JP2011091415A - 基板検出方法及び半導体製造装置に於ける基板検出方法及び半導体製造装置及び半導体製造装置に於ける基板回収方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のモジュールを有する半導体製造装置が非常停止した場合に、機構部14としての基板搬送機を駆動して基板の検出を行う基板検出方法であって、前記基板搬送機上の基板の有無を判断し、基板があれば、前記基板搬送機による基板検知を終了すると共に前記基板搬送機の材料情報を更新し、基板検知不可を通知する。
【選択図】図2
Description
に、又前記第1プロセスモジュール4、第2プロセスモジュール5、第3プロセスモジュール6、第4プロセスモジュール7の内1つから他に、又前記第1プロセスモジュール4、第2プロセスモジュール5、第3プロセスモジュール6、第4プロセスモジュール7の
いずれかから前記第2カセットモジュール3へと材料(被処理基板)を搬送する様になっている。
8 基板搬送機
9 機構制御部
11 主制御装置
14 機構部
15 操作部
21 演算処理部
22 記憶部
23 パラメータ解析部
24 払出しデータ作成部
25 材料回収プログラム
26 経路情報保存エリア
Claims (10)
- 複数のモジュールを有する装置が非常停止し、基板の位置情報を取得できない場合に、基板搬送機を駆動して基板の検出を行う基板検出方法であって、前記基板搬送機上に基板があるかどうかを判断し、前記基板があれば、前記基板搬送機による前記基板の払出し先の検索を終了すると共に前記基板搬送機上の基板の位置情報を更新することを特徴とする基板検出方法。
- 前記基板搬送機上の基板が払出された場合、或いは前記基板搬送機上に基板があるかどうかを判断し、前記基板がない場合、前記基板搬送機が各モジュールに対して基板搬送動作を行うことにより、前記基板の有無を確認する請求項1記載の基板検出方法。
- 少なくとも一つのカセットモジュールと、基板に対して所定の処理がなされる複数のプロセスモジュールと、前記カセットモジュールや前記プロセスモジュール間で基板を搬送する基板搬送機が設けられる搬送モジュールと、該基板搬送機を制御駆動する制御部とを具備した半導体製造装置における基板検出方法であって、
前記基板搬送機上の基板が払出された場合、或いは前記基板搬送機上に基板があるかどうかを判断し、前記基板がない場合、前記基板の払出し先の検索を続行することを特徴とする半導体製造装置における基板検出方法。
- 前記基板の払出し先の検索を続行する場合、前記カセットモジュールの空きスロットの検索を行う請求項3の半導体製造装置における基板検出方法。
- 前記各モジュールに対して基板の有無の確認が終了すると、前記基板の払出し先の検索を終了する請求項3の半導体製造装置における基板検出方法。
- 少なくとも一つのカセットモジュールと、基板に対して所定の処理がなされる複数のプロセスモジュールと、前記カセットモジュールや前記プロセスモジュール間で基板を搬送する基板搬送機が設けられる搬送モジュールと、該基板搬送機を制御駆動する制御部とを具備した半導体製造装置であって、
前記半導体製造装置が非常停止し、前記基板の位置情報を取得できない場合に、前記基板搬送機上に基板があるか判断し、前記基板があれば、前記基板搬送機による基板の払出し先の検索を終了すると共に前記基板搬送機上の前記基板の位置情報を更新することを特徴とする半導体製造装置。
- 少なくとも一つのカセットモジュールと、基板に対して所定の処理がなされる複数のプロセスモジュールと、前記カセットモジュールや前記プロセスモジュール間で基板を搬送する基板搬送機が設けられる搬送モジュールと、該基板搬送機を制御駆動する制御部とを具備した半導体製造装置であって、
前記基板搬送機上の基板が払出された場合、或いは前記基板搬送機上の前記基板の有無を判断し、前記基板がない場合、前記基板搬送機が各モジュールに対して基板搬送動作を行い、前記基板の有無を確認することを特徴とする半導体製造装置。
- 前記各モジュールに対して基板の有無の確認が終了すると、前記基板の払出し先の検索が完了する請求項6または請求項7の半導体製造装置。
- 前記基板の払出し先の検索の指示は、作業者が行う請求項8の半導体製造装置。
- 前記基板の有無の確認または前記基板の払出し先の検索が終了すると、作業者が基板の払出し元を入力して基板回収作業を開始する請求項7乃至請求項9の半導体製造装置における基板回収方法。
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