JP2011088071A - フッ素含有水の処理方法および処理装置 - Google Patents
フッ素含有水の処理方法および処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011088071A JP2011088071A JP2009243519A JP2009243519A JP2011088071A JP 2011088071 A JP2011088071 A JP 2011088071A JP 2009243519 A JP2009243519 A JP 2009243519A JP 2009243519 A JP2009243519 A JP 2009243519A JP 2011088071 A JP2011088071 A JP 2011088071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- calcium carbonate
- fluorine
- containing water
- packed tower
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 154
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 133
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 title claims abstract description 133
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 132
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 326
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 claims abstract description 163
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 58
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 35
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 claims abstract description 35
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- 239000012295 chemical reaction liquid Substances 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 6
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 3
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 3
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid Substances OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000002221 fluorine Chemical class 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/28—Treatment of water, waste water, or sewage by sorption
- C02F1/281—Treatment of water, waste water, or sewage by sorption using inorganic sorbents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/001—Processes for the treatment of water whereby the filtration technique is of importance
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/52—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities
- C02F1/5236—Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities using inorganic agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/58—Treatment of water, waste water, or sewage by removing specified dissolved compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/68—Treatment of water, waste water, or sewage by addition of specified substances, e.g. trace elements, for ameliorating potable water
- C02F1/683—Treatment of water, waste water, or sewage by addition of specified substances, e.g. trace elements, for ameliorating potable water by addition of complex-forming compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2101/00—Nature of the contaminant
- C02F2101/10—Inorganic compounds
- C02F2101/12—Halogens or halogen-containing compounds
- C02F2101/14—Fluorine or fluorine-containing compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
- C02F2103/34—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated from industrial activities not provided for in groups C02F2103/12 - C02F2103/32
- C02F2103/346—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated from industrial activities not provided for in groups C02F2103/12 - C02F2103/32 from semiconductor processing, e.g. waste water from polishing of wafers
Abstract
【解決手段】フッ素含有水を複数段直列に設けた炭酸カルシウム充填塔に通水し、フッ素含有水中のフッ素を除去するとともにフッ化カルシウムを回収する方法において、炭酸カルシウム充填塔に体積平均粒子径30〜150μmの炭酸カルシウムを充填する。体積平均粒子径30〜150μmの粒状炭酸カルシウムを用いることにより、回収フッ化カルシウムの高純度化と高フッ素除去率とを比較的小型の装置で実現することができる。
【選択図】図1
Description
この粒状炭酸カルシウムの体積平均粒子径が30μmより小さいと、炭酸カルシウムと原水中のフッ化水素との反応で生成した炭酸ガスにより、微細な炭酸カルシウム粒子が炭酸カルシウム充填塔から流出し、処理が不安定となり、フッ素除去率も低下する。
一方、粒状炭酸カルシウムの体積平均粒子径が150μmより大きいと、後述のように、炭酸カルシウムとフッ化水素との反応速度が遅く、2塔の炭酸カルシウム充填塔では十分なフッ素除去率を達成し得ない。また、炭酸カルシウム粒子の内部まで反応が進行するのに時間を要することにより、回収物のフッ化カルシウム純度が低くなる。
体積平均粒子径が上記特定の範囲内である粒状炭酸カルシウムであっても、粒子径20μm未満の微細粒子を多く含むものでは、炭酸カルシウムと原水中のフッ化水素との反応で生成した炭酸ガスにより微細な炭酸カルシウム粒子が炭酸カルシウム充填塔から流出し、処理が不安定となり、フッ素除去率も低下する傾向にある。
CaCO3+2HF→CaF2+H2O+CO2 ………(1)
この反応は、炭酸カルシウム粒子の表面から徐々に進行する。このときの反応速度は、下記(2)式のようなモデル式で表すことができ、粒子半径の2乗に反比例して反応速度が速くなる。
このようなことから、本発明では体積平均粒子径30〜150μm、好ましくは30〜100μm、より好ましくは40〜90μmの粒状炭酸カルシウムを用いる。
CaF2+H2SO4→2HF+CaSO4 ………(3)
体積平均粒子径30μmの粒状炭酸カルシウム150mlを内径20mmの炭酸カルシウム充填塔に充填した。この炭酸カルシウム充填塔2塔を図1に示す如く、2塔直列方式に設置して、炭酸カルシウム充填塔1→炭酸カルシウム充填塔2の順に原水を通水して処理を行った。原水ポンプ4の供給速度は300mL/hrとし、充填塔1,2への原水通水SVは2hr−1とした。炭酸カルシウム充填塔1の流入水と流出水のフッ素濃度が同一となったときは、原水の通水を停止し、充填塔1の充填材を抜出し、新たに体積平均粒子径40μmの粒状炭酸カルシウム150mlを炭酸カルシウム充填塔1に充填した。炭酸カルシウム再充填後は、炭酸カルシウム充填塔2→炭酸カルシウム充填塔1の順に原水を通水して処理を行った。
表1に示すように、本実施例では、フッ素除去率90%以上で安定して処理を行うことができた。また、回収物のフッ化カルシウム純度も98%以上と高純度のフッ化カルシウム結晶を得ることができた。
粒状炭酸カルシウムとして、体積平均粒子径90μmの粒状炭酸カルシウムを用いた以外は、実施例1と同様に試験を行った。結果を表1に示す。
表1に示すように、本実施例では、フッ素除去率90%以上で安定して処理を行うことができた。また、回収物のフッ化カルシウム純度も98%以上と高純度のフッ化カルシウム結晶を得ることができた。
粒状炭酸カルシウムとして、体積平均粒子径150μmの粒状炭酸カルシウムを用いた以外は、実施例1と同様に試験を行った。結果を表1に示す。
表1に示すように、本実施例では、フッ素除去率90%以上で安定して処理を行うことができた。また、回収物のフッ化カルシウム純度も98%以上と高純度のフッ化カルシウム結晶を得ることができた。
粒状炭酸カルシウムとして、体積平均粒子径20μmの粒状炭酸カルシウムを用いた以外は、実施例1と同様に試験を行った。結果を表1に示す。
本比較例では、炭酸カルシウムとフッ化水素の反応により生成した炭酸ガスにより、微細な炭酸カルシウム粒子が炭酸カルシウム充填塔からリークしてした。このため、フッ素除去率が90%を下回っており、不安定な処理となった。リークした微細粒子を分析したところ、粒子径20μm未満の微細な粒子がリークしていることがわかった。
粒状炭酸カルシウムとして、体積平均粒子径250μmの粒状炭酸カルシウムを用いた以外は、実施例1と同様に試験を行った。結果を表1に示す。
本比較例では、炭酸カルシウムの粒子径が大きいために、炭酸カルシウムとフッ化水素との反応速度が遅く、炭酸カルシウム充填塔2塔では十分に処理しきれず、フッ素除去率は90%を下回った。また、炭酸カルシウム粒子の内部まで反応が進行するのに時間がかかるため、得られた回収物のフッ化カルシウム純度も実施例と比較すると低純度のものであった。
体積平均粒子径90μmで、種々の粒度分布を持つ粒状炭酸カルシウムを用いた以外は、実施例2と同様に試験を行った。結果を表2に示す。
表2から次のことが分かる。
微細な粒子をほとんど含まない場合(実施例4)は、フッ素除去率は90%以上で安定して処理を行うことができた。また、回収物のフッ化カルシウム純度も98%以上と高純度のフッ化カルシウム結晶を得ることができた。
しかし、微細な粒子を含む場合、炭酸カルシウムとフッ化水素の反応により生成した炭酸ガスにより、粒子径20μm未満の微細な粒子が炭酸カルシウム充填塔からリークしてしまった。そのため、粒子径20μm未満の微細な粒子が少ない場合(実施例5)には問題とはならないもの、15%より多く含有する場合(実施例6,7)には、フッ素除去率が90%を下回ることもあり、不安定な処理となった。
3 原水槽
4 原水ポンプ
5 反応液貯槽
6 反応液移送ポンプ
7 処理水槽
Claims (8)
- フッ素含有水を複数段直列に設けた炭酸カルシウム充填塔に通水し、フッ素含有水中のフッ素を除去するとともにフッ化カルシウムを回収する方法において、該炭酸カルシウム充填塔に体積平均粒子径が30〜150μmの炭酸カルシウムを充填することを特徴とするフッ素含有水の処理方法。
- 前記炭酸カルシウム充填塔は2段直列に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のフッ素含有水の処理方法。
- 前記炭酸カルシウムは、粒子径が20μm未満の粒子の割合が15%以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のフッ素含有水の処理方法。
- 前記炭酸カルシウム充填塔へのフッ素含有水の通水SVが0.1〜5hr−1であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のフッ素含有水の処理方法。
- 炭酸カルシウム充填塔が複数段直列に設置されたフッ素含有水の処理手段と、該フッ素含有水の処理手段にフッ素含有水を通水する手段と、該フッ素含有水の処理手段から処理水を取り出す手段と、該炭酸カルシウム充填塔からフッ化カルシウムを回収する手段とを備えてなるフッ素含有水の処理装置において、該炭酸カルシウム充填塔に充填される炭酸カルシウムの体積平均粒子径が30〜150μmであることを特徴とするフッ素含有水の処理装置。
- 前記フッ素含有水の処理手段の炭酸カルシウム充填塔は2段直列に設けられていることを特徴とする請求項5に記載のフッ素含有水の処理装置。
- 前記炭酸カルシウムは、粒子径が20μm未満の粒子の割合が15%以下であることを特徴とする請求項5または6に記載のフッ素含有水の処理装置。
- 前記炭酸カルシウム充填塔へのフッ素含有水の通水SVが0.1〜5hr−1であることを特徴とする請求項5ないし7のいずれか1項に記載のフッ素含有水の処理装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009243519A JP5440095B2 (ja) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | フッ素含有水の処理方法および処理装置 |
PCT/JP2010/068304 WO2011049052A1 (ja) | 2009-10-22 | 2010-10-19 | フッ素含有水の処理方法および処理装置 |
US13/503,244 US20120279928A1 (en) | 2009-10-22 | 2010-10-19 | Method and device for treating fluorine-containing water |
KR1020127009907A KR101775888B1 (ko) | 2009-10-22 | 2010-10-19 | 불소 함유수의 처리 방법 및 처리 장치 |
CN201080047171.XA CN102574712B (zh) | 2009-10-22 | 2010-10-19 | 含有氟的水的处理方法及处理装置 |
TW099136126A TWI591022B (zh) | 2009-10-22 | 2010-10-22 | Fluorine-containing water treatment method and treatment device |
US14/713,653 US9533895B2 (en) | 2009-10-22 | 2015-05-15 | Device for treating fluorine-containing water |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009243519A JP5440095B2 (ja) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | フッ素含有水の処理方法および処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011088071A true JP2011088071A (ja) | 2011-05-06 |
JP5440095B2 JP5440095B2 (ja) | 2014-03-12 |
Family
ID=43900278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009243519A Active JP5440095B2 (ja) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | フッ素含有水の処理方法および処理装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20120279928A1 (ja) |
JP (1) | JP5440095B2 (ja) |
KR (1) | KR101775888B1 (ja) |
CN (1) | CN102574712B (ja) |
TW (1) | TWI591022B (ja) |
WO (1) | WO2011049052A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103011453B (zh) * | 2012-12-08 | 2014-01-22 | 北京国环清华环境工程设计研究院有限公司 | 一种太阳能电池片生产中含氟废水的处理方法 |
KR102041004B1 (ko) * | 2013-03-29 | 2019-11-05 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | 불소 함유 전해액의 처리 방법 |
JP6299421B2 (ja) * | 2014-05-20 | 2018-03-28 | 栗田工業株式会社 | フッ素含有水の処理方法及び処理装置 |
CN106732443B (zh) * | 2016-11-28 | 2019-07-23 | 桂林奥尼斯特节能环保科技有限责任公司 | 一种除氟吸附材料及其制备方法和使用其处理氟超标水的方法 |
CN107130258B (zh) * | 2017-05-24 | 2019-01-04 | 中南大学 | 一种从含氟的硫酸锌溶液中除氟的方法 |
GB2564399A (en) * | 2017-07-06 | 2019-01-16 | Edwards Ltd | Improvements in or relating to pumping line arrangements |
CN110078109A (zh) * | 2019-05-21 | 2019-08-02 | 江苏省环境科学研究院 | 一种从酸性含氟废水中制取高纯度氟化钙产品的方法 |
US11414513B2 (en) | 2019-10-18 | 2022-08-16 | Imam Abdulrahman Bin Faisal University | Method of producing a carbon nanotube grafted acrylic acid/acrylamide copolymer nanocomposite sorbent |
EP3838847B1 (en) | 2019-12-20 | 2024-04-17 | Industrial Technology Research Institute | Composite material and method of removing fluorine in waste liquid |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05253576A (ja) * | 1992-03-11 | 1993-10-05 | Kurita Water Ind Ltd | フッ素含有水の処理方法 |
JPH10249361A (ja) * | 1997-03-14 | 1998-09-22 | Kurita Water Ind Ltd | フッ素含有水の処理方法 |
JP2000070962A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-07 | Japan Organo Co Ltd | フッ素含有排水処理方法 |
JP2004074041A (ja) * | 2002-08-20 | 2004-03-11 | Cabot Supermetal Kk | フッ素の回収方法 |
JP2005254158A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 排水中のフッ素除去装置及びフッ素除去方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4449991A (en) * | 1982-12-20 | 1984-05-22 | Exxon Research And Engineering Co. | Removal of sulfur from process streams |
JP3192557B2 (ja) | 1994-08-26 | 2001-07-30 | シャープ株式会社 | 排水処理装置および排水処理方法 |
US6331256B1 (en) * | 1998-04-22 | 2001-12-18 | Fujitsu Limited | Treatment process for fluorine-containing water |
CN1894029B (zh) * | 2003-12-15 | 2011-05-11 | 旭化成化学株式会社 | 多孔成形物及其生产方法 |
JP3974929B1 (ja) * | 2006-06-07 | 2007-09-12 | シャープ株式会社 | 排水処理方法および排水処理装置 |
ES2375849T3 (es) | 2007-03-21 | 2012-03-06 | Omya Development Ag | Carbonato de calcio con superficie sometida a reacción y su uso en el tratamiento de aguas residuales. |
-
2009
- 2009-10-22 JP JP2009243519A patent/JP5440095B2/ja active Active
-
2010
- 2010-10-19 US US13/503,244 patent/US20120279928A1/en not_active Abandoned
- 2010-10-19 WO PCT/JP2010/068304 patent/WO2011049052A1/ja active Application Filing
- 2010-10-19 CN CN201080047171.XA patent/CN102574712B/zh active Active
- 2010-10-19 KR KR1020127009907A patent/KR101775888B1/ko active IP Right Grant
- 2010-10-22 TW TW099136126A patent/TWI591022B/zh active
-
2015
- 2015-05-15 US US14/713,653 patent/US9533895B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05253576A (ja) * | 1992-03-11 | 1993-10-05 | Kurita Water Ind Ltd | フッ素含有水の処理方法 |
JPH10249361A (ja) * | 1997-03-14 | 1998-09-22 | Kurita Water Ind Ltd | フッ素含有水の処理方法 |
JP2000070962A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-07 | Japan Organo Co Ltd | フッ素含有排水処理方法 |
JP2004074041A (ja) * | 2002-08-20 | 2004-03-11 | Cabot Supermetal Kk | フッ素の回収方法 |
JP2005254158A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 排水中のフッ素除去装置及びフッ素除去方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101775888B1 (ko) | 2017-09-07 |
KR20120085773A (ko) | 2012-08-01 |
US9533895B2 (en) | 2017-01-03 |
US20150246827A1 (en) | 2015-09-03 |
JP5440095B2 (ja) | 2014-03-12 |
CN102574712A (zh) | 2012-07-11 |
TW201130745A (en) | 2011-09-16 |
WO2011049052A1 (ja) | 2011-04-28 |
TWI591022B (zh) | 2017-07-11 |
CN102574712B (zh) | 2015-01-28 |
US20120279928A1 (en) | 2012-11-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5440095B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法および処理装置 | |
KR20150079580A (ko) | 오존 가스 용해수의 제조 방법, 및 전자 재료의 세정 방법 | |
CN109569251A (zh) | 一种利用含so2烟气制稀硫酸的装置及方法 | |
JP5085574B2 (ja) | フッ素含有廃液の除害装置及び除害方法 | |
CN104772029A (zh) | 一种耦合双区式烟气汞高效回收装置及应用 | |
JP2010221115A (ja) | フッ素含有排水の処理方法、及び処理装置 | |
JP2019198826A (ja) | 水処理方法 | |
JP6211779B2 (ja) | ホウ素含有排水の処理方法 | |
JP6299421B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法及び処理装置 | |
JP2007167816A (ja) | 超純水の製造方法および製造装置 | |
JP5644236B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
JP2006000827A (ja) | 排水処理方法 | |
JPH05253578A (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
JP3175283B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
JP2600569B2 (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
SG182082A1 (en) | Method for treating fluorine-containing wastewater | |
JP2010264431A (ja) | 三酸化硫黄の捕捉システム | |
JP2610573B2 (ja) | 溶存酸素低減方法及び装置 | |
TWI644725B (zh) | 含氟活性氧化鋁的處理方法 | |
JPH06238285A (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
JPH07136667A (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
JPH0663563A (ja) | フッ素含有水の処理方法 | |
JPH11217216A (ja) | 非定常用フッ素回収装置 | |
JP2006255585A (ja) | フッ酸回収装置及びフッ酸回収方法 | |
JPH08309365A (ja) | フッ素含有廃水の処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130903 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131030 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5440095 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |