JP2011098400A - 切断研磨加工装置 - Google Patents
切断研磨加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011098400A JP2011098400A JP2009253301A JP2009253301A JP2011098400A JP 2011098400 A JP2011098400 A JP 2011098400A JP 2009253301 A JP2009253301 A JP 2009253301A JP 2009253301 A JP2009253301 A JP 2009253301A JP 2011098400 A JP2011098400 A JP 2011098400A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- feeding
- cutting
- holding
- rectangular substrate
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 86
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 71
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 146
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 31
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 6
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】矩形基板を保持する保持テーブル機構と、矩形基板を分割予定ラインに沿って切断する切削ブレード542と切断面を研磨する研磨ホイール543とを有する工具54を備えた加工手段とを具備している。保持テーブル機構は支持基台と基板を支持する保持面を備えており、保持テーブルには矩形基板の一方の端面にワックスを介して接合した状態で保持面に載置する送り治具と、治具送り手段と、送り出された送り治具に接合された矩形基板を吸引保持する吸引保持手段と、送り治具を保持面に押圧して送り治具の動きを規制する押圧手段とが配設されており、加工手段は複合工具54を構成する研磨ホイール543の研磨面が切り込み送り方向に対して傾斜するように作動せしめる工具角度調整機構7を備えている。
【選択図】図8
Description
しかるに、上述したように切断された棒状基板の切断面を傾斜面に形成する要望がある。
矩形基板を保持する保持テーブル機構と、
該保持テーブル機構に保持された矩形基板を分割予定ラインに沿って切断する切削ブレードと切断面を研磨する研磨ホイールとを有する複合工具と、該複合工具を前端に装着した回転スピンドルと、該回転スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングとを備えた加工手段と、
該保持テーブル機構と加工手段とを加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段と、
該保持テーブル機構と加工手段とを加工送り方向と直交する割り出し送り方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段と、
該保持テーブル機構と加工手段とを加工送り方向および割り出し送り方向と直交する切り込み送り方向に相対的に切り込み送りする切り込み送り手段と、を具備し、
該保持テーブル機構は、該加工送り手段によって移動せしめられる支持基台と、該支持基台上に配設され外周に垂直平面を備えるとともに上面に該垂直平面に対して垂直に延び矩形基板を摺動可能に支持する保持面を備え且つ該保持面と直交する回転軸を中心として回動可能に支持された保持テーブルとを具備しており、
該保持テーブルには、矩形基板における分割予定ラインと平行な一方の端面にワックスを介して接合した状態で該保持面に載置する送り治具と、矩形基板に接合した該送り治具を該保持面に沿って割り出し送り方向に分割予定ラインの間隔分送り出す治具送り手段と、該治具送り手段によって送り出された該送り治具に接合された矩形基板を吸引保持する吸引保持手段と、該送り治具を該保持面に押圧して該送り治具の動きを規制する押圧手段と、該治具送り手段によって送り出された該送り治具に接合された矩形基板の自由端部を吸引支持する支持部材と該支持部材を該保持面と直交する支持軸を中心として旋回せしめる旋回機構を備えた基板端部支持手段とが配設されており、
該加工手段は、該複合工具を構成する研磨ホイールの研磨面が切り込み送り方向に対して傾斜するように該スピンドルハウジングを作動せしめる工具角度調整機構を備えている、
ことを特徴とする切断研磨加工装置が提供される。
また、上記保持テーブルは垂直平面が複合工具と対向する第1の加工位置と、該第1の加工位置から90度回動した第2の加工位置に位置付けられるように構成されており、上記基板端部支持手段は支持部材が保持テーブルの垂直平面と対向する第1の支持位置と第1の支持位置から270度回動した第2の支持位置に位置付けられるように構成されている。
図1に示された切断研磨加工装置は、静止基台2と、該静止基台2に矢印Xで示す加工送り方向(X軸方向)に移動可能に配設され被加工物を保持する保持テーブル機構3と、静止基台2に加工送り方向Xと直交する割り出し方向Y(Y軸方向)に移動可能に配設されたスピンドル支持機構4と、該スピンドル支持機構4にX軸方向およびY軸方向に対して垂直な矢印Zで示す切り込み送り方向(Z軸方向)に移動可能に配設された加工手段としてのスピンドルユニット5を具備している。
図示の実施形態における保持テーブル33は、円盤状に形成され外周の一部が垂直平面331に形成されている。この垂直平面331は、保持テーブル33が図1に示す状態においてX軸方向と平行に位置付けられる。このように形成された保持テーブル33の上面には、上記垂直平面331に対して垂直に延び被加工物を摺動可能に支持する保持面332が形成されている。この保持面332に被加工物である矩形基板が載置される。図3の(a)および(b)で示すように矩形基板11は、一方の端面が送り治具11にワックス12を介して接合される(治具接合工程)。このように矩形基板10の一方の端面が送り治具11にワックス12を介して接合した状態で、上記保持面332に載置される。矩形基板10は、例えば厚みが1mmのアルチック板によって矩形に形成され表面に複数の分割予定ライン101が平行に形成されている。このように形成された矩形基板10には分割予定ライン101と平行な一方の端面にワックス12を介して送り治具11が接合され、矩形基板10を前方(上記垂直平面331側)に向けて保持面332に載置される。このように構成された保持テーブル33は、下面に設けられた回動軸330を中心として回動可能に上記支持基台32に支持されている。そして、回動軸330を駆動する図示しない駆動手段によって、図1に示す第1の加工位置と、第1の加工位置から矢印33aで示す方向に90度回動した第2の加工位置に位置付けられるようになっている。
複合工具54は、円筒状の基台(ハブ)541と、該基台541の片側面外周部に設けられた環状の切断ブレード542と、基台541の他側面に設けられた環状の研磨ホイール543とからなっている。このように構成された複合工具54は、上記回転スピンドル56に取り付けられたマウンター57に基台541を嵌合し、マウンター57の端部外周面に形成されたネジに締付ナット58を螺合することにより、回転スピンドル53に装着される。
先ず、図9に示すように上記保持テーブル機構3を構成する保持テーブル33の保持面332上に図3に示すように送り治具11に接合された矩形基板10を載置する。このとき、矩形基板10が保持テーブル33の垂直平面331側となるように載置する。このようにして、送り治具11に接合された矩形基板10を保持テーブル33の保持面332上に載置したならば、位置きめ手段34を作動して送り治具11に接合された矩形基板10を位置規制板341と摺動板342との間に位置決めする。なお、このとき基板端部支持手段38の支持部材381は、第2の支持位置に位置付けられている。
なお、棒状基板110の切断面が上面から鋭角の傾斜面に形成する場合には、上記第1の切断面研磨工程および第2の切断面研磨工程を実施する際に、上記工具角度調整機構7を作動してスピンドルハウジング52を支持軸501周りに図8において矢印52bで示す方向に所定量回動する。
3:保持テーブル機構
32:支持基台
33:保持テーブル
34:位置きめ手段
35:治具送り手段
36:吸引保持手段
37:押圧手段
38:基板端部支持手
381:支持部材
382:旋回機構
39:加工送り手段
4:スピンドル支持機構
42:可動支持基台
43:割り出し送り手段
5:スピンドルユニット
52:スピンドルハウジング
53:回転スピンドル
54:複合工具
541:円筒状の基台(ハブ)
542:環状の切断ブレード
543:環状の研磨ホイール
55:切り込み送り手段
59:撮像手段
6:取り出し手段
7:工具角度調整機構
10:矩形基板
11:送り治具
12:ワックス
Claims (3)
- 複数の分割予定ラインが平行に形成された矩形基板を分割予定ラインに沿って切断するとともに切断面を研磨する切断研磨加工装置であって、
矩形基板を保持する保持テーブル機構と、
該保持テーブル機構に保持された矩形基板を分割予定ラインに沿って切断する切削ブレードと切断面を研磨する研磨ホイールとを有する複合工具と、該複合工具を前端に装着した回転スピンドルと、該回転スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングとを備えた加工手段と、
該保持テーブル機構と加工手段とを加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段と、
該保持テーブル機構と加工手段とを加工送り方向と直交する割り出し送り方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段と、
該保持テーブル機構と加工手段とを加工送り方向および割り出し送り方向と直交する切り込み送り方向に相対的に切り込み送りする切り込み送り手段と、を具備し、
該保持テーブル機構は、該加工送り手段によって移動せしめられる支持基台と、該支持基台上に配設され外周に垂直平面を備えるとともに上面に該垂直平面に対して垂直に延び矩形基板を摺動可能に支持する保持面を備え且つ該保持面と直交する回転軸を中心として回動可能に支持された保持テーブルとを具備しており、
該保持テーブルには、矩形基板における分割予定ラインと平行な一方の端面にワックスを介して接合した状態で該保持面に載置する送り治具と、矩形基板に接合した該送り治具を該保持面に沿って割り出し送り方向に分割予定ラインの間隔分送り出す治具送り手段と、該治具送り手段によって送り出された該送り治具に接合された矩形基板を吸引保持する吸引保持手段と、該送り治具を該保持面に押圧して該送り治具の動きを規制する押圧手段と、該治具送り手段によって送り出された該送り治具に接合された矩形基板の自由端部を吸引支持する支持部材と該支持部材を該保持面と直交する支持軸を中心として旋回せしめる旋回機構を備えた基板端部支持手段とが配設されており、
該加工手段は、該複合工具を構成する研磨ホイールの研磨面が切り込み送り方向に対して傾斜するように該スピンドルハウジングを作動せしめる工具角度調整機構を備えている、
ことを特徴とする切断研磨加工装置。 - 該工具角度調整機構は、該スピンドルハウジングを加工送り方向に延在する支持軸によって揺動可能に支持するスピンドルハウジング支持手段と、該スピンドルハウジングを該支持軸を回動支点として揺動せしめる作動手段とを具備している、請求項1記載の切断研磨加工装置。
- 該保持テーブルは該垂直平面が該複合工具と対向する第1の加工位置と、該第1の加工位置から90度回動した第2の加工位置に位置付けられるように構成されており、該基板端部支持手段は該支持部材が該保持テーブルの該垂直平面と対向する第1の支持位置と該第1の支持位置から270度回動した第2の支持位置に位置付けられるように構成されている、請求項1又は2記載の切断研磨加工装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009253301A JP5443131B2 (ja) | 2009-11-04 | 2009-11-04 | 切断研磨加工装置 |
MYPI2010004964A MY156751A (en) | 2009-11-04 | 2010-10-21 | Cutting and grinding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009253301A JP5443131B2 (ja) | 2009-11-04 | 2009-11-04 | 切断研磨加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011098400A true JP2011098400A (ja) | 2011-05-19 |
JP5443131B2 JP5443131B2 (ja) | 2014-03-19 |
Family
ID=44190011
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009253301A Active JP5443131B2 (ja) | 2009-11-04 | 2009-11-04 | 切断研磨加工装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5443131B2 (ja) |
