JP2011091128A - 固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011091128A JP2011091128A JP2009242053A JP2009242053A JP2011091128A JP 2011091128 A JP2011091128 A JP 2011091128A JP 2009242053 A JP2009242053 A JP 2009242053A JP 2009242053 A JP2009242053 A JP 2009242053A JP 2011091128 A JP2011091128 A JP 2011091128A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- state imaging
- imaging device
- substrate
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 58
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 55
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 44
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 25
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 34
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 9
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 3
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 2
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 239000005380 borophosphosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
【解決手段】画素ごとに基板内部に形成された光電変換部と、
前記基板に対して入射光が入射する側に設けられ、該入射光を前記光電変換部に集光する集光部と、を有する固体撮像素子であって、
前記基板に対して前記集光部の反対側に設けられ、該基板に向かって凹型形状を有する反射部を有し、
前記反射部は、該反射部の等倍結像位置を前記集光部の集光位置と一致させる構成を備えている。
【選択図】 図1
Description
固体撮像素子は、基板にイオン注入などの不純物導入によって光電変換部や拡散層を形成し、その後、膜を堆積・加工することで配線層や絶縁膜を形成して製造される。
固体撮像素子に入射した光は、光電変換部で吸収され、電荷に変換される。この電荷を光電変換部で蓄積し、蓄積した全電荷量の大きさを検出することで、入射光強度に応じた信号を得ることができる。
そのため、入射光の一部は電荷信号に変換できず、光利用効率が低下する。
このようなことから、特許文献1では、透過した光を再び光電変換部に反射させるようにした撮像装置が提案されている。
但し、ここでの入射光の侵入長とは、光強度が吸収損失により入射光強度の1/e倍になるまでの伝播距離を意味している。
このため、反射光によりクロストークなどのノイズが発生し、画像のSN比を低下させる。
前記基板に対して入射光が入射する側に設けられ、該入射光を前記光電変換部に集光する集光部と、を有する固体撮像素子であって、
前記基板に対して前記集光部の反対側に設けられ、該基板に向かって凹型形状を有する反射部を有し、
前記反射部は、該反射部の等倍結像位置を前記集光部の集光位置と一致させる構成を備えていることを特徴としている。
なお、以下の実施例を説明するための全図において、同一の機能を有するものには同一符号を付け、その重複する構成についての説明は省略する。
図1を用いて、本発明を適用した裏面照射型のCMOS撮像素子の構成例について説明する。
図1において、100は裏面照射型のCMOS撮像素子である。
113は基板であり、この基板内部に画素ごとに設けられた光電変換部114と、基板113に向かって特定の曲率半径をもつ凹型形状の反射部101が構成されている。
また、110は集光部であるマイクロレンズであり、基板より入射側に設けられている。
また、本実施例の撮像素子は、カラーフィルタ111、絶縁部112、拡散層115、反射防止層116、凸型絶縁部117、層間絶縁膜118、配線部119、支持基板120を備える。
配線部119は、ゲート電極119aと3層の配線層119b、119c、119dで構成される。
また、入射光130の一部は光電変換部を透過し、凹型形状の反射部101で反射される。
この反射光の等倍結像位置とマイクロレンズの焦点位置131とを一致させることが可能に構成されている。そのため、反射光は再び焦点位置131で結像する。
このような構成により、反射部101に到達した光はすべて反射光となり、この反射光は入射時とほぼ同じ光路を逆進する。
このため、全反射光は再び光電変換部へ入射するため、固体撮像素子の感度が高くなる。
特に、マイクロレンズを含む固体撮像素子では、光電変換部へ入射する角度が大きくなるため、入射光を単純に反射させても、光電変換部へは通らず、隣接画素へ伝播し易くなる。
また、固体撮像素子の画素サイズが小さくなれば、ますます隣接画素との距離が短くなるため、クロストークなどのノイズが大きくなる。
このため、画像のSN比を向上させることができる。
ただし、基板113の入射側表面を第一面134、基板113の反射部101を有する側の表面を第二面135とする。
マイクロレンズ110、カラーフィルタ111、絶縁部112、凸型絶縁部117の屈折率は全て1.50であり、画素の中心での膜厚はそれぞれ0.750μm、0.750μm、0.500μm、1.00μmある。
入射光130が基板113中の光電変換部に効率よく入射するため、焦点位置131を光電変換部の中心で基板113と反射防止層116との界面(第二面135)になるように、マイクロレンズ110の曲率半径を0.979μmとした。また、マイクロレンズから入射した複数の角を持つ光が、反射部101で全て同じ焦点位置131に逆進するように、曲率半径を1.00μmとした。
このような構成にしたことで、反射部101の等倍結像位置とマイクロレンズ(集光部)110の焦点位置(集光位置)は、第二面135上で一致する。
これにより、図3に示す反射率が得られ、可視全域で反射率が80%以上を得ることが可能となる。
このとき、固体撮像素子の光利用効率を図4に示す。
また、反射部101がない場合の固体撮像素子の光利用効率を図5に示す。
波長500nmより長波長側において、反射部101を設けることで光利用効率が高くなり、波長700nmでは1.5倍程度高くなる。
但し、カラーフィルタ111の吸光率は本発明の内容と無関係であるため、吸光率が零として見積もった。
このように、反射部101の等倍結像位置とマイクロレンズ110の焦点位置とを一致させることで、光利用効率を向上させ、感度を高くすることができる。
