JP2541902B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JP2541902B2 JP2541902B2 JP5082041A JP8204193A JP2541902B2 JP 2541902 B2 JP2541902 B2 JP 2541902B2 JP 5082041 A JP5082041 A JP 5082041A JP 8204193 A JP8204193 A JP 8204193A JP 2541902 B2 JP2541902 B2 JP 2541902B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばスパッタリン
グなどの表面処理が施される、或いは施された、基板を
基板支持具と、複数の基板を保持するパレットの間で搬
送する装置に関する。
グなどの表面処理が施される、或いは施された、基板を
基板支持具と、複数の基板を保持するパレットの間で搬
送する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、基板の表面処理をする場合、複数
の未処理基板を収納した基板収納カセットから、基板支
持具を介して基板を１枚ずつ取り出して、パレットに複
数枚（例えば８枚）の基板を装着し、このパレットを表
面処理装置へセットする。また、表面処理を完了した際
には、パレットから基板を１枚ずつ脱着して、前記と同
様の基板支持具を介して順次基板収納カセットへ収納
し、次工程へ運搬している。
の未処理基板を収納した基板収納カセットから、基板支
持具を介して基板を１枚ずつ取り出して、パレットに複
数枚（例えば８枚）の基板を装着し、このパレットを表
面処理装置へセットする。また、表面処理を完了した際
には、パレットから基板を１枚ずつ脱着して、前記と同
様の基板支持具を介して順次基板収納カセットへ収納
し、次工程へ運搬している。
【０００３】前記基板支持具とパレット間の基板の搬送
は多関節型のロボットに基板把持具を設けた基板搬送装
置で行うことが知られている。また、多関節型のロボッ
トは装置が複雑で、かつ大型化する不利がある為、特開
平３−１４１０２２号に開示されたような、構造を簡易
化した基板搬送装置が提案されるに至っている。
は多関節型のロボットに基板把持具を設けた基板搬送装
置で行うことが知られている。また、多関節型のロボッ
トは装置が複雑で、かつ大型化する不利がある為、特開
平３−１４１０２２号に開示されたような、構造を簡易
化した基板搬送装置が提案されるに至っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】近年、スパッタリング
装置その他の表面処理装置の高スループット化が図られ
ており、これに伴なって、基板搬送装置も高速化が要請
されるに至っている。
装置その他の表面処理装置の高スループット化が図られ
ており、これに伴なって、基板搬送装置も高速化が要請
されるに至っている。
【０００５】従って、多関節型のロボットによる基板搬
送装置では大型である為、基板把持具の移動範囲が大き
くなり、高速化に対応することが難しかった。
送装置では大型である為、基板把持具の移動範囲が大き
くなり、高速化に対応することが難しかった。
【０００６】また、特開平３−１４１０２２号で開示さ
れた簡易型の基板搬送装置は、基板把持具の移動範囲を
小さくして搬送の高速化に有効であったが、パレット側
の基板装着部との受渡しが考慮されておらず、この点の
改良が必要であった。
れた簡易型の基板搬送装置は、基板把持具の移動範囲を
小さくして搬送の高速化に有効であったが、パレット側
の基板装着部との受渡しが考慮されておらず、この点の
改良が必要であった。
【０００７】前記パレットは、通常、基板の外径より大
きな径の開口部内周に、複数（３〜４個）のバネ製押え
爪を設けて、基板の外縁をバネ製押え爪で弾持するよう
にしており、このような基板装着部への受渡しが高速で
行なえるようにすることが必要であった。
きな径の開口部内周に、複数（３〜４個）のバネ製押え
爪を設けて、基板の外縁をバネ製押え爪で弾持するよう
にしており、このような基板装着部への受渡しが高速で
行なえるようにすることが必要であった。
【０００８】
【課題を解決する為の手段】この発明は前記のような問
題点に鑑みてなされたもので、複数の基板を保持するパ
