JP2011048180A - 反射型空間光変調器 - Google Patents
反射型空間光変調器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011048180A JP2011048180A JP2009196993A JP2009196993A JP2011048180A JP 2011048180 A JP2011048180 A JP 2011048180A JP 2009196993 A JP2009196993 A JP 2009196993A JP 2009196993 A JP2009196993 A JP 2009196993A JP 2011048180 A JP2011048180 A JP 2011048180A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- pixel
- incident
- magnetization
- faraday rotator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】光の入出射側に偏光フィルタ91を配置して、偏光フィルタ91を透過した入射偏光Linを入射されて、反射した光を偏光フィルタ91に再び透過させて取り出す空間光変調器であって、入射した光の偏光方向を異なる2値の角度θP,θAPで回転させて出射する光変調素子1を備えた画素4上にファラデー回転子5を備える。入射偏光Linおよび画素4からの反射光が透過するファラデー回転子5のファラデー回転角θFを(±45°−θP/2)とすることにより、画素4でθP旋光して反射した光が入射偏光Linに対して90°旋光した出射偏光Lout0となって偏光フィルタ91で遮光される。
【選択図】図3
Description
以下、本発明に係る反射型空間光変調器(以下、空間光変調器)を実現するための形態について、図を参照して説明する。本発明の第1実施形態に係る空間光変調器10は、図1に示すように2次元アレイ状に配列された画素4からなる画素アレイ40と、画素アレイ40上に透明な絶縁部材(図示省略)を挟んで配置されたファラデー回転子5(図2参照)と、画素アレイ40から1つ以上の画素4を選択して駆動する電流制御部(画素選択手段)80を備える。なお、本明細書における平面(上面)は空間光変調器の光の入射/出射面であり、空間光変調器10は画素4(画素アレイ40)に上方から入射した光を反射してその光を変調して上方へ出射する反射型の空間光変調器である。また、平面視での縦、横は、図1における縦、横をそれぞれ示す。また、本明細書における画素とは、空間光変調器による表示の最小単位での情報(明/暗)を表示する手段を指す。
空間光変調器10の画素4の構成の詳細を図1、図2、および図3を参照して説明する。上部電極2は、図2に示すように光変調素子1の上に配され、図1に示すように横方向に帯状に延設される。1つの上部電極2は、横1行に配置された複数の画素4,4,…のそれぞれの光変調素子1に電流を供給する。一方、下部電極3は、光変調素子1の下に配され、縦方向に帯状に延設される。1つの下部電極3は、縦1列に配置された複数の画素4,4,…のそれぞれの光変調素子1に電流を供給する。
ファラデー回転子5は、空間光変調器10において、画素アレイ40の光の入出射側、すなわち上方に配置され、詳しくは後記するように、入射偏光および光変調素子1からの反射光を透過して、所定の方向および角度+θFでそれぞれ旋光させる。ファラデー回転子5は、光アイソレータ等に用いられる公知の磁気光学材料で構成されるが、例えば特許第3953812号公報に記載されたビスマス置換型希土類鉄ガーネット単結晶膜を用いることで、外部磁界を印加することなく、透過した光を一定の角度θFで旋光させることができる。なお、角度θFはファラデー回転子5のファラデー回転角であり、ファラデー回転子5の材料および膜厚、温度、入射光の波長および入射角等で決定される。角度θFの狙い値にもよるが、ファラデー回転子5は、光変調素子1(磁化固定層11および磁化自由層13)の磁化方向と平行または反平行(同方向または逆方向)な磁化方向が好ましい。光変調素子1が垂直磁気異方性材料で構成されている場合は、ファラデー回転子5は膜面に垂直な(膜成長方向の)磁化容易軸を有することが好ましく、本実施形態においては磁化固定層11と同じ上方向の磁化としている。
次に、本実施形態に係る空間光変調器10の画素4(画素アレイ40)の製造方法について、その一例を説明する。
まず、下部電極3を形成する。基板7の表面に、金属電極材料をスパッタリング法等により成膜し、フォトリソグラフィ等によりストライプ状に形成して下部電極3とする。そして、下部電極3,3間にSiO2等の絶縁膜(絶縁部材6となる)を堆積させる。
次に、本発明の一実施形態に係る空間光変調器の動作を、図2および図3を参照して説明する。空間光変調器10の上方には、ファラデー回転子5および画素アレイ40に向けて光を照射する光源93と、偏光フィルタ(偏光子)91と、空間光変調器10から出射した光を検出する検出器94とが配置される。
次に、図4を参照して、本発明の第2実施形態およびその変形例に係る空間光変調器について説明する。第1実施形態(図1〜3参照)と同一の要素については同じ符号を付し、説明を省略する。第2実施形態に係る空間光変調器も反射型であり、第1実施形態に係る空間光変調器のファラデー回転子の周囲に磁界印加手段を備えたものである。
1 光変調素子(磁気光学素子)
11 磁化固定層
12 中間層
13 磁化自由層
40 画素アレイ
4 画素
2 上部電極
3 下部電極
5,5A ファラデー回転子
51,51A 磁石(磁界印加手段)
6 絶縁部材
7 基板
80 電流制御部(画素選択手段)
91 偏光フィルタ(偏光子)
