JP2011036939A - 切断研磨加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】矩形基板10を保持する保持テーブル機構と、矩形基板10を分割予定ライン101に沿って切断する切削ブレード542と切断面を研磨する研磨ホイール543とを有する複合工具を備えた加工手段とを具備している。保持テーブル機構は支持基台32と矩形基板10を支持する保持面を備えており、保持テーブル33には送り治具11と、治具送り手段と、送り治具11に接合された矩形基板10を吸引保持する吸引保持手段と、送り治具11を保持面に押圧して送り治具11の動きを規制する押圧手段37と、送り治具11に接合された矩形基板10の自由端部を吸引支持する支持部材381と支持部材381を該保持面と直交する支持軸を中心として旋回せしめる旋回機構382を備えた基板端部支持手段38とが配設されている。
【選択図】図7
Description
矩形基板を保持する保持テーブル機構と、該保持テーブル機構に保持された矩形基板を分割予定ラインに沿って切断する切削ブレードと切断面を研磨する研磨ホイールとを有する複合工具を備えた加工手段と、該保持テーブル機構と加工手段とを加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段と、該保持テーブル機構と加工手段とを加工送り方向と直交する割り出し送り方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段と、を具備し、
該保持テーブル機構は、該加工送り手段によって移動せしめられる支持基台と、該支持基台上に配設され外周に垂直平面を備えるとともに上面に該垂直平面に対して垂直に延び矩形基板を摺動可能に支持する保持面を備え且つ該保持面と直交する回転軸を中心として回動可能に支持された保持テーブルとを具備しており、
該保持テーブルには、矩形基板における分割予定ラインと平行な一方の端面にワックスを介して接合した状態で該保持面に載置する送り治具と、矩形基板に接合した該送り治具を該保持面に沿って割り出し送り方向に分割予定ラインの間隔分送り出す治具送り手段と、該治具送り手段によって送り出された該送り治具に接合された矩形基板を吸引保持する吸引保持手段と、該送り治具を該保持面に押圧して該送り治具の動きを規制する押圧手段と、該治具送り手段によって送り出された該送り治具に接合された矩形基板の自由端部を吸引支持する支持部材と該支持部材を該保持面と直交する支持軸を中心として旋回せしめる旋回機構を備えた基板端部支持手段とが配設されている、
ことを特徴とする切断研磨加工装置が提供される。
また、上記基板端部支持手段の支持部材は、矩形基板の自由端部が係合する係合凹部を備えており、係合凹部を形成する側面には長手方向に沿って吸引手段に連通する複数の吸引口が設けられていることが望ましい。
図1に示された切断研磨加工装置は、静止基台2と、該静止基台2に矢印Xで示す加工送り方向(X軸方向)に移動可能に配設され被加工物を保持する保持テーブル機構3と、静止基台2に加工送り方向Xと直交する割り出し方向Y(Y軸方向)に移動可能に配設されたスピンドル支持機構4と、該スピンドル支持機構4に矢印Zで示す切り込み方向(Z軸方向)に移動可能に配設されたスピンドルユニット5を具備している。
図示の実施形態における保持テーブル33は、円盤状に形成され外周の一部が垂直平面331に形成されている。この垂直平面331は、保持テーブル33が図1に示す状態においてX軸方向と平行に位置付けられる。このように形成された保持テーブル33の上面には、上記垂直平面331に対して垂直に延び被加工物を摺動可能に支持する保持面332が形成されている。この保持面332に被加工物である矩形基板が載置される。図3の(a)および(b)で示すように矩形基板11は、一方の端面が送り治具11にワックス12を介して接合される(治具接合工程)。このように矩形基板10の一方の端面が送り治具11にワックス12を介して接合した状態で、上記保持面332に載置される。矩形基板10は、例えば厚みが1mmのアルチック板によって矩形に形成され表面に複数の分割予定ライン101が平行に形成されている。このように形成された矩形基板10には分割予定ライン101と平行な一方の端面にワックス12を介して送り治具11が接合され、矩形基板10を前方(上記垂直平面331側)に向けて保持面332に載置される。このように構成された保持テーブル33は、下面に設けられた回動軸330を中心として回動可能に上記支持基台32に支持されている。そして、回動軸330を駆動する図示しない駆動手段によって、図1に示す第1の加工位置と、第1の加工位置から矢印33aで示す方向に90度回動した第2の加工位置に位置付けられるようになっている。
複合工具54は、円筒状の基台(ハブ)541と、該基台541の片側面外周部に設けられた環状の切断ブレード542と、基台541の他側面に設けられた環状の研磨ホイール543とからなっている。このように構成された複合工具54は、上記回転スピンドル56に取り付けられたマウンター57に基台541を嵌合し、マウンター57の端部外周面に形成されたネジに締付ナット58を螺合することにより、回転スピンドル53に装着される。
先ず、図7に示すように上記保持テーブル機構3を構成する保持テーブル33の保持面332上に図3に示すように送り治具11に接合された矩形基板10を載置する。このとき、矩形基板10が保持テーブル33の垂直平面331側となるように載置する。このようにして、送り治具11に接合された矩形基板10を保持テーブル33の保持面332上に載置したならば、位置きめ手段34を作動して送り治具11に接合された矩形基板10を位置規制板341と摺動板342との間に位置決めする。なお、このとき基板端部支持手段38の支持部材381は、第2の支持位置に位置付けられている。
3:保持テーブル機構
32:支持基台
33:保持テーブル
34:位置きめ手段
35:治具送り手段
36:吸引保持手段
37:押圧手段
38:基板端部支持手
381:支持部材
382:旋回機構
39:加工送り手段
4:スピンドル支持機構
42:可動支持基台
43:割り出し送り手段
5:スピンドルユニット
52:スピンドルハウジング
53:回転スピンドル
54:複合工具
541:円筒状の基台(ハブ)
542:環状の切断ブレード
543:環状の研磨ホイール
55:切り込み送り手段
59:撮像手段
6:取り出し手段
10:矩形基板
11:送り治具
12:ワックス
Claims (3)
- 複数の分割予定ラインが平行に形成された矩形基板を分割予定ラインに沿って切断するとともに切断面を研磨する切断研磨加工装置であって、
矩形基板を保持する保持テーブル機構と、該保持テーブル機構に保持された矩形基板を分割予定ラインに沿って切断する切削ブレードと切断面を研磨する研磨ホイールとを有する複合工具を備えた加工手段と、該保持テーブル機構と加工手段とを加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段と、該保持テーブル機構と加工手段とを加工送り方向と直交する割り出し送り方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段と、を具備し、
該保持テーブル機構は、該加工送り手段によって移動せしめられる支持基台と、該支持基台上に配設され外周に垂直平面を備えるとともに上面に該垂直平面に対して垂直に延び矩形基板を摺動可能に支持する保持面を備え且つ該保持面と直交する回転軸を中心として回動可能に支持された保持テーブルとを具備しており、
該保持テーブルには、矩形基板における分割予定ラインと平行な一方の端面にワックスを介して接合した状態で該保持面に載置する送り治具と、矩形基板に接合した該送り治具を該保持面に沿って割り出し送り方向に分割予定ラインの間隔分送り出す治具送り手段と、該治具送り手段によって送り出された該送り治具に接合された矩形基板を吸引保持する吸引保持手段と、該送り治具を該保持面に押圧して該送り治具の動きを規制する押圧手段と、該治具送り手段によって送り出された該送り治具に接合された矩形基板の自由端部を吸引支持する支持部材と該支持部材を該保持面と直交する支持軸を中心として旋回せしめる旋回機構を備えた基板端部支持手段とが配設されている、
ことを特徴とする切断研磨加工装置。 - 該保持テーブルは該垂直平面が該複合工具と対向する第1の加工位置と、該第1の加工位置から90度回動した第2の加工位置に位置付けられるように構成されており、該基板端部支持手段は該支持部材が該保持テーブルの該垂直平面と対向する第1の支持位置と該第1の支持位置から270度回動した第2の支持位置に位置付けられるように構成されている、請求項1記載の切断研磨加工装置。
- 該基板端部支持手段の該支持部材は、矩形基板の自由端部が係合する係合凹部を備えており、該係合凹部を形成する側面には長手方向に沿って吸引手段に連通する複数の吸引口が設けられている、請求項1又は2記載の切断研磨加工装置。
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