JP2011089164A - メッキ用基板保持具 - Google Patents
メッキ用基板保持具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011089164A JP2011089164A JP2009243027A JP2009243027A JP2011089164A JP 2011089164 A JP2011089164 A JP 2011089164A JP 2009243027 A JP2009243027 A JP 2009243027A JP 2009243027 A JP2009243027 A JP 2009243027A JP 2011089164 A JP2011089164 A JP 2011089164A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- plating
- contact
- power
- substrate holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
【課題】
本発明は、給電面を、板状の平面部を使って給電を行う面接点方式とすることにより、薄い基板でもしっかりと挟めるものとすると共に、給電面の廻りにマスクゴムを配置することにより、給電面での析出を激減させ、治具自体の寿命を飛躍的に延ばすことのできるメッキ用基板保持具を提供するものである。
【解決手段】
次の手段を採用したメッキ用基板保持具とする。
第1に、基板押さえ本体と基板押さえ蓋体の両基板挟持面で基板の両端を挟持して保持するメッキ用基板保持具とする。
第2に、少なくとも一方の基板挟持面に設けられる給電部より基板に給電するメッキ用基板保持具とする。
第3に、上記給電部を、基板に給電する平面接点部を有する板接点と、該板接点の周りを囲み、該板接点と基板との接触の障害とならず、且つ、基板を挟んだ状態で基板に当接する高さのマスクゴムとを設けたものとする。
【選択図】 図1
Description
第1に、基板押さえ本体と基板押さえ蓋体の両基板挟持面で基板の両端を挟持して保持するメッキ用基板保持具とする。
第2に、基板押さえ本体と基板押さえ蓋体の両基板挟持面の少なくとも一方の基板挟持面に設けられる給電部より基板に給電するメッキ用基板保持具とする。
第3に、上記給電部を、基板に給電する平面接点部を有する板接点と、該板接点の周りを囲み、該板接点と基板との接触の障害とならず、且つ、基板を挟んだ状態で基板に当接する高さのマスクゴムとを設けたものとする。
図1は本実施例に係るメッキ用基板保持具の開いた状態の説明図であり、メッキ用基板保持具1は、左右縦方向に配置される基板押さえ本体5と、基板押さえ本体5の上端に連結されたフック12と、基板押さえ本体5の下端に連結された基板保持具ガイド20と
左右の基板押さえ本体5の間隔を調整するスライドバー3及びスライド固定バー4よりなる間隔調整機構と、左右の基板押さえ本体5に蝶着された基板押さえ蓋体7と、基板押さえ蓋体7に取り付けられた遮蔽板10とによりなる。メッキ用基板保持具1に、保持される基板2はフレキシブル基板のような薄い基板であり、図示の実施例では2枚の基板を保持する。
他方、左右の基板押さえ本体5の上端にはフック12が連結されている。フック12は導電性を有し図示されていないハンガーレール等などに吊持されるためのものである。尚、フック12上部に装着されている固定蝶ボルト22は、メッキ用基板保持具1をハンガーレールに固定するものである。
尚、図2乃至図5に示されるように板接点14は、電極32と接続されている。電極32は、長尺な導電性板体であり、非導電性素材よりなる基板押さえ本体5及び基板押さえ蓋体7内部に埋設されている。基板押さえ本体5に埋設された電極32は、導電性を有するフック12と直接接続されており、基板押さえ蓋体7に埋設された電極32は、フック12とリード線13を介して接続されており、フック12から電力が供給される。
まず、メッキ用基板保持具1は、間隔調整機構を動作状態(スライドバー3とスライド固定バー4がスライド自在となるよう固定蝶ボルト21をゆるめた状態)で、基板押さえ蓋体7を開いた状態とする。
2・・・・・基板
3・・・・・スライドバー
4・・・・・スライド固定バー
5・・・・・基板押さえ本体
7・・・・・基板押さえ蓋体
10・・・・遮蔽板
11・・・・開口
12・・・・フック
13・・・・リード線
14・・・・板接点
15・・・・マスクゴム
16・・・・カバーゴム
17・・・・ストッパー
18・・・・ストッパー受けザグリ
20・・・・基板保持具ガイド
21・・・・固定蝶ボルト
22・・・・固定蝶ボルト
30・・・・給電部
31・・・・平面接点部
32・・・・電極
Claims (5)
- 基板押さえ本体と基板押さえ蓋体の両基板挟持面で基板の両端を挟持して保持し、少なくとも一方の基板挟持面に設けられる給電部より基板に給電するメッキ用基板保持具において、
給電部を、基板に給電する平面接点部を有する板接点と、該板接点の周りを囲み、該板接点と基板との接触の障害とならず、且つ、基板を挟んだ状態で基板に当接する高さのマスクゴムとを設けたものとしたことを特徴とするメッキ用基板保持具。 - 上記給電部に対向する基板挟持面に該給電部を押圧するカバーゴムを設けたことを特徴とする請求項1に記載のメッキ用基板保持具。
- 上記平面接点部が、基板装着方向と直行する方向に長尺な平面である請求項1又は2に記載のメッキ用基板保持具。
- 上記給電部及びこれと対向する上記カバーゴムが、複数存在するものである請求項1又は2又は3に記載のメッキ用基板保持具。
- 上記給電部及びこれと対向する上記カバーゴムが、基板押さえ本体と基板押さえ蓋体の両基板挟持面に、交互に逆転して配置されたことを特徴とする請求項3に記載のメッキ用基板保持具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009243027A JP5630000B2 (ja) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | メッキ用基板保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009243027A JP5630000B2 (ja) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | メッキ用基板保持具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011089164A true JP2011089164A (ja) | 2011-05-06 |
JP5630000B2 JP5630000B2 (ja) | 2014-11-26 |
Family
ID=44107670
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009243027A Active JP5630000B2 (ja) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | メッキ用基板保持具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5630000B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015101764A (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 大森ハンガー工業株式会社 | メッキ用基板保持具 |
KR102317544B1 (ko) * | 2020-05-06 | 2021-10-26 | 김원영 | 인쇄회로기판 도금용 지그장치 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08144094A (ja) * | 1994-11-24 | 1996-06-04 | Daido Steel Co Ltd | メッキ装置 |
JPH11172492A (ja) * | 1997-12-15 | 1999-06-29 | Ebara Corp | 半導体ウエハのメッキ治具 |
JP2001247999A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-09-14 | Ebara Corp | 基板めっき治具 |
JP2001323397A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 薄膜形成装置及びそのコンタクト治具の製造方法 |
JP2004068093A (ja) * | 2002-08-07 | 2004-03-04 | Electroplating Eng Of Japan Co | ウェハーのめっき装置 |
JP2006348373A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Yamamoto Mekki Shikenki:Kk | 電気めっき用治具 |
-
2009
- 2009-10-22 JP JP2009243027A patent/JP5630000B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08144094A (ja) * | 1994-11-24 | 1996-06-04 | Daido Steel Co Ltd | メッキ装置 |
JPH11172492A (ja) * | 1997-12-15 | 1999-06-29 | Ebara Corp | 半導体ウエハのメッキ治具 |
JP2001247999A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-09-14 | Ebara Corp | 基板めっき治具 |
JP2001323397A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 薄膜形成装置及びそのコンタクト治具の製造方法 |
JP2004068093A (ja) * | 2002-08-07 | 2004-03-04 | Electroplating Eng Of Japan Co | ウェハーのめっき装置 |
JP2006348373A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Yamamoto Mekki Shikenki:Kk | 電気めっき用治具 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015101764A (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 大森ハンガー工業株式会社 | メッキ用基板保持具 |
KR102317544B1 (ko) * | 2020-05-06 | 2021-10-26 | 김원영 | 인쇄회로기판 도금용 지그장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5630000B2 (ja) | 2014-11-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI677598B (zh) | 基板支架接收裝置 | |
KR101247298B1 (ko) | 도금용 랙 어셈블리 | |
JP2007321242A (ja) | 電気メッキ装置におけるクリップ式のワークハンガー | |
WO2014076781A1 (ja) | 基板めっき治具 | |
JP4820736B2 (ja) | 電解めっき装置及び電解めっき方法並びにめっき治具 | |
JP2006117979A (ja) | 電気メッキ装置におけるワークハンガー | |
JP4179707B2 (ja) | プリント基板保持用治具及びめっき装置 | |
JP5630000B2 (ja) | メッキ用基板保持具 | |
JP5649591B2 (ja) | 電気めっき用保持具およびこの保持具を用いた電気めっき装置 | |
KR100591562B1 (ko) | 전기도금 장치에서의 클립식 워크 행거 | |
JP3677488B2 (ja) | 電気メッキ装置におけるクリップ式のワークハンガー | |
JP4730489B2 (ja) | 遮蔽板付き基板保持具 | |
TWI720798B (zh) | 工件保持治具及表面處理裝置 | |
JP3154267U (ja) | めっき処理物保持具 | |
JP6469168B2 (ja) | 水平搬送メッキ処理装置における板状被処理物のクランプ治具 | |
TWM574156U (zh) | 用於電鍍機的框形托架 | |
JP3001882B1 (ja) | プリント基板の保持装置 | |
JP7421302B2 (ja) | 保持治具 | |
TW202033840A (zh) | 工件保持治具及表面處理裝置 | |
JP2004176161A (ja) | めっき治具 | |
TWI723755B (zh) | 工件保持治具及表面處理裝置 | |
CN214655327U (zh) | 连续镀敷装置用夹紧工具 | |
JP3297684B2 (ja) | プリント基板メッキ用治具 | |
JP5618135B2 (ja) | メッキ用基板保持具 | |
JP4343394B2 (ja) | プリント基板の保持具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140909 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140922 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5630000 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |