JP2011099818A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2011099818A5
JP2011099818A5 JP2009256089A JP2009256089A JP2011099818A5 JP 2011099818 A5 JP2011099818 A5 JP 2011099818A5 JP 2009256089 A JP2009256089 A JP 2009256089A JP 2009256089 A JP2009256089 A JP 2009256089A JP 2011099818 A5 JP2011099818 A5 JP 2011099818A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
excitation
vibration
angular velocity
velocity sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009256089A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011099818A (ja
JP5397171B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2009256089A priority Critical patent/JP5397171B2/ja
Priority claimed from JP2009256089A external-priority patent/JP5397171B2/ja
Publication of JP2011099818A publication Critical patent/JP2011099818A/ja
Publication of JP2011099818A5 publication Critical patent/JP2011099818A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5397171B2 publication Critical patent/JP5397171B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

(1)上記目的を達成するための振動型角速度センサは、可撓部と、前記可撓部を支持する支持部と、前記可撓部と結合し前記可撓部とともに運動する錘部と、交する複数の励振方向に前記錘部を振動させる励振手段と、リオリ力に対応する検出方向における前記錘部の振動を検出する検出手段と、切り換え前の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号の印加終了後から切り換え前と別の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号を印加するまでの切り換え期間中に、切り換え前の前記錘部の振動に関連する信号に基づいて生成した静定信号を、前記励振手段に印加する静定制御手段と、を備える。
本発明によると、静定振動を加えない場合と比較して、切り換え前の励振方向の振動を早く減衰させることができる。励振方向の振動を早く減衰させることによって、時分割の動作周波数を高くすることができる。
(2)上記目的を達成するための振動型角速度センサにおいて、前記静定制御手段は、切り換え前に前記励振手段に加されていた信号の位相を反転した信号を、前記励振手段に印加してもよい。
この場合、低コストな回路構成で静定信号を生成し、印加することができる。
(3)上記目的を達成するための振動型角速度センサにおいて、前記静定制御手段は、前記検出手段によって検出された前記検出信号の位相を反転した信号を、前記励振手段に印加してもよい。
検出手段によって検出された錘部の振動を示す検出信号に基づいて、その逆位相の信号(振幅や周波数は同じ)を励振手段に印加することにより、錘部の振動を確実に減衰させることができる。
(4)上記目的を達成するための振動型角速度センサにおいて、前記静定制御手段は、前記検出手段によって検出された前記検出信号と同じ振幅であって、切り換え前に前記励振手段によって印加されていた駆動信号と位相が反転した信号を、前記励振手段に印加してもよい。
検出手段により検出した振動の振幅で、位相は、駆動手段によって与えられていた励振振動の逆位相の振動を静定振動として与えることで、静定振動を加えない場合と比較して、錘部の切り換え前の励振方向の振動を早く減衰させることができる。
(5)上記目的を達成するための振動型角速度センサにおいて、前記静定制御手段は、前記励振手段および前記検出手段の等価回路を用いて、切り換え前の励振方向の振動に対する静定信号をシミュレートし、前記シミュレートすることによって得られる静定信号を、前記励振手段に印加してもよい。
この場合、シミュレーションによって得られる、切り換え前の励振方向の振動を減衰するために効果的な静定信号を、励振手段に印加することができる。その結果、当該静定信号を印加しない場合と比較すると錘部の振動を早く減衰させることができる。

Claims (6)

  1. 可撓部と、
    前記可撓部を支持する支持部と、
    前記可撓部と結合し前記可撓部とともに運動する錘部と、
    交する複数の励振方向に前記錘部を振動させる励振手段と、
    リオリ力に対応する検出方向における前記錘部の振動を検出する検出手段と、
    切り換え前の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号の印加終了後から切り換え前と別の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号を印加するまでの切り換え期間中に、切り換え前の前記錘部の振動に関連する信号に基づいて生成した静定信号を、前記励振手段に印加する静定制御手段と、
    を備える振動型角速度センサ。
  2. 前記静定制御手段は、切り換え前に前記励振手段に加されていた信号の位相を反転した信号を、前記励振手段に印加する、
    請求項1に記載の振動型角速度センサ。
  3. 前記静定制御手段は、前記検出手段によって検出された前記検出信号の位相を反転した信号を、前記励振手段に印加する、
    請求項1に記載の振動型角速度センサ。
  4. 前記静定制御手段は、前記検出手段によって検出された前記検出信号と同じ振幅であって、切り換え前に前記励振手段に印加されていた駆動信号と位相が反転した信号を、前記励振手段に印加する、
    請求項1に記載の振動型角速度センサ。
  5. 前記静定制御手段は、前記励振手段および前記検出手段の等価回路を用いて、切り換え前の励振方向の振動に対する静定信号をシミュレートし、前記シミュレートすることによって得られる静定信号を、前記励振手段に印加する、
    請求項1に記載の振動型角速度センサ。
  6. 前記励振手段および前記検出手段は圧電素子である、
    請求項1から5のいずれか一項に記載の振動型角速度センサ。
JP2009256089A 2009-11-09 2009-11-09 振動型角速度センサ Expired - Fee Related JP5397171B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009256089A JP5397171B2 (ja) 2009-11-09 2009-11-09 振動型角速度センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009256089A JP5397171B2 (ja) 2009-11-09 2009-11-09 振動型角速度センサ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2011099818A JP2011099818A (ja) 2011-05-19
JP2011099818A5 true JP2011099818A5 (ja) 2012-12-13
JP5397171B2 JP5397171B2 (ja) 2014-01-22

Family

ID=44191099

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009256089A Expired - Fee Related JP5397171B2 (ja) 2009-11-09 2009-11-09 振動型角速度センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5397171B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101218991B1 (ko) 2010-08-06 2013-01-07 삼성전기주식회사 자이로 센서 구동 장치
KR101237604B1 (ko) 2011-09-02 2013-02-26 한국기술교육대학교 산학협력단 자이로 센서 구동 장치 및 그 방법
JP6067102B2 (ja) * 2013-03-29 2017-01-25 旭化成株式会社 角速度センサ

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005308530A (ja) * 2004-04-21 2005-11-04 Denso Corp 角速度・加速度複合センサ
JP2006226770A (ja) * 2005-02-16 2006-08-31 Seiko Instruments Inc 力学量センサ
JP2007271320A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Kyocera Corp 加速度・角速度検出素子およびその製造方法、ならびに加速度・角速度測定装置
JP4234734B2 (ja) * 2006-07-05 2009-03-04 和廣 岡田 角速度センサ
JP5177740B2 (ja) * 2007-10-11 2013-04-10 日本信号株式会社 ジャイロセンサのドリフト抑制方法
JP2009128164A (ja) * 2007-11-22 2009-06-11 Alps Electric Co Ltd 加速度・角速度・磁気方位検出用複合センサ及びこれを用いた装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009025283A (ja) 一体型加速度計・角速度計システム
JP2009198206A5 (ja)
JP2010112888A5 (ja)
CN102027262B (zh) 减振装置以及车辆
JP2017009920A5 (ja)
JP5518177B2 (ja) マイクロメカニカルシステムおよびマイクロメカニカルシステムを製造する方法
JP2012159476A (ja) 振動試験装置
JP2011099818A5 (ja)
JP2016176892A5 (ja)
JP2020085528A5 (ja)
JP6067102B2 (ja) 角速度センサ
JP6960342B2 (ja) 加振装置及びこの加振装置を備えた振動試験装置
JP2012189569A (ja) 慣性センサ
JP5397171B2 (ja) 振動型角速度センサ
JP2012194435A5 (ja)
RU2017125419A (ru) Гироскоп
JPH0221044A (ja) 制振方法及び制振装置
JP2012202799A5 (ja)
JP4705653B2 (ja) 制振装置
JP2012145493A5 (ja)
JP6391359B2 (ja) 制震構造塔状構造物の制震性能検証試験方法
JP6039918B2 (ja) 試験装置および試験装置の制御方法
JP2016149620A5 (ja)
TWI702375B (zh) 具有組合的驅動及偵測的微機電系統轉速感應器
JPH08179835A (ja) アクティブダンパ