JP2011061237A - ケミカルメカニカルポリッシャ用のウェーハ搬送ステーション - Google Patents
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Abstract
【課題】 CMP研磨ヘッドへのウェーハ搬送を改良する装置を提供する。
【解決手段】
一対のバッファステーション120Aおよび120Bと、搬送ロボット122とを備えるケミカルメカニカルポリシングシステム用の搬送ステーション108およびそれに伴う方法である。バッファステーションと、2つのウェーハ114を搬送ロボットによって同時に搬送する能力とが、ケミカルメカニカルポリシングシステムへのウェーハのローディングおよびアンローディングのための交換時間を最小にする。交換時間の低減は、ケミカルメカニカルポリシングシステムによって時間当たりに処理されるウェーハの数を向上させる。
【選択図】 図1
【解決手段】
一対のバッファステーション120Aおよび120Bと、搬送ロボット122とを備えるケミカルメカニカルポリシングシステム用の搬送ステーション108およびそれに伴う方法である。バッファステーションと、2つのウェーハ114を搬送ロボットによって同時に搬送する能力とが、ケミカルメカニカルポリシングシステムへのウェーハのローディングおよびアンローディングのための交換時間を最小にする。交換時間の低減は、ケミカルメカニカルポリシングシステムによって時間当たりに処理されるウェーハの数を向上させる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、全体としてケミカルメカニカルポリシングシステムに関し、特に、ワークピースまたは半導体ウェーハをケミカルメカニカルポリシングシステム内に位置決めする方法および装置に関する。
半導体ウェーハ処理では、半導体ワークピース、すなわちウェーハ上に複数のフィーチャ層を積層する高い能力から、ケミカルメカニカルポリシング、すなわちCMPの使用が支持されてきた。半導体製造プロセスの一部としてのウェーハ研磨に対する要望が増大するにつれて、ウェーハダメージと汚染の危険性を最小限に抑えつつより高い処理速度を実現することへの要求が、より大きな緊急改善課題となってきている。
これらの問題に対処する2つのCMPシステムが、Perlov他への特許(1998年9月8日発行の米国特許第5,804,507号)とTolles他への特許(1998年4月15日発行の米国特許第5,738,574号)に記載されている。Perlov特許およびTolles特許は、双方とも本明細書に援用される。Perlov特許およびTolles特許は、双方とも、隣接する液体充填槽内に位置するカセットからウェーハが供給されるポリシング装置を有するCMPシステムを開示している。搬送機構、すなわちロボットが、槽から搬送ステーションへのウェーハの搬送を容易にする。搬送ステーション内のペデスタルが上昇して、ロボットからウェーハを受け取る。ウェーハは、ロボットから解放され、真空チャックによりペデスタルに固定、あるいはチャックされる。次に、ペデスタルは搬送ステーション内に後退する。搬送ステーションでは、複数のアライメントジョーが、ペデスタル上でセンタリングされた位置へウェーハを操作できるように、ウェーハがペデスタルから一時的に解放される。次に、ウェーハはペデスタルへ再チャックされ、ペデスタルが上昇し、ウェーハを研磨ヘッドのリテーナリングに係合させリテーナリングへウェーハを搬送する。ペデスタルの中心へのウェーハの位置合わせは、ウェーハがリテーナリング内へ適切に固定されることを確実にする。ウェーハがリテーナリング内へ固定された後、カルーセルが研磨ヘッドをポリシングステーションへ移動させる。研磨プロセスの完了後、ウェーハはペデスタルに戻され、ロボットがペデスタルからウェーハを取り出して、槽内に位置する適切なカセットへウェーハを移動させる。
このプロセスは、ケミカルメカニカルポリシングシステムを実行する効率的な手法であることがわかったが、研磨ヘッドへのウェーハの搬送を改善してウェーハダメージと汚染の危険性を低減させることができ、同時に、搬送ステーションにおけるウェーハの滞留時間を低減するという改良点が明確になった。
具体的に述べると、搬送ロボットを用いて単一のロード/アンロードペデスタルの内外にウェーハを搬送するプロセスは、一度に一枚のウェーハしか搬送できないので、ポリッシャ内外へのウェーハ移動のボトルネックになっている。特に、ウェーハを把持する単一のエンドエフェクタを有する単一のアームロボットは、ウェーハ貯蔵装置からウェーハを取得し、そのウェーハを単一のロード/アンロードペデスタル上に位置決めする。ウェーハはポリッシャに入り、ワークが研磨される。この後、ウェーハは、アンローディングとウェーハ貯蔵装置への移送のためにロード/アンロードペデスタルに戻される。単一のアームロボットは、次に、処理済ウェーハを把持してウェーハ貯蔵装置に移送し、そのウェーハをウェーハ貯蔵装置内に配置し、ポリッシャ内で処理すべき次のウェーハを割出しして取り出す必要がある。その後、ロボットは、下げ降ろしのために次のウェーハをロード/アンロードステーションに移送する。ロード/アンロードペデスタルが休止している滞留時間またはむだ時間を取り除けば、各ウェーハの処理に必要なルーティング時間が改善され、それに応じたウェーハスループットの増加が得られることになる。更に、ウェーハエッジグリップのみの使用は、移送中およびウェーハ配置中におけるウェーハの裏面またはデバイス面のいずれかとの物理的接触を最小限に抑える。これは、摩耗、スクラッチ、その他のダメージがウェーハの両面に生じうることから、特に関心が高い。
従って、この技術分野では、CMP研磨ヘッドへのウェーハ搬送を容易にする装置であって、搬送時間が削減されるとともに粒子汚染およびウェーハダメージのリスクを最小限に抑えながらウェーハが固定される装置に対するニーズが存在している。
従来技術に伴う欠点は、少なくとも1つのバッファステーション、搬送ロボットおよびウェーハローディングアセンブリを備える本発明の搬送ステーションによって克服される。複数のバッファステーション(例えば、入力バッファステーションおよび出力バッファステーション)を使用することが好ましい。運転時には、入/出力ロボットが半導体ウェーハを入力バッファステーション内に配置する。入力バッファステーションは、ウェーハのエッジ付近の3本のピンでウェーハを支持する。搬送ロボットは2つのグリッパアセンブリを有し、その各々がウェーハを把持する空気圧グリッパフィンガを有する。このフィンガは、ウェーハエッジ上の3点でウェーハを保持する。ロボットは入力バッファステーションからウェーハを持ち上げ、グリッパおよびウェーハを回転させてウェーハをウェーハロード/アンロードアセンブリの上に配置した後、ロード/アンロードアセンブリ上にウェーハを降ろす。次に、ウェーハロード/アンロードアセンブリは、ウェーハをケミカルメカニカルポリッシャの研磨ヘッドにロードする。搬送ロボットがウェーハをウェーハロード/アンロードアセンブリに配置している間、入出力ロボットは別のウェーハを入力バッファステーション上に配置することができる。ウェーハがポリシングプロセスを完了すると、研磨ヘッドがウェーハをウェーハロード/アンロードアセンブリ内に解放し、搬送ロボットがウェーハをロード/アンロードアセンブリから回収する。この後、研磨済ウェーハは、搬送ロボットによって出力バッファステーション内に置かれ、入出力ロボットが搬送ステーションから研磨済ウェーハを取り出すまでそこに止まる。搬送ロボットは2つのグリッパアセンブリを有するので、ウェーハをロード/アンロードアセンブリ中に解放するステップとウェーハを出力バッファ中に解放するステップを同時に行なうことができる。
具体的には、搬送ロボットは、空気圧式に作動する一対の反対側に位置するグリッパアセンブリを備えている。各グリッパアセンブリは、2つの搬送アームの反対側に位置する末端に配置される。両搬送アームが望ましくは直角を形成しながら交わる箇所では、搬送アームがロータリアクチュエータおよび垂直リニアアクチュエータに連結されるので、グリッパをバッファステーションからロード/アンロードアセンブリまで回転させることができ、また、ロボットアームを昇降させてウェーハのローディングおよびアンローディングを容易にすることができる。グリッパ自体は、ウェーハのエッジを把持するために、3つのフィンガと、ノッチが切り込まれたプラスチックシリンダとを有する。グリッパは、各グリッパのフィンガ間の距離がウェーハの直径よりも大きくなるように、開位置でばねによって付勢される。圧縮空気が空気圧シリンダに送られると、グリッパが互いに向かって動き、3つのフィンガの間でウェーハが捕捉される。