Claims (5)
- 光の入出射側に偏光子を配して、この偏光子を透過した光を入射されて、反射した光を前記偏光子に再び透過させて取り出す反射型空間光変調器であって、
2次元配列された複数の画素と、前記複数の画素から1つ以上の画素を選択する画素選択手段と、前記複数の画素に対して光の入出射側に配置されたファラデー回転子と、を備えて、
前記画素は、前記画素選択手段による当該画素の選択または非選択の状態に応じて、入射した光の偏光方向を異なる2値の角度で回転させて出射する磁気光学素子を備え、
前記ファラデー回転子は、前記2値の角度をα、α+2θk(|α|≦180°、0°<|θk|<90°)で表したとき、透過した光の偏光方向を(±45°−α/2)の角度で回転させる構造であることを特徴とする反射型空間光変調器。 - 光の入出射側に偏光子を配して、この偏光子を透過した光を入射されて、反射した光を前記偏光子に再び透過させて取り出す反射型空間光変調器であって、
2次元配列された複数の画素と、前記複数の画素から1つ以上の画素を選択する画素選択手段と、前記複数の画素に対して光の入出射側に配置されたファラデー回転子と、を備えて、
前記画素は、前記画素選択手段による当該画素の選択または非選択の状態に応じて、入射した光の偏光方向を異なる2値の角度で回転させて出射する磁気光学素子を備え、
前記ファラデー回転子は、前記2値の角度をα、α+2θk(|α|≦180°、0°<|θk|<90°)で表したとき、透過した光の偏光方向を(±45°−α/2−θk)の角度で回転させる構造であることを特徴とする反射型空間光変調器。 - 前記磁気光学素子がスピン注入磁化反転素子であり、前記画素選択手段が前記磁気光学素子に電流を供給する手段を備える請求項1または請求項2に記載の反射型空間光変調器。
- 前記ファラデー回転子の周囲に磁界印加手段をさらに備える請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の反射型空間光変調器。
- 前記複数の画素および前記ファラデー回転子の周囲に磁界印加手段をさらに備えて、
前記磁界印加手段は、前記スピン注入磁化反転素子が備える磁化固定層から漏れる磁界をキャンセルする方向の磁界を印加することを特徴とする請求項3に記載の反射型空間光変調器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009196993A JP5249876B2 (ja) | 2009-08-27 | 2009-08-27 | 反射型空間光変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009196993A JP5249876B2 (ja) | 2009-08-27 | 2009-08-27 | 反射型空間光変調器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011048180A true JP2011048180A (ja) | 2011-03-10 |
JP5249876B2 JP5249876B2 (ja) | 2013-07-31 |
Family
ID=43834561
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009196993A Expired - Fee Related JP5249876B2 (ja) | 2009-08-27 | 2009-08-27 | 反射型空間光変調器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5249876B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012252204A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光変調素子および空間光変調器 |
JP2013045091A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 空間光変調器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06243402A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-02 | Canon Inc | 光磁気記録再生装置 |
WO2007126148A1 (en) * | 2006-04-28 | 2007-11-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display, instrument panel, optical system and optical instrument |
JP2008064825A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 多素子空間光変調器およびこれを備えた映像表示装置 |
JP2008083686A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-04-10 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光変調器、表示装置、ホログラフィー装置、及びホログラム記録装置 |
JP2008145748A (ja) * | 2006-12-11 | 2008-06-26 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 磁気光学式空間光変調器 |
-
2009
- 2009-08-27 JP JP2009196993A patent/JP5249876B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06243402A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-02 | Canon Inc | 光磁気記録再生装置 |
WO2007126148A1 (en) * | 2006-04-28 | 2007-11-08 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display, instrument panel, optical system and optical instrument |
JP2008083686A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-04-10 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光変調器、表示装置、ホログラフィー装置、及びホログラム記録装置 |
JP2008064825A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 多素子空間光変調器およびこれを備えた映像表示装置 |
JP2008145748A (ja) * | 2006-12-11 | 2008-06-26 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 磁気光学式空間光変調器 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6012055245; 青島賢一: '"スピン偏極電流を利用した超高精細光変調素子"' NHK技研R&D No.110, 20080715, p.10-15 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012252204A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光変調素子および空間光変調器 |
JP2013045091A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 空間光変調器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5249876B2 (ja) | 2013-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5567969B2 (ja) | 光変調素子およびこれを用いた空間光変調器 | |
JP5238619B2 (ja) | 磁気光学式空間光変調器およびその製造方法 | |
JP5852363B2 (ja) | 空間光変調器 | |
JP2008064825A (ja) | 多素子空間光変調器およびこれを備えた映像表示装置 | |
JP5507894B2 (ja) | 磁気光学素子と光変調器と磁気光学制御素子及び画像表示装置 | |
JP4939502B2 (ja) | 磁気光学式空間光変調器および磁気光学式撮像装置 | |
JP6017165B2 (ja) | 空間光変調器 | |
JP5249876B2 (ja) | 反射型空間光変調器 | |
JP2010232374A (ja) | 磁気抵抗素子ならびにこれを用いた磁気ランダムアクセスメモリおよび空間光変調器 | |
JP5054639B2 (ja) | 光変調素子および空間光変調器 | |
JP2010145462A (ja) | 多素子空間光変調器 | |
JP5679690B2 (ja) | スピン注入磁化反転素子ならびにこれを用いた磁気ランダムアクセスメモリおよび空間光変調器 | |
JP4939477B2 (ja) | 多素子空間光変調器 | |
JP2012230143A (ja) | スピン注入型磁化反転素子、光変調素子および空間光変調器 | |
JP5281522B2 (ja) | 空間光変調器 | |
JP2011180355A (ja) | 光変調素子および空間光変調器 | |
JP5581171B2 (ja) | 光変調素子およびこれを用いた空間光変調器 | |
JP2018205515A (ja) | 光変調素子、空間光変調器、および空間光変調システム | |
JP5567970B2 (ja) | 光変調素子およびこれを用いた空間光変調器 | |
JP5238616B2 (ja) | 光変調素子 | |
JP6546745B2 (ja) | 光変調素子および空間光変調器 | |
JP6581454B2 (ja) | 空間光変調器 | |
JP6329384B2 (ja) | スピン注入磁化反転素子 | |
JP5054640B2 (ja) | 光変調素子、光変調器、表示装置、ホログラフィ装置及びホログラム記録装置 | |
JP2012252204A (ja) | 光変調素子および空間光変調器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120104 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121023 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130319 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130412 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5249876 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |