JP2011104728A - 切削装置及び切削方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の切削装置は、ワークを切削する切削装置10であって、回転してワークを切削するブレード40と、ブレード40が取り付けられ、ブレード40の回転方向と垂直な第1方向に移動可能なスピンドル30と、ブレード40を第1方向に移動させながらブレード40の先端の位置を検出するレーザ変位計50とを有する。
【選択図】図1
Description
15 ステージ
20 ターンテーブル
30 スピンドル
40 ブレード
50 レーザ変位計
52 光射出部
54 光検出部
55 レーザ光
Claims (5)
- ワークを切削する切削装置であって、
回転して前記ワークを切削するブレードと、
前記ブレードが取り付けられ、該ブレードの回転方向に直交する第1方向に前記ブレードを移動可能なスピンドルと、
前記ブレードを前記第1方向に移動させながら前記ブレードの先端の位置を検出するレーザ変位計と、を有することを特徴とする切削装置。 - 前記レーザ変位計で検出した前記ブレードの先端の位置から該ブレードの先端形状を算出する算出部を更に有することを特徴とする請求項1に記載の切削装置。
- 前記第1方向に直交する第2方向に前記ワークを移動可能なステージを更に有し、
前記レーザ変位計は、前記ブレードの前記先端に向けてレーザ光を射出する光射出部、および、該ブレードの該先端で反射した反射光を検出する光検出部を有し、
前記光射出部と前記光検出部は、前記第2方向に配列されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の切削装置。 - ワークを切削する切削方法であって、
スピンドルに取り付けられたブレードを回転させる工程と、
前記ブレードを該ブレードの回転方向に直交する第1方向に移動させながら、レーザ変位計を用いて該ブレードの先端の位置を検出する工程と、を有することを特徴とする切削方法。 - 前記レーザ変位計で検出した前記ブレードの先端の位置から該ブレードの先端形状を算出する工程を更に有することを特徴とする請求項4に記載の切削方法。
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