JP4939477B2 - 多素子空間光変調器 - Google Patents
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Description
まず、下部電極3を形成する。基板7の表面に、透明電極材料をスパッタリング法等により成膜し、フォトリソグラフィやリフトオフ等によりストライプ状に形成して透明電極3aとする。透明電極3a上には下地層3bを形成するが、前記したように、その上の層である光変調素子5を連続して成膜することが好ましい。そこで、先に、透明電極3a,3a間に絶縁部材6としてSiO2等の絶縁膜を堆積させる。
10 駆動制御部
11 電源(電流供給手段)
14 画素選択部(画素選択手段)
40 画素アレイ
4 画素
2 上部電極(電極)
3 下部電極(電極)
5 光変調素子(スピン注入磁化反転素子)
51 磁化固定層
52 中間層
53 磁化反転層
6 絶縁部材
7 基板
Claims (3)
- 2次元配列された複数の画素を有する画素アレイと、この画素アレイから1つ以上の画素を選択して当該画素の階調を指定する画素選択手段と、この画素選択手段が選択した画素に当該画素選択手段が指定した階調に応じた大きさの電流を供給する電流供給手段と、を備える多素子空間光変調器であって、
前記画素は、互いに隣り合う間隔が1μm未満となるように配置された複数の同一形状のスピン注入磁化反転素子と、これらのスピン注入磁化反転素子を並列に接続して共通の電流を供給する一対の電極と、を備え、
前記スピン注入磁化反転素子は、所定の電流が供給されると磁化反転層の磁化が一方向またはその逆方向を示すものであると共に、入射した光の偏光方向を変化させて出射するものであり、
前記画素内における前記複数のスピン注入磁化反転素子は、前記電流供給手段から供給された電流の大きさに応じて、それぞれの磁化反転層の磁化が、そのすべてが前記一方向となる状態と、そのすべてが前記逆方向となる状態と、そのすべての一部が前記一方向となりそれ以外が前記逆方向となる状態と、を示すことを特徴とする多素子空間光変調器。 - 前記一対の電極は、前記複数のスピン注入磁化反転素子の上部に接続される上部電極と、当該複数のスピン注入磁化反転素子の下部に接続される下部電極と、からなり、
前記上部電極は、その上方から照射された光が前記複数のスピン注入磁化反転素子に入射するように前記光を透過させる材料で形成され、
前記下部電極は、その下方へ前記複数のスピン注入磁化反転素子から出射された光が照射されるように前記光を透過させる材料で形成されることを特徴とする請求項1に記載の多素子空間光変調器。 - 前記一対の電極は、前記複数のスピン注入磁化反転素子の上部に接続される上部電極と、当該複数のスピン注入磁化反転素子の下部に接続される下部電極と、からなり、
前記上部電極は、その上方から照射された光が前記複数のスピン注入磁化反転素子に入射するように前記光を透過させ、かつ、その上方へ前記複数のスピン注入磁化反転素子から出射された光が照射されるように前記光を透過させる材料で形成され、
前記上方から照射された光を前記下部電極または前記スピン注入磁化反転素子で反射させて前記上方へ出射することを特徴とする請求項1に記載の多素子空間光変調器。
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