また、反射部からの反射光は入射時とほぼ同じ光路を逆進するため、配線部などで生じる散乱を低減し、クロストークを低減することができる。
このため、画像のSN比が向上する。
誘電体による反射膜であっても入射光を反射させることさえできれば、同様に光利用効率は向上する。
しかしながら、誘電体の反射膜であれば、屈折率差を大きくすることが材料選択性の観点から困難であるため、高反射率が得られない。
また、誘電体多層膜による反射膜を用いると、波長依存性が大きいため、可視光全域で高反射率を得ることはできない。
一方、金属を用いれば、波長依存性が小さく、かつ、高反射率を得ることができる。このため、反射部に金属を用いた方が光利用効率が向上するため望ましい。
また、本実施例の固体撮像素子は基板113に対してマイクロレンズ110と反対側に配線部119を配した裏面照射型としたが、必ずしも裏面照射型である必要はなく、マイクロレンズと配線部が同じ側に配した表面照射型であってもよい。
表面照射型の固体撮像素子においても、本発明の構成であれば裏面照射型の固体撮像素子と同様に、光利用効率が向上する。
しかしながら、表面照射型固体撮像素子の場合、入射光側に支持基板を作製することが困難であるため、基板を薄くして、入射光と対向する側に反射部を作製するのが困難である。
一方、裏面照射型固体撮像素子は後述するように、入射光と対向する側に支持基板を貼り合わせ、基板を薄くすることができる。このため、裏面照射型固体撮像素子の方が、容易に作製することができるため望ましい。
基板中または基板の外部に結像させても、光電変換部114中に入射光130が伝播さえすれば、入射光は電荷信号として検出できる。
しかしながら、裏面入射型固体撮像素子は光電変換部で得られた電荷を転送するトランジスタのドレイン領域となる拡散層115が、基板113の第二面135側に形成される。
この拡散層115に入射光が伝播すると、拡散層に電荷が発生する。この電荷は、白点ノイズなどのノイズの要因となる。
このため、拡散層に光を入射しないように、第二面に入射光を結像させることが望ましい。
また、本実施例では配線部119が複数の配線層119b〜dを有し、反射部101はすべての配線層119b〜dより基板側に配した構造としたが、必ずしも、そのような構成である必要はない。
反射部が配線層より支持基板側に配した構造としても、光電変換部を透過した入射光は、反射部によって光電変換部へ反射させることができ、光利用効率は向上する。
但し、光電変換部を透過した光は広がって伝播するため、一部の光は、反射部に到達する前に配線層によって散乱される。
この散乱光は隣接画素の光電変換部に到達すると、クロストークとなる。
このため、反射部は配線層より基板側にあった方が望ましい。
例えば、配線層119b〜dを銅で形成し、反射部をアルミニウムで形成しても、本発明の効果が得られる。
但し、同一の材料で形成すれば、作製コストを低くすることができるため望ましい。
また、本実施例では基板113と凸型絶縁部117との間に反射防止層116を形成した。
反射防止層がなくても、光電変換部を透過する光は、反射部で反射され光電変換部に再入射するため、光利用効率は向上する。
しかしながら、基板と凸型絶縁部との界面の反射光は、図10で示した反射膜と同様に、光電変換部に集光せず拡散層115や隣接画素へ伝播する。
このため、白点ノイズやクロストークの要因となり、画像のSN比を低下させる。
このようなことから、基板と凸型絶縁部の間に反射防止層を形成し、界面からの反射光を抑制する方が望ましい。
実施例では、図6を用いて本発明を適用した2次元配列構造を備えたCMOS撮像素子の構成例について説明する。
図6において、200は固体撮像素子であり、本実施例では光電変換部を含む画素210を2次元状に複数配列した構造とされている(図7(a))。
このとき、通常、カメラレンズの射出瞳211と固体撮像素子200との距離が有限長であるため周辺画素では、主光線231が傾いて入射する(図7(b))。
このため、周辺画素では入射光を効率よく光電変換部に入射させるため、入射光を光電変換部へ屈折させるマイクロレンズなどの集光部が必要となる。
仮に、集光部を用いなければ、斜入射光は隣接画素へ伝播しクロストークノイズの要因となる。
このため、反射光は再び光電変換部へ入射するため、固体撮像素子の感度が高くなる。
一方、例えば、入射光と反射光が同じ光路を通らない構成で、特に主光線231が傾いている場合、反射部からの反射光は、光電変換部を通らず、主光線の傾きと同じ方向の隣接画素へ伝播する。
このため、クロストークなどのノイズの要因となる。特に、入射光を集光させる集光部を用いない構成では、反射光は固体撮像素子内部で広がるため、クロストークなどのノイズが大きくなる。
図8に中心画素と周辺画素における光線とマイクロレンズを含む光学配置の概略図を示す。
中心画素の場合、入射光230は垂直入斜となるため、焦点位置131は中心画素の中心軸235上に位置する(図8(a))。
一方、周辺画素の場合、入射光231は傾いて入射するため、焦点位置は周辺画素の中心軸上に位置せず、該中心軸より中心画素側と反対側にズレて位置することになる。
このため、マイクロレンズ110を周辺画素の中心軸より中心画素側に変位させて配することで、焦点位置131を周辺画素の中心軸235に変位させることができる(図8(b))。
この場合、反射部101の曲率中心を焦点位置131と一致させると、すべての画素で反射部の曲率中心は入射光の焦点位置である画素中心軸235上に位置し、反射光を入射光と同じ光路となるように設計できる。
このとき、反射部101はすべての画素で同じように設計すればよく、マイクロレンズとは独立に設計できる。
但し、マイクロレンズ110を中心画素側に変位させなくて、反射部の曲率中心を面内で変位させれば、焦点位置と等倍結像位置が一致する。
この場合においても、本発明による光利用効率の向上の効果が得られる。
しかしながら、焦点位置が画素中心軸にないと、光電変換部を透過した光は広がって伝播するため、配線部などによる散乱が生じる。散乱光はクロストークの要因となり、画像のSN比の低下を引き起こす。
そのため、マイクロレンズを変位させて、マイクロレンズの焦点位置と反射部の等倍結像位置を画素中心軸上で一致させた方が、画像のSN比が向上し望ましい。
この透過光233を反射させるためには、反射部101を周辺画素側にまで大きく形成する必要がある。
しかしながら、反射部101を周辺画素側にまで大きく形成すると、反射部101と配線層119bは近接するため、電気的に導電し、固体撮像素子200は正常に動作しなくなる。
よって、配線層119bを周辺画素の中心軸より中心画素側と反対側に変位させて配し、反射部101と配線層119bの距離を長くし、絶縁させる。
以上により、周辺画素において、反射部を周辺画素側まで形成しても、配線層を周辺画素側に変位させることで、感度が高く、ノイズの小さな固体撮像素子を得ることができる。
また、本実施例では、ゲート電極119aを周辺画素の中心軸より中心画素側に変位させて配置したことで、透過光233は周辺画素側に伝播し、ゲート電極119aに入射しにくくなる。
通常、ゲート電極119aはポリシリコンで形成されるため、ゲート電極119aに透過光が入射すると、透過光は吸収され、光電変換部に再入射する光量が減少する。
このため、ゲート電極119aを周辺画素の中心軸より中心画素側に形成する方が光利用効率が向上するため望ましい。
