JP2011014652A - 機能性デバイスの製造方法および、それにより製造された機能性デバイスを用いた半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板(基板)1の一表面側に形成された機能性薄膜2の一部を空間的に分離する空洞5がシリコン基板1に形成された機能性デバイス10の製造方法であって、基礎となるシリコンウェハ(ウェハ)3の前記一表面側に機能性デバイス10を形成し分離するにあたり、シリコンウェハ3の前記一表面側に存在する有機物を除去し、前記一表面側に仮固定シート6を貼り付け、他表面側にダイシングシート7が貼り付けられたシリコンウエハ3を仮固定シート6側から仮固定シート6ごと切断した後、仮固定シート6を機能性デバイス10から剥離し、各機能性デバイス10の表面に存在する有機物を除去する機能性デバイスの製造方法である。
【選択図】図1
Description
請求項4の発明は、請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の発明において、前記仮固定シートとして、加熱により接着力が低下する加熱剥離型粘着シートを用いることを特徴とする。
本実施形態では機能性デバイスとして赤外線アレイセンサを図2で、その赤外線アレイセンサを構成する熱型赤外線センサを図3で説明し、赤外線アレイセンサの製造方法を図1に基づいて説明する。
本実施形態2は、本願発明の半導体装置の構成例を図5に、その機能説明を図6に示し図7にその製造工程を示してある。実施形態1で説明した熱型赤外線検出部30を4個持った赤外線アレイセンサ32と、この赤外線アレイセンサ32と別途形成され機能性デバイス10である赤外線アレイセンサ32と協働する信号処理用ICチップ33を接着層37(たとえば、ガラスやAuSi、半田など)を用いて、それぞれ図5の平面図のごとくパッケージ基体36内に接着させ固定配置してある。なお、接着層37は、有機材料であればエポキシ樹脂を好適に用いることができるが、不要な有機物を抑制する観点から有機材料よりも無機材料を用いることがより好ましい。具体的には金属からなるパッケージ基体36にそれぞれ無機材料として半田により赤外線アレイセンサ32の裏面と、信号処理用ICチップ33の裏面とを接着させる。また、赤外線アレイセンサ32の、各出力用パッド24、基準バイアス用パッド26と、信号処理用ICチップ33の各入力用パッド31とをワイヤ35(たとえば、金線やアルミニウム線)により個別にワイヤボンディングして電気的に接続させる(図7(a))。
2 機能性薄膜
3 シリコンウェハ(ウェハ)
4 スリット
5 空洞
6 仮固定シート
7 ダイシングシート
9 剥離部材
10 機能性デバイス
36 パッケージ基体
37 接着層
38 封止接着層
39 キャップ
40 半導体装置
Claims (10)
- 基板と、該基板の一表面側に形成された機能性薄膜とを備え、該機能性薄膜の一部と前記基板とを空間的に分離する空洞が前記基板に形成されてなる機能性デバイスの製造方法であって、前記基板の基礎となるウェハに該ウェハにおける一表面側に前記機能性薄膜を有する複数個の機能性デバイスを形成してから個々の機能性デバイスに分離するにあたって、
前記ウェハの前記一表面側に存在する有機物を除去するウェハ有機物除去工程と、
該ウェハ有機物除去工程後、前記ウェハの前記一表面側に仮固定シートを貼り付ける仮固定シート貼付工程と、
該仮固定シート貼付工程後、他表面側にダイシングシートが貼り付けられた前記ウェハを前記仮固定シート側から該仮固定シートごと切断することにより、前記ダイシングシート上にチップ化された複数個の機能性デバイスを形成するダイシング工程と、
該ダイシング工程により切断された複数個の仮固定シートをそれぞれ前記複数個の機能性デバイスから剥離する仮固定シート剥離工程と、
該仮固定シート剥離工程後、前記複数個の機能性デバイスの表面に存在する有機物を除去する機能性デバイス有機物除去工程と、を有することを特徴とする機能性デバイスの製造方法。 - 前記機能性デバイスが前記機能性薄膜の厚み方向に貫設され前記空洞に連通するスリットを有するものであり、前記ウェハ有機物除去工程および前記機能性デバイス有機物除去工程の少なくとも一方により前記スリットもしくは前記空洞の内側面の少なくとも一方に存在する有機物を除去することを特徴とする請求項1に記載の機能性デバイスの製造方法。
- 前記仮固定シート剥離工程では、前記仮固定シートに剥離部材を固定してから、該剥離部材ごと前記機能性デバイスから前記仮固定シートを剥離することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の機能性デバイスの製造方法。
- 前記仮固定シートとして、加熱により接着力が低下する加熱剥離型粘着シートを用いることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の機能性デバイスの製造方法。
- 前記仮固定シート剥離工程では、前記仮固定シートの全面に均一に圧力を加えながら均一に加熱して前記仮固定シートを前記機能性デバイスから剥離することを特徴とする請求項4記載の機能性デバイスの製造方法。
- 少なくとも、請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載された製造方法によって製造された機能性デバイスと、該機能性デバイスが実装されるパッケージ基体と、該パッケージ基体を封止するキャップとで構成される半導体装置の製造方法であって、前記機能性デバイスを前記パッケージ基体に接着層を介して実装し、その後に前記パッケージ基体に対して前記キャップを封止接着層を介して封止することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記キャップにより前記パッケージ基体を封止する際に、前記パッケージ基体と前記キャップとで構成されるパッケージ内を真空又は揚圧にすることを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。
- 前記接着層と前記封止接着層との少なくとも一方は、無機材料を用いることを特徴とする請求項7記載の半導体装置の製造方法。
- 前記パッケージ基体の封止に先立って、前記パッケージ基体と前記キャップの有機物を予め除去処理することを特徴とする請求項6ないし請求項8のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 少なくとも前記パッケージ基体は、前記機能性デバイス有機物除去工程によって前記機能性デバイスと同時に有機物を除去されることを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。
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