JPH09193000A - 薄板材の切断方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】薄板材の保持、切断前後の処理工程を改善し、
高精度の製品を連続、自動的に得られる薄板材の切断方
法を提供する。 【解決手段】必要部と周辺不要部を別々の支持体により
支持しつつ切断し、切断された周辺不要部を保持しつつ
９０゜回転した後、下方へ移動し、不要部の保持を解除
した後、不要部を移送装置により切断装置外へ排出す
る。かつ、第１の辺の不要部処理が、第２の辺の切断と
同時に行われることを特徴とする。なお、第２の辺の不
要部処理のために、反対方向に９０゜回転させ、第１辺
の場合とは反対側で行うことが望ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薄板材の切断方法
に関し、より詳しく云えば例えば画像形成装置に用いら
れるガラス基板の組み合せ面を切断する際の切断方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】薄板材の切断方法として従来いくつかの
開示がある。それらの例としては、特公平３ー１１６０
１号公報に２つの例が示されている。そのうちの第１の
例として半導体ウエハーのダイシング装置を用いた切断
方法が挙げられている。この方法は、１枚のウエハーか
ら数十個の半導体チップを切り出すためにウエハーを粘
着シートに貼り付け、そのシートを真空吸着テーブルで
吸着保持し、粘着シートがその厚さ方向に僅かに残る量
の切込みを与えるようにウエハーを切断することからな
る。また、同じく特公平３ー１１６０１号公報に開示さ
れている第２の例としては、ウエハーを直接真空吸着テ
ーブルで保持しウエハーを厚さ方向に僅かに残して溝入
れ加工を行い真空吸着を解除した後に溝入れ部を折り曲
げて各チップを分離する方法もある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
特公平３ー１１６０１号公報に開示されている第一の方
法では粘着シート自体のコストが掛かり、かつシートの
貼り剥し工程の作業コストが加わる等の問題点があり、
また第２の方法ではガラス基板の貼り合わせ部に切り残
し部が残留するので隙間の狭い高精度な貼合わせができ
ない等の問題があった。

【０００４】そこで本発明の目的は、薄板材の保持、切
断前後の処理工程を改善し、高精度の製品を連続、かつ
自動的に得られる薄板材の切断方法を提供することであ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の薄板材の切断方
法は、薄板材の切断方法において、薄板材の必要部及び
その周辺不要部を別々の支持体により保持しつつ必要部
と周辺不要部とを切り放すための切断加工を行い、次ぎ
に、全薄板材および支持体を時計回りまたは反時計回り
に９０゜旋回させた後、切断された周辺不要部を保持し
つつ下方へ移動し、不要部の保持を解除した後、不要部
を移送装置により切断装置外へ排出することを特徴とし
ている。

【０００６】なお、この薄板材の切断方法において、薄
板材の第１辺の切断後の９０゜旋回を時計回りとなし、
第１辺の不要部の排出を第２辺の切断中に行い、第２辺
の切断後の９０゜旋回を反時計回りとなし、第２辺の不
要部の排出を、その排出方向が第１辺の不要部の排出方
向に対して１８０゜異なるように行うことが望ましい。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明における解決の手段によれ
ば切断加工後、必要部から不必要周辺部を取り去る際、
この周辺部の除去を精密に制御することが可能となり、
従来、必要部分と不必要周辺部が触れることにより発生
していた相互に傷ががつく機会がなくなった。

【０００８】また、薄板材の複数の周辺部を切断加工す
る場合、切断が終了した周辺部の排出作業と、他の周辺
部の切断加工とを同時に行うおこなうことができること
により生産性が向上した。

【０００９】

【実施例】次ぎに、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。

【００１０】図１は、本発明の薄板材の切断方法の一実
施例を実施するための切断装置の主要部の構成を示す斜
視図である。

【００１１】ブレード保持．回転ユニット３０は、本体
ベースに取り付けられたＹ軸方向のスライドユニット３
１Ａ，３１Ｂと、その上に取り付けられたＺ軸方向のス
ライドユニット３２Ａ，３２Ｂおよび３２Ｂ内に組み込
まれた不図示のモータユニットから延びる軸部３３とそ
の先端に取り付けられた切断用の円盤状砥石ブレード３
４から構成される。なお、砥石ブレード３４の回転軸は
Ｙ軸と同方向である。

【００１２】Ｘ軸スライドユニット２Ａ，２Ｂには旋回
ユニット３Ａ，３Ｂが取り付けられており、旋回ユニッ
ト３Ａ，３Ｂは、不図示の駆動装置によりＺ軸回りに旋
回可能な構成となっている。旋回ユニット３Ｂ上には被
加工物５０を吸着固定するための吸着ユニット９Ａ，１
０Ａ，１１Ａが取り付けられている。

【００１３】吸着ユニット９Ａ，１０Ａ，１１Ａには溝
９Ｂが形成されており、この溝９Ｂ内に形成された不図
示の穴がパイプ９Ｃへ連通しており、このパイプ９Ｃは
不図示の真空ポンプへ連結され、吸着ユニット９Ａ，１
０Ａ，１１Ａ上面に載置した被加工物５０を真空吸着収
する。

【００１４】吸着ユニット１０ＡはＺ軸方向ガイド１０
Ｄに支持されており、モータ１０Ｅを作動させることで
Ｚ軸方向に昇降可能な構成となっている。吸着ユニット
１１Ａも吸着ユニット１０Ａと同一の機構を有し、Ｚ軸
方向に昇降可能な構成となっている。

【００１５】被加工物５０を砥石ブレード３４により切
断する際、砥石ブレード３４の逃げのための部分、すな
わち逃げ部１０Ｆが破線で示されている。

【００１６】被加工物５０を切断した後吸着ユニット１
０Ａまたは１１Ａ上に残った周辺部を回収する保管箱２
２が設けられ、この保管箱２２の上方には吸着ユニット
１０Ａ上に残った被加工物５０の周辺部を吸着する吸着
パッド２１Ｅが備えられ、軸２１Ｄを介してスライダー
２１Ｂに取り付けられている。

【００１７】吸着パッド２１Ｅは軸２１Ｄおよびスライ
ダー２１Ｂの中を通るパイプ２１Ｃに連通しており、パ
イプ２１Ｃは不図示の真空ポンプに連結され被加工物の
周辺部を吸着できる機構となっている。

【００１８】次ぎに、上述の切断装置を用いた本発明の
薄板材の切断方法について説明する。

【００１９】本実施例においては、ガラス基板５０の隣
り合う２辺を切断するものである。なお、この２辺のう
ち説明の便宜上、ガラス基板５０を時計方向に旋回させ
たとき先頭側の辺を第１辺、後続側の辺を第２辺と唱え
る。

【００２０】先ず、吸着ユニット１０Ａ，１１Ａの上面
と吸着ユニット９Ａの上面とを同一平面になるようにモ
ータ１０Ｅにより調節する。そして第１辺および吸着ユ
ニット１０Ａがブレード３４に近い側に位置決めする。
（すなわち、これらが図１に示された状態から見て反時
計回りに９０゜旋回させた状態である。） 次ぎに、吸着ユニットの上面に被加工物として長方形の
形状のガラス基板５０を載置する。その際、ガラス基板
５０の被切断ラインが逃げ部１０Ｆの直上に位置するよ
うに位置決めする。位置決め後、溝９Ｂを介してガラス
基板５０を真空吸着し、ガラス基板の吸着ユニット９
Ａ，１０Ａ，１１Ａへの固定を行う。

【００２１】次ぎに、Ｘ軸スライドユニット２Ａ，２Ｂ
を軸方向新動させ砥石ブレード３４によりガラス基板５
０をＸ方向に切断する。

【００２２】切断終了後、各吸着ユニット９Ａ，１０
Ａ，１１Ａ上のガラス基板を吸着保持したまま旋回ユニ
ット３Ｂを時計回りに９０゜回転させる。図１にこの回
転後の状態を示す。

【００２３】次ぎに、新たにＸ軸に向いたガラス基板５
０の第２辺の端部を同様に砥石ブレード３４によって切
断する。この際、切断と同時に次ぎの一連の作業を行
う。

【００２４】吸着ユニット１０Ａをモータ１０Ｅにより
下方へ下げる。

【００２５】吸着パッド２１Ｅにより、吸着ユニット１
０Ａ上のガラス基板５０の第１辺の周辺部を吸着し、吸
着ユニット１０Ａの真空吸着を解除する。

【００２６】周辺部を、スライダ２１Ｂにより保管箱２
２に回収する。

【００２７】次ぎに、第２辺の周辺部を回収のために旋
回ユニット３Ｂを反時計方向に９０゜回転する。

【００２８】以後の第２辺に関する操作は、第１辺に関
して行ったことと同様に行うが、その操作場所は基板の
中心からみて反対側である。図１において、保管箱２３
以外の関連パーツの参照番号および名称の記載を省略す
る。

【００２９】以上の方法により切断加工と、すでに切断
された周辺部の回収を同時に行うことができる。また、
切断後のガラス基板必要部と周辺部がそれぞれの吸着ユ
ニットによって強固に固定された状態で周辺部を切断装
置から遠ざけ、回収を行うので、必要部と周辺部とが接
触することによる必要部への傷の発生がない。

【００３０】なお、以上説明した例の外に両周辺部の回
収を１箇所で行う方法も考えられるが、その方法は、設
備が簡略化されるかわりに次ぎの基板の操作の開始に手
間が掛かるという問題がある。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したとおり本発明は、薄板材の
保持、切断および不必要部の回収の一連の手順を改善す
ることにより、切断部に傷の発生のない高精度の切断を
連続的かつ自動的に行うことができるので、高品質な製
品を低コストで製造できる薄板材の切断方法を提供でき
る効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の薄板材の切断方法の一実施例を実施す
るための切断装置の主要部の構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 本体ベース ２Ａ，２Ｂ Ｘ軸方向スライドユニット ３Ａ，３Ｂ 旋回ユニット ９Ａ，１０Ａ，１１Ａ 吸着ユニット ９Ｂ 溝 ９Ｃ，２１Ｃ パイプ １０Ｄ Ｚ軸方向ガイド １０Ｅ モ−タ １０Ｆ ブレ−ド逃げ部 ２０Ａ ベ−ス ２０Ｂ，２１Ｂ スライダ ２１Ａ 支持部 ２１Ｄ 軸 ２１Ｅ 吸着パッド ２２，２３ 保管箱 ３０ ブレ−ド保持，回転ユニット ３１Ａ，３１Ｂ Ｙ軸方向スライドユニット ３２Ａ，３２Ｂ Ｚ軸方向スライドユニット ３３ 軸部 ３４ 砥石ブレ−ド

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄板材の切断方法において、薄板材の必
   要部及びその周辺不要部を別々の支持体により保持しつ
   つ前記必要部と前記周辺不要部とを切り放すための切断
   加工を行い、次ぎに、全薄板材および支持体を時計回り
   または反時計回りに９０゜旋回させた後、切断された前
   記周辺不要部を保持しつつ下方へ移動し、該不要部の保
   持を解除した後、該不要部を移送装置により切断装置外
   へ排出することを特徴とする薄板材の切断方法。
2. 【請求項２】 薄板材の第１辺の切断後の前記９０゜旋
   回を時計回りとなし、第１辺の不要部の排出を第２辺の
   切断中に行い、第２辺の切断後の前記９０゜旋回を反時
   計回りとなし、第２辺の不要部の排出を、その排出方向
   が第１辺の不要部の排出方向に対して１８０゜異なるよ
   うに行う請求項１記載の薄板材の切断方法。