レットと、基板収納カセットへ基板を出入れする基板支
持具との間で、基板の搬送を高速にできる基板搬送装置
を提供することを目的としている。
題点に鑑みてなされたもので、複数の基板を保持するパ
レットと、基板収納カセットへ基板を出入れする基板支
持具との間で、基板の搬送を高速にできる基板搬送装置
を提供することを目的としている。
【０００９】斯る目的を達成するこの発明の基板搬送装
置は、基板支持具と、複数の基板を保持するパレットの
間で、基板を搬送する装置において、前記基板支持具の
受渡し位置とパレットの間に設置した回動テーブルに、
基板把持具が搭載してあり、該基板把持具が回動テーブ
ル上で昇降可能としてあると共に、回動テーブルの内外
方向に進退可能としてあることを特徴としている。
置は、基板支持具と、複数の基板を保持するパレットの
間で、基板を搬送する装置において、前記基板支持具の
受渡し位置とパレットの間に設置した回動テーブルに、
基板把持具が搭載してあり、該基板把持具が回動テーブ
ル上で昇降可能としてあると共に、回動テーブルの内外
方向に進退可能としてあることを特徴としている。
【００１０】前記基板把持具は、複数位置で停止可能と
した昇降機構で昇降可能とすることが望ましい。
した昇降機構で昇降可能とすることが望ましい。
【００１１】また、基板把持具は、回動テーブル上に、
複数、搭載し、夫々独立して昇降および進退可能に構成
することもできる。
複数、搭載し、夫々独立して昇降および進退可能に構成
することもできる。
【００１２】
【作用】この発明の基板搬送装置によれば、基板把持具
の移動範囲が小さいので、高速の基板搬送ができるのに
加えて、昇降機構を介して基板を昇降させることによ
り、パレットのバネ片で弾持する構造の基板装着部への
装着動作も高速化することができる。
の移動範囲が小さいので、高速の基板搬送ができるのに
加えて、昇降機構を介して基板を昇降させることによ
り、パレットのバネ片で弾持する構造の基板装着部への
装着動作も高速化することができる。
【００１３】回動テーブル上に基板把持具を複数搭載し
た場合には、基板支持具とパレットの間の基板搬送を、
各基板把持具毎に並行して行うことができる。
た場合には、基板支持具とパレットの間の基板搬送を、
各基板把持具毎に並行して行うことができる。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の実施例を図を参照して説明
する。図１が実施例の基板搬送装置の構成を示した図で
あって、回動テーブル１に２台の基板把持具２が互いに
背中合わせの状態で搭載され、回動テーブル１を１８０
度の角度で回動させることによって、各基板把持具２の
位置が入れ替わるようになっている。図中３は環状の基
板、４は基板収納カセット、５は基板収納カセット４か
ら基板３を１枚ずつ取り出したり、或いは基板３を１枚
ずつ基板収納カセット４へ装入する基板支持具、６はパ
レットである。また、Ａは基板支持具５の基板把持具２
に対する受渡し位置、Ｂはパレット６の基板装着部であ
る。
する。図１が実施例の基板搬送装置の構成を示した図で
あって、回動テーブル１に２台の基板把持具２が互いに
背中合わせの状態で搭載され、回動テーブル１を１８０
度の角度で回動させることによって、各基板把持具２の
位置が入れ替わるようになっている。図中３は環状の基
板、４は基板収納カセット、５は基板収納カセット４か
ら基板３を１枚ずつ取り出したり、或いは基板３を１枚
ずつ基板収納カセット４へ装入する基板支持具、６はパ
レットである。また、Ａは基板支持具５の基板把持具２
に対する受渡し位置、Ｂはパレット６の基板装着部であ
る。
【００１５】パレット６は円盤状であって、その周縁部
に基板装着部Ｂが複数、等間隔で形成されているもの
で、各基板装着部Ｂは図２のように構成されている。
に基板装着部Ｂが複数、等間隔で形成されているもの
で、各基板装着部Ｂは図２のように構成されている。
【００１６】即ち円盤の周縁部に形成した開口部７の内
縁に、Ｌ字状に屈曲させた２個の固定バネ８ａ、８ｂ
と、固定バネ８ａ、８ｂと対向させた１個の開閉バネ８
ｃが、夫々端縁を内向きにして設けて構成されている。
基板３を装着又は脱着する際には、開閉バネ８ｃと基板
３の間に開閉ピン９を挿入し、該開閉ピン９を介して開
閉バネ８ｃを鎖線図示の位置に移動させて、基板３と各
