JP2011059113A - 試験装置および試験方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の試験回路を同期して動作させる試験装置。
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、複数の試験部と、少なくとも１つの試験部をそれぞれ含む複数のドメインのそれぞれについて、それぞれのドメインに含まれる少なくとも１つの試験部を同期させる第１の同期部および第２の同期部と、を備え、第１および第２の同期部のそれぞれは、当該同期部に接続された試験部からの同期要求をドメイン毎に集約するローカル集約部と、第１の同期部に接続された試験部および第２の同期部に接続された試験部を含む分散ドメインについて、当該同期部内で集約した同期要求を他方の同期部内で集約した同期要求と交換する交換部と、他方の同期部内で集約した同期要求と当該同期部内で集約した同期要求とを集約するグローバル集約部と、当該同期部に接続された試験部のそれぞれに対して、集約した同期要求を分配する分配部と、を有する試験装置を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、試験装置および試験方法に関する。

半導体チップ等の被試験デバイスを試験する装置として、複数の試験回路を備える試験装置が知られている（例えば、特許文献１および２参照）。この場合、複数の試験回路は、同期して動作することが好ましい。
特許文献１ 国際公開第２００３／０６２８４３号パンフレット
特許文献２ 特開２００７−５２０２８号公報

試験装置に備わる複数の試験回路は、予め与えられるプログラム、シーケンス等に応じて動作する。試験装置は、これらのプログラム等の実行を、同期して開始、停止等することで、それぞれの試験回路を同期して動作させている。

しかし、多様な試験を実行する場合、各試験回路におけるプログラムの実行開始のタイミングを同期させるだけでは十分でない場合がある。例えばプログラムの実行中に、所定の試験回路においてフェイルを検出したことを条件として、次のステップを同期して実行したい場合も考えられる。ここで試験装置の規模が大きくなると、同期のための信号を集約、分配する同期回路が大きくなり、実装が困難になってしまう。

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、少なくとも１つの被試験デバイスを試験する試験装置であって、少なくとも１つの被試験デバイスを複数の端子を介して試験する複数の試験部と、複数の試験部のうち少なくとも１つの試験部をそれぞれ含む複数のドメインのそれぞれについて、それぞれのドメインに含まれる少なくとも１つの試験部を同期させる第１の同期部および第２の同期部と、を備え、第１の同期部および第２の同期部のそれぞれは、複数の試験部のうち当該同期部に接続された試験部からの同期要求をドメイン毎に集約するローカル集約部と、複数のドメインのうち第１の同期部に接続された試験部および第２の同期部に接続された試験部を含む分散ドメインについて、当該同期部内で集約した同期要求を他方の同期部内で集約した同期要求と交換する交換部と、分散ドメインについて、他方の同期部内で集約した同期要求と当該同期部内で集約した同期要求とを集約するグローバル集約部と、複数の試験部のうち当該同期部に接続された試験部のそれぞれに対して、当該試験部を含むドメイン内で集約した同期要求を分配する分配部と、を有する試験装置、および、当該試験装置に係る試験方法を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本実施形態に係る試験装置１００の構成例をＤＵＴ１０と共に示す。 本実施形態に係る試験装置１００の第１の同期部１５０ａ、第２の同期部１５０ｂ、および４つの試験モジュール１６０の構成例を示す。 本実施形態に係る第１の同期部１５０ａのローカル集約部２００、交換部２１０、グローバル集約部２２０、および分配部２３０の構成例を示す。 本実施形態に係る試験装置１００の動作例のタイミングチャートを示す。 本実施形態に係る試験装置１００の動作フローを示す。 本実施形態に係る試験モジュール１６０の構成の一例を示す。 本実施形態に係る送信側ブロック１２および受信側ブロック１４の構成の一例を示す。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態に係る試験装置１００の構成例をＤＵＴ１０と共に示す図である。試験装置１００は、アナログ回路、デジタル回路、メモリ、およびシステム・オン・チップ（ＳＯＣ）等の少なくとも１つのＤＵＴ（被試験デバイス）１０を試験する。本例の試験装置１００は、複数の試験モジュール１６０を、意図したタイミングで同期して動作させることで、ＤＵＴ１０を試験する。また、試験装置１００は、複数の同期部１５０を用いて、試験モジュール１６０を任意のタイミングで同期して動作させることで、ＤＵＴ１０を試験する。

試験装置１００は、複数のＤＵＴ１０を個別に試験してもよく、これに代えて複数のＤＵＴ１０を並行して試験してよい。試験装置１００は、システム制御部１１０と、ハブ１２０と、試験制御部１３０と、バス１４０と、同期部１５０と、試験モジュール１６０と、接続部１７０とを備える。

システム制御部１１０は、試験装置１００の全体を制御する。例えばシステム制御部１１０は、使用者等から与えられるプログラム、指示等に応じて、試験制御部１３０、同期部１５０、および試験モジュール１６０を制御してよい。より具体的には、システム制御部１１０は、試験制御部１３０、同期部１５０、および試験モジュール１６０の動作周期を規定する基準クロックを生成してよく、試験制御部１３０の動作を制御する制御命令を生成してよい。システム制御部１１０は、試験に応じた制御命令および／またはプログラムを、ハブ１２０を介して対応する試験制御部１３０に送信してよい。

ハブ１２０は、システム制御部１１０と少なくとも１以上の試験制御部１３０とを電気的に接続する。ハブ１２０は、汎用のまたは専用の高速シリアルバス等を介して中継してよく、汎用の高速シリアルバスとしては、一例として、Ethernet（登録商標）、ＵＳＢ、Serial RapidIO等を用いてよい。

試験制御部１３０は、同期部１５０および試験モジュール１６０を制御して試験を実行する。試験制御部１３０は、システム制御部１１０から与えられる制御命令および／またはプログラム等に応じて、同期部１５０および試験モジュール１６０を制御してよい。より具体的には、試験制御部１３０は、試験に応じて、同期部１５０および試験モジュール１６０の動作を制御する制御命令を生成してよい。試験制御部１３０は、それぞれのＤＵＴ１０の試験等の目的で、試験装置１００内に複数備わってよく、それぞれの試験制御部１３０は単独で複数の試験を実行してよい。

試験制御部１３０は、バス１４０を介して、少なくとも２以上の同期部１５０および少なくとも１以上の試験モジュール１６０とそれぞれデータのやり取りを実行してよい。試験制御部１３０は、それぞれの試験モジュール１６０に、試験に応じた所定の試験プログラム、データパターン等を予め格納してよい。

バス１４０は、試験制御部１３０、同期部１５０、および試験モジュール１６０とを電気的に接続する。バス１４０は、複数の試験を適切なモジュールの数で実行する目的で、試験に応じた同期部１５０および試験モジュール１６０の接続を設定してよい。バス１４０は、複数のバススイッチによって、試験に対応する同期部１５０および試験モジュール１６０の接続を切り換えてよい。

同期部１５０は、複数の試験モジュール１６０に接続され、同期部１５０に接続されている少なくとも１以上の試験モジュール１６０からの同期要求を受信して、同期の対象となる試験モジュール１６０に同期要求を送信する。同期部１５０は、試験装置１００内に２以上備わってよく、それぞれがマスターおよびスレーブの関係で同期してよい。それぞれの同期部１５０は、同期に用いる信号を直接やり取りして同期してよい。同期部１５０は、テストヘッドのモジュールコネクタに対して、試験モジュール１６０と共に搭載される同期モジュールであってよい。

試験モジュール１６０は、試験制御部１３０の制御信号に基づき、ＤＵＴ１０を試験する。試験モジュール１６０は、実行すべき複数の試験項目に応じて複数の種類のモジュールであってよく、意図した試験項目に応じて試験装置１００内にそれぞれ備わってよい。また、それぞれの試験モジュール１６０は、試験装置１００と着脱できてよく、試験モジュール１６０は、試験に応じて適切な数と種類が試験装置１００に接続されてよい。試験モジュール１６０は、接続部１７０を介してＤＵＴ１０と試験信号を授受する。

図２は、本実施形態に係る試験装置１００の第１の同期部１５０ａ、第２の同期部１５０ｂ、および４つの試験モジュール１６０の構成例を示す。本例は、試験装置１００内に二つの同期部１５０と四つの試験モジュール１６０が備わる場合を示しており、この場合の同期要求の集約と分配の手順の例を以下に説明する。

試験モジュール１６０は、それぞれが２以上の試験部２５６を搭載して、２以上の試験部２５６のそれぞれからの同期要求をマルチプレクスして送信する。ここで同期要求は、それぞれの試験部２５６における試験において、フェイルが生じた場合、試験が開始された場合、および／または試験が終了した場合に送信されてよい。試験モジュール１６０は、デマルチプレクサ２５２と、マルチプレクサ２５４と、試験部２５６と、端子２５８を有する。デマルチプレクサ２５２は、同期部１５０からの同期要求を受け取り、対応する試験部２５６に同期要求を送信する。

試験部２５６は、少なくとも１つのＤＵＴ１０のインターフェースの少なくとも一部を複数の端子２５８を介して試験する。試験部２５６は、与えられる試験プログラムに応じて動作して、ＤＵＴ１０を試験する。例えば試験部２５６は、与えられる試験プログラムに含まれるそれぞれの命令を順次実行して、各命令に応じた動作を実行する。例えば試験プログラムには、予め与えられる複数のデータパターンを、どのような順序で出力するかを示すシーケンスが含まれてよい。試験部２５６は、当該シーケンスに応じて、それぞれのデータパターンを順番に出力するシーケンサを有してよい。

当該データパターンは、ＤＵＴ１０の各ピンに与えるべき論理値を１ビットずつ指定するビット単位パターンであってよく、ＤＵＴ１０の各ピンに与えるべき論理値を所定の複数ビットずつ指定する複数ビット単位パターンであってもよい。また、当該データパターンは、ＤＵＴ１０の各ピンに与えるべき論理値を、所定の試験機能を実現するために複数ビットに渡って指定するパケット単位パターンであってもよい。

また、試験部２５６は、ＤＵＴ１０から受け取った信号と、期待値とを比較することで、ＤＵＴ１０の良否を判定してよい。試験部２５６は、当該期待値についても、ＤＵＴ１０に与えるべきパターンと同様の処理で生成する。

それぞれの試験部２５６は、試験プログラムに基づいてそれぞれ個別の試験を実行してもよく、これに代えて、２以上の試験部２５６は、試験プログラムに基づいて同期して動作して１つ以上のＤＵＴ１０に対して１つの試験を実行してもよい。この場合２以上の試験部２５６は、試験装置１００が所定の試験を実行するにあたり、予め同期して動作するドメインとして設定されてよい。

試験部２５６は、同期部１５０からの同期要求を受け取ったことに基づき、ＤＵＴ１０の試験を開始してよい。試験部２５６は、所定の試験を終了したことに基づき、同期要求をマルチプレクサ２５４に送信してよい。この場合、試験部２５６は、同期部１５０からの次の同期要求を受け取るまで動作を停止またはアイドリング状態にしてよい。マルチプレクサ２５４は、接続している試験部２５６からの同期信号をマルチプレクスして同期部１５０に送信する。

第１の同期部１５０ａおよび第２の同期部１５０ｂは、複数の試験部２５６のうち少なくとも１つの試験部２５６をそれぞれ含む複数のドメインのそれぞれについて、それぞれのドメインに含まれる少なくとも１つの試験部２５６を同期させる。試験装置１００は、１つの試験項目を実行するにあたり、少なくとも１以上の試験部２５６をドメインとして設定してよく、この場合、同期部１５０は、ドメイン単位で同期を取ってよい。

また、試験装置１００は、同期部１５０に直接接続されていない試験モジュール１６０内の試験部２５６も含めて１つのドメインとしてよい。例えば、試験装置１００は、試験部２５６ａ、試験部２５６ｂ、および試験部２５６ｅを一つのドメインとしてよい。本実施形態において、異なる同期部１５０に接続された２以上の試験部２５６を含むドメインを、分散ドメインと呼ぶ。第１の同期部１５０ａおよび第２の同期部１５０ｂのそれぞれは、当該同期部に設定可能な２以上のドメインのうち、一部のドメインを分散ドメインとして設定可能としてよい。

第１の同期部１５０ａおよび第２の同期部１５０ｂは、それぞれに接続された複数の試験部２５６をドメイン単位で同期させる。第１の同期部１５０ａおよび第２の同期部１５０ｂは、それぞれローカル集約部２００と、交換部２１０と、グローバル集約部２２０と、分配部２３０と、設定記憶部２４０とを有する。ローカル集約部２００は、複数の試験部２５６のうち当該同期部１５０に接続された試験部２５６からの同期要求をドメイン毎に集約する。そして、一例として同期部１５０ａ内のローカル集約部２００は、試験部２５６ａ〜２５６ｄをドメイン単位で集約した同期要求を、交換部２１０に送信する。

交換部２１０は、複数のドメインのうち第１の同期部１５０ａに接続された試験部２５６および第２の同期部１５０ｂに接続された試験部２５６を含む分散ドメインについて、同期部１５０ａまたは１５０ｂ内で集約した同期要求を他方の同期部内で集約した同期要求と交換する。例えば、交換部２１０は、同期部１５０ａ内で集約した同期要求のうち、分散ドメインについて集約した同期要求を選択して他方の同期部１５０ｂへと送信すると共に、当該分散ドメインについて他方の同期部１５０ｂ内で集約した同期要求を他方の同期部１５０ｂから受信する。交換部２１０は、集約したドメインの同期要求と分散ドメインの同期要求とをグローバル集約部２２０に送信する。

グローバル集約部２２０は、分散ドメインについて、第１の同期部１５０ａ内で集約した同期要求と第２の同期部１５０ｂ内で集約した同期要求とを集約する。グローバル集約部２２０は、集約されたドメインおよび分散ドメインの同期要求を、分配部２３０に送信する。分配部２３０は、複数の試験部２５６のうちそれぞれの同期部１５０に接続された試験部２５６のそれぞれに対して、当該試験部を含むドメイン内で集約した同期要求を分配する。

設定記憶部２４０は、同期部１５０内に設定可能な２以上のドメインのうち、分散ドメインとするドメインの設定を記憶する。設定記憶部２４０は、試験部２５６の多様な組み合わせを、ドメインおよび分散ドメインとして記憶してよい。また、ローカル集約部２００およびグローバル集約部２２０は、設定記憶部２４０が記憶したドメインの情報に基づき、同期要求を集約してよい。

以上に示したとおり、同期部１５０は、２以上の同期部１５０をまたがるようなドメインを構成した場合にも、試験部２５６の動作をドメイン毎に同期させることができる。当該試験部２５６の組み合わせは、試験制御部１３０が指定してよく、また、それぞれの試験部２５６が、試験制御部１３０から与えられる試験プログラムに応じて指定してもよい。

図３は、本実施形態に係る第１の同期部１５０ａのローカル集約部２００、交換部２１０、グローバル集約部２２０、および分配部２３０の構成例を示す。ここで第２の同期部１５０ｂは、第１の同期部１５０ａと同様の構成なので説明を省略する。ローカル集約部２００は、同期要求受信部３００と、デマルチプレクス部３１０と、集約部のセグメント３２０と、ドメイン選択部３３０と、ローカル演算部３４０とを含む。

同期要求受信部３００は、各試験モジュール１６０と接続されている。各試験モジュール１６０は、自モジュール内の各試験部２５６からの同期要求を、時分割によりマルチプレクスして、同期要求受信部３００に送信する。同期要求受信部３００は、受信した同期要求をデマルチプレクス部３１０に送信する。

デマルチプレクス部３１０は、試験モジュール１６０によりマルチプレクスされた同期要求をデマルチプレクスして、試験モジュール１６０内のそれぞれの試験部２５６からの同期要求を出力する。デマルチプレクス部３１０は、それぞれの試験部２５６からの同期要求を対応するそれぞれの信号ラインに出力するので、デマルチプレクス部３１０がそれぞれの信号ラインに出力する同期要求は、同期要求の最小単位となるセグメント３２０毎の同期要求として扱われ、各試験部２５６がそれぞれ出力した同期要求と一致する。

ドメイン選択部３３０は、デマルチプレクス部３１０が出力した複数の集約部のセグメント３２０を、ドメイン毎に集約してローカル演算部３４０に送信する。ドメイン選択部３３０は、設定記憶部２４０に記憶されたドメインの情報に基づいて、複数の集約部のセグメント３２０をドメイン毎に集約してよい。ドメインの情報は、一例として、ドメイン毎に各セグメント３２０が当該ドメインに属するかどうかを示すビットマップであってよい。

ローカル演算部３４０は、ドメイン毎に集約された複数のセグメント３２０毎の同期要求を、ドメイン毎に演算する。例えば、第１の同期部１５０ａおよび第２の同期部１５０ｂのそれぞれにおいて、ローカル演算部３４０は、ドメイン内のそれぞれの試験部２５６からの同期要求を設定に応じてＡＮＤ条件およびＯＲ条件のいずれかにより集約してよい。ローカル演算部３４０は、ドメイン毎に集約された同期要求を、交換部２１０に送信する。

ここで、一例として、ローカル演算部３４０がＡＮＤ条件で集約した場合、当該ドメイン内の全ての試験部２５６が同期要求を送信したことに基づいて、ローカル演算部３４０は交換部２１０に同期要求を送信する。この場合、例えばドメイン内の試験部２５６の試験が全て終了したことに基づいて同期要求を送信して、次の試験項目を実行させたい場合等に用いてよい。

また、一例として、ローカル演算部３４０がＯＲ条件で集約した場合、当該ドメイン内の１つ以上の試験部２５６が同期要求を送信したことに基づいて、ローカル演算部３４０は交換部２１０に同期要求を送信する。この場合、例えばドメイン内の試験部２５６の試験が１つでもフェイルになったことに基づいて同期要求を送信して、次の試験項目を実行させたい場合等に用いてよい。

交換部２１０は、交換信号選択部３５０を含む。交換信号選択部３５０は、ローカル演算部３４０からドメイン毎に集約された同期要求を受信して、分散ドメインの同期要求について交換信号として選択する。交換信号選択部３５０は、設定記憶部２４０に記憶された分散ドメインの情報に基づき、交換信号を選択してよい。ここで分散ドメインの情報は、一例として、ドメイン毎に各セグメント３２０が当該ドメインに属するかどうかを示すビットマップであってよい。例えば、当該ドメインが分散ドメインであり、かつ、分散ドメインを構成する試験部２５６が第２の同期部１５０ｂに接続された試験モジュール１６０内に存在する場合、交換信号選択部３５０は、当該ドメインの同期要求を交換信号として選択する。

交換部２１０は、選択された交換信号を分岐して、一方を第２の同期部１５０ｂに送信する。交換部２１０は、もう一方を、交換信号選択部３５０によって選択されなかった分散ドメイン以外のドメインの同期要求と共に、グローバル集約部２２０に送信する。ここで交換部２１０は、第２の同期部１５０ｂから受信した交換信号も、グローバル集約部２２０に送信する。

グローバル集約部２２０は、グローバル演算部３６０を含む。グローバル演算部３６０は、第２の同期部１５０ｂ内で集約した同期要求と、第１の同期部１５０ａ内で集約した同期要求とを設定に応じてＡＮＤ条件およびＯＲ条件のいずれかにより集約する。例えば、グローバル集約部２２０は、ローカル演算部３４０の演算と一致させて、全ての演算をＡＮＤ条件にしてもよく、これに代えて全ての演算をＯＲ条件にしてよい。これによって、分散ドメインを構成する第１の同期部１５０ａおよび第２の同期部１５０ｂにそれぞれ接続された複数の試験部２５６の同期要求を、第１および第２のそれぞれの同期部１５０で集約することができる。

ここでグローバル集約部２２０は、第１の同期部１５０ａ内で集約した同期要求および第２の同期部１５０ｂ内で集約した同期要求のタイミングを調整して、分散ドメインに含まれるそれぞれの試験部２５６から同タイミングで発生した同期要求を同タイミングで集約してよい。これによって、同期部１５０は、各試験部２５６からの同期要求の通知に応じて各試験部２５６を同サイクルで同期させることができる。グローバル集約部２２０は、ドメインおよび分散ドメイン毎に集約した同期要求を、分配部２３０に送信する。

分配部２３０は、セグメント選択部３７０と、分配部のセグメント３７５と、マルチプレクス部３８０と、同期要求送信部３９０とを含む。セグメント選択部３７０は、グローバル集約部２２０が送信したドメインおよび分散ドメイン毎に集約した同期要求を受信して、それぞれ試験モジュール１６０に対応する分配部のセグメント３７５を選択して同期要求を試験モジュール１６０に出力してよい。この場合、セグメント選択部３７０は、全ての試験モジュール１６０に対応するセグメント３７５に同期要求を出力してもよく、これに代えて、予め定められた試験モジュール１６０に対応するセグメント３７５に同期要求を出力してもよい。セグメント選択部３７０は、設定記憶部２４０に記憶されたドメインの情報に基づき、分配部のセグメント３７５を選択してよい。

マルチプレクス部３８０は、集約した同期要求を試験モジュール１６０毎にマルチプレクスする。マルチプレクス部３８０は、試験モジュール１６０毎に同期要求を時分割によりマルチプレクスして、同期要求送信部３９０に送信する。同期要求送信部３９０は、マルチプレクス部３８０によりマルチプレクスされた同期要求を対応する試験モジュール１６０に送信する。

以上の構成例のように、試験装置１００は、複数の試験部２５６から送信される同期要求をドメイン毎に集約してから、同期要求を試験モジュール１６０毎に分配して各試験モジュール１６０にそれぞれ送信する。これによって試験装置１００は、試験プログラムに応じた様々な試験部２５６の組み合わせで構成された複数のドメイン毎に、複数の試験部２５６の動作を同期させる。

図４は、本実施形態に係る試験装置１００の動作例のタイミングチャートを示す。本例では、３つの試験部２５６を有する分散ドメインを同期させて動作させる例を説明するが、他の例では、試験装置１００は、異なる数の試験部２５６を分散ドメインまたはドメインとして同期させてよい。また、試験装置１００は、複数のドメインを同期させて動作させることを並列処理してもよい。

試験制御部１３０は、試験部２５６ａ、２５６ｂ、および２５６ｅを分散ドメインと指定する。この場合、分散ドメインの情報を第１および第２の同期部内の設定記憶部２４０にそれぞれ記憶してよい。試験制御部１３０は、それぞれの試験部２５６に、予め試験プログラムおよびデータパターンを格納してよい。

同期部１５０は、それぞれに接続されている試験部２５６に対して、試験プログラムの実行を開始させるスタート信号（Ｓｔａｒｔ）を同期して供給する。それぞれの試験部２５６は、当該スタート信号に応じて試験プログラムの実行を開始する（Ｒｕｎ）。それぞれの試験プログラムは、複数の試験ブロックが含まれてよい。

それぞれの試験部２５６は、試験プログラムの実行中に予め定められた条件を満たした場合に、同期待ち状態（Ｗａｉｔ）に移行する。例えばそれぞれの試験部２５６は、それぞれの試験ブロックの実行が終了したときに同期待ち状態（Ｗａｉｔ）に移行する。それぞれの試験ブロックの実行は、ＤＵＴ１０から所定の条件を満たす結果が得られた場合に終了してよい。

このように、対応する試験プログラムの実行中に同期待ち状態（Ｗａｉｔ）になる場合、それぞれの試験部２５６は、同期部１５０に同期待ちコマンドを通知する。それぞれの試験部２５６は、同期待ちコマンドを同期部１５０に通知してから、同期待ち状態（Ｗａｉｔ）に移行することが好ましい。また、それぞれの試験部２５６は、当該同期待ち状態が解除された場合に、次の試験ブロックの実行を開始する（Ｒｕｎ）。

同期部１５０は、分散ドメイン内の複数の試験部２５６のうち、所定の１以上の試験部２５６の全てから同期待ちコマンドを受け取ったか否かを検出する。ここで、所定の１以上の試験部２５６がいずれの試験部２５６を指すかは、同期部１５０に予め通知される。例えば、いずれかの試験部２５６が実行する試験ブロック中に、当該所定の１以上の試験部２５６を同期部１５０に通知する命令が含まれてよい。本例では、所定の１以上の試験部２５６が、３個の試験部２５６のうちの全てを指す場合を説明する。

同期部１５０は、全ての試験部２５６から同期待ちコマンドを受け取ったことを条件として、複数の試験部２５６のうち、所定の２以上の試験部２５６に対して、同期待ち状態を解除する同期信号を同期して供給する。ここで、所定の２以上の試験部２５６がいずれの試験部２５６を指すかは、同期部１５０に予め通知される。例えば、いずれかの試験部２５６が実行する試験ブロック中に、当該所定の２以上の試験部２５６を同期部１５０に通知する命令が含まれてよい。本例では、所定の２以上の試験部２５６が、３個の試験部２５６のうちの全てを指す場合を説明する。

第１の同期部１５０ａは、試験部２５６ａおよび試験部２５６ｂに対して、試験プログラムの実行を開始させるスタート信号を同期して供給する。同様に第２の同期部１５０ｂは、試験部２５６ｅに対して、試験プログラムの実行を開始させるスタート信号（Ｓｔａｒｔ）を同期して供給する。図中の一例では、試験部２５６ａは、最初に試験ブロックの実行を終了させて同期待ち状態（Ｗａｉｔ）に移行する。試験部２５６ａは、第１の同期部１５０ａに同期要求を通知する。

次に試験部２５６ｂは、試験ブロックの実行を終了させて同期待ち状態（Ｗａｉｔ）に移行して、第１の同期部１５０ａに同期要求を通知する。次に試験部２５６ｃは、試験ブロックの実行を終了させて同期待ち状態（Ｗａｉｔ）に移行して、第２の同期部１５０ｂに同期要求を通知する。第１の同期部１５０ａは、試験部２５６ａおよび試験部２５６ｂの同期要求の集約結果を第２の同期部１５０ｂに送信する。第２の同期部１５０ｂは、試験部２５６ｅの同期要求を第１の同期部１５０ａに送信する。

第１の同期部１５０ａは、試験部２５６ａおよび試験部２５６ｂの同期要求の集約結果と、第２の同期部１５０ｂから送信された試験部２５６ｅの同期要求とを集約させる。図中の例では、集約に用いる演算はＡＮＤ条件でよく、第１の同期部１５０ａは、試験部２５６ａ、試験部２５６ｂ、および試験部２５６ｃの同期要求の集約結果を試験部２５６ａおよび試験部２５６ｂに送信する。

同様に第２の同期部１５０ｂは、試験部２５６ｅの同期要求と、第１の同期部１５０ａから送信された試験部２５６ａおよび試験部２５６ｂの同期要求の集約結果とを集約させる。第２の同期部１５０ｂは、試験部２５６ａ、試験部２５６ｂ、および試験部２５６ｃの同期要求の集約結果を試験部２５６ｅに送信する。

試験部２５６ａ、試験部２５６ｂ、および試験部２５６ｃは、同期部１５０ａまたは同期部１５０ｂより同期要求の集約結果を受信したことに基づき、次の試験プログラムの実行を開始する（Ｒｕｎ）。以上のように、本例の同期部１５０は、分散ドメイン内の全ての試験部２５６から同期要求を受け取ったことを条件として、全ての試験部２５６に対して同期信号を同期して供給する。

この場合、最後に通知された同期要求を受け取ってから、所定の期間（Ｌａｔｅｎｃｙ）経過後に、３個の試験部２５６に対して、同期信号を同期して供給する。当該期間（Ｌａｔｅｎｃｙ）は、同期部１５０に対して同期待ちコマンドを通知すべき試験部２５６の個数によらず一定であることが好ましい。同期信号を同期して受け取ったそれぞれの試験部２５６は、次の試験ブロックの実行を、同期して開始する。

このような制御を繰り返すことで、それぞれの試験部２５６は、それぞれの試験ブロックの実行を同期して開始することができる。なお、それぞれの試験部２５６が同期して実行すべき試験ブロックの内容、実行時間は、異なってよい。例えば、それぞれの試験部２５６が同期して実行すべき試験ブロックは、互いに異なる構成の命令群を有してよく、互いに異なる命令数の命令群を有してよい。本例の試験装置１００は、試験プログラムの実行中に、各試験部２５６の動作を同期させることができるので、それぞれの試験部２５６が実行時間の異なる試験ブロックを実行しても、試験ブロック毎に各試験部２５６の動作を容易に同期させることができる。

図５は、本実施形態に係る試験装置１００の動作フローを示す。試験装置１００は、試験に用いるパラメータ等の初期設定を実行する（Ｓ５００）。例えば、試験装置１００は、試験プログラムに応じたドメインおよび分散ドメインの情報を設定してよい。また、試験装置１００は、試験プログラムに応じたローカル演算部３４０およびグローバル演算部３６０の演算内容を設定してよい。また、試験装置１００は、ドメインおよび分散ドメインに含まれる試験部２５６の構成に基づき、ドメイン選択部３３０、交換信号選択部３５０、およびセグメント選択部３７０の選択条件を設定してよい。

試験装置１００は、試験部２５６による試験を開始させる（Ｓ５１０）。試験制御部１３０は、試験プログラムに応じて、ドメイン単位で試験を実行してよい。この場合、試験装置１００は、各ドメインによる試験実行を、逐次的に処理させても並列処理させてもよい。ステップＳ５２０からステップＳ５６０は、各ドメインに対する並列処理を実行することを表しており、これに代えて逐次的な処理を実行する場合、ステップＳ５２０からステップＳ５６０は各ドメインに対するループ処理となる。

図中の例において、ローカル演算部３４０およびグローバル演算部３６０の演算は全てＡＮＤとして説明する。即ち、本例の同期部１５０は、ドメインを構成する全ての試験部２５６の試験実行が終了したことに基づき、次の試験実行の同期動作を開始する。したがって、同期部１５０は、各ドメインにそれぞれ含まれている試験部２５６の同期要求が全て通知されているかどうかを判断する（Ｓ５３０）。同期部１５０は、試験部２５６の同期要求が全て通知されるまで、通知待ちのステップＳ５４０と通知確認のステップＳ５３０を繰り返す。

同期部１５０は、ドメインに含まれる全ての試験部２５６の同期要求が通知された場合、同じドメインによる次の試験項目があればそのまま次の試験項目を実行させる（Ｓ５５０）。試験制御部１３０は、各ドメインの試験実行がそれぞれ終了した場合、全ての試験が終了したことを確認する（Ｓ５７０）。試験制御部１３０は、試験プログラムに基づき、他の試験項目があればステップＳ５２０からステップＳ５６０を繰り返して試験を続行させる。ここで試験制御部１３０は、試験プログラムに応じて、ドメインを再構成して試験を実行してよい。

また、試験装置１００は、複数の試験制御部１３０によって試験を実行する場合、それぞれの試験制御部１３０の試験実行は並列処理をしてもよく、同じ試験部２５６の試験実行処理が重なった場合は逐次処理に変更してもよい。この場合は、ドメインまたは分散ドメインの構成情報によって、同一の試験部２５６が複数のドメインに設定されているかどうかに基づいて並列処理をするか逐次処理をするかを判断してよい。試験装置１００は、試験制御部１３０による全ての試験実行が終了したことに基づき、試験を終了させてよい。

以上の本実施形態に係る試験装置１００によれば、複数の試験部２５６による複数の試験を、ドメイン単位で構成してドメイン毎に同期して実行させることができる。また、１つの試験プログラムを実行中に、複数回同期を取ることができる。また、試験装置１００は、複数の同期部１５０に接続されている複数の試験部２５６のうち、試験プログラムに応じた複数のドメインを設定することができる。この場合、試験装置１００は、異なる同期部に接続された試験部２５６を含む分散ドメインを設定してもよく、分散ドメインの試験動作も同期実行させることができる。

図６は、本実施形態に係る試験モジュール１６０の構成の一例を示す。試験モジュール１６０は、試験プログラムに従ってＤＵＴ１０との間でパケットを通信して、ＤＵＴ１０を試験する。

試験モジュール１６０は、一例として、複数の送信側ブロック１２と、複数の受信側ブロック１４と、演算処理部１６と、複数のフロー制御部１８とを備える。本例においては、試験モジュール１６０は、１２８個の送信側ブロック１２と、１２８個の受信側ブロック１４と、１個の演算処理部１６と、８個のフロー制御部１８とを備える。

複数の送信側ブロック１２のそれぞれおよび複数の受信側ブロック１４のそれぞれは、ＤＵＴ１０の何れかの端子と接続される。複数の送信側ブロック１２のそれぞれは、何れか一の受信側ブロック１４と対応付けられる。互いに対応付けられた送信側ブロック１２および受信側ブロック１４のそれぞれは、複数のフロー制御部１８のうちの何れかに対応する。本例においては、８個のフロー制御部１８のそれぞれには、互いに対応付けられた８個の送信側ブロック１２および８個の受信側ブロック１４が対応付けられる。

一対の送信側ブロック１２および受信側ブロック１４は、ＤＵＴ１０との間で通信する一連のパケットを含む複数のパケットリストを記憶する。そして、一対の送信側ブロック１２および受信側ブロック１４は、対応するフロー制御部１８により指定されたパケットリストに含まれる一連のパケットを、ＤＵＴ１０との間で順次に通信する。

演算処理部１６は、試験プログラムに含まれる演算式を処理する。演算処理部１６は、一例として、複数のフロー制御部１８のそれぞれから演算式の引数を受け取り、受け取った引数に基づき演算式を演算し、演算結果を対応するフロー制御部１８に与える。

フロー制御部１８は、試験プログラムの実行フローに基づいて、対応付けられた送信側ブロック１２および受信側ブロック１４のそれぞれに対して、実行すべきパケットリストの順序を指定する。フロー制御部１８は、一例として、試験プログラム中における、分岐命令およびサブルーチン呼出命令等を実行し、これらの命令の実行結果に応じて、対応する送信側ブロック１２および受信側ブロック１４に対して次に実行すべきパケットリストを指定する。

また、フロー制御部１８は、一例として、対応する送信側ブロック１２および受信側ブロック１４からＤＵＴ１０との間の通信結果を受け取り、受け取った通信結果を演算式の引数として演算処理部１６へ転送する。また、フロー制御部１８は、演算処理部１６から演算式の演算結果を受け取り、受け取った演算結果に応じて、対応する送信側ブロック１２および受信側ブロック１４に対して次に実行すべきパケットリストを指定する。

このような試験装置１００は、上位側の演算処理部１６に試験プログラム中の演算式を実行させ、下位側のフロー制御部１８、送信側ブロック１２および受信側ブロック１４にフロー制御を実行させる。これにより、試験装置１００によれば、上位側の演算処理部１６を演算能力の高いプロセッサにより実現して変数を集中管理させ、下位側のフロー制御部１８、送信側ブロック１２および受信側ブロック１４を動作周波数の高いプロセッサまたはシーケンサにより実現して、全体として効率の良いシステムを構築することができる。

また、このような試験装置１００は、ＤＵＴ１０との間で同一のパケットを複数回通信する場合、共通のデータを複数回指定してデータ列を生成することができる。これにより、ＤＵＴ１０によれば、内部に格納するデータ量を小さくすることができる。

図７は、本実施形態に係る送信側ブロック１２および受信側ブロック１４の構成の一例を示す。送信側ブロック１２は、パケットリストにより指定された順序でパケットをＤＵＴ１０に送信する。受信側ブロック１４は、ＤＵＴ１０からパケットを受信して、パケットリストに指定されたパケットと受信したパケットと比較して、ＤＵＴ１０の良否を判定する。

まず、送信側ブロック１２について説明する。送信側ブロック１２は、パケットリスト記憶部２０と、パケットリスト処理部２２と、パケット命令列記憶部２４と、パケットデータ列記憶部２６と、下位シーケンサ２８と、データ処理部３２と、データ変換部３４と、送信部３６とを含む。パケットリスト記憶部２０は、供給された複数のパケットリストを記憶する。

パケットリスト処理部２２は、パケットリスト記憶部２０に記憶された複数のパケットリストのうちフロー制御部１８により指定されたパケットリストを実行して、ＤＵＴ１０と通信する各パケットを順次指定する。パケットリスト処理部２２は、一例として、フロー制御部１８から受信したアドレスからパケットリストを実行して、ＤＵＴ１０に送信するパケットを順次指定する。

パケットリスト処理部２２は、一例として、指定したパケットを発生するための命令列が記憶されたパケット命令列記憶部２４上のアドレスを指定する。更に、パケットリスト処理部２２は、一例として、ＤＵＴ１０との間で通信するパケットについて、パケットデータ列記憶部２６内における当該パケットに含まれるデータ列のアドレス（例えばデータ列の先頭アドレス）を指定する。

このようにパケットリスト処理部２２は、パケットを発生させるための命令列のアドレスと、当該パケットに含まれるデータ列のアドレスを個別に指定する。なお、この場合において、パケットリスト中において、２以上のパケットに対して共通する命令列またはデータ列が指定されている場合に、パケットリスト処理部２２は、当該２以上のパケットについて同一の命令列のアドレスまたは同一のデータ列のアドレスを指定してもよい。

パケット命令列記憶部２４は、複数種類のパケットのそれぞれを発生するための命令列を、パケットの種類毎に記憶する。パケット命令列記憶部２４は、一例として、ライトパケットを発生するための命令列、リードパケットを発生するための命令列、および、アイドルパケットを発生するための命令列等を記憶する。

パケットデータ列記憶部２６は、複数種類のパケットのそれぞれに含まれるデータ列を、パケットの種類毎に記憶する。パケットデータ列記憶部２６は、一例として、ライトパケットに含まれるデータ列、リードパケットに含まれるデータ列、および、アイドルパケットに含まれるデータ列等を含んでよい。また、パケットデータ列記憶部２６は、一例として、パケット毎に変更される個別データ、および、パケットの種類毎に共通の共通データを別個の記憶領域に区別して記憶してもよい。

更に、送信側のパケットデータ列記憶部２６は、受信側ブロック１４内のデータ変換部３４から、受信側ブロック１４内の受信部８２が受信したパケットに含まれる受信データを受け取る。そして、送信側のパケットデータ列記憶部２６は、受信側ブロック１４内の受信部８２が受信したパケットに含まれる受信データを記憶する。

下位シーケンサ２８は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケットの命令列、即ち、パケットリスト処理部２２によりアドレスが指定された命令列をパケット命令列記憶部２４から読み出して、読み出した命令列に含まれる各命令を順次に実行する。更に、下位シーケンサ２８は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケットのデータ列、即ち、パケットリスト処理部２２によりアドレスが指定されたデータ列を、命令列の実行に従って順次にパケットデータ列記憶部２６から出力させて、ＤＵＴ１０との間の試験に用いる試験データ列を生成する。

また、下位シーケンサ２８は、命令の実行毎に、読み出した個別データおよび共通データに対して指定した処理（演算またはデータ変換）を施すことを指示する制御データをデータ処理部３２およびデータ変換部３４に与える。これにより、下位シーケンサ２８は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケット中における、指定されたデータ部分を、読み出したデータに対して指定した処理を施したデータとすることができる。

また、下位シーケンサ２８は、パケットリスト処理部２２により指定されたパケットの命令列の実行が完了したことに応じて、終了通知をパケットリスト処理部２２に与えてよい。これにより、パケットリスト処理部２２は、下位シーケンサ２８による命令列の実行の進行に応じて、順次にパケットを指定することができる。

また、送信側ブロック１２が有する送信側の下位シーケンサ２８は、送信部３６に対して、ＤＵＴ１０に対して送信する信号のエッジタイミングを指定する。下位シーケンサ２８は、一例として、送信部３６に対してタイミング信号を与えて、パケット毎にエッジタイミングを制御する。

また、送信側の下位シーケンサ２８は、受信側ブロック１４が有する受信側の下位シーケンサ２８と通信を行う。これにより、送信側の下位シーケンサ２８は、受信側の下位シーケンサ２８とハンドシェイクを行って、受信側の下位シーケンサ２８と同期して命令列を実行することができる。

送信側の下位シーケンサ２８は、一例として、予め指定されたパケットの試験データ列をＤＵＴ１０に送信したことを受信側の下位シーケンサ２８に通知する。これにより、送信側の下位シーケンサ２８は、受信側の下位シーケンサ２８に、送信側の下位シーケンサ２８からの通知を受けるまでの間、受信したデータ列の良否判定を禁止させることができる。

また、送信側の下位シーケンサ２８は、一例として、受信側の下位シーケンサ２８から、生成した試験データ列と一致するデータ列を受信したことの通知を受けて、予め指定されたパケットの試験データ列を生成する。これにより、送信側の下位シーケンサ２８は、所定のパケットをＤＵＴ１０から受信した後に、予め指定されたパケットをＤＵＴ１０に送信することができる。

データ処理部３２は、パケットデータ列記憶部２６からパケットリスト処理部２２により指定されたパケットのデータ列を読み出して、ＤＵＴ１０の試験に用いる試験データ列を生成する。この場合において、送信側のデータ処理部３２は、ＤＵＴ１０に対して送信するパケットに応じた試験データ列中に、受信側ブロック１４内の受信部８２が受信したパケットに含まれる受信データに応じた値を含めてよい。

例えば、送信側のデータ処理部３２は、送信側のパケットデータ列記憶部２６からデータを読み出して、ＤＵＴ１０に対して送信するパケットのデータ列における予め指定された部分を受信データに応じた値（例えば受信データそのままの値または受信データに何らかの処理を施した値）とした試験データ列を生成する。このような送信側のデータ処理部３２は、ＤＵＴ１０から受信したパケットに含まれていた受信データに応じた値を、パケットに含めて送信することができる。

データ変換部３４は、下位シーケンサ２８から指定されたタイミングにおいて、データ処理部３２から出力した試験データ列をデータ変換する。データ変換部３４は、一例として、試験データ列に対して予め設定されたテーブル等により８ｂ−１０ｂ変換等を行う。更に、データ変換部３４は、一例として、試験データ列に対してスクランブル処理を行ってもよい。そして、データ変換部３４は、変換したデータ列を出力する。

送信部３６は、データ変換部３４が生成した試験データ列を、ＤＵＴ１０に対して送信する。

つぎに、受信側ブロック１４について説明する。受信側ブロック１４は、送信側ブロック１２と略同一の構成および機能を有するので、受信側ブロック１４については、送信側ブロック１２の相違点について説明をする。

受信側ブロック１４は、パケットリスト記憶部２０と、パケットリスト処理部２２と、パケット命令列記憶部２４と、パケットデータ列記憶部２６と、下位シーケンサ２８と、データ処理部３２と、データ変換部３４と、受信部８２と、判定部８４とを含む。受信部８２は、ＤＵＴ１０からパケットのデータ列を受信する。

受信側のデータ変換部３４は、受信側の下位シーケンサ２８から指定されたタイミングにおいて、受信部８２により受信されたデータ列をデータ変換する。受信側のデータ変換部３４は、一例として、受信したデータ列に対して予め設定されたテーブル等により８ｂ−１０ｂ変換等を行う。更に、受信側のデータ変換部３４は、一例として、受信したデータ列に対してデスクランブル処理を行ってもよい。

そして、受信側のデータ変換部３４は、変換したデータ列を判定部８４へ供給する。また、受信側のデータ変換部３４は、変換したデータ列を、受信側のパケットデータ列記憶部２６または送信側のパケットデータ列記憶部２６の少なくとも一方に供給してもよい。

受信側のパケットリスト処理部２２は、フロー制御部１８により指定されたパケットリストを実行して、ＤＵＴ１０から受信されると期待されるパケットを順次指定する。また、受信側のデータ処理部３２は、生成した試験データ列を判定部８４に供給する。

受信側の下位シーケンサ２８は、ＤＵＴ１０から出力が期待されるパケットのデータ列を、試験データ列として受信側のパケットデータ列記憶部２６から出力させる。また、受信側の下位シーケンサ２８は、受信部８２に対して、ＤＵＴ１０から出力された信号のデータ値を取り込むストローブタイミングを指定する。

判定部８４は、受信側のデータ処理部３２から試験データ列を受け取るとともに、受信側のデータ変換部３４から受信したデータ列を受け取る。判定部８４は、受信したデータ列を試験データ列と比較した結果に基づいて、ＤＵＴ１０との間の通信の良否を判定する。判定部８４は、一例として、受信部８２が受信したデータ列と試験データ列とが一致するか否かを比較する論理比較部と、比較結果を記憶するフェイルメモリとを含む。また、判定部８４は、一例として、受信部８２が受信したデータ列が指定されたデータ列と一致したことを受信側の下位シーケンサ２８に通知してもよい。

また、受信側の下位シーケンサ２８は、送信側の下位シーケンサ２８と通信を行う。これにより、受信側の下位シーケンサ２８は、送信側の下位シーケンサ２８とハンドシェイクを行って、送信側の下位シーケンサ２８と同期して命令列を実行することができる。

受信側の下位シーケンサ２８は、一例として、当該受信側の下位シーケンサ２８が生成した試験データ列と一致するデータ列を受信したことを送信側の下位シーケンサ２８に通知する。これにより、送信側の下位シーケンサ２８は、受信側の下位シーケンサ２８から、生成した試験データ列と一致するデータ列を受信したことの通知を受けて、予め指定されたパケットの試験データ列を生成することができる。

また、受信側の下位シーケンサ２８は、一例として、送信側の下位シーケンサ２８から、予め指定されたパケットの試験データ列をＤＵＴ１０に送信したことの通知を受けるまでの間、判定部８４による受信部８２が受信したデータ列の良否判定を禁止する。これにより、受信側の下位シーケンサ２８は、所定のパケットをＤＵＴ１０へ送信した後に、当該所定のパケットに応じた応答がＤＵＴ１０から出力されたか否かを判定することができる。

受信側のパケットデータ列記憶部２６は、受信側ブロック１４側のデータ変換部３４から受信部８２が受信したパケットに含まれる受信データを受け取る。そして、受信側のパケットデータ列記憶部２６は、受信部８２が受信したパケットに含まれる受信データを記憶する。

更に、受信側のデータ処理部３２は、ＤＵＴ１０から出力が期待されるパケットに含まれる試験データ列に、受信部８２が既に受信したパケットに含まれる受信データに応じた値を含める。例えば、受信側のデータ処理部３２は、受信側のパケットデータ列記憶部２６からデータを読み出して、ＤＵＴ１０からの受信を期待するパケットのデータ列における予め指定された部分を、受信データに応じた値（例えば受信データそのままの値又は何らかの処理を施した値）とした試験データ列を生成する。

例えば、受信側のデータ処理部３２は、ＤＵＴ１０から受信すべき第２のパケットに応じた試験データ列中に、受信部８２が既に受信した第１のパケットに含まれる受信データに応じた値を含めてよい。これにより、受信側のデータ処理部３２によれば、例えば、ＤＵＴ１０から受信したパケットに含まれるＩＤ等を参照して、次以降のパケットに含まれるべきＩＤが正しいか否かを判定することができる。

以上のように、本実施形態に係る試験装置１００によれば、受信したパケットに含まれる受信データに応じた値を次以降のパケット内に含める処理を、ＤＵＴ１０に比較的に近い位置で行うことができる。これにより、試験装置１００によれば、ＤＵＴ１０とのやり取りの応答を高速にすることができる。

また、試験装置１００は、比較的に動作周波数の高い演算処理ユニット等により実現されたデータ処理部３２を備えることが好ましい。これにより、試験装置１００は、受信したパケットに含まれるデータから、次以降のパケットに含めるデータを生成する処理を高速に行うことができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０ ＤＵＴ、１２ 送信側ブロック、１４ 受信側ブロック、１６ 演算処理部、１８ フロー制御部、２０ パケットリスト記憶部、２２ パケットリスト処理部、２４ パケット命令列記憶部、２６ パケットデータ列記憶部、２８ 下位シーケンサ、３２ データ処理部、３４ データ変換部、３６ 送信部、８２ 受信部、８４ 判定部、１００ 試験装置、１１０ システム制御部、１２０ ハブ、１３０ 試験制御部、１４０ バス、１５０ 同期部、１６０ 試験モジュール、１７０ 接続部、２００ ローカル集約部、２１０ 交換部、２２０ グローバル集約部、２３０ 分配部、２４０ 設定記憶部、２５２ デマルチプレクサ、２５４ マルチプレクサ、２５６ 試験部、２５８ 端子、３００ 同期要求受信部、３１０ デマルチプレクス部、３２０ セグメント、３３０ ドメイン選択部、３４０ ローカル演算部、３５０ 交換信号選択部、３６０ グローバル演算部、３７０ セグメント選択部、３７５ セグメント、３８０ マルチプレクス部、３９０ 同期要求送信部

Claims (7)

1. 少なくとも１つの被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   前記少なくとも１つの被試験デバイスを複数の端子を介して試験する複数の試験部と、
   前記複数の試験部のうち少なくとも１つの試験部をそれぞれ含む複数のドメインのそれぞれについて、それぞれのドメインに含まれる前記少なくとも１つの試験部を同期させる第１の同期部および第２の同期部と、
   を備え、
   前記第１の同期部および前記第２の同期部のそれぞれは、
   前記複数の試験部のうち当該同期部に接続された試験部からの同期要求をドメイン毎に集約するローカル集約部と、
   前記複数のドメインのうち前記第１の同期部に接続された試験部および前記第２の同期部に接続された試験部を含む分散ドメインについて、当該同期部内で集約した同期要求を他方の同期部内で集約した同期要求と交換する交換部と、
   前記分散ドメインについて、前記他方の同期部内で集約した同期要求と当該同期部内で集約した同期要求とを集約するグローバル集約部と、
   前記複数の試験部のうち当該同期部に接続された試験部のそれぞれに対して、当該試験部を含むドメイン内で集約した同期要求を分配する分配部と、
   を有する試験装置。
2. 前記第１の同期部および前記第２の同期部のそれぞれは、
   当該同期部内に設定可能な２以上のドメインのうち、前記分散ドメインとするドメインの設定を記憶する設定記憶部を更に備え、
   前記交換部は、当該同期部内で集約した同期要求のうち、前記分散ドメインについて集約した同期要求を選択して前記他方の同期部へと送信すると共に、当該分散ドメインについて前記他方の同期部内で集約した同期要求を前記他方の同期部から受信する
   請求項１に記載の試験装置。
3. 前記第１の同期部および前記第２の同期部のそれぞれは、当該同期部に設定可能な２以上のドメインのうち、一部のドメインを前記分散ドメインとして設定可能である請求項２に記載の試験装置。
4. 前記グローバル集約部は、当該同期部内で集約した同期要求および前記他方の同期部内で集約した同期要求のタイミングを調整して、前記分散ドメインに含まれるそれぞれの前記試験部から同タイミングで発生した同期要求を同タイミングで集約する請求項１から３のいずれかに記載の試験装置。
5. 前記第１の同期部および前記第２の同期部のそれぞれにおいて、
   前記ローカル集約部は、ドメイン内のそれぞれの前記試験部からの同期要求を設定に応じてＡＮＤ条件およびＯＲ条件のいずれかにより集約し、
   前記グローバル集約部は、前記他方の同期部内で集約した同期要求と当該同期部内で集約した同期要求とを設定に応じてＡＮＤ条件およびＯＲ条件のいずれかにより集約する
   請求項１から４のいずれかに記載の試験装置。
6. 前記複数の試験部のそれぞれは、前記複数の端子のうち少なくとも１つの端子を介して前記少なくとも１つの被試験デバイスを試験し、
   それぞれが２以上の前記試験部を搭載して、前記２以上の試験部のそれぞれからの同期要求をマルチプレクスして送信する複数の試験モジュールを備え、
   前記第１の同期部および前記第２の同期部のそれぞれにおいて、
   前記ローカル集約部は、
   前記複数の試験モジュールのうち当該同期部に接続された試験モジュールからマルチプレクスされた同期要求を受信する同期要求受信部と、
   前記試験モジュールによりマルチプレクスされた同期要求をデマルチプレクスして、前記試験モジュール内のそれぞれの前記試験部からの同期要求を出力するデマルチプレクス部と、
   を有し、
   前記分配部は、
   集約した同期要求を前記試験モジュール毎にマルチプレクスするマルチプレクス部と、
   前記マルチプレクス部によりマルチプレクスされた同期要求を対応する前記試験モジュールに送信する同期要求送信部と、
   を有する
   請求項１から５のいずれかに記載の試験装置。
7. 少なくとも１つの被試験デバイスを試験する試験方法であって、
   前記少なくとも１つの被試験デバイスを複数の端子を介して試験する複数の試験段階と、
   前記複数の試験段階のうち少なくとも１つの試験段階をそれぞれ含む複数のドメインのそれぞれについて、それぞれのドメインに含まれる前記少なくとも１つの試験段階を同期させる第１の同期段階および第２の同期段階と、
   を備え、
   前記第１の同期段階および前記第２の同期段階のそれぞれは、
   前記複数の試験段階のうち当該同期段階に含まれる試験段階からの同期要求をドメイン毎に集約するローカル集約段階と、
   前記複数のドメインのうち前記第１の同期段階に含まれる試験段階および前記第２の同期段階に含まれる試験段階を含む分散ドメインについて、当該同期段階内で集約した同期要求を他方の同期段階内で集約した同期要求と交換する交換段階と、
   前記分散ドメインについて、前記他方の同期段階内で集約した同期要求と当該同期段階内で集約した同期要求とを集約するグローバル集約段階と、
   前記複数の試験段階のうち当該同期段階に接続された試験段階のそれぞれに対して、当該試験段階を含むドメイン内で集約した同期要求を分配する分配段階と、
   を有する試験方法。

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