造プロセスにおける操業解析装置、その方法、及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
JP2007280365A (ja) | 2006-03-15 | 2007-10-25 | Satoru Takemura | 思考支援方法、そのプログラム及び記録媒体 |
JP2008146621A (ja) | 2006-11-14 | 2008-06-26 | Nippon Steel Corp | 製品の品質改善条件解析装置、解析方法、コンピュータプログラム、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP2008299531A (ja) | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 工程の処理順序を決定する技術 |
WO2009084423A1 (ja) | 2007-12-27 | 2009-07-09 | Hitachi, Ltd. | ボトルネック装置抽出方法およびボトルネック装置抽出支援装置 |
JP2011107882A (ja) | 2009-11-16 | 2011-06-02 | Sumco Corp | シリコンウェーハの工程計画立案システム、工程計画立案方法及びプログラム |
US20120215335A1 (en) | 2011-02-18 | 2012-08-23 | International Business Machines Corporation | Detecting combined tool incompatibilities and defects in semiconductor manufacturing |
US20150039652A1 (en) | 2013-08-01 | 2015-02-05 | Alpha Beta Analytics, LLC | Systems and methods for automated analysis, screening and reporting of group performance |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3114875B2 (ja) * | 1990-11-29 | 2000-12-04 | 株式会社日立製作所 | レイアウト設計方法 |
JPH0637497A (ja) | 1992-07-13 | 1994-02-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品の組立装置 |
JPH06348769A (ja) * | 1993-06-14 | 1994-12-22 | Omron Corp | 機械構成/機械配置決定装置またはその方法 |
JPH10198403A (ja) | 1997-01-09 | 1998-07-31 | Hitachi Ltd | 多品種生産方法 |
JP2994321B2 (ja) * | 1998-03-20 | 1999-12-27 | 九州日本電気株式会社 | 製造工程の生産管理システム |
US6259959B1 (en) * | 1998-09-04 | 2001-07-10 | International Business Machines Corporation | Method for determining the performance components of a manufacturing line |
US6556949B1 (en) * | 1999-05-18 | 2003-04-29 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing techniques |
US6580960B1 (en) * | 2000-06-22 | 2003-06-17 | Promos Technologies, Inc. | System and method for finding an operation/tool combination that causes integrated failure in a semiconductor fabrication facility |
US6732000B2 (en) * | 2002-05-30 | 2004-05-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Unified method and system for manufacturing tool set performance analysis |
CN1714361A (zh) * | 2003-05-02 | 2005-12-28 | 富士通株式会社 | 制造工程分析支持方法、使计算机执行该方法的程序、程序产品及记录介质 |
US7783455B1 (en) * | 2005-03-04 | 2010-08-24 | Globalfoundries Inc. | Methods and systems for analyzing process equipment processing variations using sensor data |
JP4860269B2 (ja) * | 2006-01-13 | 2012-01-25 | 富士フイルム株式会社 | 評価装置および評価プログラム |
US7337033B1 (en) * | 2006-07-28 | 2008-02-26 | International Business Machines Corporation | Data mining to detect performance quality of tools used repetitively in manufacturing |
US8648860B2 (en) * | 2007-08-06 | 2014-02-11 | Csi Technology, Inc. | Graphics tools for interactive analysis of three-dimensional machine data |
US8170704B2 (en) * | 2008-03-31 | 2012-05-01 | Globalfoundries Inc. | Method and system for automatic generation of throughput models for semiconductor tools |
US9870629B2 (en) * | 2008-06-20 | 2018-01-16 | New Bis Safe Luxco S.À R.L | Methods, apparatus and systems for data visualization and related applications |
US8285414B2 (en) * | 2009-03-31 | 2012-10-09 | International Business Machines Corporation | Method and system for evaluating a machine tool operating characteristics |
JP2013186866A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Hitachi Ltd | 加工工程計画装置 |
EP2872955A4 (en) * | 2012-07-10 | 2016-08-10 | Matitiahu Tiano | MODULAR SYSTEM FOR REAL-TIME EVALUATION AND MONITORING OF THE TOTAL PERFORMANCE OF A MACHINING PRODUCTION LINE CALCULATED FROM ALL INDIVIDUAL WORKPIECES, TOOLS AND MACHINES |
JP6209959B2 (ja) | 2013-12-03 | 2017-10-11 | 富士通株式会社 | 表示方法、表示装置及び表示プログラム |
US10054936B2 (en) * | 2014-02-28 | 2018-08-21 | Schneider Electric Software, Llc | Manufacturing execution system and method of determining production metrics for a line |
WO2015167558A1 (en) * | 2014-04-30 | 2015-11-05 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Determination of compatible equipment in a manufacturing environment |
CN107850888B (zh) * | 2015-07-24 | 2020-10-09 | 富士通株式会社 | 制造工序管理系统、制造工序管理方法以及制造工序管理程序 |
JP6348138B2 (ja) * | 2016-04-08 | 2018-06-27 | ファナック株式会社 | 製造セルの稼働率を向上させる製造管理システム |
-
2018
- 2018-07-10 US US16/628,928 patent/US11526158B2/en active Active
- 2018-07-10 WO PCT/JP2018/026095 patent/WO2019013225A1/ja active Application Filing
- 2018-07-10 JP JP2019529743A patent/JP7133775B2/ja active Active
- 2018-07-10 CN CN201880045783.1A patent/CN110892347A/zh active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002182729A (ja) | 2000-12-13 | 2002-06-26 | Sony Corp | 生産制御方法 |
JP2003150234A (ja) | 2001-11-16 | 2003-05-23 | Nippon Steel Corp | 製造プロセスにおける操業解析装置、その方法、及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
JP2007280365A (ja) | 2006-03-15 | 2007-10-25 | Satoru Takemura | 思考支援方法、そのプログラム及び記録媒体 |
JP2008146621A (ja) | 2006-11-14 | 2008-06-26 | Nippon Steel Corp | 製品の品質改善条件解析装置、解析方法、コンピュータプログラム、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP2008299531A (ja) | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 工程の処理順序を決定する技術 |
WO2009084423A1 (ja) | 2007-12-27 | 2009-07-09 | Hitachi, Ltd. | ボトルネック装置抽出方法およびボトルネック装置抽出支援装置 |
JP2011107882A (ja) | 2009-11-16 | 2011-06-02 | Sumco Corp | シリコンウェーハの工程計画立案システム、工程計画立案方法及びプログラム |
US20120215335A1 (en) | 2011-02-18 | 2012-08-23 | International Business Machines Corporation | Detecting combined tool incompatibilities and defects in semiconductor manufacturing |
US20150039652A1 (en) | 2013-08-01 | 2015-02-05 | Alpha Beta Analytics, LLC | Systems and methods for automated analysis, screening and reporting of group performance |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110892347A (zh) | 2020-03-17 |
WO2019013225A1 (ja) | 2019-01-17 |
US11526158B2 (en) | 2022-12-13 |
JPWO2019013225A1 (ja) | 2020-05-21 |
US20200192339A1 (en) | 2020-06-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7133775B2 (ja) | 表示装置、製造システム及び表示方法 | |
US8421803B2 (en) | Information display system and information display method for quality control of component-mounted substrate | |
US8406503B2 (en) | Mounted component inspection apparatus, component mounting machine comprising the mounted component inspection apparatus, and mounted component inspection method | |
US10860004B2 (en) | Management system and non-transitory computer-readable recording medium | |
TWI570874B (zh) | 用於追蹤半導體封裝之系統及方法 | |
US8312401B2 (en) | Method for smart defect screen and sample | |
WO2015114828A1 (ja) | 基板生産モニタリング装置および基板生産モニタリング方法 | |
JPWO2019003524A1 (ja) | 可視化システム | |
CN103187329A (zh) | 一种晶圆良率分析方法 | |
CN103943523A (zh) | 半导体生产过程中的抽样量测方法 | |
CN109976289A (zh) | 生产线kpi监测方法、装置、电子设备及可读介质 | |
US20210240172A1 (en) | Dynamic value stream management | |
JPWO2018138925A1 (ja) | データ処理装置およびデータ処理方法 | |
CN100435052C (zh) | 工序管理装置及其控制方法、工序管理程序及记录介质 | |
CN107004618A (zh) | 测量数据对制造工具位置和处理批次或时间的映射 | |
CN104898040B (zh) | 印刷电路板的自动化测试方法及系统 | |
US20100017010A1 (en) | Monitoring a process sector in a production facility | |
JP2007058690A (ja) | 情報処理装置、情報処理方法、プログラム、および、プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
TWI657402B (zh) | 晶圓製造管理方法以及晶圓製造管理系統 | |
WO2019013196A1 (ja) | 製造管理装置、製造システム及び製造管理方法 | |
JP2011003126A (ja) | 製造工場における工程診断システム | |
CN113573506B (zh) | Pcb的生产工艺及pcb线路板 | |
US10691028B2 (en) | Overlay variance stabilization methods and systems | |
CN103679327A (zh) | 制造管理系统以及制造管理方法 | |
JP6664564B1 (ja) | 情報技術活用評価装置、情報技術活用評価システムおよび情報技術活用評価方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220412 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220614 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220809 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220818 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7133775 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |