JPH10198403A - 多品種生産方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多種類の製品を共通の生産ラインにおいて効
率良く製造し得るようにする。 【解決手段】 作業対象物に対して処理や検査などの作
業をそれぞれ行う複数の作業工程によって生産ラインが
形成され、この生産ラインには複数種類の作業対象物が
混在した状態で搬送されながら生産される。複数の作業
工程のうちの少なくとも１つは作業対象物の種類に応じ
て設備や治工具が交換される。複数の作業工程のうち隘
路工程の稼働率が高くなるようにこの隘路工程における
作業対象物に対する処理などの作業を着工する着工スケ
ジュールを作成し、この着工スケジュールに基づいて、
隘路工程よりも上流側に配置された作業工程における作
業対象物の着工順序を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、それぞれ所定の処
理、加工ないし検査などの作業を行う複数の作業工程を
有する生産ラインに対して、相互に種類が相違した複数
の種類の作業対象物を混在させた状態で搬送しつつ多種
類の製品を生産する多品種生産方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】それぞれ所定の処理、加工および検査な
どの作業を行う複数の作業工程を経て生産する量産品で
あって、多種類の製品を生産する場合には、生産効率を
向上するために、同一の生産ラインに多種類の作業対象
物を混在させた状態で搬送しながら生産するようにして
いる。

【０００３】このように複数の種類の作業対象物が投入
される生産ラインにあっては、生産ラインを構成する各
作業工程は処理、加工あるいは検査などの種々の作業が
なされる作業対象物の属性値に対応させて作業内容の設
定を変える必要がある設備を複数台備えている。この設
備の設定状態の変更には作業時間に比べて長い時間がか
かる場合もあり、工程によってあるいは作業対象物によ
ってさらには作業対象物とそれに処理などの所定の作業
を行う設備との組合せによって作業時間が異なる場合が
ある。さらに、各設備には複数の種類の治工具が設けら
れ、作業対象物の種類に応じて治工具の属性を変更する
ようにしており、治工具の交換が作業時間と同等の長さ
になる場合もあり、設備によっては治工具の数に制限が
ある場合もある。

【０００４】たとえば、半導体集積回路装置は、半導体
ウエハに酸化処理やイオン注入などの作業を行って集積
回路を形成するウエハ処理工程と、半導体ウエハを各々
の半導体ペレットを切り出して最終製品に組み立てる組
立工程と、組立られた後に良品である半導体集積回路装
置のみを選別する選別工程とを経て生産されている。そ
れぞれの工程は、それぞれ所定の処理や検査などを行う
複数の作業工程が一連に配置された生産ラインとなって
おり、それぞれの生産ラインには、相互に種類が相違し
た複数の作業対象物である半導体集積回路装置が混在さ
れた状態で搬送されて製品化される。

【０００５】半導体集積回路を製造する生産ラインのう
ち、選別工程のみに着目すると、この選別工程を構成す
る生産ラインは、パッケージングされた所定数の半導体
製品を１ロットとして、ストック部から投入される製品
に製品名などを表示するマーキング工程と、製品に熱的
負荷などを加えるバーインつまりエージングを行う工程
と、電気的機能を検査するテスト工程とを有している。

【０００６】このような多種類の製品を生産する場合に
は、各処理工程における現状の仕掛かり待ち製品の数量
などの情報を直前の処理工程に伝え、この情報を見なが
ら下流側の処理工程において着工される製品の数量を直
前の処理工程で決定するようにした着工制御技術がある
（特開昭60-150952 号公報参照) 。

【０００７】また、現状の各処理工程に存在する製品の
数量に基づいて将来の製品の数量をシミュレーション
し、このシミュレーション結果に基づき、着工する製品
の数量を指示するようにした生産制御技術がある（特開
昭63-312050 号公報参照) 。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】量産品の製造にあって
は、市場ニーズに合致した製品を早く市場に投入する必
要があり、市場ニーズにあった製品を開発するのが設計
の課題であり、その製品をできるだけ早く市場に投入す
るために、いかにして製造期間を短縮するかが製造技術
分野の課題となっている。製造期間を短縮するために
は、各作業工程での正味の作業時間を短縮することと、
各工程に存在する作業対象物の数を減らして待ち時間を
短縮することが必要であるが、各作業工程での作業時間
自体を短縮することは限度があることから、製造期間の
短縮には、待ち時間つまり仕掛かり待ち時間を短縮する
ことが必要となっている。