実施例3では、図9は、本発明を適用した裏面照射型のCMOS撮像素子を製造する際の製造方法の構成例について説明する。
本実施例の製造方法においては、まず、熱酸化によりシリコン基板113の表面にシリコン酸化膜を形成する。
続いて、シリコン基板113中に光電変換部114を形成するために、フォトレジストにより所定位置にレジストマスクを形成し、不純物のイオン打ち込みを行う。
その後、レジストマスクをアッシング等により除去する。続いて、同様のイオン打ち込みの方法で、拡散層115を形成する(図9(a))。
次に、光電変換部114にて発生した電荷を転送するためのゲート電極119aを形成するために、ポリシリコン膜を形成する。
その後、フォトリソ工程を用いてポリシリコンを所定パターンにエッチングしてゲート電極119aを形成する。
その後、シリコン基板113、およびゲート電極119a上に例えばBPSGなどの層間絶縁膜を形成し、CMP法により平坦化を行う(図9(b))。
さらに、レジストマスクを形成し、160℃前後でリフロー処理を行い、凸型形状のレジスト301を作製する(図9(c))。
その後、ドライエッチングによりレジストマスクの凸型形状を層間絶縁膜に転写し凸型絶縁部117を形成する(図9(d))。
次に、電気的な接続のため、コンタクトホールなどの接続孔を層間絶縁膜に形成して、他の金属配線層に電気的に接続させる。
同様に、第一配線層119b、第二配線層119cおよび第三配線層119dをそれぞれ形成し、これら配線層を層間絶縁膜118で覆う(図9(f))。
続いて、層間絶縁膜118の上部に支持基板120を貼り合わせ、支持基板120を下側にし、基板113を光電変換部114が形成されている領域までCMP法により研磨する(図9(g))。
さらに、シリコン基板113の第一面134側に、絶縁部112を形成する。また、必要に応じて、遮光膜を形成する(不図示)。
その後、カラーフィルタ111を形成し、マイクロレンズ110をリフロー処理によって形成する(図9(h))。
なお、上記の実施例1から実施例3においては、すべてCMOS撮像素子に関して説明したが、本発明はCMOS撮像素子に限られるものではない。
例えば、CCD撮像素子などその他の固体撮像素子に関しても同様に適用できる。
101:反射部
110:マイクロレンズ
111:カラーフィルタ
112:絶縁部
113:基板
114:光電変換部
115:拡散層
116:反射防止層
117:凸型絶縁部
118:層間絶縁膜
119:配線部
119a:ゲート電極
119b、119c、119d:配線層
120:支持基板
130:光線
131:焦点位置
Claims (10)
- 画素ごとに基板内部に形成された光電変換部と、
前記基板に対して入射光が入射する側に設けられ、該入射光を前記光電変換部に集光する集光部と、を有する固体撮像素子であって、
前記基板に対して前記集光部の反対側に設けられ、該基板に向かって凹型形状を有する反射部を有し、
前記反射部は、該反射部の等倍結像位置を前記集光部の集光位置と一致させる構成を備えていることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記反射部は、金属で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子。
- 前記固体撮像素子は、前記基板に対して前記集光部と反対側に配線部を有する裏面照射型固体撮像素子であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の固体撮像素子。
- 前記等倍結像位置と前記焦点位置は、前記基板における前記反射部を有する側の面上にあることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
- 前記配線部は、ゲート電極と複数の配線層によって構成され、
前記反射部は、前記配線層よりも前記基板側に配置されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の固体撮像素子。 - 前記固体撮像素子が複数配列された該固体撮像素子の周辺画素において、
前記集光部の焦点位置が、前記周辺画素の中心軸に変位するように、
前記集光部を、前記周辺画素の中心軸より前記固体撮像素子の中心画素側に変位させて配されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の固体撮像素子。 - 前記固体撮像素子が複数配列された該固体撮像素子の周辺画素において、
前記配線層を、前記周辺画素の中心軸より前記固体撮像素子の中心画素側と反対側に変位させて配されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の固体撮像素子。 - 前記固体撮像素子が複数配列された該固体撮像素子の周辺画素において、
前記ゲート電極が、該周辺画素の中心軸より前記固体撮像素子の中心画素側に変位させて配されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の固体撮像素子。 - 前記配線層は、前記反射部を形成している金属と同一の材料で形成されていることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
- 前記基板と前記絶縁部の間に反射防止層が形成されていることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009242053A JP5538811B2 (ja) | 2009-10-21 | 2009-10-21 | 固体撮像素子 |
US12/903,451 US8330847B2 (en) | 2009-10-21 | 2010-10-13 | Solid-state imaging device with improved light use efficiency |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009242053A JP5538811B2 (ja) | 2009-10-21 | 2009-10-21 | 固体撮像素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011091128A true JP2011091128A (ja) | 2011-05-06 |
JP5538811B2 JP5538811B2 (ja) | 2014-07-02 |
Family
ID=43879017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009242053A Expired - Fee Related JP5538811B2 (ja) | 2009-10-21 | 2009-10-21 | 固体撮像素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8330847B2 (ja) |
JP (1) | JP5538811B2 (ja) |
Cited By (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013031708A1 (en) * | 2011-09-01 | 2013-03-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image sensor |
WO2013142815A1 (en) * | 2012-03-22 | 2013-09-26 | Sionyx, Inc. | Pixel isolation elements, devices, and associated methods |
JP2014086700A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Canon Inc | 固体撮像装置および撮像システム |
JP2014086699A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Canon Inc | 固体撮像装置および撮像システム |
JP2014096540A (ja) * | 2012-11-12 | 2014-05-22 | Canon Inc | 固体撮像装置およびその製造方法ならびにカメラ |
CN104010122A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-08-27 | 广东欧珀移动通信有限公司 | 一种感光芯片及摄像头及电子产品 |
WO2014162705A1 (en) | 2013-04-04 | 2014-10-09 | Sony Corporation | Solid-state image pickup unit, method of manufacturing the same, and electronic apparatus |
WO2016063727A1 (ja) * | 2014-10-20 | 2016-04-28 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子及び電子機器 |
JP2016171345A (ja) * | 2011-09-01 | 2016-09-23 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
US9496308B2 (en) | 2011-06-09 | 2016-11-15 | Sionyx, Llc | Process module for increasing the response of backside illuminated photosensitive imagers and associated methods |
JP2017092179A (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-25 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子およびその製造方法 |
US9673243B2 (en) | 2009-09-17 | 2017-06-06 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9673250B2 (en) | 2013-06-29 | 2017-06-06 | Sionyx, Llc | Shallow trench textured regions and associated methods |
US9741761B2 (en) | 2010-04-21 | 2017-08-22 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9761739B2 (en) | 2010-06-18 | 2017-09-12 | Sionyx, Llc | High speed photosensitive devices and associated methods |
US9762830B2 (en) | 2013-02-15 | 2017-09-12 | Sionyx, Llc | High dynamic range CMOS image sensor having anti-blooming properties and associated methods |
US9911781B2 (en) | 2009-09-17 | 2018-03-06 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9939251B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-04-10 | Sionyx, Llc | Three dimensional imaging utilizing stacked imager devices and associated methods |
WO2018105558A1 (ja) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子 |
WO2018181590A1 (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-04 | 株式会社ニコン | 撮像素子および撮像装置 |
US10244188B2 (en) | 2011-07-13 | 2019-03-26 | Sionyx, Llc | Biometric imaging devices and associated methods |
US10361083B2 (en) | 2004-09-24 | 2019-07-23 | President And Fellows Of Harvard College | Femtosecond laser-induced formation of submicrometer spikes on a semiconductor substrate |
US10374109B2 (en) | 2001-05-25 | 2019-08-06 | President And Fellows Of Harvard College | Silicon-based visible and near-infrared optoelectric devices |
WO2019159561A1 (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、電子装置、および、固体撮像素子の製造方法 |
JP2020068289A (ja) * | 2018-10-24 | 2020-04-30 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、撮像システム、移動体、および積層用の半導体チップ |
KR20200063098A (ko) * | 2018-11-23 | 2020-06-04 | 선전 구딕스 테크놀로지 컴퍼니, 리미티드 | 이미지 센서 및 이의 제조방법 |
WO2020189103A1 (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | センサチップ及び電子機器 |
WO2020235589A1 (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP6856295B1 (ja) * | 2020-10-16 | 2021-04-07 | 株式会社京都セミコンダクター | 半導体受光素子 |
WO2022054491A1 (ja) * | 2020-09-10 | 2022-03-17 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010031535A1 (de) * | 2010-07-19 | 2012-01-19 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Bildaufnahmevorrichtung und Verfahren zum Aufnehmen eines Bildes |
US9373732B2 (en) * | 2012-02-07 | 2016-06-21 | Semiconductor Components Industries, Llc | Image sensors with reflective optical cavity pixels |
US8816415B2 (en) | 2012-11-29 | 2014-08-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Photodiode with concave reflector |
CN103811511A (zh) * | 2014-03-07 | 2014-05-21 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 背照式图像传感器及其形成方法 |
US11171172B2 (en) * | 2019-07-16 | 2021-11-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Image sensor and method of forming the same |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080099804A1 (en) * | 2006-10-26 | 2008-05-01 | Omnivision Technologies, Inc. | Image sensor having curved micro-mirrors over the sensing photodiode and method for fabricating |
US20090050947A1 (en) * | 2007-08-24 | 2009-02-26 | Micron Technology, Inc. | Apparatus, system, and method providing backside illuminated imaging device |
JP2009152234A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-09 | Sony Corp | 固体撮像装置およびカメラ |
US20090194671A1 (en) * | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Omnivision Technologies, Inc. | Image sensor reflector |
JP2010118412A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Panasonic Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0682813B2 (ja) | 1984-07-13 | 1994-10-19 | 日本電気株式会社 | 赤外線検出固体撮像素子の製造方法 |
US5880777A (en) * | 1996-04-15 | 1999-03-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Low-light-level imaging and image processing |
JP4652634B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2011-03-16 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
JP4920839B2 (ja) * | 2001-09-18 | 2012-04-18 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
US7250973B2 (en) * | 2002-02-21 | 2007-07-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Image pickup apparatus for reflecting light at an area between successive refractive areas |
EP1341235A3 (en) * | 2002-02-28 | 2006-05-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Image pickup apparatus |
WO2004034477A1 (en) * | 2002-10-11 | 2004-04-22 | Smal Camera Technologies | Optical system comprising a solid-state image sensor with microlenses and a non-telecentric taking lens |
US20090008683A1 (en) | 2005-07-21 | 2009-01-08 | Matshushita Electric Industrial Co., Ltd. | Imaging apparatus |
JP2007027604A (ja) | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 撮像装置 |
JP2007180156A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子 |
JP2008085174A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Fujifilm Corp | 撮像装置 |
JP2010040733A (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP5521312B2 (ja) * | 2008-10-31 | 2014-06-11 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法、並びに電子機器 |
KR101545638B1 (ko) * | 2008-12-17 | 2015-08-19 | 삼성전자 주식회사 | 이미지 센서 및 그 제조 방법, 이미지 센서를 포함하는 장치 및 그 제조 방법 |
KR101776955B1 (ko) * | 2009-02-10 | 2017-09-08 | 소니 주식회사 | 고체 촬상 장치와 그 제조 방법, 및 전자 기기 |
-
2009
- 2009-10-21 JP JP2009242053A patent/JP5538811B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-10-13 US US12/903,451 patent/US8330847B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080099804A1 (en) * | 2006-10-26 | 2008-05-01 | Omnivision Technologies, Inc. | Image sensor having curved micro-mirrors over the sensing photodiode and method for fabricating |
US20090050947A1 (en) * | 2007-08-24 | 2009-02-26 | Micron Technology, Inc. | Apparatus, system, and method providing backside illuminated imaging device |
JP2009152234A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-09 | Sony Corp | 固体撮像装置およびカメラ |
US20090194671A1 (en) * | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Omnivision Technologies, Inc. | Image sensor reflector |
JP2010118412A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Panasonic Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
Cited By (55)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10374109B2 (en) | 2001-05-25 | 2019-08-06 | President And Fellows Of Harvard College | Silicon-based visible and near-infrared optoelectric devices |
US10741399B2 (en) | 2004-09-24 | 2020-08-11 | President And Fellows Of Harvard College | Femtosecond laser-induced formation of submicrometer spikes on a semiconductor substrate |
US10361083B2 (en) | 2004-09-24 | 2019-07-23 | President And Fellows Of Harvard College | Femtosecond laser-induced formation of submicrometer spikes on a semiconductor substrate |
US10361232B2 (en) | 2009-09-17 | 2019-07-23 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9673243B2 (en) | 2009-09-17 | 2017-06-06 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9911781B2 (en) | 2009-09-17 | 2018-03-06 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9741761B2 (en) | 2010-04-21 | 2017-08-22 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US10229951B2 (en) | 2010-04-21 | 2019-03-12 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9761739B2 (en) | 2010-06-18 | 2017-09-12 | Sionyx, Llc | High speed photosensitive devices and associated methods |
US10505054B2 (en) | 2010-06-18 | 2019-12-10 | Sionyx, Llc | High speed photosensitive devices and associated methods |
US9496308B2 (en) | 2011-06-09 | 2016-11-15 | Sionyx, Llc | Process module for increasing the response of backside illuminated photosensitive imagers and associated methods |
US9666636B2 (en) | 2011-06-09 | 2017-05-30 | Sionyx, Llc | Process module for increasing the response of backside illuminated photosensitive imagers and associated methods |
US10269861B2 (en) | 2011-06-09 | 2019-04-23 | Sionyx, Llc | Process module for increasing the response of backside illuminated photosensitive imagers and associated methods |
US10244188B2 (en) | 2011-07-13 | 2019-03-26 | Sionyx, Llc | Biometric imaging devices and associated methods |
JP2016171345A (ja) * | 2011-09-01 | 2016-09-23 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
WO2013031708A1 (en) * | 2011-09-01 | 2013-03-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image sensor |
JP2013065831A (ja) * | 2011-09-01 | 2013-04-11 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
US10224359B2 (en) | 2012-03-22 | 2019-03-05 | Sionyx, Llc | Pixel isolation elements, devices and associated methods |
US9064764B2 (en) | 2012-03-22 | 2015-06-23 | Sionyx, Inc. | Pixel isolation elements, devices, and associated methods |
US9905599B2 (en) | 2012-03-22 | 2018-02-27 | Sionyx, Llc | Pixel isolation elements, devices and associated methods |
WO2013142815A1 (en) * | 2012-03-22 | 2013-09-26 | Sionyx, Inc. | Pixel isolation elements, devices, and associated methods |
JP2014086700A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Canon Inc | 固体撮像装置および撮像システム |
JP2014086699A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Canon Inc | 固体撮像装置および撮像システム |
JP2014096540A (ja) * | 2012-11-12 | 2014-05-22 | Canon Inc | 固体撮像装置およびその製造方法ならびにカメラ |
US9762830B2 (en) | 2013-02-15 | 2017-09-12 | Sionyx, Llc | High dynamic range CMOS image sensor having anti-blooming properties and associated methods |
US9939251B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-04-10 | Sionyx, Llc | Three dimensional imaging utilizing stacked imager devices and associated methods |
KR20150138150A (ko) | 2013-04-04 | 2015-12-09 | 소니 주식회사 | 고체 촬상 장치 및 그 제조 방법, 및 전자 기기 |
WO2014162705A1 (en) | 2013-04-04 | 2014-10-09 | Sony Corporation | Solid-state image pickup unit, method of manufacturing the same, and electronic apparatus |
US10910424B2 (en) | 2013-04-04 | 2021-02-02 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Solid-state image pickup unit, method of manufacturing the same, and electronic apparatus |
US9673250B2 (en) | 2013-06-29 | 2017-06-06 | Sionyx, Llc | Shallow trench textured regions and associated methods |
US10347682B2 (en) | 2013-06-29 | 2019-07-09 | Sionyx, Llc | Shallow trench textured regions and associated methods |
US11069737B2 (en) | 2013-06-29 | 2021-07-20 | Sionyx, Llc | Shallow trench textured regions and associated methods |
CN104010122A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-08-27 | 广东欧珀移动通信有限公司 | 一种感光芯片及摄像头及电子产品 |
US10236311B2 (en) | 2014-10-20 | 2019-03-19 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Solid-state imaging element and electronic device to improve quality of an image |
WO2016063727A1 (ja) * | 2014-10-20 | 2016-04-28 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子及び電子機器 |
JP2017092179A (ja) * | 2015-11-06 | 2017-05-25 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子およびその製造方法 |
JPWO2018105558A1 (ja) * | 2016-12-05 | 2019-10-24 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子 |
US10910425B2 (en) | 2016-12-05 | 2021-02-02 | Toppan Printing Co., Ltd. | Solid-state image sensor |
KR102489325B1 (ko) * | 2016-12-05 | 2023-01-18 | 도판 인사츠 가부시키가이샤 | 고체 촬상 소자 |
TWI744438B (zh) * | 2016-12-05 | 2021-11-01 | 日商凸版印刷股份有限公司 | 固態攝影元件 |
KR20190089904A (ko) * | 2016-12-05 | 2019-07-31 | 도판 인사츠 가부시키가이샤 | 고체 촬상 소자 |
WO2018105558A1 (ja) * | 2016-12-05 | 2018-06-14 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子 |
JP7110987B2 (ja) | 2016-12-05 | 2022-08-02 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子 |
WO2018181590A1 (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-04 | 株式会社ニコン | 撮像素子および撮像装置 |
WO2019159561A1 (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、電子装置、および、固体撮像素子の製造方法 |
