CN102540386A

CN102540386A - 一种动镜弹性支撑装置

Info

Publication number: CN102540386A
Application number: CN2012100262734A
Authority: CN
Inventors: 邢薇; 赵立新; 胡松; 王建; 李金龙
Original assignee: Institute of Optics and Electronics of CAS
Current assignee: Institute of Optics and Electronics of CAS
Priority date: 2012-02-07
Filing date: 2012-02-07
Publication date: 2012-07-04
Anticipated expiration: 2032-02-07
Also published as: CN102540386B

Abstract

本发明提供一种动镜弹性支撑装置，该装置包括：镜片框(1)、第一弹性支架(2K)、第二至第十五弹性支架(3K-16K)、镜片(200)、压圈(300)；镜片框(1)开有一圆孔(500)，并在底座(400)上设计有三个台阶作为对镜片(200)的三个刚性支撑点，分别为第一刚性支撑点(A)、第二刚性支撑点(B)、第三刚性支撑点(C)，每两个刚性支点之间均匀的安放五个弹性支架；以对镜片的重力进行卸载，释缓镜片内部的重力变形，以保证镜片的平面性，提高成像质量。

Description

一种动镜弹性支撑装置

技术领域

本发明涉及镜片弹性支撑的领域，具体涉及一种动镜弹性支撑装置，其为一种光刻机中物镜镜片的安装与调整，也可用于企业生产中对工件的安装检测与调试。

背景技术

在投影光刻机中，当它的像质已接近衍射极限时，物镜镜片细微的不平整度都会对像质产生不良的影响。镜片被安装在镜片框内，由于镜片框不可能被加工的完全平整，镜片与镜片框就会有因接触不上而使镜片处于悬空的地方，这样，当物镜装调完成后，在长期使用过程中这些悬空地方的镜片表面就会因受重力影响出现凹陷变形，造成物镜系统成像质量下降。因此，需要对镜片的重力进行释放，减小镜片的重力变形，保证镜片表面的平整度，提高成像质量，由此可以看出对镜片的支撑是十分重要的，为此，我们设计了一种动镜弹性支撑装置，以解决镜片的重力变形问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：提供一种动镜弹性支撑装置，使得动镜在长期使用过程中不会因重力的作用而产生凹陷变形，保证了镜片表面的平整度，保证像质和焦面稳定，保证了光刻质量。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种动镜弹性支撑装置，该装置包括：镜片框、第一弹性支架、第二至第十五弹性支架、镜片、压圈；镜片框开有一圆孔，并在底座上有三个均匀分布的台阶作为对镜片的三个刚性支撑点，分别为第一刚性支撑点、第二刚性支撑点、第三刚性支撑点，每两个刚性支点之间均匀的安放五个弹性支架，既在第一刚性支撑点与第二刚性支撑点之间安装有第一弹性支架、第二弹性支架、第三弹性支架、第四弹性支架、第五弹性支架；在第二刚性支撑点与第三刚性支撑点之间安装有第六弹性支架、第七弹性支架、第八弹性支架、第九弹性支架、第十弹性支架；在第三刚性支撑点与第一刚性支撑点之间安装有第十一弹性支架、第十二弹性支架、第十三弹性支架、第十四弹性支架、第十五弹性支架；每个弹性支架上都有一弹性触头，分别为第一弹性触头、第二弹性触头、……、第十五弹性触头；镜片安装在镜片框的圆孔内的三个刚性支撑点上，压圈又安放在镜片上方，弹性支架安装在镜片下方的镜片框的底座上，使第一弹性支架到第十五弹性支架上的第一弹性触头到第十五弹性触头可从镜片的下面顶住镜片，对镜片进行向上的支撑，压圈安放在圆孔内镜片的上面。

所述弹性支架的触头由弹性材料制成。

本发明的原理是：

本装置运用了弹性原理，将支撑点做成弹性支点，使镜片与支撑点为弹性接触，这样，不管镜片怎样变，弹性支撑点都会始终保持与镜片良好的接触，使镜片始终都有支撑架作为依托，以对重力卸载。

本发明的有益效果是：

由于镜片与支撑点紧密的接触，使镜片的重力得到了良好的释放，有效地防止了镜片的凹陷变形，保证了镜片表面的平整度，保证了成像质量。

附图说明

图1为本发明俯视图；

图2为本发明剖视图；

图3为弹性支撑架俯视图；

图4为弹性支撑架侧视图；

图5为本发明底面示意图；

图6为本发明压圈俯视图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施方式对本发明进行详细说明。

如图1所示，本装置由镜片框1、第一弹性支架2K、第二至第十五弹性支架3K-16K、镜片200、压圈300组成。镜片框1开有一圆孔500，并在底座400上设计有三个均匀分布的台阶作为对镜片200的三个刚性支撑点，分别为第一刚性支撑点A、第二刚性支撑点B、第三刚性支撑点C，每两个刚性支点之间均匀的安放五个弹性支架，既在第一刚性支撑点A与第二刚性支撑点B之间安装有第一弹性支架2K、第二弹性支架3K、第三弹性支架4K、第四弹性支架5K、第五弹性支架6K；在第二刚性支撑点B与第三刚性支撑点C之间安装有第六弹性支架7K、第七弹性支架8K、第八弹性支架9K、第九弹性支架10K、第十弹性支架11K；在第三刚性支撑点C与第一刚性支撑点A之间安装有第十一弹性支架12K、第十二弹性支架13K、第十三弹性支架14K、第十四弹性支架15K、第十五弹性支架16K。每个弹性支架上都有一弹性触头，分别为第一弹性触头2、第二弹性触头3、……、第十五弹性触头16。镜片200安装在镜片框1的圆孔500内的三个刚性支撑点A、B、C上，压圈300又安放在镜片200上方，弹性支架安装在镜片200下方的镜片框1的底座400上，使第一弹性支架2K到第十五弹性支架16K上的第一弹性触头2到第十五弹性触头16可从镜片200的下面顶住镜片200，对镜片200进行向上的支撑。

如图2、3、4、5所示，由于从第一弹性支架2K到第十五弹性支架16K它们的结构及工作原理均相同，这里就以第一弹性支架2K为例进行阐述。镜片框1的底座400上开有第一沉孔24、第二沉孔25，第一弹性支架2K的基座21上开有第一安装孔22、第二安装孔23，用第一安装螺钉26、第二安装螺钉27穿过第一弹性支架2K上的第一、第二安装孔22、23，拧入到镜片框1的底座400上的第一、第二沉孔24、25内，将第一弹性支架2K固定在镜片框1的底座400上，使第一弹性触头2从镜片200的下面顶住镜片200。其他弹性支架同上，依次类推。

当镜片200被放入镜片框1后，由镜片框1上的第一刚性支撑点A、第二刚性支撑点B、第三刚性支撑点C对镜片200进行刚性支撑，而第一弹性支架2K到第十五弹性支架16K上的第一弹性触头2到第十五弹性触头16对镜片200进行向上的弹性支撑，之后由压圈300通过螺纹D旋入镜片框1的圆孔500中，在镜片200上方将镜片200向下压紧。由于弹性支架的触头由弹性材料制成，因此它们与镜片200接触时不易损伤镜片200，并且，当镜片200发生变形时，它会随着镜片200的变形，自动的上下进行位置调整，始终保持对镜片200的托扶，减小镜片200因重力引起的形变。

本发明未详细阐述的部分属于本领域公知技术。

Claims

1.一种动镜弹性支撑装置，其特征在于：该装置包括：镜片框(1)、第一弹性支架(2K)、第二至第十五弹性支架(3K-16K)、镜片(200)、压圈(300)；镜片框(1)开有一圆孔(500)，并在底座(400)上有三个均匀分布的台阶作为对镜片(200)的三个刚性支撑点，分别为第一刚性支撑点(A)、第二刚性支撑点(B)、第三刚性支撑点(C)，每两个刚性支点之间均匀的安放五个弹性支架，既在第一刚性支撑点(A)与第二刚性支撑点(B)之间安装有第一弹性支架(2K)、第二弹性支架(3K)、第三弹性支架(4K)、第四弹性支架(5K)、第五弹性支架(6K)；在第二刚性支撑点(B)与第三刚性支撑点(C)之间安装有第六弹性支架(7K)、第七弹性支架(8K)、第八弹性支架(9K)、第九弹性支架(10K)、第十弹性支架(11K)；在第三刚性支撑点(C)与第一刚性支撑点(A)之间安装有第十一弹性支架(12K)、第十二弹性支架(13K)、第十三弹性支架(14K)、第十四弹性支架(15K)、第十五弹性支架(16K)；每个弹性支架上都有一弹性触头，分别为第一弹性触头(2)、第二弹性触头(3)、……、第十五弹性触头(16)；镜片(200)安装在镜片框(1)的圆孔(500)内的三个刚性支撑点(A、B、C)上，压圈(300)又安放在镜片(200)上方，弹性支架安装在镜片(200)下方的镜片框(1)的底座(400)上，使第一弹性支架(2K)到第十五弹性支架(16K)上的第一弹性触头(2)到第十五弹性触头(16)可从镜片(200)的下面顶住镜片(200)，对镜片(200)进行向上的支撑，压圈(300)安放在圆孔(500)内镜片(200)的上面。

2.根据权利要求1所述的一种动镜弹性支撑装置，其特征在于：所述弹性支架的触头由弹性材料制成。