JP2011027698A - セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット - Google Patents
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Abstract
【課題】セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットの提供。
【解決手段】本セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットは、載置台に壁が繞設されて中央の試験槽が形成され、その対向する二側の壁それぞれに貫通する横向きチャネルが設けられ、各該横向きチャネルの中段にテーパ管があり、それが更に径方向に二つのバイパス管に接続され、そのうち、試験槽が二つの該バイパス管を介して該横向きチャネルのテーパ管に連通する。これにより、気圧源を該横向きチャネルの一端に印加する時、気流がテーパ管を通過する時にその内の気体の流速の増加により径方向に接続されたバイパス管内の気圧が降下し、これにより試験槽内に対して吸引力を発生しクリーニング機能を形成し、ゆえに、リアルタイムセルフクリーニング式のパッケージ試験用ソケットとされて、試験機を停止させるか或いは製造工程の実行を暫時停止させる必要が全くなく、生産効率をアップし、コストを節約する。
【選択図】図1
【解決手段】本セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットは、載置台に壁が繞設されて中央の試験槽が形成され、その対向する二側の壁それぞれに貫通する横向きチャネルが設けられ、各該横向きチャネルの中段にテーパ管があり、それが更に径方向に二つのバイパス管に接続され、そのうち、試験槽が二つの該バイパス管を介して該横向きチャネルのテーパ管に連通する。これにより、気圧源を該横向きチャネルの一端に印加する時、気流がテーパ管を通過する時にその内の気体の流速の増加により径方向に接続されたバイパス管内の気圧が降下し、これにより試験槽内に対して吸引力を発生しクリーニング機能を形成し、ゆえに、リアルタイムセルフクリーニング式のパッケージ試験用ソケットとされて、試験機を停止させるか或いは製造工程の実行を暫時停止させる必要が全くなく、生産効率をアップし、コストを節約する。
【選択図】図1
Description
本発明は一種のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットに係り、特にパッケージ部品の電気性能試験時にパッケージ部品を収容する試験用ソケットに関する。
半導体パッケージ試験工程中、集積回路チップはパッケージ工程でパッケージされてパッケージ部品となり、さらに試験機の試験ソケット内に置かれて電気性能試験が実行され、パッケージ部品の機能が正常か否か、特性が顧客の要求に符合するか否かが検査される。
しかし、パッケージ部品のピックアップ或いは搬送の過程で、灰塵或いは異物の付着は避けられない。或いは、パッケージ部品が試験ソケットに置かれる、或いは吸い出される過程で、衝突或いは摩擦により微粒子或いは破片が発生するのを避けることはできない。このため長く使用すると、これらの灰塵、異物、微粒子、破片が試験ソケット内に堆積し、試験ソケット内のポゴピンとパッケージ部品の接触不良を形成し、全体の試験結果に影響をもたらした。
このため、ある期間、工程を実行した後には、試験機を停止して試験ソケットのクリーニングを行う必要がある。しかし、伝統的なクリーニング方式は相当に煩瑣であり、まず、試験機の試験ヘッドを取り外し、それから試験ソケットのベースを取り外さなければ、試験ソケットを取り外してクリーニングすることができない。このようなクリーニング方式は手作業によって行われ、軟毛材質のブラシに圧縮空気を組み合わせてクリーニングを行う。クリーニング作業完成後には、上述と反対のステップで試験ソケットを取り付け、並びに取り付けミスがないかを確認してからでなければ、生産を再開することができない。
このため、伝統的な試験ソケットのクリーニング方式は時間と手間、コストがかかり、且つ試験機を停止するために生産能力が低下する。また、煩雑な取り外し、取り付けの過程で、人為的ミスにより機械設備の毀損或いは損耗を発生しやすい。さらに、作業員は軟毛ブラシを使用し、圧縮空気を組み合わせて試験ソケットをクリーニングするのは、作業の標準化と量産化上の困難をもたらした。本発明はこのような伝統的なパッケージ部品用試験ソケットのクリーニング方式の問題を解決する一種のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットを提供することを課題としている。
本発明は一種のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットを提供し、それは、載置台、試験ポート、気圧源を包含する。該載置台は底板、及び壁を包含する。該底板の中央に複数の穿孔が開設され、該壁は該底板外周に繞設されてこれにより中央の試験槽が形成されている。且つ該壁内を貫通する少なくとも一つの横向きチャネルが設けられている。該少なくとも一つの横向きチャネルは該壁の外側面外に突き抜ける入口と出口を有している。該少なくとも一つの横向きチャネルは更にテーパ管を有し、それは該入口と該出口の間に設けられる。このほか、該テーパ管に径方向に少なくとも一つのバイパス管が接続され、該少なくとも一つの横向きチャネルは該テーパ管と該少なくとも一つのバイパス管を通して該試験槽に連通する。
このほか、該試験ポートは該試験槽内に取り付けられ、該試験ポートは複数の接触端子を具え、該複数の接触端子はそれぞれ該底板の複数の穿孔に対応してそれを通り、それぞれ試験装置に接続され並びに試験されるパッケージ部品に電気的に接続される。該気圧源は該載置台の該少なくとも一つの横向きチャネルの一端に連通する。これにより、本発明は気流が該テーパ管を通過する時、その内の気体の流速が増加することにより径方向に接続されたバイパス管内の気圧が降下し、これにより試験槽内に対して吸引力を発生してクリーニング機能を達成し、試験槽内の微粒子或いは灰塵を吸引除去し、ゆえに、試験時にリアルタイムで試験ソケットをセルフクリーニングでき、完全に試験機を停止させたり製造工程を暫時停止させたりする必要がなく、生産効率をアップし、手間とコストを節約できる。
さらに、本発明は案内シートと、少なくとも一つのブシュを具えている。該案内シートは該載置台の該試験槽内に収容され、該案内シートは中央貫通槽、及び少なくとも一つのバイパスチャネルを具えている。該少なくとも一つのブシュはバイパス管と該バイパスチャネルに挿入され、これにより該少なくとも一つのブシュは該少なくとも一つの横向きチャネルのテーパ管と該中央貫通槽に連通する。該少なくとも一つのバイパスチャネルにはテーパ管が採用されて、その小径開口が該中央貫通槽の近隣の一側に位置するのがよく、これにより該中央貫通槽に対して強力な吸引力を発生する。このほか、本発明の中央貫通槽の側辺には少なくとも一つの案内斜面があり、並びに該中央貫通槽はテーパ状に形成される。これにより、本発明は案内シートの案内により、試験されるパッケージ部品が正確に該中央貫通槽に置かれ並びに試験ポートに対応し接触し、これにより試験を行うことができる。
さらに、本発明の該案内シートの上表面には少なくとも一つの上貫通孔が開設され、該上貫通孔は該バイパスチャネルに連通する。これにより、本発明は該試験槽或いは該中央貫通槽内の外来灰塵、微粒子、或いは破片を吸引除去できるほか、該上貫通孔を通して該案内シートの上表面がクリーニングされることで、外来灰塵、微粒子、或いは破片の試験結果への影響を更に防止できる。このほか、本発明の気圧源は正圧の気圧源とされるほか、負圧の真空源とされ得て、吹き飛ばし或いは吸引方式とされる。
このほか、本発明の試験ポートはさらに端子固定シートを包含する。該端子固定シートは複数の貫通孔を有し、複数の接触端子が該複数の貫通孔を通り並びに該複数の貫通孔内に固定される。これにより、本発明の端子固定シートは接触端子を固定して、接触端子が湾曲或いは移動して正確にパッケージ部品に電気的に接触不能となるのを防止する。
そのうち、本発明の該複数の接触端子は、複数のポゴピンを有する。且つ、本発明の該少なくとも一つの横向きチャネルは該試験槽の二側に平行に配置された二つの横向きチャネルを包含し得る。これにより、該試験槽の対向する両側において吸引クリーニングを行うことができる。当然、横向きチャネルは隣り合う二側に配置されてL形チャネルを形成するか、四つの横向きチャネルが該試験槽の四側に配置されて、該試験槽の四周において同時にクリーニングを実行して微粒子、破片、或いは灰塵を吸引除去し、最良のクリーニング機能を達成することができる。
本発明は、気圧源を該横向きチャネルの一端に印加する時、気流がテーパ管を通過する時にその内の気体の流速の増加により径方向に接続されたバイパス管内の気圧が降下し、これにより試験槽内に対して吸引力を発生しクリーニング機能を形成し、ゆえに、リアルタイムセルフクリーニング式のパッケージ試験用ソケットとされて、試験機を停止させるか或いは製造工程の実行を暫時停止させる必要が全くなく、生産効率をアップし、コストを節約する。
図1、2、3を参照されたい。図1は本発明のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットの第1実施例の分解図である。図2は本発明の第1実施例の立体図である。図3は図2のA−A線断面図である。図示されるように、本発明のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットは、被試験パッケージ部品5と試験装置6を電気的に接続するのに用いられ、半導体パッケージ試験工程中に応用されて、パッケージ部品5の機能及び特性が正常であるか否かを検査するのに用いられる。さらに図示されるように、本発明は載置台2を有し、該載置台2は底板20、及び壁201を有する。該底板20の中央には複数の穿孔203が開設され、壁201は底板20外周に繞設されて中央に試験槽21を形成している。
並びに、試験槽21の二側の壁201内を貫通するように横向きチャネル22が平行に配設される。各横向きチャネル22は入口223と出口224を有し、該入口223と出口224はそれぞれ壁201の外側面202外へと突き抜けている。且つ各横向きチャネル22は該入口223と該出口224の間にテーパ管221を有している。このほか、各テーパ管221はさらに径方向に二つのバイパス管222に接続されている。そのうち、横向きチャネル22自身は試験槽21に直接連通せず、テーパ管221とバイパス管222を介して試験槽21に連通している。
このほか、図中には別に案内シート4、及びブシュ23が表示されている。案内シート4は載置台2の試験槽21内に収容され、且つ案内シート4は中央貫通槽41及びその対向する両側それぞれに設けられた二つのバイパスチャネル42を有する。ブシュ23はバイパス管222、及びバイパスチャネル42内にそれぞれ挿入されて連通し、且つさらにプラグ232で壁201の外側面202と密封を形成している。これにより、ブシュ23は横向きチャネル22のテーパ管221と案内シート4の中央貫通槽41に連通し、ブシュ23は気流が案内シート4と載置台2のスリットより洩れるのを防止する。さらに、中央貫通槽41の側辺はいずれも案内斜面411とされ、中央貫通槽41がこれによりテーパ状を呈し、案内機能を形成してパッケージ部品5の出し入れに便利である。
また、本実施例の案内シート4の上表面43に複数の上貫通孔431が開設されている。すなわち、各バイパスチャネル42の上方に対応して上貫通孔431が開設され、且つ各上貫通孔431はいずれもバイパスチャネル42に連通する。これにより、本実施例は試験槽21或いは中央貫通槽41内の外来の灰塵、微粒子、破片を吸引しクリーニングできる。このほか、上貫通孔431により案内シート4の上表面43も同時にクリーニングでき、灰塵、微粒子、破片の上表面43上への堆積が試験結果に影響を与えるのを防止できる。
このほか、図示されている試験ポート3は試験槽21内に取り付けられる。そのうち、試験ポート3は複数の接触端子31を具え、各接触端子31は対応する底板20の穿孔203を貫通してそれぞれ試験装置6に電気的に接続され並びにパッケージ部品5に電気的に接触する。本実施例の複数の接触端子31は複数のポゴピンとされる。図中に別に端子固定シート32が設けられ、該端子固定シート32は複数の貫通孔321を有し、複数の接触端子31がそれぞれ対応する貫通孔321を通り並びに該複数の貫通孔321内に固定される。これにより、本発明の端子固定シート32は接触端子31を固定して、接触端子31が湾曲或いは移動して正確にパッケージ部品5に電気的に接触不能となるのを防止する。
さらに、図示された気圧源7は載置台2の横向きチャネル22の二端に連通し、通常は正圧の気圧源とされるが、負圧の真空源とされてもよい。これにより、本発明は横向きチャネル22及びそのテーパ管221の発生するベンチュリー管現象を利用し、通気後にテーパ管221内の気体流速の増加により径方向に接続されたバイパス管222内の気圧を降下させ、これによりバイパス管222に連通する中央貫通槽41及び上表面43に対する吸引力を発生させて、クリーニングの効果を発生する。これにより、本発明はベンチュリー管原理により吸引力を増強し、ゆえに高圧の気圧源或いは真空源を必要とせず、設備コストを節約でき、並びに騒音を発生しない。
このほか、製品の規格或いはメーカーの要求に対応するため、時には高温試験が必要とされ、その温度は通常摂氏75°から105°の間とされる。この時、本発明はさらに顕著な効果を有し、理想気体公式によると、その温度と圧力は正比例を成す関係から、高温試験時に試験槽21或いは中央貫通槽41内の温度が高いほど、比較的大きな圧力を発生し、さらに良好な吸引クリーニング効果を達成する。
図4、5を参照されたい。図4は本発明のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットの第2実施例の立体図、図5は本発明のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットの第3実施例の立体図である。
このほか、本発明の試験ポートはさらに端本発明の該少なくとも一つの横向きチャネルは該試験槽の二側に平行に配置された二つの横向きチャネルを包含し得る。これにより、該試験槽の対向する両側において吸引クリーニングを行うことができる。当然、横向きチャネルは隣り合う二側に配置されてL形チャネルを形成するか、四つの横向きチャネルが該試験槽の四側に配置されて、該試験槽の四周において同時にクリーニングを実行して微粒子、破片、或いは灰塵を吸引除去し、最良のクリーニング機能を達成することができる。図4に示される第2実施例の第1実施例との違いは、第2実施例の横向きチャネル24はL形チャネルとされ、そのL形の二段はそれぞれ中段テーパ管241、242を有し、それは試験槽21の隣り合う二側辺に配置され、隣り合う二側に吸引クリーニング機能を提供している。このほか、図5の第3実施例の第1実施例との違いは、第3実施例は四つの横向きチャネル25を具え、それはそれぞれ試験槽21の四周側に配置され、四側において同時に吸引クリーニングを実行でき、さらに良好なクリーニング効果を達成できる。このように、本発明は実際の要求により弾性的に設計を調整変更して最も理想的なクリーニング効果を達成できる。
以上の実施例は本発明を説明するための例に過ぎず、本発明の主張する権利範囲は特許請求の範囲の記載に準じ、上述の実施例に限定されない。
1 試験ソケット 2 載置台
20 底板 201 壁
202 外側面 203 穿孔
21 試験槽 22、24、25 横向きチャネル
221 テーパ管 222 バイパス管
223 入口 224 出口
23 ブシュ 232 プラグ
231、241 中段テーパ管 3 試験ポート
31 接触端子 32 端子固定シート
321 貫通孔 4 案内シート
41 中央貫通槽 411 案内斜面
42 バイパスチャネル 43 上表面
431 上貫通孔 5 パッケージ部品
6 試験装置 7 気圧源
20 底板 201 壁
202 外側面 203 穿孔
21 試験槽 22、24、25 横向きチャネル
221 テーパ管 222 バイパス管
223 入口 224 出口
23 ブシュ 232 プラグ
231、241 中段テーパ管 3 試験ポート
31 接触端子 32 端子固定シート
321 貫通孔 4 案内シート
41 中央貫通槽 411 案内斜面
42 バイパスチャネル 43 上表面
431 上貫通孔 5 パッケージ部品
6 試験装置 7 気圧源
Claims (6)
- セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットにおいて、
載置台であって、底板と壁を有し、該底板の中央に複数の穿孔が開設され、該壁は該底板外周に繞設されて中央の試験槽を形成し、該壁内を貫通する少なくとも一つの横向きチャネルが設けられ、該横向きチャネルは該壁の外側面外に突き抜ける入口と出口を有し、該横向きチャネルは該入口と該出口の間にテーパ管を有し、該テーパ管に径方向に少なくとも一つのバイパス管が接続され、該横向きチャネルは該テーパ管と該バイパス管を通して該試験槽に連通する、上記載置台と、
試験ポートであって、該試験槽内に取り付けられ、該試験ポートは複数の接触端子を具え、該複数の接触端子はそれぞれ該底板の対応する該穿孔を貫通する、上記試験ポートと、
気圧源であって、該載置台の該横向きチャネルの一端に連通する、上記気圧源と、
を包含したことを特徴とする、セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット。 - 請求項1記載のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットにおいて、案内シートと、少なくとも一つのブシュを具え、該案内シートは該載置台の該試験槽内に収容され、該案内シートは中央貫通槽、及び少なくとも一つのバイパスチャネルを具え、該ブシュは対応する該バイパス管と該バイパスチャネルに挿入されることを特徴とする、セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット。
- 請求項2記載のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットにおいて、該中央貫通槽の側辺には少なくとも一つの案内斜面があることを特徴とする、セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット。
- 請求項2記載のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットにおいて、該案内シートの上表面に少なくとも一つの上貫通孔が開設され、該上貫通孔は該バイパスチャネルに連通することを特徴とする、セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット。
- 請求項1記載のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットにおいて、該試験ポートは更に端子固定シートを包含し、該端子固定シートは複数の貫通孔を有し、該複数の接触端子は該端子固定シートの対応する該貫通孔を貫通し並びに該端子固定シートの該貫通孔内に固定されることを特徴とする、セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット。
- 請求項1記載のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットにおいて、該少なくとも一つの横向きチャネルは該試験槽の対向する二側に平行に配設されることを特徴とする、セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット。
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Families Citing this family (6)
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CN114814440B (zh) * | 2022-06-27 | 2022-09-09 | 长春职业技术学院 | 一种电气自动化设备的检测机构 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6370682A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-30 | Sony Corp | コンポ−ネント信号の高能率符号化装置 |
JPH10300815A (ja) * | 1997-04-25 | 1998-11-13 | Nec Kansai Ltd | 電子部品の検査装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10343256B4 (de) * | 2003-09-17 | 2006-08-10 | Infineon Technologies Ag | Anordnung zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen einem BGA-Package und einer Signalquelle, sowie Verfahren zum Herstellen einer solchen Verbindung |
US7701200B1 (en) * | 2006-02-06 | 2010-04-20 | Interconnect Devices Inc. | Active test socket |
US7696770B2 (en) * | 2007-01-26 | 2010-04-13 | International Business Machines Corportion | Self-centering nest for electronics testing |
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2009
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6370682A (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-30 | Sony Corp | コンポ−ネント信号の高能率符号化装置 |
JPH10300815A (ja) * | 1997-04-25 | 1998-11-13 | Nec Kansai Ltd | 電子部品の検査装置 |
Also Published As
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TW201104257A (en) | 2011-02-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120626 |