JP2011086825A - 銅薄膜形成方法及び銅薄膜付き基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る銅薄膜の形成方法は、表面に微細な孔又は溝22が形成された基板21を用い、該孔又は該溝の内壁面22b及び内底面22cを含む前記基材の全面に銅薄膜23を形成する工程と、前記銅薄膜を熱処理する工程と、を少なくとも順に有し、前記孔の開口径又は溝の開口幅が100nm以下であり、前記熱処理が、80℃以上、250℃以下の温度範囲で行われること、を特徴とする。
【選択図】図1
Description
特に、近年の高密度化に伴い、孔や溝の開口径がますます小さくなってきており、このような問題が顕在化しつつある。
また、本発明は、表面に開口幅が100nm以下の微細な孔又は溝が形成された基板において、前記孔又は前記溝の開口部を閉塞することなく、内壁面及び内底面の全体にに形成された銅薄膜を備えた銅薄膜付き基板を提供することを第二の目的とする。
本発明の請求項2に記載の銅薄膜付き基板は、表面に微細な孔又は溝が形成された基板上に、請求項1に記載の銅薄膜の形成方法を用いて形成された銅薄膜が配されていること、を特徴とする。
本発明の請求項3に記載の銅薄膜付き基板は、請求項2において、前記孔又は前記溝の内壁面及び内壁面と、前記銅薄膜との間にバリア層が配されており、該バリア層が、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、ルテニウム(Ru)のいずれか一つを含む薄膜であること、を特徴とする。
また、本発明の銅薄膜付き基板では、前記銅薄膜の形成方法により形成された銅薄膜を備えているので、該銅薄膜は、微細な孔又は溝の開口部を閉塞することなく、孔又は溝の内壁面及び内底面の全体に形成されたものとなる。
本発明の銅薄膜付き基板20は、表面に微細な孔又は溝22が形成された基板21上に、銅薄膜23が配されていること、を特徴とする。この銅薄膜23は、具体的には後述する本発明の銅薄膜の形成方法を用いて形成されたものである。
この銅薄膜23は、前記基板21に金属配線を形成する際にシード層として機能し、該銅薄膜23の表面にメッキ法等により金属材料が被覆され、この被覆層の材料が孔又は溝22に充填される。
本発明の銅薄膜の形成方法は、表面に微細な孔又は溝22が形成された基板21を用い、孔又は溝22の内壁面22b及び内底面22cを含む前記基材の全面に銅薄膜23を形成する工程と、前記銅薄膜23を熱処理する工程と、を少なくとも順に有し、前記孔の開口径又は溝の開口幅が100nm以下であり、前記熱処理が、80℃以上、110℃以下の温度範囲で行われること、を特徴とする。
本発明では、表面に開口径又は開口幅が100nm以下の微細な孔又は溝22が形成された基板21の全面に銅薄膜23を形成した後、該銅薄膜23に対する熱処理を80℃以上、110℃以下の比較的低い温度範囲で行うことで、孔又は溝22の開口部22aを閉塞することなく、孔又は溝22の内壁面22b及び内底面22cの全体に銅薄膜23を行き渡らせることができる。
このスパッタリング装置1は、真空槽10を有しており、真空槽10の天井には、カソード電極4が固定されており、その表面には純銅から成る銅ターゲット5が配置されている。
また、基板ホルダー6内には基板電極12が設けられている。この基板電極11aは、ブロッキングコンデンサー13を介して高周波バイアス電力を印加する高周波電源14に接続され、コンデンサー13によって電位的に浮遊電極になっており、負のバイアス電位となる。
まず、基板ホルダー6上に基板21を配置した状態で、真空排気口3から真空槽10内を真空排気し、真空槽10内が所定の圧力(例えば1.0×10−5Pa以下の圧力)になった後、ガス導入口2からスパッタリングガス(例えばアルゴンガス)を導入する。
スパッタリングによる成膜を所定時間行い、基板21の全面に銅薄膜23を形成した後、真空槽10から基板21を搬出する。
このとき、熱処理温度が低すぎると、銅が流動せず、開口部22aの閉塞を防止することが困難である。一方、熱処理温度が高すぎると、銅が流動するが、ボリュームのあるほうに引き寄せられ、銅薄膜23が孔又は溝22の内壁面22bで切断されてしまう。熱処理温度を80℃以上、110℃以下とすることで、銅がわずかに流動する。その結果、銅薄膜23が孔又は溝22内壁面22bで切断されることなく、開口部22aを保持することができる。
上述したバリア層25は、例えばコバルト(Co)、ニッケル(Ni)、ルテニウム(Ru)のいずれか一つを含む薄膜である。
以下、本発明の銅薄膜の形成方法について行った実験例について説明する。
図2に示したようなスパッタリング装置を用い、基板上に銅薄膜を形成した。
基板7として、表面に開口径又は開口幅が45nmの微細な孔又は溝が形成された基板を用いた。
スパッタリング装置の基板ホルダー6上に基板7を配置した状態で、真空排気口3から真空槽10内を真空排気し、真空槽10内が所定の圧力(例えば1.0×10−5Pa以下の圧力)になった後、ガス導入口2からスパッタリングガス(例えばアルゴンガス)を導入した。
(1)熱処理温度が70℃の場合、図4(a)に示すように、銅が流動せず、銅薄膜により孔の開口部が閉塞されてしまった。
(2)熱処理温度が100℃の場合、図4(b)に示すように、銅がわずかに流動する。その結果、銅薄膜が孔の側壁面で切断されることなく、開口部を保持することができた。
(3)熱処理温度が120℃の場合、図4(c)に示すように、銅が流動し、開口部を保持することができたが、ボリュームのあるほうに引き寄せられ、薄膜が孔の側壁面で切断されてしまった。
Claims (3)
- 表面に微細な孔又は溝が形成された基板を用い、該孔又は該溝の内壁面及び内底面を含む前記基材の全面に銅薄膜を形成する工程と、
前記銅薄膜を熱処理する工程と、を少なくとも順に有し、
前記孔の開口径又は溝の開口幅が100nm以下であり、
前記熱処理が、80℃以上、250℃以下の温度範囲で行われること、を特徴とする銅薄膜の形成方法。 - 表面に微細な孔又は溝が形成された基板上に、
請求項1に記載の銅薄膜の形成方法を用いて形成された銅薄膜が配されていること、を特徴とする銅薄膜付き基板。 - 前記孔又は前記溝の内壁面及び内壁面と、前記銅薄膜との間にバリア層が配されており、
該バリア層が、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、ルテニウム(Ru)のいずれか一つを含む薄膜であること、を特徴とする請求項2に記載の銅薄膜付き基板。
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