JP2011014869A - 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、画像形成装置、及び面発光レーザ素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板上に下部反射鏡、活性層を含む共振器構造体、及び被選択酸化層を有する上部反射鏡が積層された積層体を作成し、該積層体の上面に、その光学的厚さが発振波長/4の光学的に透明な誘電体層111aが部分的に積層された第1の領域と、光学的に透明な誘電体層111aが積層されていない第2の領域とを形成する。そして、第1の領域及び第2の領域の周囲をそれぞれ上面からエッチングし、メサ構造体を形成した後、被選択酸化層をメサ構造体の側面から選択的に酸化させ、狭窄構造体を作成する。その後、第2の領域を観察して電流通過領域108bの大きさを測定する。
【選択図】図15
Description
Claims (16)
- 基板上に下部反射鏡、活性層を含む共振器構造体、及び酸化物が電流通過領域を取り囲んでいる狭窄構造体を含む上部反射鏡が積層されているメサ構造の発光部を有し、該発光部における出射領域が相対的に反射率が高い部分と低い部分とを有する面発光レーザ素子において、
前記発光部の近傍に、前記電流通過領域の大きさをモニタするためのモニタ用メサ構造体を備えることを特徴とする面発光レーザ素子。 - 前記出射領域の上面は光学的に透明な膜で被覆され、
該透明な膜は、その光学的厚さが発振波長/4の奇数倍の第1の部分と、その光学的厚さが発振波長/4の偶数倍の第2の部分とを有することを特徴とする請求項1に記載の面発光レーザ素子。 - 前記第1の部分は、前記出射領域の中心から外れた位置に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の面発光レーザ素子。
- 前記第2の部分は、前記出射領域の中心部に設けられ、2層からなる光学的に透明な膜で被覆されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の面発光レーザ素子。
- 前記出射領域の上面は、全面が透明な誘電体で被覆され、
前記基板表面に垂直な方向からみたとき、前記発光部のメサ構造の上面における辺縁部は光学的に透明な膜で被覆され、該光学的に透明な膜の厚さが、前記出射領域における反射率が高い部分及び低い部分のうち光学的に透明な膜の厚さが厚いほうの厚さと同じであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子。 - 前記モニタ用メサ構造体の上面は、辺縁部を除き、一様な厚さの光学的に透明な膜が積層されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子。
- 前記モニタ用メサ構造体の上面に積層される一様な厚さの光学的に透明な膜は、2層からなる光学的に透明な膜であることを特徴とする請求項6に記載の面発光レーザ素子。
- 前記モニタ用メサ構造体の上面は、辺縁部のみに光学的に透明な膜が積層されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子が集積された面発光レーザアレイ。
- 光によって被走査面を走査する光走査装置であって、
請求項1〜8のいずれか一項に記載の面発光レーザ素子を有する光源と;
前記光源からの光を偏向する偏向器と;
前記偏向器で偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と;を備える光走査装置。 - 光によって被走査面を走査する光走査装置であって、
請求項9に記載の面発光レーザアレイを有する光源と;
前記光源からの光を偏向する偏向器と;
前記偏向器で偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と;を備える光走査装置。 - 少なくとも1つの像担持体と;
前記少なくとも1つの像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する少なくとも1つの請求項10又は11に記載の光走査装置と;を備える画像形成装置。 - 前記画像情報は、多色のカラー画像情報であることを特徴とする請求項12に記載の画像形成装置。
- 基板上に下部反射鏡、活性層を含む共振器構造体、及び酸化物が電流通過領域を取り囲んでいる狭窄構造体を含む上部反射鏡が積層されているメサ構造の発光部を有し、該発光部における出射領域が相対的に反射率が高い部分と低い部分とを有する面発光レーザ素子の製造方法であって、
基板上に下部反射鏡、活性層を含む共振器構造体、及び被選択酸化層を有する上部反射鏡が積層された積層体を作成する工程と;
前記積層体の上面に、その光学的厚さが発振波長/4の奇数倍の光学的に透明な膜が部分的に積層された第1の領域と、該第1の領域と同じ大きさを有し、光学的に透明な膜が積層されていない、あるいは一様な厚さで積層された第2の領域とを形成する工程と;
前記第1の領域及び前記第2の領域の周囲をそれぞれ上面からエッチングし、少なくとも前記被選択酸化層が側面に露出しているメサ構造体を形成する工程と;
前記被選択酸化層を前記メサ構造体の側面から選択的に酸化させ、前記狭窄構造体を作成する工程と;
前記第2の領域を観察して電流通過領域の大きさを測定する工程と;を含む面発光レーザ素子の製造方法。 - 前記第1の膜は、前記第1の領域の中心から外れた部分に積層されることを特徴とする請求項14に記載の面発光レーザ素子の製造方法。
- 前記狭窄構造体が作成された前記第1の領域の上面に、その光学的厚さが発振波長/4の偶数倍の光学的に透明な膜を積層する工程を更に含むことを特徴とする請求項14又は15に記載の面発光レーザ素子の製造方法。
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