【０００９】しかしながら、作業対象物の種類が多く、
かつそれらの属性が変わると設備の設定変更や治工具の
交換が必要であって、その設定や交換時間が長い生産ラ
インでは、仕掛かり待ちとなっている作業対象物を減ら
していくと、作業対象物が変わるたびに設備の設定変更
や治工具の交換作業が発生し、設備の単位時間当たりの
生産量が少なくなるという新たな問題が発生することに
なる。なぜならば、作業対象物の種類が多い場合には、
特定の作業工程によってはその工程における治工具を変
更することなく、そのまま作業することができる作業対
象物が存在することがあるが、作業対象物の種類を減少
していくと、それが変わるたびに設備の変更や治工具の
交換作業が発生する可能性が高くなるからである。

【００１０】前者の公報に記載された従来技術にあって
は、特定の工程において仕掛かり待ちとなっている作業
対象物をやりくりするだけで、１つ前の工程の着工を制
御し、その工程の設備可動率を上げることを企図した技
術であるが、製造期間が短い場合には、ある工程の着工
順序は、１つの工程だけでなく、複数の下流工程に影響
を与えることになる。

【００１１】また、後者の公報に記載された従来技術に
あっては、複数の工程にわたって、事前に設備別に作業
対象物をいつ処理するかをシミュレーションし、結果が
良ければそのシミュレーションの結果通りに指示するの
で、精度の高いシミュレーションが必要であり、そのた
めには、設備や治工具の情報を全工程について詳細に定
義する必要があり、膨大なデータの管理が難しかった。
さらに、全工程で設備別に作業対象物単位に着工スケジ
ュールを決定するようにしているため、シミュレーショ
ンしてから時間が経過すると共に、現実とシミュレーシ
ョンの結果が合わなくなり、再シミュレーションとそれ
に基づく指示の変更が頻繁に発生し、作業者が混乱する
可能性があった。

【００１２】たとえば、半導体集積回路装置を製造する
生産ラインにあっては、複数の作業工程が一連に配置さ
れており、作業対象物つまり被処理物は順次各作業工程
において所定の作業が行われるが、特定の作業工程では
作業対象物の種類に対応して複数の設備が配置されてお
り、種類に応じて所定の設備が選択される。また、それ
ぞれの作業対象物を共通の設備で処理するようにした作
業工程では、設備の設定変更や治工具を変更するように
している。このように、それぞれの作業工程に設けられ
る設備は、１台の設備の処理能力に応じて所定数が配置
されているが、設備の価格が高い場合などのような特定
の設備では作業対象物の種類に応じて多数の設備を配置
することが困難な場合がある。

【００１３】そのような作業工程にあっては、共通の設
備により複数の作業対象物を処理するように作業対象物
の種類に対応させて治工具を用意しておき、その種類に
応じて治工具を交換するようにしており、その作業工程
の直前で処理待ちつまり仕掛かり待ちの状態にしておか
なければならない作業対象物が多くなるので、ネック工
程つまり隘路工程となることがあり、他の作業工程に比
して隘路工程の存在により生産ライン全体の生産効率を
低下させることになる。

【００１４】本発明の目的は、多種類の製品を共通の生
産ラインにおいて効率良く製造し得るようにすることに
ある。

【００１５】本発明の他の目的は、生産ライン全体の生
産量を落とすことなく、各々の製品についての生産時間
を短縮することにある。

【００１６】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１８】すなわち、本発明の多品種生産方法は、そ
れぞれ作業対象物に対して所定の処理や加工や検査など
の作業を行う複数の作業工程を有し、これら複数の作業
工程のうち少なくとも１つの作業工程は作業対象物の種
類に応じて設備や治工具が交換される作業工程となって
いる生産ラインに、複数種類の作業対象物を投入して複
数種類の作業対象物を混在させた状態で搬送しながら生
産する多品種生産方法であって、それぞれの作業工程に
おける作業中および作業待ちの作業対象物の種類と数の
工程情報と、それぞれの作業対象物についての処理の順
番およびそれぞれの作業工程における処理時間の生産プ
ロセス設備情報とに基づいて、それぞれの作業工程のう
ち隘路工程における着工スケジュールを作成し、隘路工
程における着工スケジュールに基づいて隘路工程よりも
上流側に位置する作業工程に対して作業対象物の着工順
序を制御する。

【００１９】本発明にあっては、隘路工程における着工
スケジュールに基づいて隘路工程よりも上流側の作業工
程の着工順序を制御するようにしたので、隘路工程の稼
働率を向上することができる。

【００２０】着工スケジュールは、隘路工程において同
じ設備あるいは同じ治工具を使用することになる作業対
象物を優先することにより、設備の設定時間や治工具交
換時間を少なくして設備の稼働可能時間を増やすように
したり、それぞれの作業対象物が生産ラインの最初の作
業工程に投入された時刻によって作業対象物をグループ
に分類し、投入時刻が早いグループの作業対象物を優先
し、生産ライン全体における全ての前記作業対象物の製
造期間を短縮するようにする。

【００２１】着工スケジュールが作成された後には、作
業者は入力手段を操作することによって、着工スケジュ
ールを変更することができ、手空き時間を少なくして設
備の稼働可能時間を増やすことができる。このように、
着工スケジュールを変更することができるので、実際の
着工順序に影響する情報であっても、作業者が知り得る
情報であれば、工程情報管理手段や生産プロセス・設備
情報管理手段で必ずしも管理しなくても、着工スケジュ
ールを作成することがで、情報管理の面でもスケジュー
ル作成の面でも柔軟性を持たせることができる。

【００２２】隘路工程よりも上流側の作業工程において
処理待ちつまり仕掛かり待ちとなっている作業対象物に
優先順位を付けて、優先順位の高い順に作業対象物を表
示することにより、作業者はその表示されたリストから
実際に着工する作業対象物を選択することができ、情報
の管理の面でもスケジュール作成の面でも、柔軟性を持
たせることができる。この優先順位を付ける際には、隘
路工程における着工時刻からその作業対象物が隘路工程
に到着するまでにかかる時間を引いた時刻が早い順とし
ても良い。この優先順位が表示手段に表示するようにす
れば、作業者は実際に着工する作業対象物を選択する作
業の負担が軽減される。

【００２３】隘路工程の上流側の作業工程において処理
待ちとなっている作業対象物をストッカで管理すること
により、着工スケジュールに基づいて着工すべき作業対
象物が決定されたら自動的にストッカから作業対象物が
出庫されることになり、作業者が作業対象物を指示する
ことが不要となる。

【００２４】上流側の作業工程において、所定の時刻を
過ぎても作業が開始されない場合に作業者に対して警告
を発するようにすれば、着工スケジュールを予定通りに
実行させることができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００２６】図１は半導体集積回路装置の組立工程を示
す図であり、この組立工程は、半導体ウエハに集積回路
を形成するウエハ処理工程が半導体前処理工程と言われ
るのに対して、半導体後工程と言われる。図示するよう
に、この半導体後工程は、半導体前工程で回路形成され
てストックされていた半導体ウエハを個々の半導体チッ
プに分割するためのダイシング工程と、半導体チップを
リードフレームやパッケージに装着するダイボンディン
グ工程と、半導体チップの接続電極と引出し用端子をボ
ンディングワイヤにより接続するワイヤボンディング工
程と、熱硬化性樹脂により半導体チップを樹脂封止する
封止工程と、アウターリードのメッキ処理などを行う仕
上げ工程とを有している。

【００２７】このような工程を経て組み立てられてパッ
ケージングされた半導体製品つまり作業対象物は、所定
の数を１ロットとしてロット単位毎に、選別工程を構成
するマーキング工程において製品の表面に製品名などが
表示される。エージング工程においては製品に電気的お
よび温度的な負荷を加えて初期不良品が検出され、この
工程では製品をエージングボードと言われる治具に装着
してエージング設備に投入される。テスト工程は、製品
が所望の電気的機能を果たすかどうかを検査する工程で
あり、この工程では電気信号を生成するテスタと、半導
体製品をハンドリングして電気信号を伝えるハンドラ
と、半導体製品に供給される電気信号を調整する治具で
あるテストボードやテスタを制御するためのソフトウエ
アであるテストプログラムとを組み合わせてテストす
る。半導体製品によっては、エージング工程が省略され
たり、テスト工程が複数回繰り返されることがある。

【００２８】通常、テスト工程には複数台のテスタが配
置されており、それぞれのテスタを有効活用するため
に、１台のテスタに２台のハンドラが設けられ、一方の
ハンドラが製品をハンドリングしている間に、他方のハ
ンドラで製品をテストする。したがって、基本的には、
ロットの着工順序を決めるときには、ハンドラ毎に決め
る必要がある。ハンドラでは、半導体製品のパッケージ
タイプが変わると、ハンドリング部の機構を調整する必
要がある。プログラムは品種毎に用意されており、品種
が変われば、プログラムを入れ替える必要がある。テス
トボードは、品種が異なってもテストの仕様が似ている
場合には、共通に使うことができる。

【００２９】半導体後工程のうち選別工程に着目する
と、テスタは高額設備であるので、製品の原価を下げる
ためにはテスタを効率良く使う必要がある。そのため、
従来では、テスト工程に仕掛かり待ちを大量にためるよ
うにし、なるべく同じハンドラ、同じボード、同じプロ
グラムを使うロットを連続的に処理するようにして、設
備の段取替え時間を短くしてテスタの稼働効率を上げる
ようにしていた。このため、半導体製品によってはテス
トが後回しとなり、選別工程に投入されてから、テスト
を終了して梱包・出荷されるまでの処理時間が長くな
り、このテスト工程が生産ライン全体のうちのネックと
なる隘路工程となっていた。

【００３０】本発明にあっては、隘路工程となるテスト
工程におけるテスタの稼働率を落とすことなく、仕掛か
り待ちを低減することにより、生産能率を向上するよう
にしている。

【００３１】図２は本発明の多品種生産方法を実現する
ための生産制御システムの構成要素を示すブロック図で
あり、この生産制御システムは、図１に示された半導体
後工程のうち、選別工程を構成する生産ラインの制御の
ために使用される。

【００３２】図２に示すように、生産制御システムは工
程状況収集手段１１を有し、この工程状況収集手段１１
は生産ラインを構成する作業工程１０ａのそれぞれに配
置されており、最初の作業工程であるマーキング工程の
上流側にはストッカ１０ｂが配置されている。ただし、
ストッカ１０ｂを全ての作業工程１０ａの直前に、所定
の数の作業対象物である半導体製品を収容するために配
置するようにしても良い。工程状況収集手段１１は、各
作業工程の設備により処理されている作業対象物と処理
を待っている作業対象物とについての種類と数量を含む
工程状況を収集するものであって、作業者が操作するこ
とにより、これらの情報が工程状況収集手段１１に入力
される。

【００３３】この作業状況収集手段１１に入力されたデ
ータは、工程情報管理手段１２に転送されてその中のデ
ータベースに格納される。この工程情報管理手段１２
は、月当たり、週当たり、若しくは１日当たり、または
作業シフト当たりなどの所定の単位毎についての作業対
象物の種類別の目標処理数を含む生産目標数を管理する
機能を有している。ここで作業シフトとは、生産ライン
に投入された所定数のロットを１つのグループとしたも
のであって、投入された日を単位としたり、同一日のう
ち所定の時間を単位として１グループとして同一の作業
シフトが設定されるようになっており、その作業シフト
内に生産ラインに投入された複数のロットのグループが
同一の作業シフトとなる。

【００３４】生産プロセス・設備情報管理手段１３は、
作業対象物の種類別の工程処理順番と、各作業工程にお
いて作業対象物を処理する際に使用する装置つまり設備
と、その設定および使用する治工具、作業対象物の種類
と設備の組み合わせで決まる処理時間と、各作業工程に
存在する設備の種類と台数を含む生産プロセス・設備情
報を管理する機能を有している。

【００３５】隘路工程着工順序設定手段１４には、工程
情報管理手段１２からのそれぞれの作業工程における作
業中および作業待ちの作業対象物の種類と数量の工程情
報と、生産プロセス・設備情報管理手段１３からのそれ
ぞれの作業対象物についての処理の順番およびそれぞれ
の作業工程における処理時間の生産プロセス設備情報と
が入力され、入力された情報に基づいて、隘路工程着工
順序設定手段１４は、それぞれの作業工程のうち隘路工
程となる作業工程、つまり図示する場合にはテスト工程
における着工スケジュールを自動的に作成する。

【００３６】作成された着工スケジュールの信号は着工
制御手段１５に送られ、さらにこの着工手段１５からス
ケジュール表示手段１６に送られて、画面を有するスケ
ジュール表示手段１６には着工スケジュールが表示され
るようになっている。したがって、作業者つまり工程管
理者は表示された着工スケジュールを見て、自動的に作
成された着工スケジュールをチェックすることができ
る。チェックの結果、不具合が存在すれば、スケジュー
ル表示手段１６に設けられるか、あるいはスケジュール
表示手段１６とは別に独立して設けられた入力手段１７
の操作部を操作して作業者は着工スケジュールを変更す
ることができるようになっている。

【００３７】着工制御手段１５は、工程情報管理手段１
２からの生産目標数および仕掛かりロットの処理来歴な
どのデータと着工スケジュールとに基づいて、隘路工程
であるテスト工程よりも上流側のマーキング工程とエー
ジング工程とに対して仕掛かり待ちとなっているロット
単位の作業対象物の優先順位を自動的に算出する。この
算出結果は、上流側工程についての優先順位表示手段１
８に表示されるようになっている。この優先順位表示手
段１８のリストにより、各工程の作業者は自分の持って
いる情報を加味してどのロットの作業対象物が次に着工
されるかを知ることができる。

【００３８】着工制御手段１５からは求められた優先順
位に従って特定のロットの作業対象物が選ばれて、その
情報は仕掛かりを管理するストッカ１０ｂに送られて、
ストッカ１０ｂからは直ちに特定のロットの作業対象物
が出庫される。これにより、マーキング作業がまず開始
され、その作業が終了した場合には、その実績が工程状
況収集手段１１と工程情報管理手段１２を介して着工制
御手段１５にフィードバックされる。この情報に基づい
て、着工制御手段１５では、隘路工程の着工スケジュー
ルを守ることができるかどうかを評価し、問題のあるロ
ットが存在すれば、それを各作業工程に注意を促す。

【００３９】このように、隘路工程つまりテスト工程
と、それよりも上流側の工程つまりマーキング工程とエ
ージング工程とにおける着工スケジュールを、隘路工程
を基準として決定し、そのスケジュールを守るように上
流側の工程の着工順序が制御される。これにより、隘路
工程のスループットを低下させることなく、仕掛かり待
ちを低減して製造期間を短縮することができる。

【００４０】次に、図３に示すフローチャートを参照し
つつ着工スケジュールの決定手順について説明する。

【００４１】工程情報管理手段１２および生産プロセス
・設備情報管理手段１３からの情報が隘路工程着工順序
設定手段１４に送られて、ステップＳ１においては、工
程状況からテスト工程における各ハンドラの稼働状況を
把握し、さらにプロセス情報によりテストの終了時刻つ
まりハンドラが手空きとなる時刻を算出する。現在、テ
スト工程が手空きとなっている場合には、一番最後に処
理したロットが終了した時刻をテスト終了時刻とする。

【００４２】ステップＳ２では、各ロットの作業対象物
が隘路工程であるテスト工程に到着する時刻を予測す
る。そのためには、まず、テスト工程よりも上流側の作
業工程であるマーキング工程とエージング工程に存在す
るロットの作業対象物について、工程状況から現在どの
工程に存在して、各作業工程の設備で処理中つまり仕掛
かり中であるか、仕掛かり待ちであるか、そしてその状
態となった時刻はいつであるかを把握し、処理中のロッ
トについてはプロセス情報により処理終了時刻を予測す
る。これにより、作業対象物がテスト工程に到着する時
刻を予測することができる。

【００４３】次に、ステップＳ３ではテスト工程とこれ
の上流側の作業工程とに存在している全てのロットの作
業対象物について、一定の基準により複数のロットを１
グループとしてグループ分けつまりグルーピングする。
このグルーピングの際の基準としては、まず各々のロッ
トについてラインに投入された日が早く作業シフトが早
い順とし、作業シフトが同じであれば、テスト工程に到
着する時刻が早い順とし、これらの基準によりグルーピ
ングする。作業シフトを基準としてグルーピングしたの
は、先に投入された作業対象物が先に処理されるよう
に、テスト工程のハンドラに対しては先入れ先出しがな
るべく守られるようにするためである。

【００４４】このようにステップＳ３で決められた作業
シフト毎のグループに対して、ステップＳ４では、優先
順位の番号ｎを付ける。この優先順位の番号ｎは生産ラ
インに投入された時刻が早い順となるように、つまり作
業シフトが早い順に最初の作業シフト１から最後の作業
シフトＳまで優先順位を付ける。これは、作業シフトを
越えて先行ロットを追い越すことを防止し、生産ライン
全体の製造期間が短くなるようにするためである。

【００４５】次いで、最初の作業シフトから順次それぞ
れの作業シフト内のロット単位の作業対象物についてテ
スタに対する着工ロットを選択するために、まず、ステ
ップＳ５で最初の優先順位の番号ｎ＝１を指定する。

【００４６】指定された優先順位の作業シフトについ
て、ステップＳ６では、工程状況の情報と生産プロセス
・設備情報とを読み出して、製品に対して電気信号を与
えるハンドラのうち手空きとなっているハンドラ、つま
り稼働可能となっているハンドラに対して次に着工すべ
きロットを以下の基準に従って割り付ける。この割り付
けの基準としては、まず第１に、最後に着工したロット
と同一の種類の製品種のロットを優先し、第２に最後に
着工したロットと同一のテストボードを使うロットを優
先し、第３に最後に着工したロットとハンドラの設定が
同一のロットを優先し、第４にハンドラが接続されてい
るテスタで処理可能なロットを優先するようにして割り
付ける。

【００４７】このような優先順位としてのは、テスト工
程では、プログラムの交換、テストボードの取り替え、
ハンドラのパッケージタイプの変更の順に時間がかかる
ので、テスタの稼働率を向上させるために、最後に着工
したロットとなるべく同一のプログラムを使うロット、
すなわち同一の種類の製品種のロット、同一のテストボ
ードを使うロット、同一のハンドラが設定されるロット
を選択して着工するようにしている。

【００４８】ステップＳ７では、工程状況の情報と生産
プロセス・設備情報とを再度読み出して、ステップＳ６
で割り付けられた各々のロットについての処理が終了す
る時刻を予測し、その時刻をハンドラが手空きになる時
刻として登録する。

【００４９】ステップＳ４で設定された最初の優先順位
（ｎ＝１）の作業シフトから最後の作業シフト（ｎ＝
Ｓ）の全てのロットについて割り付けを行うために、ス
テップＳ８では指定された作業シフトに含まれる全ての
ロットについて割り付けが終了したか否かを判断し、指
定された作業シフトのロットの全てについての割り付け
が終了したと判断されたら、ステップＳ９で最終の作業
シフトＳについての処理が終了したか否かを判断する。
このステップＳ９でＮＯと判断されたら、ステップＳ１
０で１をインクリメントし、ステップＳ６からＳ９が繰
り返される。このようにして、すべてのロットについて
テスト工程での着工スケジュールが決定される。

【００５０】決定された着工スケジュールはスケジュー
ル表示手段１６に表示されることになり、そのスケジュ
ールの一例を示すと、たとえば図４の通りである。

【００５１】図４は生産ラインの設備の稼働状態を表示
するためのガントチャートにさらに情報を付加したもの
を示しており、図４において設備１、設備２はそれぞれ
テスタとハンドラを表示している。ロットNo. と品名
は、それぞれのハンドラで処理しているか、あるいは処
理する予定のロットを識別するための番号とそのロット
の品種名を示している。開始と終了はそれぞれ現在処理
しているロットの処理開始時刻と算出された処理終了時
刻である。次着工ロットは、その次に着工すべきロット
が選択されていれば表示する。着工タイムチャートは横
軸が時間軸になっており、各ハンドラで処理するロット
の処理時間を矩形で示している。また、それらのロット
が存在している工程により色分けをして表示する。ロッ
ト別詳細データ表示は、着工タイムチャートの表示され
ている矩形を選択すると、その矩形に対応するロットの
詳細データをスケジュール表示手段１６に表示する。

【００５２】図４において符号２０は、そのロット別の
詳細データの一例を示す。詳細データは、そのロットの
ロット番号と、生産プロセス・設備情報より得られるそ
のロットを処理するために必要なテストボードと、工程
状況より得られる数量と、現在存在している工程と、着
工中か仕掛かり待ちかというロット状態と、算出された
テスト工程到着時間とを表示する。この画面により作業
者つまり工程管理者が不都合がないかどうかチェックす
る。不都合がある場合には、作業者が図４の画面上に設
定された入力手段、あるいは画面とは別に設けられた入
力手段１７を操作して着工スケジュールを変更する。

【００５３】着工スケジュールは前述のように、上流工
程に存在する作業対象物が隘路工程に到着する時刻を見
積もり、隘路工程で着工する予定時刻が見積もった到着
時刻よりも早くならないように作成され、その着工スケ
ジュールは図４に示すチャートで表示されるので、作業
者は隘路工程の設備に手空きが発生しないかどうかを確
認することができ、発生する場合にはその手空き時間の
長さを評価して、目標となる稼働時間と製造期間を確保
する範囲で、優先順位に基づいて自動的に決定される着
工順序を変更する。このように、自動的に着工スケジュ
ールが決定された後に、作業者が着工順序を変更するこ
とができるので、実際の着工順序に影響する情報であっ
ても、作業者が知り得る情報であれば、工程情報管理手
段１２や生産プロセス・設備情報管理手段１３で必ずし
も管理しなくとも、着工スケジュールを作成できること
になり、情報の管理の面でも、スケジュール作成の面で
も、着工スケジュールの作成に柔軟性を持たせることが
できる。

【００５４】このようにして、着工スケジュールが決ま
ったら、「決定／送信」ボタンを選択し、着工制御手段
１５に、着工スケジュールを送信する。

【００５５】次に着工制御の手順について説明する。着
工制御手段１５は、各工程に存在するロットを管理する
機能を有しており、ストッカ１０ｂを制御して、管理さ
れているロットに対し優先順位を付与した後に、それを
優先順位表示手段１８に送ってそれを表示し、工程状況
を判断してそれに不具合があれば各作業工程に警告を出
す機能を有している。

【００５６】図５は優先順位表示手段１８に表示された
優先順位表示の一例を示しており、図示する場合はマー
キング工程の優先順位が表示されている。他の作業工程
についても、同様にして優先順位を表示することができ
る。優先順位表示手段１８には、テスト工程の着工スケ
ジュールを実現するために各ロットが現在存在している
工程において処理を開始すべき時刻を算出しその時刻が
早い順番に優先順位を付与して表示される。さらに、図
５に示すように、この表示手段１８の画面上で管理され
ている設備のグループを指定すれば、その設備でグルー
プで処理できるロットに限り表示することができる。

【００５７】図５に示したように優先順位表示手段１８
により、優先順位順に次に着工すべきロットの候補が作
業者に提示され、その中から実際に着工する作業対象物
を作業者に選択させる。これにより、たとえば着工する
のに必要な治工具の数量といった実際の着工順序に影響
する情報であっても、作業者が知り得る情報であればシ
ステム側で必ずしもその工程にかかわる詳細な情報まで
管理しなくても良いことになり情報の管理の面でも、ス
ケジュール作成の面でも、柔軟性を持つことができる。

【００５８】ここで、作業者がロットを指定すれば、そ
の情報はストッカに送られ、指定されたロットが出庫さ
れる。これにより、指示されたロットがどこにあるか探
さなくて良くなりロットの進行が速くなり、さらに作業
者の負担が軽減される。

【００５９】次に工程監視の手順について説明する。着
工制御手段１５は、テスト工程の着工スケジュールを実
現するために各ロットが現在存在している工程において
処理を開始すべき時刻を算出し、その時刻にさらに余裕
時間を加味した時刻を過ぎても処理が開始されない場合
に、図４にその一例を示した着工スケジュールを提示し
ている画面の当該ロットを表わす矩形を点滅させ、各工
程に注意を促す。このようにして、隘路工程およびその
上流工程に存在するロットの隘路工程における着工スケ
ジュールを隘路工程の作業者が決定し、そのスケジュー
ルを守るように上流工程の着工順序を制御することで、
隘路工程のスループットを低下させることなく仕掛かり
待ちを低減し生産期間を短縮することができる。

【００６０】さらに、図４や図５に示す表示手段１６，
１８に基づいて、作業者は、現在処理中のロットの終了
時刻が近づいたら、次に着工すべきロットを処理するた
めの準備を開始することが出来る。このことにより、ロ
ットの交換時間を短くでき、設備の稼働率を向上させる
ことが出来る。

【００６１】以上のような一連の処理により、テスト工
程のハンドラの稼働率すなわちテスタの稼働率を低下さ
せることなく、テスト工程の仕掛かりを削減し、生産期
間を短縮することができる。

【００６２】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実
施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００６３】たとえば、図示する実施の形態は、本発明
を半導体後工程のうちの選別工程を構成する生産ライン
の制御に適用した場合を示すが、これ以外の半導体前工
程や半導体組立工程を構成する生産ラインや、他の量産
品を製造する生産ラインなど種々の生産ラインに本発明
を適用することができる。また、図示する場合には、テ
スト工程が隘路工程つまり直前で処理待ち、仕掛かり待
ちの状態にしておかなければないない作業対象物が多く
なる工程としたが、他の作業工程が隘路工程となる場合
には、その着工スケジュールに基づいてその作業工程よ
りも上流側の作業工程に対して着工順序を制御すること
になる。さらに、図示する場合には、隘路工程における
着工スケジュールに基づいて隘路工程よりも上流側に位
置する作業工程に対して作業対象物の着工順序を制御す
るようにしているが、これに加えて隘路工程よりも下流
側の作業工程の着工順序を制御するようにしても良い。

【００６４】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００６５】(1).複数の作業工程によって構成される生
産ラインにおける隘路工程の稼働率を高くすることがで
きる。

【００６６】(2).隘路工程における設備や治工具を高稼
働率に活用するために滞留することになる仕掛かり待ち
の作業対象物を、設備の稼働率を落とすことなく、低減
することができる。

【００６７】(3).生産ライン全体の生産量を低下させる
ことなく、作業対象物それぞれに対する生産期間を短縮
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】半導体集積回路装置を製造するための組立工程
と選別工程とからなる半導体後工程を示す概略工程図で
ある。

【図２】本発明の多品種生産方法を実現するための生産
制御システムの構成要素を示すブロック図である。

【図３】本発明の多品種生産方法の生産手順を示すフロ
ーチャートである。

【図４】隘路工程であるテスト工程の着工スケジュール
の一例を示す正面図である。

【図５】優先順位表示の一例を示す正面図である。

【符号の説明】

１０ａ 作業工程 １０ｂ ストッカ １１ 工程状況収集手段 １２ 工程情報管理手段 １３ 生産プロセス・設備情報管理手段 １４ 隘路工程着工順序設定手段 １５ 着工制御手段 １６ スケジュール表示手段 １７ 入力手段 １８ 優先順位表示手段

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれ作業対象物に対して所定の処理
   や加工や検査などの作業を行う複数の作業工程を有し、
   これら複数の作業工程のうち少なくとも１つの作業工程
   は作業対象物の種類に応じて設備や治工具が交換される
   作業工程となっている生産ラインに、複数種類の前記作
   業対象物を投入して複数種類の前記作業対象物を混在さ
   せた状態で搬送しながら生産する多品種生産方法であっ
   て、 前記それぞれの作業工程における作業中および作業待ち
   の前記作業対象物の種類と数の工程情報と、それぞれの
   作業対象物についての処理の順番およびそれぞれの作業
   工程における処理時間の生産プロセス設備情報とに基づ
   いて、それぞれの作業工程のうち隘路工程における着工
   スケジュールを作成し、 前記隘路工程における着工スケジュールに基づいて前記
   隘路工程よりも上流側に位置する作業工程に対して作業
   対象物の着工順序を制御することを特徴とする多品種生
   産方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の多品種生産方法であっ
   て、前記着工スケジュールを作成する際に、前記隘路工
   程において同じ設備あるいは同じ治工具を使用すること
   になる前記作業対象物を優先し、設備の設定時間や治工
   具交換時間を少なくして設備の稼働可能時間を増やすよ
   うにしたことを特徴とする多品種生産方法。
3. 【請求項３】 請求項１記載の多品種生産方法であっ
   て、前記着工スケジュールを作成する際に、それぞれの
   前記作業対象物が生産ラインの最初の作業工程に投入さ
   れた時刻によって作業対象物をグループに分類し、投入
   時刻が早いグループの作業対象物を優先し、生産ライン
   全体における全ての前記作業対象物の製造期間を短縮す
   るようにしたことを特徴とする多品種生産方法。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか１項に記載の多
   品種生産方法であって、前記着工スケジュールを作成し
   た後に、作業者が入力手段を操作することにより前記着
   工スケジュールを変更し、着工スケジュールから前記隘
   路工程の設備に手空きが発生する場合にはその手空き時
   間を少なくするように優先順位を変更するようにしたこ
   とを特徴とする多品種生産方法。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれか１項に記載の多
   品種生産方法であって、前記隘路工程の上流工程におい
   て作業待ちとなっている作業対象物に優先順位を付け
   て、優先順位の高い順に作業対象物を特定できる情報を
   表示手段に表示し、この表示された内容に基づいて作業
   者が入力手段を操作して着工される作業対象物を選択し
   得るようにしたことを特徴とする多品種生産方法。
6. 【請求項６】 請求項５記載の多品種生産方法であっ
   て、優先順位を付ける際に、前記作業対象物について隘
   路工程における着工時刻から、前記作業対象物が前記隘
   路工程に到着するまでにかかる時間を引いた時刻が早い
   順に前記作業対象物に優先順位を付けるようにしたこと
   を特徴とする多品種生産方法。
7. 【請求項７】 請求項５記載の多品種生産方法であっ
   て、前記隘路工程の上流工程において次に作業を行う設
   備の情報を与え、その情報に基づいて前記設備で作業可
   能な作業対象物を、作業待ちとなっている作業対象物の
   中から選び出して、優先順位の高い作業対象物を特定で
   きる情報を表示手段に表示するようにしたことを特徴と
   する多品種生産方法。
8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれか１項に記載の多
   品種生産方法であって、前記隘路工程よりも上流側の作
   業工程において作業待ちとなっている作業対象物をスト
   ッカで管理し、着工される作業対象物が決定されたとき
   に自動的にその作業対象物を前記ストッカから出庫させ
   るようにしたことを特徴とする多品種生産方法。
9. 【請求項９】 請求項１〜８のいずれか１項に記載の多
   品種生産方法であって、工程状況と生産プロセス設備情
   報に基づいて、前記隘路工程よりも上流側に存在する作
   業対象物についての作業をいつまでに開始する必要があ
   るかを算出し、これに余裕時間を加味した時刻を過ぎて
   も上流工程の処理が開始されない場合に、少なくともそ
   の作業対象物が存在する工程の作業者に対して警告を発
   するようにしたことを特徴とする多品種生産方法。