US11843014B2 (en) | 2018-10-24 | 2023-12-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion apparatus having metal portion, imaging system, movable body, and semiconductor chip for stacking |
JP2020068289A (ja) * | 2018-10-24 | 2020-04-30 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、撮像システム、移動体、および積層用の半導体チップ |
KR20200063098A (ko) * | 2018-11-23 | 2020-06-04 | 선전 구딕스 테크놀로지 컴퍼니, 리미티드 | 이미지 센서 및 이의 제조방법 |
KR102343456B1 (ko) | 2018-11-23 | 2021-12-27 | 선전 구딕스 테크놀로지 컴퍼니, 리미티드 | 이미지 센서 및 이의 제조방법 |
US11315975B2 (en) | 2018-11-23 | 2022-04-26 | Shenzhen GOODIX Technology Co., Ltd. | Image sensor and method for manufacturing the same |
WO2020189103A1 (ja) * | 2019-03-19 | 2020-09-24 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | センサチップ及び電子機器 |
WO2020235589A1 (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
WO2022054491A1 (ja) * | 2020-09-10 | 2022-03-17 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
WO2022079912A1 (ja) * | 2020-10-16 | 2022-04-21 | 株式会社京都セミコンダクター | 半導体受光素子 |
JP6856295B1 (ja) * | 2020-10-16 | 2021-04-07 | 株式会社京都セミコンダクター | 半導体受光素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5538811B2 (ja) | 2014-07-02 |
US8330847B2 (en) | 2012-12-11 |
US20110090384A1 (en) | 2011-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5538811B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
US11222913B2 (en) | Image sensor device having first lens over a light-sensing region and surrounded by a grid layer | |
US20220190022A1 (en) | Image sensors | |
JP5595298B2 (ja) | 固体撮像装置及び撮像システム | |
CN111430390B (zh) | 摄像元件和摄像装置 | |
JP5468133B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
TWI488291B (zh) | 固態成像裝置,其製造方法,及電子設備 | |
JP5766663B2 (ja) | シリコンマイクロレンズ及び金属反射材を有する裏面イメージセンサピクセル | |
JP5783741B2 (ja) | 固体撮像装置、及び固体撮像装置の製造方法 | |
US8405178B2 (en) | Solid-state image sensor device | |
JP5955000B2 (ja) | 固体撮像素子、該固体撮像素子を備えた距離検出装置、及びカメラ | |
JP6021439B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
TW201012212A (en) | Solid-state imaging device and solid-state imaging device designing method | |
JP2009065098A (ja) | 裏面照射型固体撮像素子及びその製造方法 | |
TW201029160A (en) | Image sensor and imaging apparatus | |
JP2013207053A (ja) | 固体撮像素子、電子機器 | |
TW200832693A (en) | Solid-state imaging device, electronic module and electronic apparatus | |
JP2011243885A (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法 | |
JP2013038383A (ja) | 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、および電子機器 | |
WO2010143347A1 (ja) | 固体撮像素子及びその製造方法 | |
CN107845651A (zh) | 图像传感器及其形成方法 | |
JP7457989B2 (ja) | 光検出器、固体撮像素子、及び、光検出器の製造方法 | |
JP2020080342A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法 | |
JP2008028101A (ja) | 固体撮像素子および固体撮像素子の製造方法 | |
JP2006073886A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121015 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131204 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20131213 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20131218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140122 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140401 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5538811 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140430 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |