JP2011054619A5 - 基板処理装置、基板処理装置の表示方法、基板処理装置の制御方法、外部記憶装置。 - Google Patents

Claims (4)

1. 基板処理に関する情報を操作する操作画面の表示を制御する制御手段と、
   着脱可能な外部記憶装置を装備する装着部と
   を有する基板処理装置であって、
   前記制御手段は、前記外部記憶装置が前記装着部に装着されている場合、装着された外部記憶装置を取り外すためのボタンが押下可能な場所に配置されるよう制御し、前記外部記憶装置が前記装着部に装着されていない場合、前記ボタンが押下されないよう制御する基板処理装置。
2. 基板処理に関する情報を操作する操作画面の表示を制御する制御手段と、
   着脱可能な外部記憶装置を装備する装着部と
   を有する基板処理装置の制御方法であって、
   前記制御手段は、前記外部記憶装置が前記装着部に装着されている場合、装着された外部記憶装置を取り外すためのボタンが押下可能な場所に表示されるよう制御し、前記外部記憶装置が前記装着部に装着されていない場合、前記ボタンが押下されないよう制御する基板処理装置の制御方法。
3. 基板処理に関する情報を操作する操作画面の表示を制御する制御手段と、
   着脱可能な外部記憶装置を装備する装着部と
   を有する基板処理装置の表示方法であって、
   前記制御手段は、前記外部記憶装置が前記装着部に装着されている場合、装着された外部記憶装置を取り外すためのボタンを押下可能な場所に明示し、前記外部記憶装置が前記装着部に装着されていない場合、前記ボタンを前記操作画面の背景と同様の色にして暗示する基板処理装置の表示方法。
4. 基板処理に関する情報を操作する操作画面の表示を制御する制御手段を有する基板処理装置の装着部に着脱可能な外部記憶装置であって、
   前記装着部に装着されている場合、取り外すためのボタンが押下可能に明示され、前記装着部に装着されていない場合、前記ボタンが前記操作画面上の背景と同様の色にして暗示されると共に押下されないよう制御される外部記憶装置。