JP2011059287A - 感光体の静電潜像測定装置および画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】感光体試料20に電子ビームを照射して試料上に帯電電荷を生成する手段4、試料20を露光して静電潜像を形成する露光装置6を有し、試料面を電子ビームで走査して得られる検出信号により試料面の静電潜像分布を測定する。露光装置6のLD光源61、LD光源61からの光束を受光する受光素子を備えた同期タイミング信号生成手段、光束が試料面を走査するときの発光タイミングを制御するための信号を生成する書込みタイミング信号生成手段、光束が試料面を走査する方向に対し垂直な方向に光束を走査させる副走査方向偏向手段と、を有し、露光終了から所定のタイミングで、主走査方向と副走査方向に広がる静電潜像の分布を測定する。
【選択図】図1
Description
本発明のさらに他の形態は、前記副走査方向偏向手段が真空チャンバ内に設置されていることを特徴とする。
本発明のさらに他の形態は、前記副走査方向偏向手段が、光束の偏向角が音響信号によって変化する音響光学素子からなることを特徴とする。
本発明のさらに他の形態は、前記露光装置の光源としての半導体レーザーと、基準クロックと同期信号から画素クロックを生成する画素クロック生成手段と、画素情報から画素パターンを生成する画素パターン生成手段と、を有することを特徴とする。
本発明のさらに他の形態によれば、副走査方向偏向手段は真空チャンバ内で感光体試料面との間に設置したことにより、真空チャンバの窓を透過する光束の位置が一定となり、真空チャンバの窓の走査位置の違いによる光束の光学特性の変動を小さくすることができる。
本発明のさらに他の形態によれば、副走査方向偏向手段として音響光学素子を用いることにより、光束を高速で偏向をすることができるとともに、副走査方向偏向手段を小型化することが可能である。
本発明のさらに他の形態によれば、前記露光装置の光源として半導体レーザーを用い、基準クロックと同期信号から画素クロックを生成する画素クロック生成手段と、画素情報から画素パターンを生成する画素パターン生成手段とを有することにより、鮮明な静電潜像を形成することができ、その結果、静電潜像をミクロンオーダーの高分解能に測定することが可能となる。
特に、画像濃度むらが生じやすい、VCSELなどのマルチビーム走査光学系を搭載した画像形成装置に適する。
放出粒子としては電子やイオンがあり、電子を検出して計測することが一般的であるが、検出器にマイナスの引き込み電圧を与えてプラスイオンを検出し、コントラスト像を観察することも可能である。
また、面的なパターンを形成するために上記走査ライン方向(これを「主走査方向」という)に対して垂直な方向(これを「副走査方向」という)の走査を行う偏向器を備えていてもよい。
図4に示すカップリングレンズCLは、光源LAからの光を略平行光とする。従って、光源ユニット1011からは、略平行光が出力される。
同期センサ1017は、像面と等価で、ミラー1016で反射された有効走査開始前の光が入射する位置に配置され、受光量に応じた信号(光電変換信号)を出力する。そこで、同期センサセンサ1017の出力信号から、感光体ドラム1030における走査開始タイミングを設定することができる。
基準クロック生成回路402は制御装置1019全体の基準となる高周波クロック信号を生成する。
また、図7に示すように同期用に発光させる発光部と、書込み用に発光させる発光部を分けてもよい。こうすることにより、同期発光による発熱が書込み発光に与える影響を小さくできるので、光パワーの揃った書込みを行うことができる。
この光源選択回路414の出力信号s14は、前記駆動情報の1つとして光源駆動回路400に供給される。
走査光学系は、ポリゴンモータなどを有する偏向器の振動や電磁場の影響が電子ビームの軌道に影響を与えないように、前記真空チャンバ40の外に配置するとよい。走査光学系の上記振動発生源や電磁場発生源を電子ビーム軌道位置から遠ざけることにより、外乱の影響を抑制することが可能となる。走査光学系は、光学的に透明な入射窓68(図1参照)より入射させることが望ましい。
試料20と光源の間には、半導体レーザー61からの光束を時間的に遮光することが可能なシャッタが配置されている。
さらに、真空チャンバ40の内部にはもう一つの光偏向素子が設置されており、走査光学系による主走査に対して垂直方向に走査が行われるようになっている。
しかしながら、僅かなバイアス電流によって出射される光の量が僅かであっても、長時間照射されると積分光量が増加し、感光体の必要露光量に達すると静電潜像が形成されてしまう。この結果、所望の静電潜像を形成することができない。
具体的な手段としては、LD光源と試料の間にシャッタを設けるとよい。すなわち、露光前はシャッタを閉じて光束が通過しないような構成とし、露光時はシャッタを開けて光束が通過するような構成として、オフセット発光を遮光する。
また、露光時は上記シャッタを開き、露光後は、必要に応じて、露光終了検知信号を与えて上記シャッタを閉めるようにするとよい。
従って、試料SPにおける「負極性に均一帯電している部分」である図のQ1点やQ2点で発生した2次電子el1、el2は、荷電粒子捕獲器24の正電位に引かれ、矢印G1や矢印G2で示すように変位し、荷電粒子捕獲器24に捕獲される。
このようにして、感光体の静電潜像をミクロンオーダーの高分解能で計測することが可能となる。
これを実現するためには、露光のタイミングとシャッタ開閉のタイミングを連動させることが望ましい。露光のタイミングは、走査光学系の同期信号によって決定される。従って、走査光学系の同期信号に連動してシャッタを開放させることが望ましい。また、データの有効期間であるFGATE信号がローになった時点に連動してシャッタを閉鎖することが望ましい。そこで、走査光学系の同期信号を、シャッタを開くためのトリガ信号とすれば、書き出しのタイミングを揃えることができる。
Δθ=λ・fa/Va
ここで、
λ:空気中の光波長
fa:音響波周波数
Va:音響波速度
である。この音響光学素子を電圧制御発信器(VCO)で駆動すれば副走査方向に光束を走査することができる。
なお、加速電圧は、正で表現することが一般的であるが、加速電圧の印加電圧Vaccは負であり、電位ポテンシャルとして、物理的意味を持たせるためには、負で表現する方が説明しやすいため、ここでは加速電圧は負(Vacc<0)と表現する。電子ビームの加速電位ポテンシャルをVacc(<0)、試料の電位ポテンシャルをVp(<0)とする。
mv02/2=e×|Vacc|
で表される。真空中ではエネルギー保存の法則により、加速電圧の働かない領域では等速で運動し、試料面に接近するに従い電位が高くなり、試料が有する電荷のクーロン反発の影響を受けて速度が遅くなる。
1.0<B/A<2.0
を満足する感光体を選定すれば、最終出力画像で階調性、鮮鋭性の安定性が実現できる。ここで、下限の1.0は、光の散乱及び電荷の拡散はどんな感光体でも必ず起こるのでこれ以下にはならないという原理的な限界である。上限の2.0は、最終出力画像で階調性、鮮鋭性の安定性を確保するために必要な限界である。
感光体ドラム1030の表面には、感光層が形成されている。ここでは、感光体ドラム1030は、図22における紙面に平行な面内で時計回り(矢印方向)に回転するようになっている。
6 露光装置
8 検出器
15 試料載置台
20 感光体試料
41 電子銃
Claims (7)
- 感光体試料に電子ビームを照射して前記感光体試料上に帯電電荷を生成させる手段と、前記感光体試料を露光して静電潜像を形成させる露光装置と、前記感光体試料面を電子ビームで走査して得られる検出信号により感光体試料面の静電潜像分布を測定する感光体の静電潜像測定装置であって、
露光装置の光源としての半導体レーザーと、
前記半導体レーザーからのレーザー光束を受光する受光素子を備えた同期タイミング信号生成手段と、
前記レーザー光束が前記感光体試料面を走査するときの発光タイミングを制御するための信号を生成する書込みタイミング信号生成手段と、
前記レーザー光束が前記感光体試料面を走査する方向に対し垂直な方向に光束を走査させる副走査方向偏向手段と、を有し、
露光終了から所定のタイミングで、主走査方向および副走査方向に広がる静電潜像の分布を測定することを特徴とする感光体の静電潜像測定装置。 - 前記副走査方向偏向手段は、露光光学系の走査レンズと感光体試料面との間に設置されていることを特徴とする請求項1記載の感光体の静電潜像測定装置。
- 前記副走査方向偏向手段は真空チャンバ内に設置されていることを特徴とする請求項1または2記載の感光体の静電潜像測定装置。
- 前記副走査方向偏向手段は、透過光束の偏向手段であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の感光体の静電潜像測定装置。
- 前記副走査方向偏向手段は、光束の偏向角が音響信号によって変化する音響光学素子からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の感光体の静電潜像測定装置。
- 前記露光装置の光源としての半導体レーザーと、基準クロックと同期信号から画素クロックを生成する画素クロック生成手段と、画素情報から画素パターンを生成する画素パターン生成手段と、を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の感光体の静電潜像測定装置。
- 請求項1〜6いずれかの測定装置を用いて計測した感光体を潜像担持体とし、この潜像担持体の感光面に対して光走査を行うことにより前記潜像担持体に潜像を形成し、この潜像を現像して可視化することを特徴とする画像形成装置であって、
書き込み光源波長が780nm以下であり、かつ、前記感光体面での副走査方向のビームスポット径が60μm以下であり、感光体面での副走査方向のビームスポット径をAとし、形成される副走査方向の潜像径をBとした時に、1.0<B/A<2.0を満足することを特徴とする画像形成装置。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2011186371A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Ricoh Co Ltd | 静電潜像の測定方法と測定装置、および画像形成装置 |
JP2012208220A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Ricoh Co Ltd | 静電潜像計測方法および静電潜像計測装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04323953A (ja) * | 1991-04-24 | 1992-11-13 | Canon Inc | 画像形成装置 |
JP2008076100A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Ricoh Co Ltd | 表面電荷分布あるいは表面電位分布の測定方法、及び測定装置、並びに画像形成装置 |
JP2008096971A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-04-24 | Ricoh Co Ltd | 真空チャンバ装置、静電潜像形成装置、静電潜像測定装置、及び画像形成装置 |
JP2009020466A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Ricoh Co Ltd | 真空チャンバ装置、静電潜像形成装置、静電潜像測定装置、及び画像形成装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04323953A (ja) * | 1991-04-24 | 1992-11-13 | Canon Inc | 画像形成装置 |
JP2008096971A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-04-24 | Ricoh Co Ltd | 真空チャンバ装置、静電潜像形成装置、静電潜像測定装置、及び画像形成装置 |
JP2008076100A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Ricoh Co Ltd | 表面電荷分布あるいは表面電位分布の測定方法、及び測定装置、並びに画像形成装置 |
JP2009020466A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Ricoh Co Ltd | 真空チャンバ装置、静電潜像形成装置、静電潜像測定装置、及び画像形成装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011186371A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Ricoh Co Ltd | 静電潜像の測定方法と測定装置、および画像形成装置 |
JP2012208220A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Ricoh Co Ltd | 静電潜像計測方法および静電潜像計測装置 |
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