JP2011071271A - 基板移載方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板3を収納した基板収容容器4を移載棚12,17に搬送する工程と、前記基板収納容器から基板移載機構25により前記基板を取出し、基板保持具24へ搬送する工程とを有する基板移載方法であって、前記基板を前記基板保持具に搬送する工程の前に、前記基板収容容器の位置と前記基板収容容器の個数情報及び前記基板の枚数情報と、前記基板収容容器の所定スロットから前記基板保持具の所定スロットに移載するか規定した情報とを比較する工程を設けた。
【選択図】図1
Description
又、本発明は以下の実施の態様を含む。
3 ウェーハ
4 ポッド
8 ポッド搬送装置
11 ポッド格納部
12 ポッド収納棚
27 制御装置
29 搬送制御部
36 ポッド搬送部
44 第1移載パラメータ作成プログラム
45 第2移載パラメータ作成プログラム
46 パラメータ比較プログラム
Claims (1)
- 基板を収納した基板収容容器を移載棚に搬送する工程と、前記基板収納容器から基板移載機構により前記基板を取出し、基板保持具へ搬送する工程とを有する基板移載方法であって、前記基板を前記基板保持具に搬送する工程の前に、前記基板収容容器の位置と前記基板収容容器の個数情報及び前記基板の枚数情報と、前記基板収容容器の所定スロットから前記基板保持具の所定スロットに移載するか規定した情報とを比較する工程を設けたことを特徴とする基板移載方法。
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