JP2011071271A5 - - Google Patents
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- 基板を収納した基板収容容器から基板移載機構により前記基板を取出し、基板保持具へ搬送する工程を有する基板移載方法であって、前記基板を前記基板保持具に搬送する前に、前記基板収容容器の位置と前記基板収容容器の個数情報及び前記基板収容容器に収容された基板の枚数情報と、前記基板収容容器の所定スロットから前記基板保持具の所定スロットに基板を移載するか規定した情報と、を比較する工程を設けたことを特徴とする基板移載方法。
- 基板を収納した基板収容容器から基板移載機構により前記基板を取出し、基板保持具へ搬送する工程と、前記基板が保持された基板保持具を反応炉内へ装入する工程と、前記基板を処理し、処理後の前記基板保持具を前記反応炉から取出す工程を有する半導体装置の製造方法であって、前記基板を前記基板保持具に搬送する前に、前記基板収容容器の位置と前記基板収容容器の個数情報及び前記基板収容容器に収容された基板の枚数情報と、前記基板収容容器の所定スロットから前記基板保持具の所定スロットに基板を移載するか規定した情報と、を比較する工程を設けたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 基板を収納した基板収容容器から前記基板を取出し、基板保持具へ搬送する基板移載機構と、前記基板を前記基板保持具に搬送する前に、前記基板収容容器の位置と前記基板収容容器の個数情報及び前記基板収容容器に収容された基板の枚数情報と、前記基板収容容器の所定スロットから前記基板保持具の所定スロットに基板移載するか規定した情報と、を比較する制御部を設けた基板処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009220418A JP5492509B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 基板移載方法及び半導体装置の製造方法及び基板処理装置及び搬送制御プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009220418A JP5492509B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 基板移載方法及び半導体装置の製造方法及び基板処理装置及び搬送制御プログラム |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011071271A JP2011071271A (ja) | 2011-04-07 |
| JP2011071271A5 true JP2011071271A5 (ja) | 2012-10-18 |
| JP5492509B2 JP5492509B2 (ja) | 2014-05-14 |
Family
ID=44016266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009220418A Active JP5492509B2 (ja) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 基板移載方法及び半導体装置の製造方法及び基板処理装置及び搬送制御プログラム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5492509B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6572854B2 (ja) * | 2016-09-09 | 2019-09-11 | 株式会社ダイフク | 容器収納設備 |
| US11121014B2 (en) * | 2018-06-05 | 2021-09-14 | Asm Ip Holding B.V. | Dummy wafer storage cassette |
| JP7157786B2 (ja) * | 2020-09-23 | 2022-10-20 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2829367B2 (ja) * | 1996-03-08 | 1998-11-25 | 国際電気株式会社 | ウェーハ移載方法 |
-
2009
- 2009-09-25 JP JP2009220418A patent/JP5492509B2/ja active Active
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