搬送アームの各々は、第1の端部に位置するグリッパアセンブリを有し、垂直シャフトに取り付けられる第2の端部で終端する。このシャフトは、アームが約350°回転できるように、クラッチを介してロータリアクチュエータに連結される。シャフトは、インターロック機構に連結される。このインターロック機構は、ウェーハを解放または取り上げるために搬送ロボットをバッファステーションまたはロードカップ内に下降できるようになる前に、搬送ロボットがバッファステーションかウェーハロード/アンロードアセンブリのいずれかの上に適切に配置されるようにする。インターロックはまた、ウェーハロード/アンロードアセンブリがウェーハを研磨ヘッドにロード(またはアンロード)しているときに搬送ロボットがウェーハロード/アンロードアセンブリの方向に回転できないようにする。ロボットがバッファステーションおよびウェーハロード/アンロードアセンブリのいずれかにアクセスできるようにするため、バッファステーションとウェーハロード/アンロードアセンブリとは、搬送ロボットのシャフトを中心に有する円形経路に沿って位置合わせされる。
本発明の教示は、添付図面と共に以下の詳細な説明を検討することによって容易に理解することができる。
理解を容易にするため、図面に共通の同一要素を示すために可能な限り同一の参照番号を使用した。
図1は、ケミカルメカニカルポリッシャ100の概略平面図を示す。ポリッシャ100は、複数(例えば3つ)の研磨ステーション106、4つの研磨ヘッド110を支持するカルーセル102、ウェーハロード/アンロードアセンブリ104、および搬送ステーション108を有する。入出力ロボット116は、ウェーハ114を搬送ステーション108との間でロードおよびアンロードする。4つの研磨ヘッド110は、カルーセル102に装着される。カルーセル102は、搬送ステーション108のコンポーネントが見えるように部分的に切除されている。従って、4つの研磨ヘッド110の1つは図示されていない。カルーセル102は、研磨ヘッド110の任意の1つを研磨ステーション106の任意の1つまたは搬送ステーション108に配置できるように中心軸のまわりに回転する。この結果、ウェーハ114を特定の研磨ヘッド110にロードすることができ、カルーセル102はヘッド110を特定の研磨ステーション106まで動かすことができる。
ウェーハ114は、ウェーハ入出力ロボット116によって、ポリッシャ100と他のシステム(例えば、ウェーハクリーナ)またはウェーハカセット(図示せず)との間で移動される。入出力ロボット116は、移動中のウェーハ114を保持するグリッパ(例えば、真空グリッパ)を持ち、ウェーハ114を搬送ステーション108の中に配置する。
搬送ステーション108は、少なくとも1つのバッファステーション120(好ましくは2つのバッファステーション120Aおよび120B)と搬送ロボット122とを備えている。入出力ロボット116は、ポリッシャ110に入る予定のウェーハ114を入力バッファステーション120Bの中に置く。入力バッファステーション120Bは固定式である。搬送ステーション108がウェーハ114をロボット116から受け取り、ロボット116が搬送ステーション108を空にした後、搬送ステーションロボット122は、ウェーハ114を入力バッファステーション120Bから取り出して、それをウェーハロード/アンロードアセンブリ104まで移動させる。ウェーハロード/アンロードアセンブリ104は、ウェーハ114を研磨ヘッド110に配置するために当該技術で知られる任意の種類のものとすることができる。好ましくは、ウェーハロード/アンロードアセンブリ104は、1999年6月14日出願の一般譲渡された米国仮特許出願第60/139,144号(代理人整理番号3650L)に記載されるロードカップである。この出願は、本明細書に援用される。カルーセル102は、ウェーハロード/アンロードアセンブリ104からウェーハ114を取り出し、ウェーハ114を研磨するために前進する。搬送ロボット122がウェーハ114のバッファステーション120からウェーハロード/アンロードアセンブリ104への移動に従事している間、入出力ロボット116は、別のウェーハ114を空の入力バッファステーション120Bに配置することができる。
ウェーハ114が研磨手順を終了すると、カルーセル102は、ウェーハ114をウェーハロード/アンロードアセンブリ104に移動させてウェーハ114を解放する。搬送ロボット122は次に、ウェーハ114をウェーハロード/アンロードアセンブリ104から取り出して、ウェーハ114を出力バッファステーション120内に配置する。この後、研磨済ウェーハ114は、入出力ロボット116によって出力バッファステーション120から回収される。
運転時には、搬送ロボット122がバッファステーション120A、120Bとウェーハロード/アンロードアセンブリ104との間の中央に配置される。具体的には、ロボット122は、バッファステーション120A、120Bおよびウェーハロード/アンロードアセンブリ104の中心を通る仮想円と同心の回転中心軸を有するので、搬送ロボット122は関節式アームを使用せずにこれらの位置に到達する。勿論、当業者であれば、ウェーハ114をバッファステーション120A、120Bおよびウェーハロード/アンロードアセンブリ104に配置する能力を維持しながら他の形態のロボットを代わりに使用することも容易であろう。
図2は、搬送ロボット(図1の122)のアームアセンブリ200の平面図を示す。アームアセンブリ200は、一対の同一のグリッパアセンブリ202Aおよび202B、一対の搬送アーム204Aおよび204B、ならびにアーム取付箇所206を備えている。グリッパアセンブリ202A(グリッパアセンブリ202Bも同一の構成)は、一対の対向するグリッパ208Aおよび208Bを備えている。グリッパ208Aは、グリッパアーム210と一対のフィンガ212A、212Bを備えている。グリッパアーム210は、シェブロンの点が外側に向いたシェブロン形状を有している。グリッパ208Bは、単一のフィンガ212Cを有する。各フィンガ212A、212Bは下方を指し、グリッパアーム210の末端付近に配置される。フィンガ212Cは下方を指し、他の2つのフィンガ212A、212Bと共に同一平面上にある。グリッパアーム210の中心部は、リニアアクチュエータ214に連結されている。アクチュエータ214は、アクチュエータ214から反対方向に突出する一対のアクチュエータシャフト216Aおよび216Bを有する。シャフト216Aはアクチュエータ214をグリッパアーム210に連結し、シャフト216Bはアクチュエータ214を、グリッパ208Bを形成するフィンガ212Cに連結する。シャフト216Aおよび216Bはアクチュエータ214と共に、各シャフトを囲んでアクチュエータハウジング220に接する一対のベローズ218Aおよび218Bによって粒子汚染から保護される。
グリッパアセンブリ202Aおよび202Bによって、搬送ロボット112は各アセンブリ内で複数のウェーハを同時に把持することができる。これによって、搬送ロボット112は、研磨済ウェーハを出力バッファステーション120A内に置くと同時に、未研磨ウェーハをロード/アンロードアセンブリ104内に置くことができる。
アクチュエータ214は、シャフト216Aおよび216Bをハウジング220の内外に向かって移動させるリニアアクチュエータである。シャフト216Aおよび216Bは、リニアアクチュエータへの側面負荷を最小限に抑えるために直線軸受900および901上に支持されている。アクチュエータ214の一例は、空気圧に応じてシャフトを動かす空気圧アクチュエータである。このようなアクチュエータ214は、開位置でグリッパ208Aおよび208Bを相互に離間するように保つばね(図示せず)によって外側に付勢されるシャフト216Aおよび216Bを有している。開位置では、フィンガ間の間隔はウェーハの直径(例えば、100mm、200mm、または300mm)よりも大きい。加圧空気がアクチュエータ214に供給されると、アクチュエータ214はシャフト216を内側に動かして、フィンガ212A、212B、および212Cにウェーハ(図2に図示せず)を把持および保持させる。フィンガ212A、212Bおよび212Cに加わり、したがってウェーハ114に加わる力は、空気圧アクチュエータに加わる空気圧に比例し、その力を最小限に抑えるように調整を行うことができるので、実質的にウェーハダメージおよび汚染を防止することができる。別のリニアアクチュエータには、ウォームギヤアセンブリ、ソレノイド、ラックアンドピニオンアセンブリ、ベルクランクなどが含まれる。ただし、これらに限定されるわけではない。更に、ウェーハの把持を容易にするために、より多数のフィンガおよび/または様々な形状寸法のフィンガを容易することができる。
図3は、グリッパアーム210と、アーム210の端部302付近にボルト締めされるその付随フィンガ212Aおよび212Bの側面図を示している。各フィンガは、円筒の側面にノッチ304が切り込まれた円筒形状を有している。これらのノッチ304は、ウェーハの厚さよりも大きい開口を持つ。一般に、フィンガは、プラスチックなどの非磨耗性材料から作られる。
図2に戻ると、アクチュエータハウジング220は、アーム204Aの末端部222(第1端部)に取り付けられる。アーム204Aは、第2グリッパアセンブリ202Bが末端部226に連結されたアーム204Bに接続される。アーム204Bおよび204Aは互いに角度をなし、好ましくは互いに直角を形成する。アーム204Aおよび204Bが交わる箇所206では、これらのアームがロボットのロータリアクチュエータおよび垂直アクチュエータ(図示せず)に取り付けられる。下記で説明するように、ロボットは、アームを矢印228で示すように回転させるロータリアクチュエータに連結されている。
図4は、ウェーハ400を運ぶ搬送ロボット122とバッファステーションの1つ、例えばステーション120A、を備える搬送ステーション108の部分断面側面図を示している。完全のために、ウェーハロード/アンロードアセンブリ104も示す。搬送ロボット122、ウェーハロード/アンロードアセンブリ1−4およびバッファステーション120A、120Bは、搬送ステーション108用の共通ベースプレート418に設置されている。
前述のように、搬送ロボット122のアーム204Aは、グリッパアセンブリ202Aを取付け箇所206に連結する。取付け箇所206は、チューブシャフト402に固定される。チューブシャフト402とスピンドル406は同軸に組み立てられて、スリップクラッチ404を機械的に形成する。ロータリアクチュエータ408は、スピンドル406を回転駆動する。スリップクラッチ404は、ロボットアーム204が動作不良を起こして動けなくなった場合、すなわちスタックした場合に、ロータリアクチュエータ408とスピンドル406とが損傷を受けずに回転できるようにする。クラッチ404およびチューブシャフト402は、保護シリンダ410および411を同心に貫通する。保護シリンダ410および411は、ベースプレート418に固定される。シールド416ならびに保護シリンダ410および411は、ポリシングプロセスからのスラリーがクラッチ404や他の下方の機構の動作に干渉しないようにするラビリンスシール401を形成する。
搬送ロボット122は、チューブシャフト402に固定されてチューブシャフト402と共に回転するカムプレート420を更に備えている。カムプレート420は、インターロックアセンブリ422およびピン423と相互作用する。インターロックアセンブリ422は、搬送ロボット122がウェーハロード/アンロードアセンブリ104の方向に回転できないようにして、ロード/アンロードアセンブリ104がウェーハ400を研磨ヘッドにロードしているときに接触できないようにする。ロード/アンロードアセンブリ104は、シャフト452を駆動してウェーハ400を研磨ヘッドへ持ち上げる垂直アクチュエータ450を備えている。シャフト452は、インターロックカム422に当接するリニアカム454を有する。ロード/アンロードアセンブリ104が上昇すると、インターロックカム454がピボット456上で外方に回転させられる。この回転によって、インターロックカム454の外側エッジがカムプレート420と相互作用する。図6に示すように、カムプレート420は、搬送ロボット122がバッファステーション間で自由に回転できるような不規則な形状を有する。しかしながら、搬送ロボット122がロード/アンロードアセンブリ104の方向に回転すると、カムプレート420がインターロックアセンブリ422と当接し、回転が停止させられる。回転が停止させられると、クラッチ404が滑るので、搬送ロボット122はロード/アンロードアセンブリ104に衝突しない。
図4に戻ると、搬送ロボット122は3つの垂直位置で作業を行う。ダウン位置は、ロード/アンロードアセンブリ104またはバッファステーション120Aもしくは120Bからウェーハを取り出したり、そこにウェーハを配置するために使用される位置である。ピン423は、カムプレート420中の孔およびスロットと相互作用して、搬送ロボット122がダウン位置にあるときに回転しないようにし、また搬送ロボット122がその角度位置でロード/アンロードアセンブリ104ならびにバッファステーション120Aおよび120Bまで下降するようにする。ピン423が孔またはスロット中にあるときは、搬送ロボット122は回転することができない。中間位置では、カムプレート420がピン423と相互作用せず、ウェーハロード/アンロードアセンブリ104がウェーハ400を研磨ヘッド110にロードしているのでなければ、搬送ロボット122は約350°自由に回転することができる。最後に、アップ位置では(この位置は、搬送ロボット122がバッファステーションに位置合わせされる間に入出力ロボット116がバッファステーションにアクセスできるようにするために使用される)、搬送ロボット122はバッファステーションの近くで回転することができる。しかしながら、フランジ458は、搬送ロボット122がウェーハロード/アンロードアセンブリ104の方向に回転しようとすると、カムプレート420に当接することになる。これによって、搬送ロボット122は、アップ位置で回転する間、研磨ヘッド110に衝突することはできなくなる。
バッファステーション120は、ベースプレート418の上方で複数のボルト428によって支持されるウェーハ支持体426を備えている。ウェーハ支持体426中のボア432はボルト428の直径よりはるかに大きいので、ウェーハ支持体426はベースプレート418に対して横方向に動くことができる。この特徴によって、バッファステーションを、セットアップ中に搬送ロボットの位置によって指定される下げ降ろし位置または取り上げ位置において、搬送ロボット122の半径方向位置および角度位置と位置合わせすることができる。ウェーハ400が搬送ロボットグリッパ中でウェーハ移動のために望ましい位置にある状態で、バッファステーションは、支持されたウェーハの下方に配置され、搬送ロボット122は、ウェーハ400を搬送ロボット122上の調節ねじによって固定された設定垂直距離まで下降させる。ウェーハ支持体426は、保持されたウェーハと同心になるように縦方向および横方向に位置合わせされる。ウェーハ支持体は、ファスナによってベースプレートに固定される。
図5は、ウェーハ支持体426の平面図を示している。ウェーハ支持体426は、平面形状が円形であり、外周リップ500、3つの切欠502A、502Bおよび502C、取付けボルト428、ならびにウェーハ支持ピン506A、506B、および506Cを備えている。外周リップ500は、ウェーハが3つのウェーハ支持ピンによって支えられているときに支持体から滑り落ちないように、ウェーハ支持体426の中心部508の平面から上に立ち上がっている。入出力ロボット116によるウェーハ支持体426へのアクセスを可能にするために、リップ500にはギャップ504が存在する。切欠き502A、502B、および502Cは、グリッパフィンガがウェーハにアクセスできるようにするために設けられている。
ウェーハは、中心部508の平面の上方でピン506A、506Bおよび506Cによって支えられる。これらのピンは、中実であってもよいが、ウェーハ検出を容易にするために中空となっている。このため、流体(水)がピンの中の通路を通してポンプ輸送される。この水の流れは、水が存在するときの流れの変化を検出するために監視される。このような流れの変化は、ウェーハがバッファステーションに配置された時点を指示するために使用される。ウェーハおよび支持ピン間の小さな流体(水)の膜は、ウェーハがピンと接触せず、従ってウェーハ表面への粒子汚染を最小限に抑えることを保証する。ウェーハ検出技術の詳細な説明は、1999年6月14日に出願され一般譲渡された米国特許出願第60/139,144号(代理人整理番号3650)に記載されており、この出願は本明細書に援用される。
本発明の教示を取り入れた上記の実施形態を本明細書で詳細に図示して説明してきたが、当業者は、この教示を依然として取り入れつつ、本発明の趣旨から逸脱することなく、他の変形例を容易に考案することができる。
100…ポリッシャ、102…カルーセル、104…ウェーハロード/アンロードアセンブリ、106…研磨ステーション、108…搬送ステーション、110…研磨ヘッド、120A、120B…バッファステーション、114…ウェーハ、116…入出力ロボット、118…グリッパ。
Claims (15)
- ケミカルメカニカルポリシングシステムにおいてワークピースを配置する装置であって、
中央シャフトの中間点に取り付けられた固定アームアセンブリと、前記固定アームの第1の端部に取り付けられた第1のグリッパアセンブリと、前記固定アームの第2の端部に取り付けられた第2のグリッパアセンブリとを有するロボットと、
前記ワークピースを、前記第1のグリッパまたは前記第2のグリッパから受け取るように構成された中央部分を有するバッファステーションであって、前記中央部分の周囲から延びる不連続の外周リップを有する、バッファステーションと、
前記バッファステーションの前記中央部分と前記リップとで画定され、前記周囲に関して放射状に配置された複数の切欠であって、各切欠の一部が前記バッファステーションの前記中央部分に形成されている、複数の切欠と
を備えている装置。 - 前記中央部分から放射状に前記外周リップ内部のほうへ延びる複数のワークピース支持ピンを更に備えている、請求項1記載の装置。
- 前記複数のワークピース支持ピンのうちの少なくとも一つが中空ピンである、請求項2記載の装置。
- 前記中空ピンに、ワークピース検出システムが取り付けられている、請求項3記載の装置。
- 前記ワークピース検出システムが、
前記中空ピンに取り付けられた流体源と、
前記流体源と前記中空ピンとの間を流れる流体の流計量の変化を検出するように構成されたセンサと
を更に備えている、請求項4記載の装置。 - 前記第1のグリッパアセンブリが、エッジコンタクトグリッパを更に備えている、請求項4記載の装置。
- 前記第1の端部と前記第2の端部とが、互いに直角になるように配置されている、請求項4記載の装置。
- 前記中央シャフトと結合するスリップクラッチを有する回転自在のチューブシャフトを更に備えている、請求項4記載の装置。
- 前記チューブシャフトに固定されたカムシャフトと、
インターロックアセンブリおよびピンと
を更に備えており、
前記インターロックアセンブリおよび前記ピンは、前記アームアセンブリの回転を防ぐ位置で前記カムプレートと選択的に係合している、請求項8記載の装置。 - 前記チューブシャフトを囲むシールドと、
前記チューブシャフトのまわりに同心に配置された第1シリンダおよび第2シリンダと、
を更に備えており、
前記シールド、前記第1シリンダおよび前記第2シリンダがラビリンスシールを形成している、請求項8記載の装置。 - ケミカルメカニカルポリッシャにおいてワークピースを配置する装置であって、
ベースと、
前記ベースに取り付けられた少なくとも一つのプラテンと、
前記プラテンの上方に支持された少なくとも一つの研磨ヘッドと、
前記プラテンに隣接する前記ベースに取り付けられた第1のバッファステーションであって、前記ワークピースを、前記第1のグリッパまたは前記第2のグリッパから受け取るように構成された中央部分を有し、且つ、前記中央部分の周囲から延びる不連続の外周リップを有する、第1のバッファステーションと、
中央シャフトの中間点に取り付けられた固定アームアセンブリと、前記固定アームの第1の端部に取り付けられた第1のグリッパアセンブリと、前記固定アームの第2の端部に取り付けられた第2のグリッパアセンブリとを有するロボットと
を備えている装置。 - 前記ベース上に配置された第2のバッファステーションおよびロードカップを更に備えている、請求項11記載の装置。
- 前記第1の端部と前記第2の端部とが、互いに直角になるように配置されている、請求項12記載の装置。
- 前記中央部分から放射状に前記外周リップ内部のほうへ延びる複数のワークピース支持ピンを更に備えている、請求項12記載の装置。
- 前記複数のワークピース支持ピンのうちの少なくとも一つが、
通路を画成する中空シャフトと、
前記通路と連通された流体源と、
前記ピンの内部に配置された、前記通路と前記流体源との間を流れる流体の流計量の変化を検出するように構成されたセンサと
を備えている、請求項14記載の装置。
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