MY (1) | MY156751A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106392786A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-02-15 | 四川多联实业有限公司 | 一种多角度的可调式刀具电磁固定基台 |
CN108188870A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-06-22 | 重庆精高金属结构制造有限公司 | 用于环状金属的多角度打磨装置 |
CN111906644A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-11-10 | 合肥陶陶新材料科技有限公司 | 一种陶瓷件磨削加工方法及磨削设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001277110A (ja) * | 2000-04-03 | 2001-10-09 | Sony Corp | 矩形部材を棒状部材に形成する加工方法および加工装置 |
JP2005041155A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Nachi Fujikoshi Corp | 薄膜材料加工装置 |
JP2011036939A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切断研磨加工装置 |
-
2009
- 2009-11-04 JP JP2009253301A patent/JP5443131B2/ja active Active
-
2010
- 2010-10-21 MY MYPI2010004964A patent/MY156751A/en unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001277110A (ja) * | 2000-04-03 | 2001-10-09 | Sony Corp | 矩形部材を棒状部材に形成する加工方法および加工装置 |
JP2005041155A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Nachi Fujikoshi Corp | 薄膜材料加工装置 |
JP2011036939A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切断研磨加工装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106392786A (zh) * | 2016-10-28 | 2017-02-15 | 四川多联实业有限公司 | 一种多角度的可调式刀具电磁固定基台 |
CN108188870A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-06-22 | 重庆精高金属结构制造有限公司 | 用于环状金属的多角度打磨装置 |
CN111906644A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-11-10 | 合肥陶陶新材料科技有限公司 | 一种陶瓷件磨削加工方法及磨削设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
MY156751A (en) | 2016-03-31 |
JP5443131B2 (ja) | 2014-03-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5385049B2 (ja) | 切断研磨加工装置 | |
US7101256B2 (en) | Machining apparatus using a rotary machine tool to machine a workpiece | |
JP4874602B2 (ja) | ウエーハの加工方法およびウエーハの加工方法に用いる粘着テープ | |
JP5858684B2 (ja) | 切削方法 | |
US8033893B2 (en) | Grinding method of a disk-shaped substrate and grinding apparatus | |
JP2007098536A (ja) | 切削ブレードの交換装置 | |
JP4748357B2 (ja) | ダイシング装置及び方法 | |
JP5443131B2 (ja) | 切断研磨加工装置 | |
JP2016192494A (ja) | ウエーハの分割方法 | |
JP5182653B2 (ja) | ダイシング方法 | |
JP2012256749A (ja) | 切削装置 | |
JP2009202323A (ja) | 板状物の保持面の加工方法 | |
JP2009302440A (ja) | 切削装置 | |
JP2010278052A (ja) | 切削装置のチャックテーブル | |
JP2009274177A (ja) | 切削装置 | |
WO2009081747A1 (ja) | ダイシング装置及びダイシング方法 | |
JP4733805B2 (ja) | 矩形部材を棒状部材に形成する加工方法および加工装置 | |
JP2011009652A (ja) | 切削装置における切削ブレードの位置検出方法 | |
JP2007059802A (ja) | ウエーハの加工方法およびウエーハの加工方法に用いる粘着テープ | |
JP2017183503A (ja) | ウェーハの面取り方法 | |
JP2005038978A (ja) | 半導体ウェハの平坦面外周部研磨装置 | |
JP7016934B2 (ja) | ウェーハの面取り装置 | |
JP2011224697A (ja) | 研磨パッドの修正方法 | |
JP2005118981A (ja) | 円形研削を行う方法及び装置 | |
JP6850569B2 (ja) | 研磨方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121019 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131126 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5443131 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |