JP2011089918A - 接触子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の対象物を電気的に接続する接触子である。接触子は、内部に空間を有する円筒形状の先端部及び後端部と、円筒形状の先端部及び後端部から連続する円筒形状の部分に形成されたばね部であって、円筒形状の先端部と円筒形状の後端部との間に位置するばね部と、円筒形状の後端部に一体的に形成された球形状の接触部であって、接触部の直径が円筒形状の後端部の外径よりも大である接触部とを備える。
【選択図】 図2A
Description
図1は、接触子を検査用治具10に用いた実施例に関するもので、検査用治具10の概略の構成を示す一部断面正面図である。検査用治具10は、ヘッド部12、ベース部14及び電極部16を備える。ヘッド部12とベース部14とは、棒状の支持部材11及びその周囲に環装されたスペーサ11sによって所定の距離だけ離隔されて保持されている。ヘッド部12及びベース部14は、樹脂あるいはセラミックス等の絶縁性の板状部材からなる。
図2A、図3(A)及び図3(B)は、それぞれ、図1の検査用治具に用いることができるいくつかの実施形態に係るプローブ22、20a及び20bを説明するための概略構成図である。なお、図面の簡略化のために、プローブ22の肉厚の表記は省略してある。
図5は、図2Aのプローブ22を取り付けた検査用治具の一部の拡大断面図である。図5に示すように、ヘッド部12及びベース部14には、それぞれ、貫通孔12h及び14hnが形成されており、それらの貫通孔12h及び14hnには、それぞれ、プローブ22の先端部22f及び後端部22rが挿入されている。
上記の実施形態は基板を被検査物として説明をしたが、それに限定されるものではなく、被検査物として半導体装置も含む。
11・・・支持部材
11s・・・スペーサ
12・・・ヘッド部
12h、14h・・・貫通孔
12h1・・・大径部
12h2・・・小径部
14・・・ベース部
16・・・電極部
20a,20b,22・・・プローブ
24a,24b・・・大径の円筒形状部
22f,24f・・・先端部
22r,24r・・・後端部
22fe,24fe・・・先端面
22re,24re・・・後端面
22s,24s・・・ばね部
22b・・・接触部
Claims (14)
- 複数の対象物を電気的に接続するための接触子であって、
内部に空間を有する円筒形状の先端部及び後端部と、
該円筒形状の先端部及び後端部から連続する円筒形状の部分に形成されたばね部であって、前記円筒形状の先端部と前記円筒形状の後端部との間に位置するばね部と、
前記円筒形状の後端部に一体的に形成された球形状の接触部であって、該接触部の直径が前記円筒形状の後端部の外径よりも大である接触部とを備える、接触子。 - 請求項1の接触子において、前記円筒形状の先端部及び後端部並びに前記ばね部は、ニッケルまたはニッケル合金から形成されており、前記接触部は、ニッケルまたはニッケル合金と金との合金によって形成されている、接触子。
- 請求項1の接触子において、前記先端部、前記後端部及び前記ばね部は、一本の円筒形状部材から形成され、該ばね部が該円筒形状部材の壁面に螺旋形状の切欠部を有することにより形成されている、接触子。
- 請求項3の接触子において、前記円筒形状部材は、ニッケル又はニッケル合金の外側層と、金の内側層の二層積層構造を有しており、前記接触部は、前記外側層と前記内側層との合金により形成されている、接触子。
- 請求項1の接触子において、前記円筒形状の先端部の先端面は、平坦、半球形状、複数の先鋭形状の突起を持つ形状のいずれでもよい、接触子。
- 請求項1の接触子において、
該接触子が、被検査物の対象部の電気的特性を検査するための検査装置用の検査用治具に取り付けられる、接触子。 - 請求項6の接触子において、
被検査物の対象部が配線の一部又は電子部品である、接触子。 - 複数の対象物を電気的に接続するための接触子であって、
内側プローブと外側プローブとからなり、
前記内側プローブが、
内部に空間を有する円筒形状の先端部及び後端部と、
該円筒形状の先端部及び後端部から連続する円筒形状の部分に形成されたばね部であって、前記円筒形状の先端部と前記円筒形状の後端部との間に位置するばね部と、
前記円筒形状の後端部に一体的に形成された球形状の接触部であって、該接触部の直径が前記円筒形状の後端部の外径よりも大である接触部とを備え、
前記外側プローブが、円筒形状の先端部、後端部及びばね部を備え、
該外側プローブの内部に前記内側プローブが挿入されていて、
前記外側プローブの前記後端部の後端面が前記内側プローブの前記接触部に係止する、接触子。 - 請求項8の接触子において、前記外側プローブの前記円筒形状の先端部は、抵抗溶接、レーザ溶接、接着剤又はかしめによって前記内側プローブの前記先端部に固定されている、接触子。
- 請求項8の接触子において、前記円筒形状の先端部の先端面は、平坦、半球形状、複数の先鋭形状の突起を持つ形状のいずれでもよい、接触子。
- 被検査物の対象部の電気的特性を検査するための検査装置用の検査用治具であって、
請求項1又は8の接触子と、
該接触子の前記接触部と接触して該接触子を前記検査装置に電気的に接続するための電極部と、
前記接触子の前記先端部を前記被検査物の対象部上の所定の検査点へ案内するための貫通孔が形成されたヘッド部と、
前記接触子の前記後端部を前記電極部へ案内するための貫通孔が形成されたベース部及び該ベース部に積層された絶縁膜であって、該貫通孔に前記接触子の前記円筒形状の後端部が挿通され、該絶縁膜の貫通孔の縁に前記後端部に一体的に形成された球形状の接触部が係止される、ベース部及び該ベース部に積層された絶縁膜とを備え、
前記絶縁膜が弾性又は弾塑性を有し、それにより、該絶縁膜の貫通孔の縁に係止された前記後端部に一体的に形成された球形状の前記接触部が前記電極部に押しつけられる、検査用治具。 - 請求項11の検査用治具において、前記絶縁膜がシリコーンシート、ポリイミドシート又はポリテトラフルオロエチレンシートからなる、検査用治具。
- 複数の対象物を電気的に接続するための接触子の製造方法であって、
壁面に切欠部が形成される円筒形状部材を形成する工程と、
該円筒形状部材を保持する工程と、
該円筒形状部材の端部を溶融させて、該円筒形状部材の外径より大なる直径を持つ球形状の接触部を形成する工程とを含む、接触子の製造方法。 - 請求項13の接触子の製造方法において、
前記円筒形状部材は、ニッケル又はニッケル合金の外側層と、金の内側層の積層構造を有し、
レーザを用いて前記円筒形状部材の端部を溶融させる、接触子の製造方法。
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