JPH11277379A - プロセス装置の決定装置、プロセス装置の決定方法及びプロセス装置の決定プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents

プロセス装置の決定装置、プロセス装置の決定方法及びプロセス装置の決定プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

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JPH11277379A
JPH11277379A JP8336698A JP8336698A JPH11277379A JP H11277379 A JPH11277379 A JP H11277379A JP 8336698 A JP8336698 A JP 8336698A JP 8336698 A JP8336698 A JP 8336698A JP H11277379 A JPH11277379 A JP H11277379A
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determining
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Shigeru Matsumoto
茂 松本
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Matsushita Electronics Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 製品の特性や歩留を向上させ、プロセス装置
の故障による大幅な製品の処理遅れを防止する。 【解決手段】 処理性能蓄積手段はプロセス装置の処理
性能を蓄積し、歩留蓄積手段は各プロセス装置で処理し
た製品の歩留を蓄積し、評価手段はプロセス装置の処理
性能または製品の歩留を評価し、プロセス装置決定手段
は評価した処理性能、または歩留に基づいて複数のプロ
セス装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プロセス装置によ
って複数の工程を順に処理しながら製品を製造する際
に、特定工程の処理が可能な複数のプロセス装置群か
ら、その工程の処理を行うプロセス装置を決定するプロ
セス装置の決定装置、決定方法及び決定方法を実現する
プログラムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のプロセス装置の決定装置を図２９
に基づいて説明する。
【０００３】従来のプロセス装置の決定装置は、処理フ
ロー作成手段１００１、処理待ち製品群作成手段１００
２、処理待ち時間評価手段１００３及びプロセス装置決
定手段１００４によって構成され、特定工程の処理が可
能な複数のプロセス装置群の中から、その工程を処理す
るプロセス装置を決定する。
【０００４】処理フロー作成手段１００１により、製品
を完成させるための工程順序、工程条件及び工程の処理
装置を規定する。この時、特定工程の処理が可能なプロ
セス装置が複数台ある場合は、処理候補装置群として複
数のプロセス装置を規定する。処理待ち製品群作成手段
１００２により、プロセス装置における製品の処理状況
を管理し、プロセス装置毎の処理待ち製品群を作成す
る。この時、特定工程の処理が可能なプロセス装置が複
数台ある場合は、全ての候補装置に対して、この製品を
処理待ち状態とする。
【０００５】処理待ち時間評価手段１００３により、処
理待ち製品群作成手段１００２で作成したプロセス装置
毎の処理待ち製品が、そのプロセス装置によって処理さ
れるまでの待ち時間を算出する。処理フロー作成手段１
００１によって特定工程の処理が可能なプロセス装置が
複数台規定されている場合には、プロセス装置決定手段
１００４により、処理待ち時間評価手段１００３で評価
した処理待ち時間が最も短いプロセス装置を、その工程
の処理装置として決定する。
【０００６】以上のように構成された従来のプロセス装
置の決定装置においては、特定の工程を処理するための
プロセス装置を決定する場合、工程処理が可能な複数の
プロセス装置群の中から、工程の処理待ち時間の最も短
いプロセス装置を選択し、その工程を処理するプロセス
装置としていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記のよ
うに構成された従来のプロセス装置の決定装置では、特
定工程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合
は、処理待ち時間の最も短いプロセス装置を選択し、処
理装置としていたため、製品の特性や歩留が向上しない
ばかりでなく、時には大幅に歩留が低下するという問題
点を有していた。さらに、処理装置の決定後に、その装
置が故障を起こし、製品処理が大幅に遅れるという問題
点も有していた。
【０００８】本発明はこのような現状に鑑みてなされた
ものであり、製品の特性や歩留を向上させ、装置の故障
による大幅な製品の処理遅れを防止することができる、
プロセス装置の決定装置、決定方法、決定方法を実現す
るプログラムを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明は、製品を処理するプロセス装置の性能、装
置の故障率及び製品の歩留などに着目し、特定の工程を
処理するためのプロセス装置を決定する場合、工程処理
が可能な複数のプロセス装置群の中から、プロセス装置
の処理性能が高く、安定している装置、過去の製品の歩
留が高く、安定している装置、故障率が低く、安定稼働
している装置を選択し、その工程を処理するプロセス装
置として決定するものである。
【００１０】具体的には、本発明に係る第１のプロセス
装置の決定装置は、プロセス装置群の処理性能を蓄積す
る処理性能蓄積手段と、各プロセス装置で処理した製品
の歩留を蓄積する歩留蓄積手段と、蓄積したプロセス装
置の処理性能または製品の歩留を評価する評価手段と、
評価した処理性能または歩留に基づいて複数の装置群の
中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセス
装置決定手段とを備えている。
【００１１】第１のプロセス装置の決定装置において、
プロセス装置決定手段は、処理性能の高いプロセス装置
または過去の製品の歩留が高いプロセス装置を選択する
ことが望ましい。
【００１２】第１のプロセス装置の決定装置において、
プロセス装置決定手段は、処理性能の安定しているプロ
セス装置または過去の製品の歩留が安定しているプロセ
ス装置を選択することが望ましい。
【００１３】第１のプロセス装置の決定装置において、
評価手段は、プロセス装置の処理性能を一定期間毎また
は品種毎に評価することが望ましい。
【００１４】第１のプロセス装置の決定装置において、
評価手段は、製品の歩留を一定期間毎または品種毎に評
価することが望ましい。
【００１５】本発明に係る第１のプロセス装置の決定プ
ログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒
体は、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、
工程の処理を行うプロセス装置を決定するプログラムを
記録し、コンピュータを、プロセス装置群の処理性能を
蓄積する処理性能蓄積手段、各プロセス装置で処理した
製品の歩留を蓄積する歩留蓄積手段、蓄積したプロセス
装置の処理性能、または製品の歩留を評価する評価手
段、評価した処理性能または歩留に基づいて複数の装置
群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロ
セス装置決定手段として機能させる。
【００１６】本発明に係る第１のプロセス装置の決定装
置によると、複数の装置群の中から、処理レートの高い
装置、安定している装置、過去の製品歩留が高い装置、
安定している装置を選択し、工程の処理を行うプロセス
装置に決定するため、製品の特性や歩留を向上させるこ
とができる。
【００１７】本発明に係る第２のプロセス装置の決定装
置は、プロセス装置の故障率を蓄積する故障率蓄積手段
と、蓄積した故障率を評価する評価手段と、評価したプ
ロセス装置の故障率に基づいて複数の装置群の中から工
程を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定
手段とを備えている。
【００１８】第２のプロセス装置の決定装置において、
プロセス装置決定手段は、過去のプロセス装置の故障率
が低い装置を選択することが望ましい。
【００１９】第２のプロセス装置の決定装置において、
プロセス装置決定手段は、過去の装置の安定度が高いプ
ロセス装置を選択することが望ましい。
【００２０】第２のプロセス装置の決定装置において、
故障率蓄積手段は、プロセス装置のメンテナンス作業を
記録し、プロセス装置決定手段は、装置のメンテナンス
間隔が長いプロセス装置を選択することが望ましい。
【００２１】第２のプロセス装置の決定装置において、
故障率蓄積手段は、プロセス装置のメンテナンス作業を
記録し、プロセス装置決定手段は、装置の前回のメンテ
ナンスからの経過時間が短いプロセス装置を選択するこ
とが望ましい。
【００２２】第２のプロセス装置の決定装置において、
評価手段は、プロセス工程毎に評価することが望まし
い。
【００２３】本発明に係る第２のプロセス装置の決定プ
ログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒
体は、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、
工程の処理を行うプロセス装置を決定するプログラムを
記録し、コンピュータを、プロセス装置の故障率を蓄積
する故障率蓄積手段、蓄積した故障率を評価する評価手
段、評価したプロセス装置の故障率に基づいて複数の装
置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプ
ロセス装置決定手段として機能させる。
【００２４】本発明に係る第２のプロセス装置の決定装
置によると、複数の装置群の中から、故障率の低い装
置、安定している装置、メンテナンス間隔の長い装置、
前回のメンテナンスからの経過時間が短い装置を選択
し、工程の処理を行うプロセス装置に決定するため、装
置の故障による大幅な製品の処理遅れを防止することが
できる。
【００２５】本発明に係る第３のプロセス装置の決定装
置は、製品完成時の歩留を予測する製品歩留予測手段
と、製品の完成予定日を予測する製品完成日予測手段
と、予測した製品の歩留及び製品の完成予定日を評価す
る評価手段と、評価した製品の歩留及び完成予定日に基
づいて複数の装置群の中から工程を処理するプロセス装
置を決定するプロセス装置決定手段とを備えている。
【００２６】第３のプロセス装置の決定装置において、
プロセス装置決定手段は、評価した製品の歩留が所定の
歩留より高い場合には、複数の装置群の中から、処理が
早く完了するプロセス装置で工程を処理することが望ま
しい。
【００２７】第３のプロセス装置の決定装置において、
プロセス装置決定手段は、評価した製品の完成予定日が
所定の日時より早い場合には、複数の装置群の中から、
処理性能が高く、安定したプロセス装置、または過去の
製品の歩留が高く、安定した装置で工程を処理すること
が望ましい。
【００２８】本発明に係る第３のプロセス装置の決定プ
ログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒
体は、工程の処理が可能な複数のプロセス装置群から、
工程の処理を行うプロセス装置を決定するプログラムを
記録し、コンピュータを、製品完成時の歩留を予測する
製品歩留予測手段、製品の完成予定日を予測する製品完
成日予測手段、予測した製品の歩留及び製品の完成予定
日を評価する評価手段、評価した製品の歩留及び完成予
定日に基づいて複数の装置群の中から工程を処理するプ
ロセス装置を決定するプロセス装置決定手段として機能
させる。
【００２９】本発明に係る第３のプロセス装置の決定装
置によると、製品の歩留が所定より高い場合には、複数
の装置群の中から、処理が早く完了する装置を選択し、
工程の処理を行うプロセス装置に決定するため、製品の
完成日時を早めることができる。さらに、製品の完成予
定日が所定より早い場合には、複数の装置群の中から、
処理性能が高く、安定した装置、または過去の製品の歩
留が高く、安定した装置を選択し、工程の処理を行うプ
ロセス装置に決定するため、製品の特性や歩留を向上さ
せることができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】（第１の実施形態）プロセス装置
の決定装置は図１に示すように、処理フロー作成手段１
００、処理待ち製品群作成手段２００、処理性能蓄積手
段３００、歩留蓄積手段４００、評価手段５００、プロ
セス装置決定手段６００によって構成され、特定工程の
処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合は、複数の
プロセス装置の中から、処理性能の高い装置、安定して
いる装置、過去の製品歩留が高い装置、または安定して
いる装置を選択し、工程処理を行うプロセス装置を決定
する。以下、各手段について詳しく説明する。
【００３１】図１ないし図３に示すように処理フロー作
成手段１００は、各種製品を完成させるために必要な処
理フロー（工程の並び、及び処理装置など）を規定し、
処理フローテーブル１０１に登録する。製品名、品種、
工程番号、工程名、処理装置名１、処理装置名２及び処
理装置名３をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置
上の処理フローテーブル１０１に、製品名、品種、工程
番号、工程名、処理装置名を登録する。特に、ある工程
の処理が複数の装置で行える場合には、処理装置名を複
数登録する。この処理フローの登録はコンピュータに備
わったエディター及びＤＢＭＳに備わったＳＱＬなどを
用いて、製品の完成に必要な工程数だけ繰り返す。
【００３２】例えば、図２に示すように製品Ａを完成さ
せるために必要な処理フロー（工程番号、工程名、処理
装置名など）を登録する。この場合、工程番号「２」は
「装置Ｂ」及び「装置Ｅ」のどちらかで処理すること
を、また、工程番号「４」は「装置Ｂ」、「装置Ｅ」及
び「装置Ｆ」のいずれかで処理することを、それぞれ規
定している。なお、本処理フローテーブル１０１では、
３つの処理装置名（処理装置１、２、３）アイテムを持
っているが、特に数は限定せず、１つの工程を処理でき
る装置の台数分だけアイテムを設ければよい。
【００３３】次に、製品名、工程番号及びステータスを
アイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の処理進行
管理テーブル２０１に、製品名を登録すると同時に、工
程番号として「１」を、ステータスとして「Ｗ」をそれ
ぞれ登録する。ここで、ステータスアイテムの値として
は「Ｗ」及び「Ｐ」を持ち、「Ｗ」はその工程番号の工
程が処理待ち状態にあることを示し、「Ｐ」は処理中状
態にあることを示す。なお、この登録は、例えばＤＢＭ
Ｓに備わったＳＱＬなどを用いて行えばよい。また、処
理フローの登録及びステータスの登録は製品の数だけ繰
り返す。
【００３４】図１ないし図４に示すように処理待ち製品
群作成手段２００は、各プロセス装置での各種製品の処
理進行状況を管理し、各プロセス装置での処理待ち製品
群を処理進行管理テーブル２０１及び処理待ち製品テー
ブル２０２を用いて作成する。ここで、処理待ち製品テ
ーブル２０２は、処理装置名、製品名、工程番号及び工
程名をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上のテ
ーブルである。
【００３５】処理進行管理テーブル２０１から、ステー
タスアイテムの値が「Ｗ」のレコードを検索し、製品名
及び工程番号を抽出後、これらを検索キーとして処理フ
ローテーブル１０１の製品名と工程番号の値が同一のレ
コードを検索し、全ての処理装置名及び工程名を抽出す
る。さらに、先の検索キーとして用いた製品名及び工程
番号、抽出した工程名及び装置名を、処理待ち製品テー
ブル２０２に登録する。この登録は処理フローテーブル
１０１から抽出した装置の台数分だけ繰り返す。なお、
この検索、抽出、登録は、例えばＤＢＭＳに備わったＳ
ＱＬなどを用いて、一定時間毎に行えばよい。
【００３６】また、処理進行管理テーブル２０１のステ
ータスアイテムは、評価手段５００及びプロセス装置決
定手段６００などによって、工程の処理を行うプロセス
装置が決定し、実際にプロセス装置によって工程の処理
が開始されると、ステータスの値は「Ｐ」に更新され
る。さらに、工程の処理が終了すると、ステータスの値
は「Ｗ」に更新され、工程番号の値は１増加され、処理
待ち製品テーブル２０２の該当するレコードも削除され
る。なお、この更新も、例えばＤＢＭＳに備わったＳＱ
Ｌなどを用いて行えばよい。
【００３７】例えば、図３、４の処理進行管理テーブル
２０１及び処理待ち製品テーブル２０２は、「製品Ａ」
が工程番号「２」で処理待ち状態であり、「製品Ａ」の
工程番号「２」の処理は「装置Ｂ」及び「装置Ｅ」の２
つが候補としてあげられることを示している。また、
「製品Ｘ」の工程番号「１０」は「装置Ｆ」で処理中で
あることを示している。
【００３８】図１、５に示すように処理性能蓄積手段３
００は、各プロセス装置で製品を処理した際のプロセス
装置の性能を示す情報を処理性能テーブル３０１に登録
する。装置名、製品名、工程名、品種、装置性能及び処
理日時をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の
処理性能テーブル３０１に、装置名、製品名、工程名、
品種、装置性能及び製品を処理した日時を登録する。こ
の登録は、例えばプロセス装置が工程の処理を終了した
際に、ＤＢＭＳに備わったＳＱＬなどを用いて行う。ま
た、装置性能を示すデータは各装置毎に決定すれば良
く、特に限定しない。例えば、図５に示すように各プロ
セス装置の処理性能として、工程処理時に装置内で発生
したパーティクル数を用いればよい。また、プラズマ密
度、電子温度、液濃度、液温、ビーム電流量、真空度、
エッチングレート、デポジションレート及び酸化レート
を処理性能として用いてもよい。
【００３９】図１、６に示すように歩留蓄積手段４００
は、各プロセス装置で処理した製品の歩留情報を製品歩
留テーブル４０１に登録する。装置名、製品名、工程
名、品種、歩留、分類及び処理日時をアイテムとして持
つコンピュータ記憶装置上の製品歩留テーブル４０１
に、装置名、製品名、工程名、品種、歩留、分類及び製
品を処理した日時を登録する。この登録は、例えばプロ
セス装置での工程処理が終了した際に、ＤＢＭＳに備わ
ったＳＱＬなどを用いて行う。ここで製品の歩留は、次
のいずれかを用いればよい。（１）プロセス装置が処理
した各工程の工程歩留。（２）プロセス装置が特定の工
程の処理を終了した際に予測した製品の最終歩留。
（３）プロセス装置で処理した製品の完成後の歩留。例
えば、図６に示すように、分類アイテムの値が「工
程」、「予測」及び「完成」は、それぞれ、工程歩留、
予測した製品の最終歩留及び完成後の製品の歩留を示し
ている。
【００４０】図１、４、５、６に示すように評価手段５
００は、処理性能テーブル３０１に蓄積された各プロセ
ス装置の性能情報及び製品歩留テーブル４０１に蓄積さ
れた各製品の歩留情報を抽出し、各プロセス装置を評価
する。処理待ち製品群作成手段２００によって、処理待
ち製品テーブル２０２に処理待ち製品情報が登録された
際に、登録された製品名アイテムの値を検索キーとし
て、処理待ち製品テーブル２０２の製品名の値が同一の
レコードを検索し、複数レコードが検索された場合に
は、全ての処理装置名を抽出する。次に、抽出した処理
装置名を検索キーとして、処理性能テーブル３０１の装
置名の値が同一のレコードを検索し、装置性能を抽出
後、装置性能の平均値を算出しプロセス装置の性能を評
価する。この平均値の算出を、先に処理待ち製品テーブ
ル２０２から抽出した処理装置の台数分だけ繰り返す。
また、登録された製品名アイテムの値を検索キーとし
て、処理待ち製品テーブル２０２の製品名の値が同一の
レコードを検索し、１レコードしか検索されなかった場
合には、処理装置名を抽出し、その処理装置で工程の処
理を行うことを決定する。
【００４１】例えば、図４、５に示すように処理待ち製
品テーブル２０２に、処理待ち製品情報レコード２０２
Ａが登録されると、「製品Ａ」を検索キーとして処理待
ち製品テーブル２０２を検索し、２つのレコード２０２
Ａ、２０２Ｂを検索し、「装置Ｅ」及び「装置Ｂ」を抽
出する。次に、「装置Ｅ」を検索キーとして、処理性能
テーブル３０１を検索し、装置性能の平均値として、
「２８」（＝（２＋４３＋５９＋８）／４）を得る。ま
た、「装置Ｂ」を検索キーとして、処理性能テーブル３
０１を検索し、装置性能の平均値として、「３１」（＝
（３２＋３９＋５０＋２２＋１２）／５）を得る。
【００４２】なお、本実施形態では、プロセス装置の性
能を評価する際に、処理性能の平均値を求めているが、
特に限定せず、次のように算出してもよい。（１）処理
性能の標準偏差を算出する。（２）処理性能の最大値を
求める。（３）処理性能の最小値を求める。また、処理
性能テーブル３０１から装置性能を抽出するための検索
キーとして、装置名の他に、次の検索キーを加えてもよ
い。（１）製品名：処理する製品と同じ製品を特定する
ための検索キー。（２）工程名：処理する製品と同じ工
程を特定するための検索キー。（３）品種：処理する製
品と同じ品種を特定するための検索キー。（４）処理日
時：特定期間に処理した製品を特定するための検索キ
ー。さらに、処理性能の平均値などを算出する際に、各
処理装置での処理日時などをもとに重み付けを行い、最
近の処理性能にほど重みを付けて平均値を算出してもよ
い。
【００４３】処理待ち製品群作成手段２００によって、
処理待ち製品テーブル２０２に処理待ち製品情報が登録
された際に、登録された製品名アイテムの値を検索キー
として、製品歩留テーブル４０１の製品名の値が同一の
レコードを検索し、複数レコードが検索された場合に
は、全ての処理装置名を抽出する。次に、抽出した処理
装置名を検索キーとして、製品歩留テーブル４０１の装
置名の値が同一のレコードを検索し、歩留を抽出後、歩
留の平均値を算出し、プロセス装置の性能を評価する。
この平均値の算出を、先に処理待ち製品テーブル２０２
から抽出した処理装置の台数分だけ繰り返す。また、登
録された製品名アイテムの値を検索キーとして、処理待
ち製品テーブル２０２の製品名の値が同一のレコードを
検索し、１レコードしか検索されなかった場合には、処
理装置名を抽出し、その処理装置で工程の処理を行うこ
とを決定する。
【００４４】例えば、図４、６に示すように処理待ち製
品テーブル２０２に、処理待ち製品情報レコード２０２
Ａが登録されると、「製品Ａ」を検索キーとして処理待
ち製品テーブル２０２を検索し、２つのレコード２０２
Ａ、２０２Ｂを検索し、「装置Ｅ」及び「装置Ｂ」を抽
出する。次に、「装置Ｅ」を検索キーとして、製品歩留
テーブル４０１を検索し、歩留の平均値として、「０．
７７」（＝（０．９７＋０．６７＋０．４７＋０．８９
＋０．９６＋０．８７＋０．８３＋０．４７）／８）を
得る。また、「装置Ｂ」を検索キーとして、製品歩留テ
ーブル４０１を検索し、歩留の平均値として、「０．８
４」（＝（０．９２＋０．８６＋０．９９＋０．７９＋
０．６５＋０．８２＋０．８８）／７）を得る。
【００４５】なお、本実施形態では、製品の歩留を評価
する際に、歩留の平均値を求めているが、特に限定せ
ず、次のように算出してもよい。（１）歩留の標準偏差
を算出する。（２）歩留の最大値を求める。（３）歩留
の最小値を求める。また、製品歩留テーブル４０１から
歩留を抽出するための検索キーとして、装置名の他に、
次の検索キーを加えてもよい。（１）製品名：処理する
製品と同じ製品を特定するための検索キー。（２）工程
名：処理する製品と同じ工程を特定するための検索キ
ー。（３）品種：処理する製品と同じ品種を特定するた
めの検索キー。（４）分類：歩留の分類を特定するため
の検索キー。（５）処理日時：特定期間に処理した製品
を特定するための検索キー。
【００４６】さらに、歩留の平均値などを算出する際
に、各処理装置での工程の処理日時などをもとに重み付
けを行い、最近の歩留にほど重みを付けて、平均値を算
出してもよい。なお、評価手段５００における検索、抽
出は、例えばＤＢＭＳに備わったＳＱＬなどを用いて行
えばよい。
【００４７】図１に示すようにプロセス装置決定手段６
００は、評価手段５００においてプロセス装置を評価し
た結果に基づき、工程処理を行うプロセス装置を決定す
る。評価手段５００により算出した各装置の処理性能及
び製品の歩留に基づいて、各装置の性能指数を計算し、
性能指数の大小によって製品の処理を行うプロセス装置
を決定する。本実施形態では、処理性能として装置内の
パーティクル数を用いており、「装置Ｅ」及び「装置
Ｂ」の性能指数は、例えば次のように算出すればよい。
性能指数＝歩留／処理性能。従って、「装置Ｅ」の性能
指数＝０．７７／２８＝０．０２７５、「装置Ｂ」の性
能指数＝０．８４／３１＝０．０２７１となり、性能指
数の大きな「装置Ｅ」で、製品を処理することを決定す
る。なお、性能指数の計算方法は特に限定せず、次のよ
うに算出してもよい。（１）歩留を用いず処理性能だけ
で算出する（性能指数＝１／処理性能）。（２）処理性
能を用いず歩留だけで算出する（性能指数＝歩留）。
（３）処理性能または歩留に重み付けを行った後、算出
する（性能指数＝（歩留ｘ重み１）／（処理性能ｘ重み
２））。
【００４８】以上のように本実施形態によれば、特定工
程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合に、プ
ロセス装置の処理性能の高さや安定度、過去の製品歩留
の高さや安定度に応じて、工程を処理するプロセス装置
を決定することができる。
【００４９】なお、本実施形態において、コンピュータ
記憶装置上の各テーブルの代わりにリスト構造を用いた
記憶手段を用いてもよい。また、コンピュータ記憶装置
は補助記憶装置または主記憶装置の何れでも良く、コン
ピュータネットワークを通じてアクセス可能な場所に存
在すればよい。従って、本実施形態に係るプロセス装置
の決定方法を実現するプロセス装置決定プログラムを作
成するとともに、コンピュータが読み取り可能な記録媒
体にプロセス装置決定プログラムを記録しておけば、記
録媒体をコンピュータの補助記憶装置に装着することに
より、本実施形態に係るプロセス装置決定プログラムが
コンピュータの主記憶装置にロードされ、所定の動作タ
イミング（イベント）が発生した時に、コンピュータの
ＣＰＵによって各手順の所定機能が実行される。
【００５０】（第２の実施形態）プロセス装置の決定装
置は図１３に示すように、処理フロー作成手段１００、
処理待ち製品群作成手段２００、故障率蓄積手段７０
０、評価手段５１０、プロセス装置決定手段６１０によ
って構成され、特定工程の処理が可能なプロセス装置が
複数台ある場合は、複数のプロセス装置の中から、故障
率の低い装置、安定している装置、メンテナンス間隔が
長い装置、またはメンテナンスからの経過時間が短い装
置を選択し、工程処理を行うプロセス装置を決定する。
以下、各手段について詳しく説明する。
【００５１】図１３、２、３に示すように処理フロー作
成手段１００は、各種製品を完成させるために必要な処
理フロー（工程の並び、及び処理装置など）を規定し、
処理フローテーブル１０１に登録する。本処理フロー作
成手段１００は、本発明に係る第１の実施形態と同様で
ある。また、図１３、２、３、４に示すように処理待ち
製品群作成手段２００は、各プロセス装置での各種製品
の処理進行状況を管理し、各プロセス装置での処理待ち
製品群を処理進行管理テーブル２０１及び処理待ち製品
テーブル２０２を用いて作成する。本処理待ち製品群作
成手段２００は、本発明に係る第１の実施形態と同様で
ある。
【００５２】図１３、１４、１５に示すように故障率蓄
積手段７００は、各プロセス装置の故障率を示す情報を
装置故障率テーブル７０１に登録し、装置メンテナンス
に関する情報を装置メンテナンステーブル７０２に登録
する。装置名、故障率、工程名及び期間をアイテムとし
て持つコンピュータ記憶装置上の装置故障率テーブル７
０１に、特定期間毎の装置故障率として、装置名、故障
率、工程名及び期間を登録する。この登録は、例えば、
特定期間毎の故障率を集計した際に、ＤＢＭＳに備わっ
たＳＱＬなどを用いて行う。図１４に示すように、例え
ば一ヶ月間の装置の故障率を処理した工程別に登録すれ
ばよい。
【００５３】装置名、メンテナンス間隔、及び経過時間
をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の装置メ
ンテナンステーブル７０２に、装置名、装置のメンテナ
ンス間隔及び前回のメンテナンスからの経過時間を登録
する。例えば、メンテナンス間隔は装置メンテナンスを
行った際に、前回の装置メンテナンスから今回の装置メ
ンテナンスまでの時間を算出し、登録すればよい。ま
た、メンテナンス経過時間は装置によって工程の処理を
行った際に、前回の装置メンテナンスからの経過時間を
算出し、登録すればよい。なお、これらの登録はＤＢＭ
Ｓに備わったＳＱＬなどを用いて行う。
【００５４】図１３、４、１４、１５に示すように評価
手段５１０は、装置故障率テーブル７０１に蓄積された
各プロセス装置の故障率情報、及び装置メンテナンステ
ーブル７０２に蓄積された各装置のメンテナンス情報を
抽出し、各プロセス装置を評価する。
【００５５】処理待ち製品群作成手段２００によって、
処理待ち製品テーブル２０２に処理待ち製品情報が登録
された際に、登録された製品名アイテムの値を検索キー
として、処理待ち製品テーブル２０２の製品名の値が同
一のレコードを検索し、複数レコードが検索された場合
には、全ての処理装置名を抽出する。次に、抽出した処
理装置名を検索キーとして、装置故障率テーブル７０１
の装置名の値が同一のレコードを検索し、故障率を抽出
後、故障率の平均値を算出し、プロセス装置の性能を評
価する。この平均値の算出を、先に処理待ち製品テーブ
ル２０２から抽出した処理装置の台数分だけ繰り返す。
さらに、処理待ち製品テーブル２０２から抽出した処理
装置名を検索キーとして、装置メンテナンステーブル７
０２の装置名の値が同一のレコードを検索し、メンテナ
ンス間隔及び経過時間を抽出する。
【００５６】また、登録された製品名アイテムの値を検
索キーとして、処理待ち製品テーブル２０２の製品名の
値が同一のレコードを検索し、１レコードしか検索され
なかった場合には、処理装置名を抽出し、その処理装置
で工程の処理を行うことを決定する。
【００５７】例えば、図４、１４、１５に示すように処
理待ち製品テーブル２０２に、処理待ち製品情報レコー
ド２０２Ａが登録されると、「製品Ａ」を検索キーとし
て処理待ち製品テーブル２０２を検索し、２つのレコー
ド２０２Ａ、２０２Ｂを検索し、「装置Ｅ」及び「装置
Ｂ」を抽出する。次に、「装置Ｅ」を検索キーとして、
装置故障率テーブル７０１を検索し、故障率の平均値と
して、「０．００３３」（（０＋０．０１＋０＋０＋０
＋０．０２＋０＋０＋０）／９）を得る。また、「装置
Ｂ」を検索キーとして、装置故障率テーブル７０１を検
索し、故障率の平均値として、「０．００８８」（（０
＋０＋０．０２＋０．０１＋０＋０．０３＋０＋０．０
１）／８）を得る。さらに、「装置Ｅ」を検索キーとし
て、装置メンテナンステーブル７０２を検索し、メンテ
ナンス間隔及び経過時間として、「３０」及び「１６」
を得る。また「装置Ｂ」を検索キーとして、装置メンテ
ナンステーブル７０２を検索し、メンテナンス間隔及び
経過時間として、「２５」及び「２」を得る。
【００５８】なお、本実施形態では、プロセス装置の故
障率を評価する際に、故障率の平均値を求めているが、
特に限定せず、次のように算出してもよい。（１）故障
率の標準偏差を算出する。（２）故障率の最大値を求め
る。（３）故障率の最小値を求める。また、装置故障率
テーブル７０１から故障率を抽出するための検索キーと
して、装置名の他に、次の検索キーを加えてもよい。
（１）工程名：処理する製品と同じ工程を特定するため
の検索キー。（２）期間：特定期間に処理した製品を特
定するための検索キー。さらに、故障率の平均値などを
算出する際に、各処理装置での処理日時などをもとに重
み付けを行い、最近の故障率ほど重みを付けて、平均値
を算出してもよい。なお、評価手段５１０における検
索、抽出は、例えばＤＢＭＳに備わったＳＱＬなどを用
いて行えばよい。
【００５９】図１３に示すようにプロセス装置決定手段
６１０は、評価手段５１０においてプロセス装置を評価
した結果に基づき、工程処理を行うプロセス装置を決定
する。評価手段５１０により算出した、各装置の故障
率、メンテナンス間隔及び経過時間に基づいて、各装置
の性能指数を計算し、性能指数の大小によって製品の処
理を行うプロセス装置を決定する。例えば、「装置Ｅ」
及び「装置Ｂ」の性能指数は次のように算出すればよ
い。性能指数＝１／故障率＋メンテナンス間隔／経過時
間。従って、「装置Ｅ」の性能指数＝１／０．００３３
＋３０／１６＝３０５、「装置Ｂ」の性能指数＝１／
０．００８８＋２５／２＝１２６となり、性能指数の大
きな「装置Ｅ」で、製品を処理することを決定する。
【００６０】なお、性能指数の計算方法は特に限定せ
ず、次のように算出してもよい。（１）故障率だけで算
出する（性能指数＝１／故障率）。（２）メンテナンス
間隔だけで算出する（性能指数＝メンテナンス間隔）。
（３）メンテナンス間隔及び経過時間だけで算出する
（性能指数＝メンテナンス間隔／経過時間）。（４）１
／故障率またはメンテナンス間隔／経過時間に重み付け
を行った後、算出する（性能指数＝（１／故障率）ｘ重
み１＋（メンテナンス間隔／経過時間）ｘ重み２）。
【００６１】以上のように本実施形態によれば、特定工
程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合に、プ
ロセス装置の故障率の低さや安定度、装置メンテナンス
間隔の長さ、または前回の装置メンテナンスからの経過
時間に応じて、工程を処理するプロセス装置を決定する
ことができる。
【００６２】なお、本実施形態において、コンピュータ
記憶装置上の各テーブルの代わりにリスト構造を用いた
記憶手段を用いてもよい。また、コンピュータ記憶装置
は補助記憶装置または主記憶装置の何れでも良く、コン
ピュータネットワークを通じてアクセス可能な場所に存
在すればよい。従って、本実施形態に係るプロセス装置
の決定方法を実現するプロセス装置決定プログラムを作
成するとともに、コンピュータが読み取り可能な記録媒
体にプロセス装置決定プログラムを記録しておけば、記
録媒体をコンピュータの補助記憶装置に装着することに
より、本実施形態に係るプロセス装置決定プログラムが
コンピュータの主記憶装置にロードされ、所定の動作タ
イミング（イベント）が発生した時に、コンピュータの
ＣＰＵによって各手順の所定機能が実行される。
【００６３】（第３の実施形態）プロセス装置の決定装
置は図１９に示すように、処理フロー作成手段１１０、
処理待ち製品群作成手段２１０、処理性能蓄積手段３０
０、製品歩留予測手段８００、製品完成日予測手段９０
０、評価手段５２０、プロセス装置決定手段６２０によ
って構成され、特定工程の処理が可能なプロセス装置が
複数台あり、製品の歩留が目標より高いと予測される場
合には、複数のプロセス装置の中から工程の処理が早く
完了する装置を選択し、製品の完成予定日が目標より早
いと予測される場合には、複数のプロセス装置の中から
処理性能が高く、安定した装置を選択し、工程処理を行
うプロセス装置を決定する。以下、各手段について詳し
く説明する。
【００６４】図１９、２０、３、２２に示すように処理
フロー作成手段１１０は、各種製品を完成させるために
必要な処理フロー（工程の並び、及び処理装置など）を
規定し、処理フローテーブル１１１に登録する。製品
名、品種、工程番号、工程名、処理装置名１、所要時間
１、処理装置名２、所要時間２、処理装置名３及び所要
時間３をアイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の
処理フローテーブル１１１に、製品名、品種、工程番
号、工程名、処理装置名、工程処理に必要な装置の所要
時間を登録する。特に、ある工程の処理が複数の装置で
行える場合には、処理装置名及び所要時間を複数登録す
る。この処理フローの登録はコンピュータに備わったエ
ディター及びＤＢＭＳに備わったＳＱＬなどを用いて、
製品の完成に必要な工程数だけ繰り返す。
【００６５】例えば、図２０に示すように製品Ａを完成
させるために必要な処理フロー（工程番号、工程名、処
理装置名など）を登録する。この場合、工程番号「２」
は「装置Ｂ」及び「装置Ｅ」のどちらかで処理すること
を、それぞれの装置で「７８」分及び「４９」分の工程
処理時間がかかることを、また、工程番号「４」は「装
置Ｂ」、「装置Ｅ」及び「装置Ｆ」のいずれかで処理す
ることを、それぞれの装置で「６０」分、「７５」分及
び「６５」分の工程処理時間がかかることを、それぞれ
規定している。なお、本処理フローテーブル１１１で
は、３つの処理装置名（処理装置１、２、３）及び所要
時間（所要時間１、２、３）アイテムを持っているが、
特に数は限定せず、１つの工程を処理できる装置の台数
分だけアイテムを設ければよい。
【００６６】次に、製品名、工程番号及びステータスを
アイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の処理進行
管理テーブル２０１に、製品名を登録すると同時に、工
程番号として「１」を、ステータスとして「Ｗ」をそれ
ぞれ登録する。ここで、ステータスアイテムの値として
は「Ｗ」及び「Ｐ」を持ち、「Ｗ」はその工程番号の工
程が、処理待ち状態にあることを示し、「Ｐ」は処理中
状態にあることを示す。この登録は、例えばＤＢＭＳに
備わったＳＱＬなどを用いて行えばよい。さらに、製品
名、目標歩留、予測歩留、目標完成日及び予測完成日を
アイテムとして持つコンピュータ記憶装置上の製品歩留
・完成日管理テーブル１１２に、製品名、目標歩留、目
標完成日をそれぞれ登録する。この登録はコンピュータ
に備わったエディター及びＤＢＭＳに備わったＳＱＬな
どを用いて行えばよい。また、処理フローの登録、ステ
ータスの登録及び目標歩留・目標完成日の登録は製品の
数だけ繰り返す。
【００６７】図１９、２０、３、２１に示すように処理
待ち製品群作成手段２１０は、各プロセス装置での各種
製品の処理進行状況を管理し、各プロセス装置での処理
待ち製品群を処理進行管理テーブル２０１及び処理待ち
製品テーブル２１２を用いて作成する。ここで、処理待
ち製品テーブル２１２は、処理装置名、製品名、工程番
号、工程名、所要時間及び登録日時をアイテムとして持
つコンピュータ記憶装置上のテーブルである。処理進行
管理テーブル２０１から、ステータスアイテムの値が
「Ｗ」のレコードを検索し、製品名及び工程番号を抽出
後、これらを検索キーとして処理フローテーブル１１１
の製品名と工程番号の値が同一のレコードを検索し、全
ての処理装置名、所要時間及び工程名を抽出する。さら
に、先の検索キーとして用いた製品名及び工程番号、抽
出した処理装置名、所要時間及び工程名を、処理待ち製
品テーブル２１２に登録し、同時に、この情報の登録日
時も登録する。この登録は処理フローテーブル１１１か
ら抽出した装置の台数分だけ繰り返す。なお、この検
索、抽出、登録は、例えばＤＢＭＳに備わったＳＱＬな
どを用いて行えばよい。
【００６８】また、処理進行管理テーブル２０１のステ
ータスアイテムは、評価手段５２０及びプロセス装置決
定手段６２０などによって、工程の処理を行うプロセス
装置が決定し、実際にプロセス装置によって工程の処理
が開始されると、ステータスの値は「Ｐ」に更新され
る。さらに、工程の処理が終了すると、ステータスの値
は「Ｗ」に、工程番号の値は１増加され、それぞれ更新
される。なお、この更新も、例えばＤＢＭＳに備わった
ＳＱＬなどを用いて行えばよい。例えば、図３、２１の
処理進行管理テーブル２０１及び処理待ち製品テーブル
２１２は、「製品Ａ」が工程番号「２」で処理待ち状態
であり、「製品Ａ」の工程番号「２」の処理は「装置
Ｂ」及び「装置Ｅ」の２つが候補としてあげられること
を示している。また、「製品Ｘ」の工程番号「１０」は
「装置Ｆ」で処理中であることを示している。
【００６９】図１、５に示すように処理性能蓄積手段３
００は、各プロセス装置で製品を処理した際のプロセス
装置の性能を示す情報を、処理性能テーブル３０１に登
録する。本処理性能蓄積手段３００は、本発明に係る第
１の実施形態と同様である。
【００７０】図１９、２２に示すように製品歩留予測手
段８００は、各製品の最終歩留を予測し、製品歩留・完
成日管理テーブル１１２に登録する。最終歩留の予測手
法は特に限定せず、通常、製品開発過程で行われている
途中の特定工程の結果から最終歩留を推測する手法など
を用いればよい。この最終歩留の予測は、特定工程の終
了時や一定期間毎に行えばよい。次に、最終歩留を予測
した際に、製品名を検索キーとして製品歩留・完成日管
理テーブル１１２の製品名の値が同一のレコードを検索
し、予測歩留アイテムに、予測した最終歩留を登録す
る。この登録は、ＤＢＭＳに備わったＳＱＬなどを用い
て行う。
【００７１】図１９、２２に示すように製品完成日予測
手段９００は、各製品の完成日を予測し、製品歩留・完
成日管理テーブル１１２に登録する。製品完成日の予測
手法は特に限定せず、通常、製品開発過程で行われてい
る途中工程の処理完了日時と残り工程数から完成日を推
測する手法などを用いればよい。この完成日の予測は、
各工程の処理が終了した際に行えばよい。完成日を予測
した際に、製品名を検索キーとして製品歩留・完成日管
理テーブル１１２の製品名の値が同一のレコードを検索
し、予測完成日アイテムに、予測した完成日を登録す
る。この登録は、ＤＢＭＳに備わったＳＱＬなどを用い
て行う。
【００７２】図１９、２１、２２に示すように評価手段
５２０は、製品歩留・完成日管理テーブル１１２に蓄積
された各製品の歩留及び完成日情報を抽出する。処理待
ち製品群作成手段２１０によって、処理待ち製品テーブ
ル２１２に処理待ち製品情報が登録された際に、登録さ
れた製品名アイテムの値を検索キーとして、製品歩留・
完成日管理テーブル１１２の製品名の値が同一のレコー
ドを検索し、目標歩留、予測歩留、目標完成日、予測完
成日を抽出する。さらに、製品名アイテムの値を検索キ
ーとして、処理待ち製品テーブル２１２の製品名の値が
同一のレコードを検索し、複数レコードが検索された場
合には、全ての処理装置名及び所要時間を抽出する。ま
た、１レコードしか検索されなかった場合には、処理装
置名を抽出し、その処理装置で工程の処理を行うことを
決定する。
【００７３】次に、抽出した処理装置名を検索キーとし
て、処理性能テーブル３０１の装置名の値が同一のレコ
ードを検索し、装置性能を抽出後、装置性能の平均値を
算出し、プロセス装置の性能を評価する。この平均値の
算出を、先に処理待ち製品テーブル２１２から抽出した
処理装置の台数分だけ繰り返す。例えば、図２１、５に
示すように処理待ち製品テーブル２１２に、処理待ち製
品情報レコード２１２Ａが登録されると、「製品Ａ」を
検索キーとして、製品歩留・完成日管理テーブル１１２
を検索し、目標歩留、予測歩留、目標完成日及び予測完
成日としてそれぞれ、「８９」、「９３」、「１９９８
／０２／１０」及び「１９９８／０２／１４」を抽出す
る。さらに、「製品Ａ」を検索キーとして処理待ち製品
テーブル２１２を検索し、２つのレコード２１２Ａ、２
１２Ｂを検索し、装置名及び所要時間としてそれぞれ
「装置Ｅ」、「４９」及び「装置Ｂ」、「７８」を抽出
する。
【００７４】次に、「装置Ｅ」を検索キーとして、処理
性能テーブル３０１を検索し、装置性能の平均値とし
て、「２８」（（２＋４３＋５９＋８）／４）を得る。
また、「装置Ｂ」を検索キーとして、処理性能テーブル
３０１を検索し、装置性能の平均値として、「３１」
（（３２＋３９＋５０＋２２＋１２）／５）を得る。な
お、評価手段５２０における検索、抽出は、例えばＤＢ
ＭＳに備わったＳＱＬなどを用いて行えばよい。
【００７５】図１９、２１に示すようにプロセス装置決
定手段６２０は、評価手段５２０において抽出した製品
の歩留及び完成日を基づき、工程処理を行うプロセス装
置を決定する。評価手段５２０により抽出した製品の予
測歩留が目標歩留より高い場合は、評価手段５２０で抽
出した各処理装置の中から、工程処理に要する所要時間
が少ない装置で工程の処理を行うことを決定する。例え
ば、本実施形態では、「製品Ａ」の予測歩留が「９
３」、目標歩留が「８９」であり、予測歩留が目標歩留
よりも高く、「装置Ｅ」の所要時間が「４９」、「装置
Ｂ」の所要時間が「７８」であるため、「装置Ｅ」で製
品を処理することに決定する。
【００７６】また、評価手段５２０により抽出した製品
の完成予定日が目標完成日より早い場合には、複数のプ
ロセス装置の中から、処理性能が高く、安定した装置で
処理することを決定する。例えば、本実施形態では、
「装置Ｅ」の性能の平均が「２８」、「装置Ｂ」の性能
の平均が「３１」であるため、「装置Ｂ」で製品を処理
することに決定する。なお、製品の予測歩留が目標歩留
より低い場合は、複数のプロセス装置の中から、処理性
能が高く、安定した装置で処理することを決定し、製品
の完成予定日が目標完成日より遅い場合は、工程処理に
要する所要時間が少ない装置で工程の処理を行うことを
決定する。
【００７７】以上のように本実施形態によれば、特定工
程の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合に、製
品の歩留が目標より高いと予測される場合には、複数の
プロセス装置の中から工程の処理が早く完了する装置を
選択し、製品の完成予定日が目標より早いと予測される
場合には、複数のプロセス装置の中から処理性能が高
く、安定した装置を選択し、工程処理を行うプロセス装
置を決定する事ができる。
【００７８】なお、本実施形態において、コンピュータ
記憶装置上の各テーブルの代わりにリスト構造を用いた
記憶手段を用いてもよい。また、コンピュータ記憶装置
は補助記憶装置または主記憶装置の何れでも良く、コン
ピュータネットワークを通じてアクセス可能な場所に存
在すればよい。従って、本実施形態に係るプロセス装置
の決定方法を実現するプロセス装置決定プログラムを作
成するとともに、コンピュータが読み取り可能な記録媒
体にプロセス装置決定プログラムを記録しておけば、記
録媒体をコンピュータの補助記憶装置に装着することに
より、本実施形態に係るプロセス装置決定プログラムが
コンピュータの主記憶装置にロードされ、所定の動作タ
イミング（イベント）が発生した時に、コンピュータの
ＣＰＵによって各手順の所定機能が実行される。
【００７９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の第１のプ
ロセス装置の決定装置及び決定方法によると、特定工程
の処理が可能なプロセス装置が複数台ある場合は、処理
性能の高い安定したプロセス装置や、過去の製品歩留の
高い安定したプロセス装置で工程の処理を行うことがで
きるため、製品の特性や歩留を向上させることができ、
その実用的効果は大きい。
【００８０】本発明の第２のプロセス装置の決定装置及
び決定方法によると、特定工程の処理が可能なプロセス
装置が複数台ある場合は、故障率の低い安定したプロセ
ス装置、装置メンテナンス間隔の長いプロセス装置、前
回の装置メンテナンスからの経過時間が短いプロセス装
置で工程の処理を行うことができるため、装置の故障に
よる製品の処理遅れを防止することができ、その実用的
効果は大きい。
【００８１】本発明の第３のプロセス装置の決定装置及
びその方法によると、特定工程の処理が可能なプロセス
装置が複数台ある場合は、製品の予測歩留が目標歩留よ
り高い場合には、工程処理が早く完了するプロセス装置
で工程の処理を行い、製品の完成予定日が目標完成日よ
り早い場合には、処理性能の高い安定したプロセス装置
で工程処理を行うことができるため、製品の完成日を早
め、製品の特性や歩留を向上させることができ、その実
用的効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１及び第３の実施形態におけるプロ
セス装置の決定装置のブロック図
【図２】本発明の第１及び第２の実施形態におけるプロ
セス装置の決定装置の処理フローテーブルの一例を示す
図
【図３】本発明の第１、第２及び第３の実施形態におけ
るプロセス装置の決定装置の処理進行管理テーブルの一
例を示す図
【図４】本発明の第１及び第２の実施形態におけるプロ
セス装置の決定装置の処理待ち製品テーブルの一例を示
す図
【図５】本発明の第１及び第３の実施形態におけるプロ
セス装置の決定装置の処理性能テーブルの一例を示す図
【図６】本発明の第１の実施形態におけるプロセス装置
の決定装置の製品歩留テーブルの一例を示す図
【図７】本発明の第１及び第２の実施形態におけるプロ
セス装置の決定方法の処理フロー作成工程の処理内容を
示す図
【図８】本発明の第１及び第２の実施形態におけるプロ
セス装置の決定方法の処理待ち製品群作成工程の処理内
容を示す図
【図９】本発明の第１の実施形態におけるプロセス装置
の決定方法の処理性能蓄積工程の処理内容を示す図
【図１０】本発明の第１の実施形態におけるプロセス装
置の決定方法の歩留蓄積工程の処理内容を示す図
【図１１】本発明の第１の実施形態におけるプロセス装
置の決定方法の評価工程の処理内容を示す図
【図１２】本発明の第１の実施形態におけるプロセス装
置の決定方法のプロセス装置決定工程の処理内容を示す
図
【図１３】本発明の第２の実施形態におけるプロセス装
置の決定装置のブロック図
【図１４】本発明の第２の実施形態におけるプロセス装
置の決定装置の装置故障率テーブルの一例を示す図
【図１５】本発明の第２の実施形態におけるプロセス装
置の決定装置の装置メンテナンステーブルの一例を示す
図
【図１６】本発明の第２の実施形態におけるプロセス装
置の決定方法の故障率蓄積工程の処理内容を示す図
【図１７】本発明の第２の実施形態におけるプロセス装
置の決定方法の評価工程の処理内容を示す図
【図１８】本発明の第２の実施形態におけるプロセス装
置の決定方法のプロセス装置決定工程の処理内容を示す
図
【図１９】本発明の第３の実施形態におけるプロセス装
置の決定装置のブロック図
【図２０】本発明の第３の実施形態におけるプロセス装
置の決定装置の処理フローテーブルの一例を示す図
【図２１】本発明の第３の実施形態におけるプロセス装
置の決定装置の処理待ち製品テーブルの一例を示す図
【図２２】本発明の第３の実施形態におけるプロセス装
置の決定装置の製品歩留・完成日管理テーブルの一例を
示す図
【図２３】本発明の第３の実施形態におけるプロセス装
置の決定方法の処理フロー作成工程の処理内容を示す図
【図２４】本発明の第３の実施形態におけるプロセス装
置の決定方法の処理待ち製品群作成工程の処理内容を示
す図
【図２５】本発明の第３の実施形態におけるプロセス装
置の決定方法の製品歩留予測工程の処理内容を示す図
【図２６】本発明の第３の実施形態におけるプロセス装
置の決定方法の製品完成日予測工程の処理内容を示す図
【図２７】本発明の第３の実施形態におけるプロセス装
置の決定方法の評価工程の処理内容を示す図
【図２８】本発明の第３の実施形態におけるプロセス装
置の決定方法のプロセス装置決定工程の処理内容を示す
図
【図２９】従来のプロセス装置の決定装置のブロック図
【符号の説明】
１００、１１０、１００１ 処理フロー作成手段 １００Ａ、１１０Ａ 処理フロー作成工程 １０１、１１１ 処理フローテーブル １１２ 製品歩留・完成日管理テーブル ２００、２１０、１００２ 処理待ち製品群作成手段 ２００Ａ、２１０Ａ 処理待ち製品群作成工程 ２０１ 処理進行管理テーブル ２０２、２１２ 処理待ち製品テーブル ２０２Ａ、２０２Ｂ、２１２Ａ、２１２Ｂ 処理待ち製
品情報レコード ３００ 処理性能蓄積手段 ３００Ａ 処理性能蓄積工程 ３０１ 処理性能テーブル ４００ 歩留蓄積手段 ４００Ａ 歩留蓄積工程 ４０１ 製品歩留テーブル ５００、５１０、５２０ 評価手段 ５００Ａ、５１０Ａ、５２０Ａ 評価工程 ６００、６１０、６２０、１００４ プロセス装置決定
手段 ６００Ａ、６１０Ａ、６２０Ａ プロセス装置決定工程 ７００ 故障率蓄積手段 ７００Ａ 故障率蓄積工程 ７０１ 装置故障率テーブル ７０２ 装置メンテナンステーブル ８００ 製品歩留予測手段 ８００Ａ 製品歩留予測工程 ９００ 製品完成日予測手段 ９００Ａ 製品完成日予測工程 １００３ 処理待ち時間評価手段

Claims (31)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 プロセス装置によって順に並んだ工程を
    処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可能
    な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセ
    ス装置を決定するプロセス装置の決定装置であって、 プロセス装置群の処理性能を蓄積する処理性能蓄積手段
    と、各プロセス装置で処理した製品の歩留を蓄積する歩
    留蓄積手段と、蓄積したプロセス装置の処理性能または
    製品の歩留を評価する評価手段と、評価した処理性能ま
    たは歩留に基づいて複数のプロセス装置群の中から工程
    を処理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手
    段とを備えたことを特徴とするプロセス装置の決定装
    置。
  2. 【請求項２】 前記プロセス装置決定手段は、処理性能
    の高いプロセス装置または過去の製品の歩留が高いプロ
    セス装置を選択する請求項１に記載のプロセス装置の決
    定装置。
  3. 【請求項３】 前記プロセス装置決定手段は、処理性能
    の安定しているプロセス装置または過去の製品の歩留が
    安定しているプロセス装置を選択する請求項１に記載の
    プロセス装置の決定装置。
  4. 【請求項４】 前記評価手段は、プロセス装置の処理性
    能を一定期間毎または品種毎に評価する請求項１ないし
    請求項３のいずれかに記載のプロセス装置の決定装置。
  5. 【請求項５】 前記評価手段は、製品の歩留を一定期間
    毎または品種毎に評価する請求項１ないし請求項４のい
    ずれかに記載のプロセス装置の決定装置。
  6. 【請求項６】 プロセス装置によって順に並んだ工程を
    処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可能
    な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロセ
    ス装置を決定するプロセス装置の決定装置であって、 プロセス装置の故障率を蓄積する故障率蓄積手段と、蓄
    積した故障率を評価する評価手段と、評価したプロセス
    装置の故障率に基づいて複数の装置群の中から工程を処
    理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定手段と
    を備えたことを特徴とするプロセス装置の決定装置。
  7. 【請求項７】 前記プロセス装置決定手段は、過去のプ
    ロセス装置の故障率が低い装置を選択することに決定す
    る請求項６に記載のプロセス装置の決定装置。
  8. 【請求項８】 前記プロセス装置決定手段は、過去の装
    置の安定度が高いプロセス装置を選択することに決定す
    る請求項６に記載のプロセス装置の決定装置。
  9. 【請求項９】 前記故障率蓄積手段は、プロセス装置の
    メンテナンス作業を記録し、前記プロセス装置決定手段
    は、装置のメンテナンス間隔が長いプロセス装置を選択
    することに決定する請求項６に記載のプロセス装置の決
    定装置。
  10. 【請求項１０】 前記故障率蓄積手段は、プロセス装置
    のメンテナンス作業を記録し、前記プロセス装置決定手
    段は、装置の前回のメンテナンスからの経過時間が短い
    プロセス装置を選択することに決定する請求項６に記載
    のプロセス装置の決定装置。
  11. 【請求項１１】 前記評価手段は、プロセス装置の稼働
    率をプロセス工程毎に評価する請求項６ないし請求項１
    ０のいずれかに記載のプロセス装置の決定装置。
  12. 【請求項１２】 プロセス装置によって順に並んだ工程
    を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可
    能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロ
    セス装置を決定するプロセス装置の決定装置であって、 製品完成時の歩留を予測する製品歩留予測手段と、製品
    の完成予定日を予測する製品完成日予測手段と、予測し
    た製品の歩留及び製品の完成予定日を評価する評価手段
    と、評価した製品の歩留及び完成予定日に基づいて複数
    の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定す
    るプロセス装置決定手段とを備えたことを特徴とするプ
    ロセス装置の決定装置。
  13. 【請求項１３】 前記プロセス装置決定手段は、評価し
    た製品の歩留が所定の歩留より高い場合には、複数の装
    置群の中から、処理が早く完了するプロセス装置で工程
    を処理することを決定する請求項１２に記載のプロセス
    装置の決定装置。
  14. 【請求項１４】 前記プロセス装置決定手段は、評価し
    た製品の完成予定日が所定の日時より早い場合には、複
    数の装置群の中から、処理性能が高く、安定したプロセ
    ス装置、または過去の製品の歩留が高く、安定した装置
    で工程処理することを決定する請求項１２または請求項
    １３に記載のプロセス装置の決定装置。
  15. 【請求項１５】 プロセス装置によって順に並んだ工程
    を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可
    能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロ
    セス装置を決定するプロセス装置の決定方法であって、 プロセス装置群の処理性能を蓄積する処理性能蓄積工程
    と、各プロセス装置で処理した製品の歩留を蓄積する歩
    留蓄積工程と、蓄積したプロセス装置の処理性能または
    製品の歩留を評価する評価工程と、評価した処理性能ま
    たは歩留に基づいて複数の装置群の中から工程を処理す
    るプロセス装置を決定するプロセス装置決定工程とを備
    えたことを特徴とするプロセス装置の決定方法。
  16. 【請求項１６】 前記プロセス装置決定工程は、処理性
    能の高いプロセス装置または過去の製品の歩留が高いプ
    ロセス装置を選択する請求項１５に記載のプロセス装置
    の決定方法。
  17. 【請求項１７】 前記プロセス装置決定工程は、処理性
    能の安定しているプロセス装置または過去の製品の歩留
    が安定しているプロセス装置を選択する請求項１５に記
    載のプロセス装置の決定方法。
  18. 【請求項１８】 前記評価工程は、プロセス装置の処理
    性能を一定期間毎または品種毎に評価する請求項１５な
    いし請求項１７のいずれかに記載のプロセス装置の決定
    方法。
  19. 【請求項１９】 前記評価工程は、製品の歩留を一定期
    間毎、または品種毎に評価する請求項１５ないし請求項
    １８のいずれかに記載のプロセス装置の決定方法。
  20. 【請求項２０】 プロセス装置によって順に並んだ工程
    を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可
    能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロ
    セス装置を決定するプロセス装置の決定方法であって、 プロセス装置の故障率を蓄積する故障率蓄積工程と、蓄
    積した故障率を評価する評価工程と、評価したプロセス
    装置の故障率に基づいて複数の装置群の中から工程を処
    理するプロセス装置を決定するプロセス装置決定工程と
    を備えたことを特徴とするプロセス装置の決定方法。
  21. 【請求項２１】 前記プロセス装置決定工程は、過去の
    プロセス装置の故障率が低い装置を選択することに決定
    する請求項２０に記載のプロセス装置の決定方法。
  22. 【請求項２２】 前記プロセス装置決定工程は、過去の
    装置の安定度が高いプロセス装置を選択することに決定
    する請求項２０に記載のプロセス装置の決定方法。
  23. 【請求項２３】 前記故障率蓄積工程は、プロセス装置
    のメンテナンス作業を記録し、前記プロセス装置決定工
    程は、装置のメンテナンス間隔が長いプロセス装置を選
    択することに決定する請求項２０に記載のプロセス装置
    の決定方法。
  24. 【請求項２４】 前記故障率蓄積工程は、プロセス装置
    のメンテナンス作業を記録し、前記プロセス装置決定工
    程は、装置の前回のメンテナンスからの経過時間が短い
    プロセス装置を選択することに決定する請求項２０に記
    載のプロセス装置の決定方法。
  25. 【請求項２５】 前記評価工程は、プロセス装置の稼働
    率をプロセス工程毎に評価する請求項２０ないし請求項
    ２４のいずれかに記載のプロセス装置の決定方法。
  26. 【請求項２６】 プロセス装置によって順に並んだ工程
    を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可
    能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロ
    セス装置を決定するプロセス装置の決定方法であって、 製品完成時の歩留を予測する製品歩留予測工程と、製品
    の完成予定日を予測する製品完成日予測工程と、予測し
    た製品の歩留及び製品の完成予定日を評価する評価工程
    と、評価した製品の歩留及び完成予定日に基づいて複数
    の装置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定す
    るプロセス装置決定工程とを備えたことを特徴とするプ
    ロセス装置の決定方法。
  27. 【請求項２７】 前記プロセス装置決定工程は、評価し
    た製品の歩留が所定の歩留より高い場合には、複数の装
    置群の中から、処理が早く完了するプロセス装置で工程
    を処理することを決定する請求項２６に記載のプロセス
    装置の決定方法。
  28. 【請求項２８】 前記プロセス装置決定工程は、評価し
    た製品の完成予定日が所定の日時より早い場合には、複
    数の装置群の中から、処理性能が高く、安定したプロセ
    ス装置、または過去の製品の歩留が高く、安定した装置
    で工程を処理することを決定する請求項２６または請求
    項２７に記載のプロセス装置の決定方法。
  29. 【請求項２９】 プロセス装置によって順に並んだ工程
    を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可
    能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロ
    セス装置を決定するプログラムを記録したコンピュータ
    読み取り可能な記録媒体であって、コンピュータを、 プロセス装置群の処理性能を蓄積する処理性能蓄積手
    順、 各プロセス装置で処理した製品の歩留を蓄積する歩留蓄
    積手順、 蓄積したプロセス装置の処理性能、または製品の歩留を
    評価する評価手順、 評価した処理性能、または歩留に基づいて複数の装置群
    の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセ
    ス装置決定手順として実行させるためのプロセス装置決
    定プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記
    録媒体。
  30. 【請求項３０】 プロセス装置によって順に並んだ工程
    を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可
    能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロ
    セス装置を決定するプログラムを記録したコンピュータ
    読み取り可能な記録媒体であって、コンピュータを、 プロセス装置の故障率を蓄積する故障率蓄積手順、 蓄積した故障率を評価する評価手順、 評価したプロセス装置の故障率に基づいて複数の装置群
    の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプロセ
    ス装置決定手順として実行させるためのプロセス装置決
    定プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記
    録媒体。
  31. 【請求項３１】 プロセス装置によって順に並んだ工程
    を処理しながら製品を完成させる際に、工程の処理が可
    能な複数のプロセス装置群から、工程の処理を行うプロ
    セス装置を決定するプログラムを記録したコンピュータ
    読み取り可能な記録媒体であって、コンピュータを、 製品完成時の歩留を予測する製品歩留予測手順、 製品の完成予定日を予測する製品完成日予測手順、 予測した製品の歩留及び製品の完成予定日を評価する評
    価手順、 評価した製品の歩留及び完成予定日に基づいて複数の装
    置群の中から工程を処理するプロセス装置を決定するプ
    ロセス装置決定手順として実行させるためのプロセス装
    置決定プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能
    な記録媒体。
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