JP2011040653A - フォトマスクブランクスの洗浄方法 - Google Patents
フォトマスクブランクスの洗浄方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011040653A JP2011040653A JP2009188388A JP2009188388A JP2011040653A JP 2011040653 A JP2011040653 A JP 2011040653A JP 2009188388 A JP2009188388 A JP 2009188388A JP 2009188388 A JP2009188388 A JP 2009188388A JP 2011040653 A JP2011040653 A JP 2011040653A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- conductive film
- mask blank
- film
- electrostatic chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】ガラス基板の一方の面に導電膜が形成され、吸着保持面に有機系の誘電体を用いた静電チャックにより、該導電膜が吸着保持される反射型マスクブランクス10の洗浄方法であって、マスクブランクス10を導電膜を上にしてスピン式洗浄装置20に設置し、洗浄吐出口23より、0.1〜5規定のアルカリ金属水酸化物水溶液を供給して前記導電膜表面を洗浄することを特徴とする反射型マスクブランクスの洗浄方法。
【選択図】図2
Description
より具体的には、ガラス基板の成膜面上に反射層および吸収層がこの順に形成され、該成膜面に対する裏面に導電膜が形成された反射型マスクブランクスの洗浄方法に関する。
なお、製造された反射型マスクブランクスのパターニングプロセス時、あるいはパターニング後のマスクの露光時にも、静電チャックによる吸着保持が好ましく用いられる。
しかしながら、ガラス基板は誘電率および導電率が低いため、十分なチャック力を得るには高電圧を印加する必要があり、絶縁破壊を生じる危険性がある。
以下、本明細書において、静電チャックによる吸着保持によって発生する塵が異物として存在するもののことを「静電チャックによる吸着保持に起因する異物」という。
しかしながら、静電チャックによる吸着保持の際、静電チャックと導電膜との間には強いチャック力が加わるので、静電チャックと導電膜との界面に存在していた異物は導電膜の表面に固着した状態となり、除去することが困難である。
本発明は、このような知見に基づいてなされたものであり、ガラス基板の一方の面に導電膜が形成され、吸着保持面に有機系の誘電体を用いた静電チャックにより、該導電膜が吸着保持される反射型マスクブランクスの洗浄方法であって、
0.1〜5規定のアルカリ金属水酸化物水溶液を用いて前記導電膜表面を洗浄することを特徴とする反射型マスクブランクスの洗浄方法(以下、本明細書において、「本発明のマスクブランクスの洗浄方法」という。)を提供する。
本発明のマスクブランクスの洗浄方法は、導電膜表面の洗浄に0.1〜5規定のアルカリ金属水酸化物水溶液を用いることから、導電膜自体に悪影響を及ぼすことがない。また、多層反射膜および吸収層といったマスクブランクスの主要構成要素や、キャップ層、バッファ層および低反射層といった必要に応じて形成される各種機能膜に悪影響を及ぼすことがない。
図1は、反射型マスクブランクスの一般的な構成を示した模式図である。図1に示すマスクブランクス10において、基体をなすガラス基板11の成膜面上には、多層反射膜12および吸収層13がこの順に形成されている。一方、ガラス基板11の裏面には導電膜14が形成されている。
以下、図1に示すマスクブランクス10の各構成要素について説明する。
また、ガラス基板11は、マスクブランクスやパターン形成後のフォトマスクの洗浄に通常用いられるアルカリ性の洗浄液への耐性に優れたものが好ましい。
上記を満たすガラス基板11としては、低熱膨張係数を有するガラス基板、例えばSiO2−TiO2系ガラス基板を用いることができる。但し、これに限定されず、β石英固溶体を析出した結晶化ガラス基板や石英ガラス基板も用いることもできる。
また、ガラス基板11は、平滑性および平坦度に優れることが好ましい。一例を挙げると、EUVリソグラフィ用の反射型マスクブランクスの基体として用いるガラス基板の場合、その成膜面が、Rmsが0.15nm以下の平滑な表面と100nm以下の平坦度を有していることがパターン形成後のフォトマスクにおいて高反射率および転写精度が得られるために好ましい。
ガラス基板11の大きさや厚みなどはマスクの設計値等により適宜決定されるものであるが、一例を挙げると外形6インチ(152.4mm)角で、厚さ0.25インチ(6.3mm)である。
このような高EUV光線反射率を示す多層反射膜12としては、Si膜とMo膜とを交互に積層させたSi/Mo多層反射膜、BeとMo膜とを交互に積層させたBe/Mo多層反射膜、Si化合物とMo化合物層とを交互に積層させたSi化合物/Mo化合物多層反射膜、Si膜、Mo膜およびRu膜をこの順番に積層させたSi/Mo/Ru多層反射膜、Si膜、Ru膜、Mo膜およびRu膜をこの順番に積層させたSi/Ru/Mo/Ru多層反射膜が挙げられる。
例えば、多層反射膜表面の酸化を防止するためのキャップ層が多層反射膜上に形成される場合もある。また、エッチング処理の際に多層反射膜がダメージを受けるのを防止するため、多層反射膜上にバッファ層が形成される場合もある。また、マスクパターンの検査時のコントラストを高めるために、マスクパターンの検査に用いる検査光に対する反射率が低い低反射層が吸収層上に形成される場合もある。
なお、多層反射膜、吸収層および各種機能膜は、スパッタリング法等の各種成膜法により、ガラス基板の成膜面上に形成することができる。
上記では、マスクブランクス10を静電チャックで吸着保持する際と記載したが、ガラス基板11の成膜面上に多層反射膜12および吸収層13を形成して、マスクブランクス10を作成する際にも、基体であるガラス基板11を静電チャックで吸着保持する。したがって、多層反射膜12および吸収層13を形成する前のガラス基板11の段階から、該ガラス基板11の裏面には導電膜14が形成されている。
これらの中でも導電膜のシート抵抗を低くすることができる、安価である、ガラス基板との密着性に優れる、マスク材料として広く使用されているため成膜に関する知見がかなり蓄積されている等の理由からCrを主成分とする導電膜が好ましい。なお、本明細書において、Crを主成分とする導電膜と言った場合、当該膜材料中Crを55at%以上、好ましくは65at%以上、より好ましくは70at%以上含有する導電膜を意味する。
Crを主成分とする導電膜には、その特性を損なわない限り、Cr以外の材料を含んでもよい。導電膜に含んでもよいCr以外の材料の具体例としては、B、N、Si等が挙げられる。
上述したように、吸着保持面に有機系の誘電体を用いた静電チャックは、アルミナ、窒化アルミニウム、炭化珪素、ガラスといった無機系の誘電体を吸着保持面に用いた静電チャックに比べて、可塑性を有することから吸着時の傷や擦れが少なく、したがって、発塵が少ない、また、誘電体を張り替えることにより再生が容易である等の理由から好ましい。
吸着保持面に用いる有機系の誘電体としては、ポリイミド、ポリテトラフルオロエチレン、ポリオレフィン等が例示される。これらの中でも、引っ張り強度、引き裂き強度の理由からポリイミドが好ましい。
しかしながら、導電膜の表面に存在する異物の数、発生頻度、および、異物の大きさという観点で見た場合、これら他の要因による異物は、静電チャックによる吸着保持による異物に比べて無視できる。
一方、導電膜の表面にμmオーダーのサイズの異物が存在していると、マスクブランクスの外観の悪化や、パターニング後のマスクを静電チャックで吸着保持して露光に供する際に、露光面に微細な変形部位が生じて転写不良等の問題を生じるおそれがあることから、本発明のマスクブランクスの洗浄方法を用いて除去する。
また、μmオーダーのサイズの異物ではないが、導電膜の表面に存在する大きさ200nm以上の異物の数は100個未満に抑えることが好ましい。
上述したように、吸着保持面に有機系の誘電体を用いた静電チャックの場合、静電チャックによる吸着保持に起因する異物のほとんどが、吸着保持面に用いられている有機系の誘電体の一部が剥離することによって生じたものである。本発明のマスクブランクスの洗浄方法では、このような有機系の誘電体の一部が剥離して生じた異物の表面を水溶性の高い状態に変質させ、導電膜表面との結合力を弱めた上で水中に拡散し易くするアルカリ金属水酸化物水溶液を洗浄液として用いることにより、導電膜の表面に存在する異物を除去するものである。
上述したように、導電膜の表面に存在する異物は、静電チャックによる吸着保持の際、静電チャックと導電膜との間に強いチャック力が加わる結果、導電膜の表面に固着した状態となっている。本発明のマスクブランクスの洗浄方法は、導電膜の表面に固着したこのような異物の表面を水溶性の高い状態に変質させ、導電膜表面との結合力を弱めた上で水中に拡散し易くすることにより、導電膜の表面に存在する異物を除去するものである。
ここで、アルカリ金属水酸化物水溶液による洗浄によって、導電膜表面に固着した異物が除去されることは必ずしも要求されず、洗浄によって異物との結合力が低下した導電膜表面をスクラブ洗浄することによって、該導電膜表面から異物を除去するものであってもよい。
なお、有機系の誘電体自体を溶解することができるような洗浄液を用いる場合、有機系の誘電体の構成材料の分子鎖を切断するような強力な化学作用をもつ物質を添加する必要があるが、このような物質は同時に、導電膜や、該導電膜に対して裏面側に形成された多層反射膜、吸収層等とも化学反応を起こし、特性を損なう可能性が極めて高いため、マスクブランクスの洗浄という目的にそぐわない。
したがって、本発明におけるアルカリ金属水酸化物水溶液は、半導体製造分野でポリイミド前駆体の除去に用いられる洗浄液やポリイミドフィルムのエッチング液に含まれる酸化剤、還元剤を含有することは好ましくない。このような酸化剤、還元剤の具体例としては、エチレンジアミン、ヒドラジン等が挙げられる。
洗浄液として用いるアルカリ金属水酸化物水溶液は、0.2〜2規定であることが好ましく、0.5〜1規定であることがより好ましい。
なお、これらの水溶液に過酸化水素水を4vol%以下となる量加えても、導電膜や、該導電膜に対して裏面側に形成された多層反射膜、吸収層等にダメージを与えずに、同程度の洗浄効果を得ることができる。
