JP2011018668A - 研磨した石英ガラス基板の洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2流体ジェット洗浄によりスクラブ洗浄時にスクラブ材にからんで基板に傷をつけるような異物を除去し、その後、スクラブ材として30%圧縮応力が20〜100kPa、20kPaにおける圧縮弾性率が50〜200kPaであるスクラブ材を用いて、スクラブ洗浄することで、スクラブ洗浄による傷の発生を抑制し、なおかつ基板の主表面のみならず端面まで細かい付着物を除去する。
【選択図】図1
Description
(1)研磨した石英ガラス基板を2流体ジェット洗浄する工程(A)と、2流体ジェット洗浄した前記石英ガラス基板を、乾燥状態に対して100%の水分を含んだ状態で、30%圧縮応力が20〜100kPa、圧力20kPaにおける圧縮弾性率が50〜200kPaであるスクラブ材を用いてスクラブ洗浄する工程(B)とを有することを特徴とする研磨した石英ガラス基板の洗浄方法。
(2)工程(B)の後に、前記石英ガラス基板をさらに2流体ジェット洗浄する工程(C)を有することを特徴とする(1)に記載の研磨した石英ガラス基板の洗浄方法。
(3)工程(A)及び/又は工程(C)は、純水又は機能水で2流体ジェット洗浄し、次にアルカリ洗剤をスプレーし、再び純水又は機能水で2流体ジェット洗浄する3段階からなることを特徴とする(1)又は(2)に記載の研磨した石英ガラス基板の洗浄方法。
(4)工程(B)でアルカリ洗剤を用いることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の研磨した石英ガラス基板の洗浄方法。
(5)工程(A)〜(C)のいずれか1つ以上の工程で研磨した石英ガラス基板の主表面及び端面を洗浄することを特徴とする(1)〜(4)のいずれかに記載の研磨した石英ガラス基板の洗浄方法。
コロイダルシリカで研磨した石英ガラス基板(大きさ1220×1400mm)を準備して、以下の手順で洗浄した。
工程(A)と全く同一の手順である工程(C)を、工程(B)の後に行った以外は実施例1と同様の方法を用いて、コロイダルシリカで研磨した石英ガラス基板を洗浄した。
工程(A)及び工程(C)において、純水のかわりにオゾン濃度5ppmのオゾン水を使った以外は、実施例2と同様の方法を用いてコロイダルシリカで研磨した石英ガラス基板を洗浄した。
以下の物性のポリビニルアセタールスポンジ(アイオン社製、商品名「ベルクリン」)、を使用した以外は実施例2と同様の方法を用いて、コロイダルシリカで研磨した石英ガラス基板を洗浄した。
工程(A)を省略して、スクラブ洗浄の後に純水のシャワーリンスを行った他は実施例1と同様の方法を用いて、コロイダルシリカで研磨した石英ガラス基板を洗浄した。
工程(A)を省略して、スクラブ洗浄の後に純水のシャワーリンスを行い、以下の物性のポリウレタンスポンジ(フジボー社製、商品名「LP−66」)を使用した他は実施例1と同様の方法を用いて、コロイダルシリカで研磨した石英ガラス基板を洗浄した。
102 微粒子
103 微粒子の塊
104 石英ガラス基板のチップ
105 有機汚染物
106 液滴
107 洗浄液
108 ジェット洗浄用ガス
109 イジェクタノズル
110 洗浄液タンク
111 タンク加圧用ガス
Claims (5)
- 研磨した石英ガラス基板を2流体ジェット洗浄する工程(A)と、2流体ジェット洗浄した前記石英ガラス基板を、乾燥状態に対して100%の水分を含んだ状態で、30%圧縮応力が20〜100kPa、圧力20kPaにおける圧縮弾性率が50〜200kPaであるスクラブ材を用いてスクラブ洗浄する工程(B)とを有することを特徴とする研磨した石英ガラス基板の洗浄方法。
- 工程(B)の後に、前記石英ガラス基板をさらに2流体ジェット洗浄する工程(C)を有することを特徴とする請求項1に記載の研磨した石英ガラス基板の洗浄方法。
- 工程(A)及び/又は工程(C)は、純水又は機能水で2流体ジェット洗浄し、次にアルカリ洗剤をスプレーし、再び純水又は機能水で2流体ジェット洗浄する3段階からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨した石英ガラス基板の洗浄方法。
- 工程(B)でアルカリ洗剤を用いることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の研磨した石英ガラス基板の洗浄方法。
- 工程(A)〜(C)のいずれか1つ以上の工程で研磨した石英ガラス基板の主表面及び端面を洗浄することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の研磨した石英ガラス基板の洗浄方法。
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