CN203288574U - 晶圆固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及集成电路芯片处理技术领域，公开了一种晶圆固定装置，包括承载板、限位板和移动板，承载板中间开有圆孔并设置光学玻璃，限位板为半圆环形，限位板固定设置在承载板的第一侧，移动板设置在承载板的第二侧，移动板的内径和限位板的内径相等，在承载板的第二侧设置导向槽和固定部件，移动板通过导向件能够在导向槽内移动，移动板的移动方向为限位板的内圆弧的中点与移动板的内圆弧的中点的连线方向，固定部件能够将移动板固定在某一位置上，限位板和移动板的内圆弧的边缘设有压圈。本实用新型通过侧边压紧方式，使晶圆表面不受损伤。

Description

晶圆固定装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路芯片处理技术领域，特别是一种晶圆固定装置。

背景技术

CIS芯片是一种图像信号处理器芯片，该芯片专为图像传感器芯片，它对接受的光线（图像）进行处理，被广泛用在扫描仪、传真机、数码摄像机、照相机中。对CIS芯片的晶圆的测试是通过成测机完成的，在测试过程中，要将晶圆进行固定而实施光学测试，现有的固定方式是通过压针将晶圆压紧在固定架上，由于晶圆的精度要求高，现有的压紧固定方式很容易对晶圆产生物理性损伤，造成晶圆的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提供一种晶圆固定装置，以期能够快速安全地固定晶圆，以便对晶圆进行测试。

本实用新型采取的技术方案是：

一种晶圆固定装置，其特征是，包括承载板、限位板和移动板，所述承载板中间开有圆孔，在所述圆孔的边缘设有环形放置槽，在所述环形放置槽内设置光学玻璃，所述限位板为半圆环形，所述限位板固定设置在所述承载板的第一侧，所述限位板的内圆弧的弧度小于180度，所述限位板的内圆弧位于所述光学玻璃的上方，所述限位板的内径小于所述圆孔的半径，所述移动板设置在所述承载板的第二侧，所述移动板为半圆环形，所述移动板的内圆弧的弧度小于180度，所述移动板的内圆弧位于所述光学玻璃的上方，所述移动板的内径和所述限位板的内径相等，在所述承载板的第二侧设置导向槽和固定部件，所述移动板通过导向件能够在所述导向槽内移动，所述移动板的移动方向为所述限位板的内圆弧的中点与所述移动板的内圆弧的中点的连线方向，所述固定部件能够将所述移动板固定在某一位置上，所述限位板和所述移动板的内圆弧的边缘设有压圈。

进一步，在所述限位板和所述移动板的内圆弧的边缘还设有齿纹，所述齿纹设置在所述压圈的下方，所述齿纹的高度小于晶圆的厚度。

进一步，所述导向槽和导向件分别为多个，对称设置在所述移动板的对称轴的两侧。

进一步，所述固定部件为设置在所述承载板第二侧侧边的固定销。

进一步，所述固定销内设有拉力弹簧，所述拉力弹簧使所述固定销对所述移动板产生一个向所述承载板第一侧方向的压力。

进一步，所述固定销为两个，对称设置于所述移动板的对称轴的两侧。

进一步，所述限位板的内圆弧的圆心与所述承载板中间的圆孔的圆心的连线垂直于所述承载板的表面。

本实用新型的有益效果是：

（1）通过侧边压紧方式，使晶圆表面不受损伤；

（2）齿纹限位方式使晶圆精确定位，避免移动磨损；

（3）弹簧锁定的固定方式，减小晶圆的应力变形。

附图说明

附图1为本实用新型的主视图；

附图2为本实用新型的后视图；

附图3为附图2的A的局部放大图。

附图中的标记分别为：

1．承载板；                         2．圆孔；

3．环形放置槽；                  4．光学玻璃；

5．限位板；                         6．移动板；

7．导向槽；                         8．导向件；

9．固定销；                          10．压圈；

11．齿纹。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型晶圆固定装置的具体实施方式作详细说明。

参见附图1、2，承载板1为类似于圆形形状，也可以设计成其它形状，使其有利于通过成测机进行测试，承载板1的中间开有圆孔2，在圆孔2的边缘设有环形放置槽3，在环形放置槽3内设置光学玻璃4，在承载板1的第一侧，即图1中的左侧，固定设置限位板5，限位板5呈半圆环形，其内圆弧的弧度小于180度，限位板5的内圆弧位于光学玻璃4的上方，限位板5的内径小于圆孔2的半径，优选地，限位板5的内圆弧的圆心与承载板1中间的圆孔2的圆心的连线垂直于承载板1的表面。在承载板1的第二侧，即图1中的右侧，设置移动板6，移动板6呈半圆环形，其内圆弧的弧度小于180度，移动板6的内圆弧位于光学玻璃4的上方，移动板6的内径小于圆孔2的半径，移动板6的内径和限位板5的内径相等。在承载板1的右侧或两侧设置导向槽7，导向槽为横向，移动板6通过固定设置在其上的导向件8能够在导向槽7内移动，移动板6的移动方向为图中的横向，即限位板5的内圆弧的中点与移动板6的内圆弧的中点的连线方向，在承载板1的右侧侧边设置固定销9，固定销9为两个，对称于移动板6的对称轴，固定销用于固定移动板6，待测晶圆放置于圆2内的光学玻璃4上，通过移动板7的横向移动将晶圆卡于限位板5和移动板6之间，这时通过固定销9将移动板6固定，导致晶圆被稳定地固定。在固定销9内设有拉力弹簧（图中未示出），拉力弹簧使固定销9对移动板产生一个向承载板左侧方向的压力。合适的弹簧力不仅能够保证晶圆固定的牢固，又不会损伤晶圆。在限位板5和移动板6的内圆弧的边缘设有压圈10和齿纹11（参见附图3），齿纹11设置于压圈10的下方，两者均可选用橡胶等软质材料，齿纹11的高度小于晶圆的厚度。在对晶圆进行固定时，齿纹11先对晶圆进行限位，然后通过移动板6的移动，使压圈对晶圆进行侧边压紧固定。由于限位板5的移动板6的内径圆弧都小于180度，因此，当两者合拢时，可以固定住半径小于它们内径的晶圆，甚至略大于它们内径的晶圆也可以固定。

继续参见附图本实用新型的使用过程是，拉出固定销9，将移动板6向右侧移动后，在光学玻璃4上放置晶圆，将移动板6向左侧移动，齿形10将晶圆定位在光学玻璃4的某个位置后，推入固定销9，使压圈10将晶圆压紧在限位板5和移动板6之间。将固定好晶圆的装置送到晶圆成测机进行检测，检测完成后，将固定销9拉出，将移动板6向右侧移开，取下已测晶圆，更换上未测试的晶圆。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种晶圆固定装置，其特征在于：包括承载板、限位板和移动板，所述承载板中间开有圆孔，在所述圆孔的边缘设有环形放置槽，在所述环形放置槽内设置光学玻璃，所述限位板为半圆环形，所述限位板固定设置在所述承载板的第一侧，所述限位板的内圆弧的弧度小于180度，所述限位板的内圆弧位于所述光学玻璃的上方，所述限位板的内径小于所述圆孔的半径，所述移动板设置在所述承载板的第二侧，所述移动板为半圆环形，所述移动板的内圆弧的弧度小于180度，所述移动板的内圆弧位于所述光学玻璃的上方，所述移动板的内径和所述限位板的内径相等，在所述承载板的第二侧设置导向槽和固定部件，所述移动板通过导向件能够在所述导向槽内移动，所述移动板的移动方向为所述限位板的内圆弧的中点与所述移动板的内圆弧的中点的连线方向，所述固定部件能够将所述移动板固定在某一位置上，所述限位板和所述移动板的内圆弧的边缘设有压圈。

2.根据权利要求1所述的晶圆固定装置，其特征在于：在所述限位板和所述移动板的内圆弧的边缘还设有齿纹，所述齿纹设置在所述压圈的下方，所述齿纹的高度小于晶圆的厚度。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述导向槽和导向件分别为多个，对称设置在所述移动板的对称轴的两侧。

4.根据权利要求1或2所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述固定部件为设置在所述承载板第二侧侧边的固定销。

5.根据权利要求4所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述固定销内设有拉力弹簧，所述拉力弹簧使所述固定销对所述移动板产生一个向所述承载板第一侧方向的压力。

6.根据权利要求4所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述固定销为两个，对称设置于所述移动板的对称轴的两侧。

7.根据权利要求1或2所述的晶圆固定装置，其特征在于：所述限位板的内圆弧的圆心与所述承载板中间的圆孔的圆心的连线垂直于所述承载板的表面。

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