図2は、枝葉式スピン洗浄装置の一構成例を示した模式図である。但し、本発明のマスクブランクスの洗浄方法に用いる枝葉式スピン洗浄装置はこれに限定されない。
図2に示す枝葉式スピン洗浄装置20を用いて、本発明のマスクブランクスの洗浄方法を実施する場合、アルカリ金属水酸化物水溶液を用いて洗浄する面(すなわち、導電膜14表面)を上向きにして、マスクブランクス10を洗浄装置20の基板設置部21に設置する。なお、理解を容易するため、図1に示すマスクブランクス10のうち、基板11、多層反射膜12および吸収層13は区別することなしに、1つの構成要素として示している。
次に、自転機構24によりマスクブランクス10を自転させた状態で、洗浄液吐出口23よりアルカリ金属水酸化物水溶液を供給して、導電膜14表面の洗浄を行う。
導電膜14表面の洗浄後、純水吐出口22より純水を供給して、アルカリ金属水酸化物水溶液を置換することが好ましく、純水を供給してアルカリ金属水酸化物水溶液を置換した後、スピン乾燥を行うことがより好ましい。
また、図2に示す枝葉式スピン洗浄装置20が、導電膜14表面に対してマスクブランクス10の裏面側(図中、マスクブランクス10の下側)にも、純水を供給する機構を有している場合、マスクブランクス10の裏面側に純水を供給しながら、アルカリ金属水酸化物水溶液を用いた導電膜14表面の洗浄を行うことが好ましい。
なお、マスクブランクス10の両面を洗浄する場合、アルカリ金属水酸化物水溶液を用いて導電膜14表面を洗浄してから、導電膜14に対して裏面側に形成されたマスクブランクスの構成要素である吸収層14表面(吸収層上に低反射層が形成されている場合は低反射層表面)の洗浄を行うことが好ましい。
本実施例では、図2に示す枝葉式スピン洗浄装置20を用いて、図1に示す構成のマスクブランクス10の導電膜14の洗浄、および、吸収層13の表面洗浄を実施した。なお、マスクブランクス10の構成は以下の通り。
ガラス基板11:SiO2−TiO2系のガラス基板(外形6インチ(152.4mm)角、厚さ6.3mm)
多層反射膜12:Si/Mo多層反射膜(膜厚272nm((4.5+2.3)×40)
キャップ層(図示せず):Si層(膜厚11.0nm)
吸収層13:TaN層(膜厚70nm)
導電膜14:CrN膜(Cr85at%)(膜厚100nm)
マスクブランクス10を作成する際には、基体であるガラス基板11を、吸着保持面に有機系の誘電体(ポリイミド膜)を用いた静電チャックで吸着保持した状態で、該ガラス基板11の成膜面上に、多層反射膜12、キャップ層(図示せず)および吸収層13を形成した。同一バッチで成膜した基板10枚について、導電膜14表面の付加欠陥の組成分析を行ったところ、全てにC,N,Oが検出された。付加欠陥が存在しない場所ではC,Nが検出されなかったため、導電膜14表面の付加欠陥の支配成分はポリイミドであると判断した。
導電膜14表面の洗浄後、純水吐出口22より純水を供給して洗浄液を置換した後、回転数1000rpmでスピン乾燥させた。
その後、反転機構(図示していない)を用いてマスクブランクス10を上下反転させて、吸収層13表面をスピン洗浄した。スピン洗浄の条件は以下の通り。
回転数:100rpm
洗浄液:アンモニア水(0.1wt%)+過酸化水素水の混合液(0.1wt%)
洗浄液吐出量:1.0L/min
純水吐出量:1.0L/min
吸収層13表面洗浄後、純水吐出口22より純水を供給して洗浄液を置換した後、回転数1000rpmでスピン乾燥させた。なお、この手順を3枚のマスクブランクスに対して実施した。
スピン乾燥後のマスクブランクスの導電膜表面を、欠陥検査機(レーザーテック製M1350A)にて検査した結果、200nm以上の付加欠陥数、すなわち、導電膜表面に固着した大きさ200nm以上の異物の数は、3枚平均で21個であった。
アルカリ金属水酸化物水溶液として、0.1規定の水酸化カリウム水溶液を突出量1.0L/minで洗浄液吐出口23より供給し、純水吐出口22より純水を突出量1.0L/minで供給し、導電膜14表面でのアルカリ金属水酸化物水溶液の濃度を0.05規定とした点を除いて、実施例1と同様の手順を実施した。
スピン乾燥後のマスクブランクスの導電膜表面を、欠陥検査機にて検査した結果、200nm以上の付加欠陥数、すなわち、導電膜表面に固着した大きさ200nm以上の異物の数は、3枚平均で677個であった。
アルカリ金属水酸化物水溶液として、8.0規定の水酸化カリウム水溶液を突出量1.0L/minで洗浄液吐出口23より供給し、純水吐出口22からは純水を供給しないで、導電膜14表面でのアルカリ金属水酸化物水溶液の濃度を8.0規定とした点を除いて、実施例1と同様の手順を実施した。
スピン乾燥後のマスクブランクスの導電膜表面には、目視で洗浄残渣が確認され、導電膜表面の洗浄という目的を達成することが出来なかった。
アルカリ金属水酸化物水溶液を用いた導電膜14表面の洗浄の代わりに、以下の条件で導電膜14表面のスピン洗浄を行ったことを除いて、実施例1と同様の手順を実施した。
回転数:100rpm
洗浄液:KS−3053(ポリオキシエチレンアルキルエーテル系の界面活性剤)(花王株式会社製)(1.0wt%)
洗浄液吐出量:1.0L/min
純水吐出量:1.0L/min
また、スピン乾燥後のマスクブランクスの導電膜表面を、欠陥検査機(レーザーテック製M1350A)にて検査した結果、200nm以上の付加欠陥数、すなわち、導電膜表面に固着した大きさ200nm以上の異物の数は3枚平均で823個であった。
静電チャックを、吸着保持面に無機系の誘電体(アルミナ(アルミニウム基材表面をアルマイト処理したもの)を用いたものに変えて、それ以外は(実施例1)と同様の手順を実施した。スピン乾燥後のマスクブランクスの導電膜表面を、欠陥検査機(レーザーテック製M1350A)にて検査した結果、200nm以上の付加欠陥数、すなわち、導電膜に固着した大きさ200nm以上の異物の数は、3枚平均で8744個であった。
11:ガラス基板
12:多層反射膜
13:吸収層
14:導電膜
20:枝葉式スピン洗浄装置
21:基板設置部
22:純水吐出口
23:洗浄液吐出口
24:自転機構
Claims (6)
- ガラス基板の一方の面に導電膜が形成され、吸着保持面に有機系の誘電体を用いた静電チャックにより、該導電膜が吸着保持される反射型マスクブランクスの洗浄方法であって、
0.1〜5規定のアルカリ金属水酸化物水溶液を用いて前記導電膜表面を洗浄することを特徴とする反射型マスクブランクスの洗浄方法。 - 前記アルカリ金属水酸化物水溶液が、0.1〜5規定の水酸化ナトリウム水溶液、または、0.1〜5規定の水酸化カリウム水溶液である請求項1に記載の反射型マスクブランクスの洗浄方法。
- 前記アルカリ金属水酸化物水溶液による洗浄後の導電膜表面に対してスクラブ洗浄を施す請求項1または2に記載の反射型マスクブランクスの洗浄方法。
- 前記アルカリ金属水酸化物水溶液による導電膜表面の洗浄を実施した後、前記導電膜に対して裏面側に形成された反射型マスクブランクスの構成要素を、アンモニアおよび過酸化水素を含む洗浄液を用いて洗浄する請求項1〜3のいずれかに記載の反射型マスクブランクスの洗浄方法。
- 反射型マスクブランクスの製造工程で実施する洗浄処理に請求項1〜4のいずれかに記載のマスクブランクスの洗浄方法を用いる反射型マスクブランクスの製造方法。
- 反射型マスクの製造工程で実施する洗浄処理に請求項1〜4のいずれかに記載のマスクブランクスの洗浄方法を用いる反射型マスクの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009188388A JP5338556B2 (ja) | 2009-08-17 | 2009-08-17 | フォトマスクブランクスの洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009188388A JP5338556B2 (ja) | 2009-08-17 | 2009-08-17 | フォトマスクブランクスの洗浄方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011040653A true JP2011040653A (ja) | 2011-02-24 |
JP5338556B2 JP5338556B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=43768100
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009188388A Expired - Fee Related JP5338556B2 (ja) | 2009-08-17 | 2009-08-17 | フォトマスクブランクスの洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5338556B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012182235A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Toppan Printing Co Ltd | 反射型マスクおよび露光装置 |
JP2013254769A (ja) * | 2012-06-05 | 2013-12-19 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法およびマスク |
WO2015137077A1 (ja) * | 2014-03-11 | 2015-09-17 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 反射型マスクの洗浄装置および反射型マスクの洗浄方法 |
CN106647164A (zh) * | 2015-11-04 | 2017-05-10 | 常州瑞择微电子科技有限公司 | 一种避免蚀刻液输送管路结晶的方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05323566A (ja) * | 1992-05-20 | 1993-12-07 | Fujitsu Ltd | 露光用マスク及びその製造方法 |
JPH08314120A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-11-29 | Hoya Corp | マスクパターンの修正方法 |
WO2006030627A1 (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-23 | Asahi Glass Company, Limited | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクスおよびその製造方法 |
JP2006319163A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Nikon Corp | Euv露光装置 |
WO2007111067A1 (en) * | 2006-03-29 | 2007-10-04 | Asahi Glass Company, Limited | Method for smoothing a surface of a glass substrate, and substrate for a reflective mask blank used in euv lithography, obtainable by that method |
JP2008052120A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Hoya Corp | マスクブランク及びフォトマスク並びにこれらの製造方法 |
-
2009
- 2009-08-17 JP JP2009188388A patent/JP5338556B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05323566A (ja) * | 1992-05-20 | 1993-12-07 | Fujitsu Ltd | 露光用マスク及びその製造方法 |
JPH08314120A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-11-29 | Hoya Corp | マスクパターンの修正方法 |
WO2006030627A1 (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-23 | Asahi Glass Company, Limited | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクスおよびその製造方法 |
JP2006319163A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Nikon Corp | Euv露光装置 |
WO2007111067A1 (en) * | 2006-03-29 | 2007-10-04 | Asahi Glass Company, Limited | Method for smoothing a surface of a glass substrate, and substrate for a reflective mask blank used in euv lithography, obtainable by that method |
JP2008052120A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Hoya Corp | マスクブランク及びフォトマスク並びにこれらの製造方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012182235A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Toppan Printing Co Ltd | 反射型マスクおよび露光装置 |
JP2013254769A (ja) * | 2012-06-05 | 2013-12-19 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法およびマスク |
US9298080B2 (en) | 2012-06-05 | 2016-03-29 | Renesas Electronics Corporation | Mask for performing pattern exposure using reflected light |
WO2015137077A1 (ja) * | 2014-03-11 | 2015-09-17 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 反射型マスクの洗浄装置および反射型マスクの洗浄方法 |
JPWO2015137077A1 (ja) * | 2014-03-11 | 2017-04-06 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 反射型マスクの洗浄装置および反射型マスクの洗浄方法 |
JP2019215555A (ja) * | 2014-03-11 | 2019-12-19 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 反射型マスクの洗浄装置および反射型マスクの洗浄方法 |
US11609491B2 (en) | 2014-03-11 | 2023-03-21 | Shibaura Mechatronics Corporation | Reflective mask cleaning apparatus and reflective mask cleaning method |
CN106647164A (zh) * | 2015-11-04 | 2017-05-10 | 常州瑞择微电子科技有限公司 | 一种避免蚀刻液输送管路结晶的方法 |
CN106647164B (zh) * | 2015-11-04 | 2020-04-14 | 常州瑞择微电子科技有限公司 | 一种避免蚀刻液输送管路结晶的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5338556B2 (ja) | 2013-11-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101287697B1 (ko) | Euv 리소그래피용 반사형 마스크 블랭크 | |
WO2010087345A1 (ja) | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクの製造方法 | |
US8748062B2 (en) | Method of cleaning substrate | |
TW201910904A (zh) | 反射型光罩基底、及反射型光罩 | |
TWI434131B (zh) | Reflective mask base for EUV microfilm | |
JP2012089837A (ja) | ガラス基板保持手段 | |
JP5533718B2 (ja) | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、該マスクブランク用の機能膜付基板 | |
TW200847236A (en) | Reflective mask blank for EUV lithography | |
JP5882504B2 (ja) | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法及び転写用マスクの製造方法 | |
JP5338556B2 (ja) | フォトマスクブランクスの洗浄方法 | |
TW200908084A (en) | Reflective mask blank for EUV lithography | |
JP2006324268A (ja) | Euv露光用マスクブランクスおよびその製造方法、euv露光用マスク | |
TWI736101B (zh) | 具有反射式光罩的光罩組件及反射式光罩的製造方法 | |
JP6904234B2 (ja) | マスクブランク用基板およびマスクブランク | |
JP6186996B2 (ja) | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および、euvリソグラフィ用反射型マスク | |
JP6186962B2 (ja) | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および、euvリソグラフィ用反射型マスク | |
TW200834706A (en) | Method for removing foreign matters from substrate surface | |
JP5381441B2 (ja) | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクの製造方法 | |
JP2010286632A (ja) | フォトマスクブランクスの洗浄方法 | |
TWI833025B (zh) | 反射型遮罩基底、反射型遮罩、以及反射型遮罩及半導體裝置之製造方法 | |
JP2005208282A (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法、及びハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 | |
JP5724657B2 (ja) | ガラス基板保持手段、およびそれを用いたeuvマスクブランクスの製造方法 | |
WO2022118762A1 (ja) | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、euvリソグラフィ用反射型マスク、およびそれらの製造方法 | |
JP6303399B2 (ja) | Euv露光装置 | |
TWI845855B (zh) | 防護膜、曝光原版、曝光裝置、防護膜的製造方法及半導體裝置的製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120302 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130528 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130605 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130709 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130722 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |