JP2005208282A - ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法、及びハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 透明基板上にシリコンを含むのハーフトーン材料膜を成膜し(S5)、このハーフトーン材料膜上に遮光膜を成膜して(S8)ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造するハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法において、上記ハーフトーン材料膜の成膜(S5)後で上記遮光膜の成膜(S8)前に、ハーフトーン材料膜の表面に、物理的エネルギーを洗浄力として利用する物理的洗浄を実施し(S6)、この物理的洗浄が、回転した洗浄ツールを接触させて洗浄するスクラブ洗浄と、気体と溶媒とを混合した洗浄液を噴射して洗浄する2流体噴射洗浄と、超音波が印加された洗浄液を供給して洗浄する超音波洗浄との少なくとも一つである。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明に係るハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法の一実施形態における製造工程を示すフローチャートである。図2は、図1の製造工程で製造されたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを模式的に示す断面図である。図3は、図2のハーフトーン型位相シフトマスクブランクから製造されたハーフトーン型位相シフトマスクを模式的に示す断面図である。
各実施例及び比較例では、対象となるハーフトーン型位相シフトマスクブランク100が、ArFエキシマレーザー露光用ハーフトーン型位相シフトマスクブランク、またはF2エキシマレーザー露光用ハーフトーン型位相シフトマスクブランクである。また、各実施例のハーフトーン材料膜洗浄(ステップS6)もしくは遮光膜洗浄(ステップS9)、または比較例の遮光膜洗浄で実施されるスクラブ洗浄、2流体噴射洗浄、超音波洗浄の各洗浄条件は、次の通りである。
2流体噴射洗浄及び超音波洗浄のいずれの場合も、2流体噴射ノズル13、超音波洗浄ノズル14を透明基板1の中央から端面の間でスイングさせて30秒間実行した。
図8に示すように、透明基板1上にハーフトーン材料膜2としてMoSiN膜を成膜後、ハーフトーン材料膜洗浄(ステップS6)としてスクラブ洗浄を実施し、この洗浄後にハーフトーン材料膜検査(ステップS7)を実施して、遮光膜3を成膜した。この遮光膜成膜後、遮光膜洗浄(ステップS9)として超音波洗浄を実施し、この洗浄後に遮光膜検査(ステップS10)を実施した。
尚、遮光膜3は、透明基板1側からCrN膜/CrC膜/CrON膜の積層膜である。CrN膜は、クロムをスパッタターゲットとし、アルゴンと窒素を含む雰囲気ガス中で反応性スパッタリングにより成膜した。CrC膜は、クロムをスパッタターゲットとし、アルゴンとメタンとヘリウムを含む雰囲気ガス中で反応性スパッタリングにより成膜した。CrON膜は、クロムをスパッタターゲットとし、アルゴンと酸素と窒素を含む雰囲気ガス中で反応性スパッタリングにより成膜した。
ハーフトーン材料膜2としてTaHf/SiON膜(透過率調整相4をTaHf膜、位相調整層5をSiON膜)を成膜し、ハーフトーン材料膜洗浄としてスクラブ洗浄を実施し、この洗浄後にハーフトーン材料膜検査(ステップS7)を実施して、遮光膜3を成膜した。この遮光膜成膜後、遮光膜洗浄として超音波洗浄を実施し、この洗浄後に遮光膜検査(ステップS10)を実施した。尚、遮光膜3は実施例1と同一の膜とした。
ハーフトーン材料膜2としてMoSiN膜を成膜後、ハーフトーン材料膜洗浄として2流体噴射洗浄を実施し、この洗浄後にハーフトーン材料膜検査(ステップS7)を実施して、遮光膜3を成膜した。この遮光膜成膜後、遮光膜洗浄として超音波洗浄を実施し、この洗浄後に遮光膜検査(ステップS10)を実施した。尚、遮光膜3は実施例1と同一の膜とした。
ハーフトーン材料膜2としてMoSiN膜を成膜後、ハーフトーン材料膜洗浄として超音波洗浄を実施し、この洗浄後にハーフトーン材料膜検査(ステップS7)を実施して、遮光膜3を成膜した。この遮光膜成膜後、遮光膜洗浄として超音波洗浄を実施し、この洗浄後に遮光膜検査(ステップS10)を実施した。尚、遮光膜3は実施例1と同一の膜とした。
ハーフトーン材料膜2としてMoSiN膜を成膜後、ハーフトーン材料膜洗浄として2流体噴射洗浄及び超音波洗浄を同時に実施し、この洗浄後にハーフトーン材料膜検査(ステップS7)を実施して、遮光膜3を成膜した。この遮光膜成膜後、遮光膜洗浄として超音波洗浄を実施し、この洗浄後に遮光膜検査(ステップS10)を実施した。尚、遮光膜3は実施例1と同一の膜とした。
ハーフトーン材料膜2としてMoSiN膜を成膜後、ハーフトーン材料膜洗浄(ステップS6)を実施せず、ハーフトーン材料膜検査(ステップS7)を実施して遮光膜3を成膜した。この遮光膜成膜後、遮光膜洗浄として超音波洗浄を実施し、この洗浄後に遮光膜検査(ステップS10)を実施した。尚、遮光膜3は実施例1と同一の膜とした。
2 ハーフトーン材料膜
3 遮光膜
10 スピン洗浄装置
13 2流体噴射ノズル
14 超音波洗浄ノズル
25 スピン洗浄装置
26 洗浄ツール
30 スパッタリング装置
100 ハーフトーン型位相シフトマスクブランク
101 ハーフトーン型位相シフトマスク
Claims (9)
- 透光性基板上にシリコンを含むハーフトーン材料膜を成膜し、このハーフトーン材料膜上に遮光膜を成膜してハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造するハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法において、
上記ハーフトーン材料膜の成膜後で上記遮光膜の成膜前に、上記ハーフトーン材料膜の表面に対して、物理的エネルギーを洗浄力として利用する物理的洗浄を行うことを特徴とするハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法。 - 上記物理的洗浄の実施後で遮光膜の成膜前に、ハーフトーン材料膜に存在する欠陥を検査し、この欠陥が許容範囲内にあるもののみを選択して、上記ハーフトーン材料膜上に遮光膜を成膜することを特徴とする請求項1に記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法。
- 上記物理的洗浄は、回転する洗浄ツールを上記ハーフトーン材料膜に接触させて洗浄を行うスクラブ洗浄と、気体と溶媒とを混合した洗浄液を上記ハーフトーン材料膜に噴射して洗浄を行う2流体噴射洗浄と、超音波が印加された洗浄液としての溶媒を上記ハーフトーン材料膜に供給して洗浄を行う超音波洗浄との少なくとも1つであることを特徴とする請求項1または2に記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法。
- 上記遮光膜はクロムを含み、この遮光膜の洗浄は、気体と溶媒とを混合した洗浄液を上記遮光膜に噴射して洗浄を行う2流体噴射洗浄と、超音波が印加された洗浄液としての溶媒を上記遮光膜に供給して洗浄を行う超音波洗浄との少なくとも1つであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法。
- 上記超音波洗浄に使用する溶媒が、ガス溶解水である請求項3または4に記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法。
- 上記ハーフトーン材料膜は、シリコンを主成分とするスパッタターゲットを用い、酸素と窒素の少なくとも一元素を含む雰囲気ガス中で、反応性スパッタリングにより成膜することを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法。
- 上記遮光膜が、ヘリウムを含有することを特徴とする請求項4に記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法。
- 上記ハーフトーン型位相シフトマスクブランクが、ArFエキシマレーザー露光用ハーフトーン型位相シフトマスクブランク、又はF2エキシマレーザー露光用ハーフトーン型位相シフトマスクブランクであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法。
- 請求項1乃至8のいずれかに記載のハーフトーン型位相シフトマスクブランクの製造方法によって得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクのハーフトーン材料膜及び遮光膜をパターンニングして、ハーフトーン型位相シフトマスクを製造することを特徴とするハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法。
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