バネ８ａ、８ｂ、８ｃの係合を解くようにする。各バネ
８ａ、８ｂ、８ｃの端縁は図２（ｂ）に示したような直
線縁１０ａの場合と、図２（ｃ）に示したようなＶ字状
の切欠縁１０ｂの場合とがある。
縁に、Ｌ字状に屈曲させた２個の固定バネ８ａ、８ｂ
と、固定バネ８ａ、８ｂと対向させた１個の開閉バネ８
ｃが、夫々端縁を内向きにして設けて構成されている。
基板３を装着又は脱着する際には、開閉バネ８ｃと基板
３の間に開閉ピン９を挿入し、該開閉ピン９を介して開
閉バネ８ｃを鎖線図示の位置に移動させて、基板３と各
バネ８ａ、８ｂ、８ｃの係合を解くようにする。各バネ
８ａ、８ｂ、８ｃの端縁は図２（ｂ）に示したような直
線縁１０ａの場合と、図２（ｃ）に示したようなＶ字状
の切欠縁１０ｂの場合とがある。
【００１７】図１において１１は前記開閉ピン９の駆動
装置で、基板装着部Ｂに離接する方向の水平移動機構１
２（例えば移動シリンダ）にブラケット１３を介して昇
降機構１４（例えばシリンダ）が搭載され、昇降機構１
４に開閉ピン９が連結されている。
装置で、基板装着部Ｂに離接する方向の水平移動機構１
２（例えば移動シリンダ）にブラケット１３を介して昇
降機構１４（例えばシリンダ）が搭載され、昇降機構１
４に開閉ピン９が連結されている。
【００１８】また、１５はパレット６の回転機構（例え
ばサーボモータ）で、円盤状のパレット６を間欠回転
し、複数、等間隔で形成した開口部７の基板装着部Ｂを
順次、開閉ピン９と対向する位置に移動できるようにな
っている。回転機構１５は水平移動機構１６（例えば移
動シリンダ）で、パレット６に対して離接して係脱でき
るようになっている。
ばサーボモータ）で、円盤状のパレット６を間欠回転
し、複数、等間隔で形成した開口部７の基板装着部Ｂを
順次、開閉ピン９と対向する位置に移動できるようにな
っている。回転機構１５は水平移動機構１６（例えば移
動シリンダ）で、パレット６に対して離接して係脱でき
るようになっている。
【００１９】前記回動テーブル１に搭載した基板把持具
２は、ヘッド１７と該ヘッド１７で拡開・縮小の姿勢制
御される把持爪１８を備えているもので、夫々、回動テ
ーブル１に設置した水平移動機構１９（例えば移動シリ
ンダ）にＬ形ブラケット２０を介して設けた昇降機構２
１（例えば多位置形シリンダ）のロッド２２に逆Ｌ字形
のブラケット２３を介して連絡されて、回動テーブル１
の内外方向へ進退可能とされていると共に、回動テーブ
ル１上で昇降可能とされている。
２は、ヘッド１７と該ヘッド１７で拡開・縮小の姿勢制
御される把持爪１８を備えているもので、夫々、回動テ
ーブル１に設置した水平移動機構１９（例えば移動シリ
ンダ）にＬ形ブラケット２０を介して設けた昇降機構２
１（例えば多位置形シリンダ）のロッド２２に逆Ｌ字形
のブラケット２３を介して連絡されて、回動テーブル１
の内外方向へ進退可能とされていると共に、回動テーブ
ル１上で昇降可能とされている。
【００２０】実施例の昇降機構２１の場合、多位置形シ
リンダによって基板把持具２は、上、中、下段の３つの
位置に停止できるようになっている。
リンダによって基板把持具２は、上、中、下段の３つの
位置に停止できるようになっている。
【００２１】次に上記実施例の基板搬送装置の、基板支
持具５からパレット６へ基板３を搬送する動作を説明す
る。尚、基板支持具５は図示しない昇降機構と水平移動
機構によって、基板収納カセット４の長手方向（図１の
左右方向）に水平移動すると共に、基板収納カセット４
の下方位置と上方位置の間で昇降し、基板収納カセット
４内に支持された複数枚（例えば２５枚）の基板３を１
枚ずつ支持ブロック５ａに支承して、受渡し位置Ａへ移
送ができるものであり、また、この逆の移送も可能のも
のである。
持具５からパレット６へ基板３を搬送する動作を説明す
る。尚、基板支持具５は図示しない昇降機構と水平移動
機構によって、基板収納カセット４の長手方向（図１の
左右方向）に水平移動すると共に、基板収納カセット４
の下方位置と上方位置の間で昇降し、基板収納カセット
４内に支持された複数枚（例えば２５枚）の基板３を１
枚ずつ支持ブロック５ａに支承して、受渡し位置Ａへ移
送ができるものであり、また、この逆の移送も可能のも
のである。
【００２２】２台の基板把持具２の初期状態は、夫々、
中段位置で、かつ回動テーブル１の内側へ退避した状態
とする。また、把持爪１８は縮小した状態とする。
中段位置で、かつ回動テーブル１の内側へ退避した状態
とする。また、把持爪１８は縮小した状態とする。
【００２３】先ず基板支持具５を介して基板収納カセッ
ト４内の基板３を基板受渡し位置Ａへ移送する。この位
置で基板３の中心と基板把持具２の把持爪１８の中心が
一致するようになっている。
ト４内の基板３を基板受渡し位置Ａへ移送する。この位
置で基板３の中心と基板把持具２の把持爪１８の中心が
一致するようになっている。
【００２４】次に、基板受渡し位置Ａに対向した基板把
持具２を回動テーブル１の外側に進出させると共に、把
持爪１８をヘッド１７を介して拡開させて、基板支持具
５に支承された基板３を把持する。これで、基板支持具
５から基板把持具２への受渡しが完了するので、基板支
持具５は、次の基板移送動作を行なわせる一方、基板把
持具２は回動テーブル１を１８０度回動させて、把持し
た基板３を基板装着部Ｂ側へ搬送する。
持具２を回動テーブル１の外側に進出させると共に、把
持爪１８をヘッド１７を介して拡開させて、基板支持具
５に支承された基板３を把持する。これで、基板支持具
５から基板把持具２への受渡しが完了するので、基板支
持具５は、次の基板移送動作を行なわせる一方、基板把
持具２は回動テーブル１を１８０度回動させて、把持し
た基板３を基板装着部Ｂ側へ搬送する。
【００２５】回動テーブル１の回動動作中、基板３を把
持した基板把持具２は、昇降機構２１を介して下段位置
に移動させる一方、パレット６の基板装着部Ｂに対し
て、前記開閉ピン９をパレット６側へ移動させると共
に、下方へ降下させて、開閉バネ８ｃを図２（ａ）の鎖
線図示の位置に移動させる。
持した基板把持具２は、昇降機構２１を介して下段位置
に移動させる一方、パレット６の基板装着部Ｂに対し
て、前記開閉ピン９をパレット６側へ移動させると共
に、下方へ降下させて、開閉バネ８ｃを図２（ａ）の鎖
線図示の位置に移動させる。
【００２６】次に、基板把持具２を進出させて、基板３
を基板装着部Ｂ内へ装入した後、昇降機構２１を介して
下段位置にある基板把持具２を上段位置まで上昇させ
て、基板３の外縁を固定バネ８ａ、８ｂへ押し当てる。
続いて、前記開閉ピン９を上昇させて、開閉バネ８ｃを
基板３の外縁に係合させた後、開閉ピン９はパレット６
外へ退避させると共に、基板把持具２は、把持爪１８を
縮小させ、かつ回動テーブル１の内側に退避させて、基
板３の基板装着部Ｂへの装着を完了する。
を基板装着部Ｂ内へ装入した後、昇降機構２１を介して
下段位置にある基板把持具２を上段位置まで上昇させ
て、基板３の外縁を固定バネ８ａ、８ｂへ押し当てる。
続いて、前記開閉ピン９を上昇させて、開閉バネ８ｃを
基板３の外縁に係合させた後、開閉ピン９はパレット６
外へ退避させると共に、基板把持具２は、把持爪１８を
縮小させ、かつ回動テーブル１の内側に退避させて、基
板３の基板装着部Ｂへの装着を完了する。
【００２７】基板３の装着に際し、基板把持具２が中段
位置において、基板３の外縁と固定バネ８ａ、８ｂの端
縁が係合する位置関係としてあるが、固定バネ８ａ、８
ｂには、形状のバラツキおよび取付状態のバラツキが避
けられないので、基板把持具２は上段位置へ移動させ
て、固定バネ８ａ、８ｂと基板３の外縁を確実に係合さ
せて、確実な装着ができるようにしたものである。尚、
中段位置と上段位置の距離は０．５〜１mm程度で十分で
ある。
位置において、基板３の外縁と固定バネ８ａ、８ｂの端
縁が係合する位置関係としてあるが、固定バネ８ａ、８
ｂには、形状のバラツキおよび取付状態のバラツキが避
けられないので、基板把持具２は上段位置へ移動させ
て、固定バネ８ａ、８ｂと基板３の外縁を確実に係合さ
せて、確実な装着ができるようにしたものである。尚、
中段位置と上段位置の距離は０．５〜１mm程度で十分で
ある。
【００２８】前記のようにして基板３を基板装着部Ｂへ
装着している間に、基板の受渡し位置Ａでは次の基板３
の受渡し動作を完了しているので、以下回動テーブル１
を１８０度回動させて、同様の基板搬送、装着を繰り返
すことができる。回動テーブル１の回動に際して、基板
の装着を完了した基板把持具２は、中断位置へ移動させ
る一方、パレット６は回転機構１５を介して、次の基板
装着部Ｂを回動テーブル１および開閉ピン９に対向する
位置へ移動させる。
装着している間に、基板の受渡し位置Ａでは次の基板３
の受渡し動作を完了しているので、以下回動テーブル１
を１８０度回動させて、同様の基板搬送、装着を繰り返
すことができる。回動テーブル１の回動に際して、基板
の装着を完了した基板把持具２は、中断位置へ移動させ
る一方、パレット６は回転機構１５を介して、次の基板
装着部Ｂを回動テーブル１および開閉ピン９に対向する
位置へ移動させる。
【００２９】パレット６に装着されている基板３を基板
収納カセット４へ搬送する動作は、前記の動作と略逆の
動作を行うことで可能である。
収納カセット４へ搬送する動作は、前記の動作と略逆の
動作を行うことで可能である。
【００３０】次に図３は、この発明の実施例の基板搬送
装置を用いて構成した基板処理システムの構成図であ
る。前記基板収納カセット４と別の多数の基板収納カセ
ット２４を矢示２５の方向に順次移送するカセット移送
ライン２６に沿って、ロードステージ２７とアンロード
ステージ２８が設置してあり、各ステーション２７、２
８に、夫々、前記実施例の基板搬送装置２９が２組ずつ
設置してある。基板搬送装置２９に付随させた基板収納
カセット４と移送ライン２６の間には、複数枚の基板を
一括して移す基板移載装置３０が設置してあり、基板収
納カセット４、２４間の基板の移し替えが可能になって
いる。
装置を用いて構成した基板処理システムの構成図であ
る。前記基板収納カセット４と別の多数の基板収納カセ
ット２４を矢示２５の方向に順次移送するカセット移送
ライン２６に沿って、ロードステージ２７とアンロード
ステージ２８が設置してあり、各ステーション２７、２
８に、夫々、前記実施例の基板搬送装置２９が２組ずつ
設置してある。基板搬送装置２９に付随させた基板収納
カセット４と移送ライン２６の間には、複数枚の基板を
一括して移す基板移載装置３０が設置してあり、基板収
納カセット４、２４間の基板の移し替えが可能になって
いる。
【００３１】また、ロードステージ２７およびアンロー
ドステージ２８の後方には、パレット６を矢示３１の方
向に移送するパレット移送ライン３２が設置してあり、
ロードステージ２７およびアンロードステージ２８と対
応する位置に、パレット６の回転機構１５と開閉ピン９
の駆動装置１１が設置してある。ロードステージ２７を
経て矢示３１の方向に移送されるパレット６は、図示し
ていない処理装置（例えばスパッタリング装置等）へ送
られて表面処理が行なわれた後、アンロードステージ２
８の上流側からアンロードステージ２８へと移送される
ようになっている。
ドステージ２８の後方には、パレット６を矢示３１の方
向に移送するパレット移送ライン３２が設置してあり、
ロードステージ２７およびアンロードステージ２８と対
応する位置に、パレット６の回転機構１５と開閉ピン９
の駆動装置１１が設置してある。ロードステージ２７を
経て矢示３１の方向に移送されるパレット６は、図示し
ていない処理装置（例えばスパッタリング装置等）へ送
られて表面処理が行なわれた後、アンロードステージ２
８の上流側からアンロードステージ２８へと移送される
ようになっている。
【００３２】未処理基板を収納した基板収納カセット２
４をカセット投入位置３４へセットすると、カセット移
送ライン２６でロードステージ２７へ移送され、基板移
載装置３０によって未処理基板がロードステージ２７に
設けた基板収納カセット４側に移載された後、前記に説
明した動作によって、基板が１枚ずつパレット６の基板
装着部Ｂへ搬送、装着される。２組の基板搬送装置２９
が並行動作するので、例えば円盤の周縁に沿って８個の
基板装着部が形成されたパレットに対しては、４回の搬
送、装着動作で、装着動作が完了する。
４をカセット投入位置３４へセットすると、カセット移
送ライン２６でロードステージ２７へ移送され、基板移
載装置３０によって未処理基板がロードステージ２７に
設けた基板収納カセット４側に移載された後、前記に説
明した動作によって、基板が１枚ずつパレット６の基板
装着部Ｂへ搬送、装着される。２組の基板搬送装置２９
が並行動作するので、例えば円盤の周縁に沿って８個の
基板装着部が形成されたパレットに対しては、４回の搬
送、装着動作で、装着動作が完了する。
【００３３】ロードステージ２７で空になった基板収納
カセット２４は、カセット移送ライン２６の待期位置３
５で処理済基板の回収に備える。
カセット２４は、カセット移送ライン２６の待期位置３
５で処理済基板の回収に備える。
【００３４】表面処理が終了してアンロードステージ２
８に移送されたパレット６に対しては、基板搬送装置２
９が前記と逆の動作により、基板の脱着、搬送を行う。
アンロードステージ２８に設置した基板収納カセット４
に一定数（例えば２５枚）の基板が溜ると、基板移載装
置３０が動作して、基板収納カセット４内の基板を一括
して、カセット移送ライン２６側の基板収納カセット２
４へ移す。処理済の基板を収納したカセット２４は、カ
セット移送ライン２６のカセット回収位置３６で回収さ
れる。
８に移送されたパレット６に対しては、基板搬送装置２
９が前記と逆の動作により、基板の脱着、搬送を行う。
アンロードステージ２８に設置した基板収納カセット４
に一定数（例えば２５枚）の基板が溜ると、基板移載装
置３０が動作して、基板収納カセット４内の基板を一括
して、カセット移送ライン２６側の基板収納カセット２
４へ移す。処理済の基板を収納したカセット２４は、カ
セット移送ライン２６のカセット回収位置３６で回収さ
れる。
【００３５】アンロードステージ２８で、基板が脱着さ
れたパレット６はパレット移送ライン３２でロードステ
ージ２７へ移送されて、前記と同様にして、基板の装着
が行なわれ、以下同様の動作が繰り返し行なわれる。
れたパレット６はパレット移送ライン３２でロードステ
ージ２７へ移送されて、前記と同様にして、基板の装着
が行なわれ、以下同様の動作が繰り返し行なわれる。
【００３６】図３に示した基板処理システムでは、８枚
の基板の装着部を形成したパレット６に対して、１時間
当り８００枚の基板を搬送、装着および脱着、搬送する
ことができた。
の基板の装着部を形成したパレット６に対して、１時間
当り８００枚の基板を搬送、装着および脱着、搬送する
ことができた。
【００３７】尚、以上の実施例では、パレット６は円盤
状でその周縁に沿って基板装着部Ｂを形成したものとし
たが、図４に示したように、方形盤体３７内に、縦横に
基板装着部Ｂを形成したパレット３８であっても、前記
回転機構１５を、別の位置決め機構（例えば二次元又は
三次元移動機構）とすることで、この発明の基板搬送装
置と組合せることができる。
状でその周縁に沿って基板装着部Ｂを形成したものとし
たが、図４に示したように、方形盤体３７内に、縦横に
基板装着部Ｂを形成したパレット３８であっても、前記
回転機構１５を、別の位置決め機構（例えば二次元又は
三次元移動機構）とすることで、この発明の基板搬送装
置と組合せることができる。
【００３８】また、回動テーブル１の回動角度は１８０
度の場合について説明したが、基板把持具２を３台とし
て１２０度毎の回動としたり、基板把持具２を４台とし
て、９０度毎の回動とするなどの変更が可能である。
度の場合について説明したが、基板把持具２を３台とし
て１２０度毎の回動としたり、基板把持具２を４台とし
て、９０度毎の回動とするなどの変更が可能である。
【００３９】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば、回動テーブルに搭載した基板把持具を回動テーブル
上で昇降および進退可能としたので、基板把持具と基板
支持具間の基板受渡しおよび基板把持具とパレットの基
板装着部間の基板の装脱着が、円滑、確実にでき、基板
支持具とパレット間の基板搬送を高速化し、高スループ
ット化した表面処理装置に対応する効果がある。
ば、回動テーブルに搭載した基板把持具を回動テーブル
上で昇降および進退可能としたので、基板把持具と基板
支持具間の基板受渡しおよび基板把持具とパレットの基
板装着部間の基板の装脱着が、円滑、確実にでき、基板
支持具とパレット間の基板搬送を高速化し、高スループ
ット化した表面処理装置に対応する効果がある。
【００４０】回動テーブルに基板把持具を複数搭載すれ
ば、基板の受渡しと、パレットへの装着又は脱着を並行
して行なうことができるので、一層の高速化が可能であ
る。
ば、基板の受渡しと、パレットへの装着又は脱着を並行
して行なうことができるので、一層の高速化が可能であ
る。
【図１】この発明の実施例の構成図である。
【図２】同じく実施例のパレットの図で、（ａ）は一部
正面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線における一部断面
図、（ｃ）は固定バネを変更した場合の、（ｂ）と同一
箇所の断面図である。
正面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線における一部断面
図、（ｃ）は固定バネを変更した場合の、（ｂ）と同一
箇所の断面図である。
【図３】この発明の実施例を用いた基板処理システムの
一部構成図である。
一部構成図である。
【図４】パレットの別の実施例の正面図である。
１ 回動テーブル ２ 基板把持具 ３ 基板 ４ 基板収納カセット ５ 基板支持具 ６ パレット ７ 開口部 ８ａ、８ｂ 固定バネ ８ｃ 開閉バネ ９ 開閉ピン １１ 駆動装置 １２ 水平移動機構 １４ 昇降機構 １５ 回転機構 １６ 水平移動機構 １７ ヘッド １８ 把持爪 １９ 水平移動機構 ２１ 昇降機構 ２２ ロッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小川 敦 神奈川県横浜市神奈川区新浦島町１丁目 １番地25 日本電気ロボットエンジニア リング株式会社内 (72)発明者 諸田 昇 神奈川県横浜市神奈川区新浦島町１丁目 １番地25 日本電気ロボットエンジニア リング株式会社内 (56)参考文献 実開 平２−132657（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】 基板支持具と、複数の基板を保持するパ
レットの間で、基板を垂直方向に保持した状態で搬送す
る装置において、前記基板支持具の受渡し位置とパレッ
トの間に設置した回動テーブルに複数の基板把持具が基
板把持具が基板を保持する把持爪を夫々回動テーブルの
外方向に向かうように搭載してあり、該基板把持具が回
動テーブル上で夫々独立して昇降可能としてあると共
に、回動テーブルの内外方向に夫々独立して進退可能と
してあることを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項２】 基板把持具は、複数位置で停止可能とし
た昇降機構で昇降可能としてある請求項１記載の基板搬
送装置。 - 【請求項３】 前記基板把持具が、ヘッドと該ヘッドで
拡開・縮小の姿勢制御される把持爪を備えると共に夫々
回動テーブルに設置した水平移動機構にＬ形ブラケット
を介して設けた昇降機構のロッドに逆Ｌ形のブラケット
を介して連結されていることを特徴とする請求項１又は
２に記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5082041A JP2541902B2 (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5082041A JP2541902B2 (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06293970A JPH06293970A (ja) | 1994-10-21 |
| JP2541902B2 true JP2541902B2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=13763440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5082041A Expired - Fee Related JP2541902B2 (ja) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2541902B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100868486B1 (ko) * | 2008-02-29 | 2008-11-12 | 최병수 | 인쇄회로기판 수납용 회동장치 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02132657U (ja) * | 1989-04-10 | 1990-11-05 |
-
1993
- 1993-04-08 JP JP5082041A patent/JP2541902B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06293970A (ja) | 1994-10-21 |
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