CN102540386B - 一种动镜弹性支撑装置 - Google Patents
一种动镜弹性支撑装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102540386B CN102540386B CN201210026273.4A CN201210026273A CN102540386B CN 102540386 B CN102540386 B CN 102540386B CN 201210026273 A CN201210026273 A CN 201210026273A CN 102540386 B CN102540386 B CN 102540386B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- elastic support
- elastic
- eyeglass
- support
- rigid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Lens Barrels (AREA)
Abstract
本发明提供一种动镜弹性支撑装置,该装置包括:镜片框(1)、第一弹性支架(2K)、第二至第十五弹性支架(3K-16K)、镜片(200)、压圈(300);镜片框(1)开有一圆孔(500),并在底座(400)上设计有三个台阶作为对镜片(200)的三个刚性支撑点,分别为第一刚性支撑点(A)、第二刚性支撑点(B)、第三刚性支撑点(C),每两个刚性支点之间均匀的安放五个弹性支架;以对镜片的重力进行卸载,释缓镜片内部的重力变形,以保证镜片的平面性,提高成像质量。
Description
技术领域
本发明涉及镜片弹性支撑的领域,具体涉及一种动镜弹性支撑装置,其为一种光刻机中物镜镜片的安装与调整,也可用于企业生产中对工件的安装检测与调试。
背景技术
在投影光刻机中,当它的像质已接近衍射极限时,物镜镜片细微的不平整度都会对像质产生不良的影响。镜片被安装在镜片框内,由于镜片框不可能被加工的完全平整,镜片与镜片框就会有因接触不上而使镜片处于悬空的地方,这样,当物镜装调完成后,在长期使用过程中这些悬空地方的镜片表面就会因受重力影响出现凹陷变形,造成物镜系统成像质量下降。因此,需要对镜片的重力进行释放,减小镜片的重力变形,保证镜片表面的平整度,提高成像质量,由此可以看出对镜片的支撑是十分重要的,为此,我们设计了一种动镜弹性支撑装置,以解决镜片的重力变形问题。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:提供一种动镜弹性支撑装置,使得动镜在长期使用过程中不会因重力的作用而产生凹陷变形,保证了镜片表面的平整度,保证像质和焦面稳定,保证了光刻质量。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种动镜弹性支撑装置,该装置包括:镜片框、第一弹性支架、第二至第十五弹性支架、镜片、压圈;镜片框开有一圆孔,并在底座上有三个均匀分布的台阶作为对镜片的三个刚性支撑点,分别为第一刚性支撑点、第二刚性支撑点、第三刚性支撑点,每两个刚性支点之间均匀的安放五个弹性支架,既在第一刚性支撑点与第二刚性支撑点之间安装有第一弹性支架、第二弹性支架、第三弹性支架、第四弹性支架、第五弹性支架;在第二刚性支撑点与第三刚性支撑点之间安装有第六弹性支架、第七弹性支架、第八弹性支架、第九弹性支架、第十弹性支架;在第三刚性支撑点与第一刚性支撑点之间安装有第十一弹性支架、第十二弹性支架、第十三弹性支架、第十四弹性支架、第十五弹性支架;每个弹性支架上都有一弹性触头,分别为第一弹性触头、第二弹性触头、……、第十五弹性触头;镜片安装在镜片框的圆孔内的三个刚性支撑点上,压圈又安放在镜片上方,弹性支架安装在镜片下方的镜片框的底座上,使第一弹性支架到第十五弹性支架上的第一弹性触头到第十五弹性触头可从镜片的下面顶住镜片,对镜片进行向上的支撑,压圈安放在圆孔内镜片的上面。
所述弹性支架的触头由弹性材料制成。
本发明的原理是:
本装置运用了弹性原理,将支撑点做成弹性支点,使镜片与支撑点为弹性接触,这样,不管镜片怎样变,弹性支撑点都会始终保持与镜片良好的接触,使镜片始终都有支撑架作为依托,以对重力卸载。
本发明的有益效果是:
由于镜片与支撑点紧密的接触,使镜片的重力得到了良好的释放,有效地防止了镜片的凹陷变形,保证了镜片表面的平整度,保证了成像质量。
附图说明
图1为本发明俯视图;
图2为本发明剖视图;
图3为弹性支撑架俯视图;
图4为弹性支撑架侧视图;
图5为本发明底面示意图;
图6为本发明压圈俯视图。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施方式对本发明进行详细说明。
如图1所示,本装置由镜片框1、第一弹性支架2K、第二至第十五弹性支架3K-16K、镜片200、压圈300组成。镜片框1开有一圆孔500,并在底座400上设计有三个均匀分布的台阶作为对镜片200的三个刚性支撑点,分别为第一刚性支撑点A、第二刚性支撑点B、第三刚性支撑点C,每两个刚性支点之间均匀的安放五个弹性支架,既在第一刚性支撑点A与第二刚性支撑点B之间安装有第一弹性支架2K、第二弹性支架3K、第三弹性支架4K、第四弹性支架5K、第五弹性支架6K;在第二刚性支撑点B与第三刚性支撑点C之间安装有第六弹性支架7K、第七弹性支架8K、第八弹性支架9K、第九弹性支架10K、第十弹性支架11K;在第三刚性支撑点C与第一刚性支撑点A之间安装有第十一弹性支架12K、第十二弹性支架13K、第十三弹性支架14K、第十四弹性支架15K、第十五弹性支架16K。每个弹性支架上都有一弹性触头,分别为第一弹性触头2、第二弹性触头3、……、第十五弹性触头16。镜片200安装在镜片框1的圆孔500内的三个刚性支撑点A、B、C上,压圈300又安放在镜片200上方,弹性支架安装在镜片200下方的镜片框1的底座400上,使第一弹性支架2K到第十五弹性支架16K上的第一弹性触头2到第十五弹性触头16可从镜片200的下面顶住镜片200,对镜片200进行向上的支撑。
如图2、3、4、5所示,由于从第一弹性支架2K到第十五弹性支架16K它们的结构及工作原理均相同,这里就以第一弹性支架2K为例进行阐述。镜片框1的底座400上开有第一沉孔24、第二沉孔25,第一弹性支架2K的基座21上开有第一安装孔22、第二安装孔23,用第一安装螺钉26、第二安装螺钉27穿过第一弹性支架2K上的第一、第二安装孔22、23,拧入到镜片框1的底座400上的第一、第二沉孔24、25内,将第一弹性支架2K固定在镜片框1的底座400上,使第一弹性触头2从镜片200的下面顶住镜片200。其他弹性支架同上,依次类推。
当镜片200被放入镜片框1后,由镜片框1上的第一刚性支撑点A、第二刚性支撑点B、第三刚性支撑点C对镜片200进行刚性支撑,而第一弹性支架2K到第十五弹性支架16K上的第一弹性触头2到第十五弹性触头16对镜片200进行向上的弹性支撑,之后由压圈300通过螺纹D旋入镜片框1的圆孔500中,在镜片200上方将镜片200向下压紧。由于弹性支架的触头由弹性材料制成,因此它们与镜片200接触时不易损伤镜片200,并且,当镜片200发生变形时,它会随着镜片200的变形,自动的上下进行位置调整,始终保持对镜片200的托扶,减小镜片200因重力引起的形变。
本发明未详细阐述的部分属于本领域公知技术。
Claims (2)
1.一种动镜弹性支撑装置,其特征在于:该装置包括:镜片框(1)、第一弹性支架(2K)、第二至第十五弹性支架(3K-16K)和压圈(300);镜片框(1)开有一圆孔(500),并在底座(400)上有三个均匀分布的台阶作为对镜片(200)的三个刚性支撑点,分别为第一刚性支撑点(A)、第二刚性支撑点(B)、第三刚性支撑点(C),每两个刚性支点之间均匀的安放五个弹性支架,即在第一刚性支撑点(A)与第二刚性支撑点(B)之间安装有第一弹性支架(2K)、第二弹性支架(3K)、第三弹性支架(4K)、第四弹性支架(5K)、第五弹性支架(6K);在第二刚性支撑点(B)与第三刚性支撑点(C)之间安装有第六弹性支架(7K)、第七弹性支架(8K)、第八弹性支架(9K)、第九弹性支架(10K)、第十弹性支架(11K);在第三刚性支撑点(C)与第一刚性支撑点(A)之间安装有第十一弹性支架(12K)、第十二弹性支架(13K)、第十三弹性支架(14K)、第十四弹性支架(15K)、第十五弹性支架(16K);每个弹性支架上都有一弹性触头,分别为第一弹性触头(2)、第二弹性触头(3)、……、第十五弹性触头(16);镜片(200)安装在镜片框(1)的圆孔(500)内的三个刚性支撑点(A、B、C)上,压圈(300)又安放在镜片(200)上方,弹性支架安装在镜片(200)下方的镜片框(1)的底座(400)上,使第一弹性支架(2K)到第十五弹性支架(16K)上的第一弹性触头(2)到第十五弹性触头(16)可从镜片(200)的下面顶住镜片(200),对镜片(200)进行向上的支撑,压圈(300)安放在圆孔(500)内镜片(200)的上面。
2.根据权利要求1所述的一种动镜弹性支撑装置,其特征在于:所述弹性支架的触头由弹性材料制成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210026273.4A CN102540386B (zh) | 2012-02-07 | 2012-02-07 | 一种动镜弹性支撑装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210026273.4A CN102540386B (zh) | 2012-02-07 | 2012-02-07 | 一种动镜弹性支撑装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102540386A CN102540386A (zh) | 2012-07-04 |
CN102540386B true CN102540386B (zh) | 2013-09-18 |
Family
ID=46347679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201210026273.4A Expired - Fee Related CN102540386B (zh) | 2012-02-07 | 2012-02-07 | 一种动镜弹性支撑装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102540386B (zh) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102854597A (zh) * | 2012-08-29 | 2013-01-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 光刻物镜中光学元件高精度支撑结构 |
CN103278907A (zh) * | 2013-05-28 | 2013-09-04 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种动镜轴向卸载装置 |
CN103901571B (zh) * | 2014-02-13 | 2016-03-09 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 大型透反式镜片非垂直放置的挠性支撑装置和支撑方法 |
JP2016085409A (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-19 | オリンパス株式会社 | レンズ保持枠、レンズ組立体、およびレンズ組立体の組立方法 |
CN104914549B (zh) * | 2015-05-28 | 2017-08-29 | 北京空间机电研究所 | 一种基于空间解锁的反射镜支撑结构 |
CN107329225B (zh) * | 2016-04-29 | 2020-06-16 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 侧立镜组及其安装方法 |
DE102018200524A1 (de) * | 2018-01-15 | 2019-07-18 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit verbesserter Komponentenjustage und Justageverfahren |
CN110471152A (zh) * | 2018-05-09 | 2019-11-19 | 深圳光峰科技股份有限公司 | 光学元件固定结构及镜片组件及照度检测装置 |
CN113917645B (zh) * | 2021-11-01 | 2023-03-31 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种镜片弹性支撑装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3896745B2 (ja) * | 1999-12-17 | 2007-03-22 | コニカミノルタフォトイメージング株式会社 | 駆動装置 |
JP2006072059A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Pentax Corp | レンズ鏡筒の偏心調整装置 |
CN101048690A (zh) * | 2004-10-26 | 2007-10-03 | 株式会社尼康 | 光学装置、镜筒、曝光装置、以及器件制造方法 |
CN101907833A (zh) * | 2010-08-03 | 2010-12-08 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法 |
CN102279454B (zh) * | 2011-07-27 | 2013-04-17 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 |
-
2012
- 2012-02-07 CN CN201210026273.4A patent/CN102540386B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102540386A (zh) | 2012-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102540386B (zh) | 一种动镜弹性支撑装置 | |
CN104280219B (zh) | 头戴显示器镜头组件测试机 | |
JP4175697B2 (ja) | ガラス基板保持具 | |
CN203704861U (zh) | 倒角尺寸光学测量设备 | |
US9696369B2 (en) | Wafer test apparatus | |
CN204116017U (zh) | 头戴显示器镜头组件测试机 | |
CN105093572B (zh) | 一种lcd面板检测装置 | |
CN209325288U (zh) | 一种计算机通讯设备防震支撑架 | |
CN113917645B (zh) | 一种镜片弹性支撑装置 | |
CN207741728U (zh) | 定位底座及轮廓度测量设备 | |
CN114777721A (zh) | 一种高精度光学元件面形检测支撑结构 | |
CN203765491U (zh) | 一种ota测试用支架 | |
CN108215171B (zh) | 3d打印设备液槽定位装置及成型面调整方法 | |
CN211478785U (zh) | 一种折叠终端镜头模组治具 | |
CN210375978U (zh) | 一种手机玻璃盖板压力测试装置 | |
CN207315820U (zh) | 一种伸缩定位销 | |
CN209327777U (zh) | 一种掩膜图形曝光机 | |
CN211155720U (zh) | 一种新型眼科检查用头部固定装置 | |
CN208271445U (zh) | 物理透光装置 | |
CN207487616U (zh) | 一种透光板表面瑕疵检测装置 | |
JP2012109300A (ja) | 半導体試験装置のベースユニット | |
CN202339206U (zh) | 检查仪器支架 | |
CN104932076A (zh) | 保持装置、光学单元、光学单元的制造装置以及制造方法 | |
CN109164649A (zh) | 一种液晶涂布装置及方法 | |
KR20200052027A (ko) | 프로브 스테이션 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130918 Termination date: 20210207 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |