JP2005221928A - フォトマスクブランクの製造方法及びフォトマスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 透明基板1の表面を、アルカリ水溶液を用いてエッチング処理した後、透明基板の表面に、被転写体に転写するための転写パターンとなる薄膜を形成するフォトマスクブランクの製造方法において、上記エッチング処理をした後で上記薄膜を形成する前に、気体と溶媒を混合した洗浄液を透明基板の表面に噴射する2流体噴射ノズル13を用いた2流体噴射洗浄と、超音波が印加された溶媒を洗浄液として透明基板の表面に供給する超音波洗浄ノズル14を用いた超音波洗浄との少なくとも一つの物理的洗浄を行うことで、上記透明基板の表面を洗浄するものである。
【選択図】 図1
Description
浸漬式で基板を処理する場合には、基板から脱離した異物が浸漬槽の中で浮遊し、基板を浸漬槽から引上げる際に、この浮遊した異物が基板に再付着する恐れがある。
図1は、本発明に係るフォトマスクブランクの製造方法の一実施の形態において透明基板を洗浄するために用いられるスピン洗浄装置を示す構成図である。図2は、本発明に係るフォトマスクブランクの製造方法における一実施の形態において、透明基板の表面を改質するための紫外線照射装置を示す正面図である。図3は、本発明に係るフォトマスクブランクの製造方法における一実施形態において、透明基板の端面を洗浄する端面洗浄装置を示す平面図である。図4は、図1のスピン洗浄装置等にて洗浄された透明基板上に成膜を施すスパッタリング装置を示す構成図である。
(実施例1)パドルエッチング処理→2流体噴射洗浄+超音波洗浄
図1の枚葉式スピン洗浄装置10を用い、濃度5%、65℃に調整されたNaOH水溶液をエッチングノズル22から透明基板1の表面に滴下し、所定時間静止した状態で放置してパドルエッチング処理を実行した後、2流体噴射洗浄と超音波洗浄を同時に所定時間行った。
2流体噴射洗浄は、気体供給装置19からN2ガスを0.4MPaの圧力で供給し、同時に溶媒供給装置18から、水素ガス1.5mg/リットルを溶解した超純水を、所定の流量で供給して混合し、この混合流体を洗浄液として2流体噴射ノズル13から透明基板1へ噴射して行った。
また、透明基板1の乾燥は、スピンチャック11に保持された透明基板1を電動モータ17により回転させてスピン乾燥を行った。尚、この透明基板1の回転速度は1500rpmで行った。
透明基板1の表面の異物(大きさが0.1μm以上)数をレーザーテック社製MAGICSで測定したところ、洗浄前が681個、洗浄後が1個であり、異物除去率は99.9%であった。
図1の枚葉式スピン洗浄装置10のエッチングノズル22を用い、実施例1の要領でNaOH水溶液によりパドルエッチング処理を実施した後、2流体噴射洗浄を所定時間行った。この2流体噴射洗浄は、気体供給装置19からN2ガスを0.4MPaの圧力で供給し、同時に溶媒供給装置18から超純水を所定の流量で供給して混合し、この混合流体を洗浄液として2流体噴射ノズル13から透明基板1へ噴射して行った。2流体噴射ノズル13及び超音波洗浄ノズル14のスイング、透明基板1の乾燥は、実施例1と同様に行った。
透明基板1の表面の異物(大きさが0.1μm以上)数は、洗浄前が743個、洗浄後が4個であり、異物除去率は99.5%であった。
図1の枚葉式スピン洗浄装置10のエッチングノズル22を用い、実施例1の要領でNaOH水溶液によるパドルエッチング処理を実行した後、超音波洗浄を所定時間行った。この超音波洗浄は、周波数1.0MHzの超音波が印加された水素ガス1.5mg/リットルを溶解した超純水(水素ガス溶解水)を、超音波洗浄ノズル14から透明基板1へ供給して行った。超音波洗浄ノズル14のスイング、透明基板1の乾燥は、実施例1と同様に行った。
透明基板1の表面の異物(0.1μm以上)数は、洗浄前が645個、洗浄後が3個であり、異物除去率は99.5%であった。
図3の端面洗浄装置50を用いて、透明基板1の端面に端面スクラブ洗浄を所定時間行った後、図1のスピン洗浄装置10におけるエッチングノズル22を用いて、実施例1の要領でNaOH水溶液によるパドルエッチング処理を行った。その後、実施例1の要領で、2流体噴射ノズル13による2流体噴射洗浄と、超音波洗浄ノズル14による超音波洗浄とを同時に所定時間行った。
透明基板1の表面の異物(大きさ0.1μm以上)数は、洗浄前が758個、洗浄後が1個であり、異物除去率は99.9%であった。
図2に示す紫外線照射装置40の紫外線照射ユニット41から照射された紫外線により発生するオゾンを用いて、透明基板1の表面を改質処理し、当該表面の濡れ性を改善した。その後、実施例4の要領で、図3に示す端面洗浄装置50の端面洗浄ツール57による端面スクラブ洗浄、図1のスピン洗浄装置10のエッチングノズル22を用いたNaOH水溶液によるパドルエッチング処理を行った後、2流体噴射ノズル13による2流体噴射洗浄と、超音波洗浄ノズル14による超音波洗浄を同時に行った。
表面改質処理は、波長172nmのXe2エキシマUVランプを用い所定時間紫外線を照射して行った。
透明基板1の表面の異物(大きさ0.1μm以上)数は、洗浄前が801個、洗浄後が0個であり、異物除去率は100.0%であった。
実施例4の要領で、図3に示す端面洗浄装置50の端面洗浄ツール57を用いて、透明基板1の端面を端面スクラブ洗浄した。次に、この透明基板1を濃度5%、65℃に調整されたNaOH水溶液槽中に所定時間浸漬した後、50℃に調整された超純水槽中に当該透明基板1を所定時間浸漬してリンス処理を行った。その後、実施例1の要領で、図1に示すスピン洗浄装置10の2流体噴射ノズル13による2流体噴射洗浄と、超音波洗浄ノズル14による超音波洗浄とを同時に行った。
透明基板1の表面の異物(大きさ0.1μm以上)数は、洗浄前が763個、洗浄後が5個であり、異物除去率は99.3%であった。
濃度5%、65℃に調整されたNaOH水溶液槽中に透明基板1を所定時間浸漬した後、50℃に調整された超純水槽中に、透明基板1を所定時間浸漬してリンス処理を行った。その後、実施例1の要領で透明基板1を回転させてスピン乾燥を行った。
透明基板1の表面の異物(大きさ0.1μm以上)数は、洗浄前が626個、洗浄後が67個であり、異物除去率は89.3%であった。
枚葉式スピン洗浄装置10を用い、濃度5%、65℃に調整されたNaOH水溶液を、所定の流量でエッチングノズル22から透明基板1に注ぎかけ、このとき、電動モータ17により透明基板1を回転させ、透明基板1の回転速度を50rpmにして所定時間エッチング処理を行った。その後、透明基板1に30秒間超純水リンスを行い、実施例1の要領でスピン乾燥を行った。
透明基板1の表面の異物(大きさ0.1μm以上)数は、洗浄前が245個、洗浄後が33個であり、異物除去率は86.5%であった。
枚葉式スピン洗浄装置10を用いて透明基板1に対し、2流体噴射ノズル13により2流体噴射洗浄を所定時間行った。2流体噴射洗浄は、気体供給装置19からN2ガスを0.4MPaの圧力で供給し、同時に溶媒供給装置18から超純水を所定の流量で供給して混合し、この混合流体を洗浄液として2流体噴射ノズル13から透明基板1に噴射して行った。2流体噴射ノズル13のスイング、透明基板1の乾燥は、実施例1と同様に行った。
透明基板1の表面の異物(大きさ0.1μm以上)数は、洗浄前が492個、洗浄後が73個であり、異物除去率は85.2%であった。
枚葉式スピン洗浄装置10を用いて透明基板1に対し、超音波ノズル14により超音波洗浄を所定時間行った。この超音波洗浄は、周波数1.0MHzの超音波が印加された水素ガス1.5mg/リットルを溶解した超純水(水素ガス溶解水)を、超音波ノズル14から透明基板1へ供給して行った。超音波ノズル14のスイング、透明基板1の乾燥は、実施例1と同様に行った。
透明基板1の表面の異物数は、洗浄前が669個、洗浄後は85個であり、異物除去率は87.3%であった。
その後、熱処理装置を用い250℃にて30分間熱処理を実行して、モリブデンとシリコンと窒素から実質的になる単層の光半透過膜を有する、ArFエキシマレーザ(193nm)用ハーフトーン型位相シフトマスクブランクを製造した。
得られたハーフトーン型位相シフトマスクブランクを収納ケースに保管し、マスク製造ラインに搬送した。搬送後、ハーフトーン型位相シフトマスクブランクの表面の異物をレーザーテック社製MAGICSで確認したところ、端面からの膜剥れによる異物は確認されなかった。
13 2流体噴射ノズル
14 超音波洗浄ノズル
22 エッチングノズル
40 紫外線照射装置
41 紫外線照射ユニット
50 端面洗浄装置
57 端面洗浄ツール
Claims (6)
- 透光性基板の表面をエッチング液を用いてエッチング処理した後、上記透光性基板の表面に、被転写体に転写するための転写パターンとなる薄膜を形成するフォトマスクブランクの製造方法において、
上記エッチング処理をした後で上記薄膜を形成する前に、洗浄液を上記透光性基板の表面に供給し、当該表面に付着している異物を物理的作用を利用して除去する物理的洗浄を行うことを特徴とするフォトマスクブランクの製造方法。 - 上記物理的洗浄は、気体と溶媒とを混合した洗浄液を透光性基板の表面に噴射して洗浄を行う2流体噴射洗浄と、超音波が印加された洗浄液としての溶媒を透光性基板の表面に供給して洗浄を行う超音波洗浄との少なくとも1つであることを特徴とする請求項1に記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 上記エッチング処理は、透光性基板の表面にエッチング液を所定時間静止した状態で接触させるパドルエッチング処理であることを特徴とする請求項1または2に記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 上記エッチング処理の前に、透光性基板の表面の濡れ性を改善する表面改質処理を実施することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 上記2流体噴射洗浄または上記超音波洗浄に使用される溶媒が、ガス溶解水または界面活性剤を含む水溶液であることを特徴とする請求項2に記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載のフォトマスクブランクにおける薄膜をパターンニングして、透光性基板の表面に転写パターンを形成することを特徴とするフォトマスクの製造方法。
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