JP2011059482A5 - - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 42
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009210353A JP5455516B2 (ja) | 2009-09-11 | 2009-09-11 | 支持装置、光学装置、転写装置及びデバイス製造方法 |
| US12/876,921 US8064152B2 (en) | 2009-09-11 | 2010-09-07 | Supporting device, optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US13/172,695 US8508870B2 (en) | 2009-09-11 | 2011-06-29 | Supporting device, optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009210353A JP5455516B2 (ja) | 2009-09-11 | 2009-09-11 | 支持装置、光学装置、転写装置及びデバイス製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011059482A JP2011059482A (ja) | 2011-03-24 |
| JP2011059482A5 true JP2011059482A5 (enExample) | 2012-10-25 |
| JP5455516B2 JP5455516B2 (ja) | 2014-03-26 |
Family
ID=43730309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009210353A Expired - Fee Related JP5455516B2 (ja) | 2009-09-11 | 2009-09-11 | 支持装置、光学装置、転写装置及びデバイス製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US8064152B2 (enExample) |
| JP (1) | JP5455516B2 (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW201312297A (zh) * | 2011-09-12 | 2013-03-16 | Mapper Lithography Ip Bv | 用於提供二個或以上模組之調準堆疊之組件以及包含此組件之微影系統或顯微系統 |
| JP6209946B2 (ja) * | 2013-11-06 | 2017-10-11 | 三菱電機株式会社 | 光モジュール |
| CN107145040B (zh) * | 2017-06-30 | 2019-04-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 光学元件运动学支撑装置、投影物镜和光刻机 |
| US10911647B2 (en) * | 2018-11-12 | 2021-02-02 | Magna Electronics Inc. | Vehicular camera with thermal compensating means |
| CN112068277B (zh) * | 2020-08-31 | 2021-08-20 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大口径光学透镜的多级柔性支撑结构 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61226718A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-08 | Sharp Corp | 光学読取装置 |
| JP2532200Y2 (ja) * | 1990-05-25 | 1997-04-09 | 旭光学工業株式会社 | 円形部材の支持装置 |
| JPH0868899A (ja) | 1994-08-29 | 1996-03-12 | Nikon Corp | 光学素子の保持具 |
| JPH1096843A (ja) | 1996-09-19 | 1998-04-14 | Minolta Co Ltd | 光学素子保持構造 |
| JP3037163B2 (ja) * | 1996-11-26 | 2000-04-24 | キヤノン株式会社 | 光学素子支持装置、光学機器及びステッパー |
| JP4809987B2 (ja) * | 2000-03-30 | 2011-11-09 | キヤノン株式会社 | 光学要素の支持構造、それを用いた露光装置及び半導体デバイスの製造方法 |
| JP2006100315A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Canon Inc | 保持機構、光学装置、及びデバイス製造方法 |
| JP2006211251A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Ricoh Co Ltd | 画像読取レンズ、画像読取装置および画像形成装置 |
| WO2007020067A1 (en) * | 2005-08-16 | 2007-02-22 | Carl Zeiss Smt Ag | Immersion lithography objective |
| JP5055384B2 (ja) * | 2007-02-27 | 2012-10-24 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学結像装置 |
-
2009
- 2009-09-11 JP JP2009210353A patent/JP5455516B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-09-07 US US12/876,921 patent/US8064152B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-06-29 US US13/172,695 patent/US8508870B2/en not_active Expired - Fee Related
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