JP2011014710A - 紫外線センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る紫外線センサ1は、酸化物半導体で構成された基板2と、基板2内に形成された内部電極7と、基板2の第1面に形成された外部電極3と、内部電極7の一部が外部へ露出した基板2の第2面に形成され、外部電極3が形成された第1面及び端子電極5が形成された第2面と異なる基板2の第3面に形成された端子電極6とを備えている。紫外線センサ1は、外部電極3と端子電極6との間に印加する所定の電圧を、内部電極7で分圧する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る紫外線センサの構成を示す概略図である。図1(a)は、本発明の実施の形態1に係る紫外線センサの平面図である。図1(b)は、図1(a)に示す紫外線センサのA−A断面図である。図1(a)に示すように、紫外線センサ1は、酸化物半導体で構成された直方体形状の基板2のそれぞれ異なる面に形成された、外部電極3、端子電極4、端子電極5(第1端子電極)、端子電極6(第2端子電極)を備えている。外部電極3は、端子電極4と接続しているが、端子電極5及び端子電極6とは接続していない。端子電極4は、基板2の、外部電極3が形成されている面(第1面)に対して垂直な面に形成されている。端子電極5、6は、基板2の長手方向にある両端面(第2面、第3面)にそれぞれ形成されている。図1(b)に示すように、紫外線センサ1は、基板2内に、外部電極3と平行に形成された内部電極7を備えている。端子電極5は、基板2の端面(第2面)から外部へ露出した内部電極7の一部と接続している。
図7は、本発明の実施の形態2に係る紫外線センサ1の構成を示す概略図である。図7(a)は、本発明の実施の形態2に係る紫外線センサ1の平面図である。図7(b)は、図7(a)に示す紫外線センサ1のB−B断面図である。図7(a)に示すように、紫外線センサ1は、酸化物半導体で構成された直方体形状の基板2のそれぞれ異なる面に形成された外部電極3、端子電極4、端子電極5、端子電極6を備えている。さらに、紫外線センサ1は、外部電極3と、端子電極5及び端子電極6との間の基板2の面(第1面)に形成された絶縁層8を備えている。また、図7(b)に示すように、紫外線センサ1は、基板2内に、外部電極3と平行に形成された内部電極7を備えている。なお、実施の形態2に係る紫外線センサ1について、図1に示した実施の形態1に係る紫外線センサ1と同じ構成要素については、同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
2 基板
3 外部電極
4、5、6 端子電極
7 内部電極
8 絶縁層
11 電源
21 グリーンシート
31、32 抵抗
Claims (5)
- 酸化物半導体で構成された基板と、
該基板内に形成された内部電極と、
前記基板の第1面に形成された外部電極と、
前記内部電極の一部が外部へ露出した前記基板の第2面に形成され、前記内部電極と接続された第1端子電極と、
前記外部電極が形成された前記第1面及び前記第1端子電極が形成された第2面と異なる前記基板の第3面に形成された第2端子電極と
を備え、
前記外部電極と前記第2端子電極との間に印加する所定の電圧を、前記内部電極で分圧することを特徴とする紫外線センサ。 - 前記内部電極で分圧された、前記外部電極と前記内部電極との間の電圧及び/又は前記内部電極と前記第2端子電極との間の電圧を測定することを特徴とする請求項1に記載の紫外線センサ。
- 前記酸化物半導体は、ZnOがNiOに固溶してなることを特徴とする請求項1又は2に記載の紫外線センサ。
- 前記外部電極は、紫外線を透過する材料で形成してあることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の紫外線センサ。
- 前記外部電極と、前記第1端子電極及び前記第2端子電極との間の前記基板の前記第1面に形成された絶縁層を備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の紫外線センサ。
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