JP2011013179A - 圧力センサ及び圧力センサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】リーク電流に起因する特性異常を防ぐことができる圧力センサ及び圧力センサの製造方法を提供すること。
【解決手段】拡散抵抗配線6が形成された第2半導体層3と、第2半導体層3上に形成された絶縁膜7と、絶縁膜7の上に形成される外部導電部8と、を備える圧力センサ100であって、絶縁膜7には、外部導電部8と拡散抵抗配線6とを電気的に接続するコンタクト9が形成されており、外部導電部8は、第2半導体層3上の拡散抵抗配線6が形成される範囲に相当する範囲内に形成されている。
【選択図】図4
【解決手段】拡散抵抗配線6が形成された第2半導体層3と、第2半導体層3上に形成された絶縁膜7と、絶縁膜7の上に形成される外部導電部8と、を備える圧力センサ100であって、絶縁膜7には、外部導電部8と拡散抵抗配線6とを電気的に接続するコンタクト9が形成されており、外部導電部8は、第2半導体層3上の拡散抵抗配線6が形成される範囲に相当する範囲内に形成されている。
【選択図】図4
Description
本発明は圧力センサ及び圧力センサの製造方法に関し、特にダイアフラムを有する圧力センサ及び当該圧力センサの製造方法に関する。
半導体のピエゾ抵抗効果を利用した圧力センサが、小型、軽量、高感度であることから、工業計測、医療などの分野で広く利用されている。特許文献1に記載の圧力センサにおいては、半導体基板のダイアフラム部にピエゾ効果を有する歪みゲージ、抵抗部が形成されている。また、半導体基板上にコンタクトを有する絶縁膜が形成されている。そして、当該コンタクトを介して、絶縁膜上に形成された電極パッドと抵抗部とが接続されている。
しかしながら、特許文献1に記載の圧力センサでは、絶縁不良に基づくリーク電流を防止することができない。図14に、特許文献1にかかる圧力センサを模式的に示す。図14に示すように、電極パッド205の下の絶縁膜204に傷206などがあり、絶縁不良が生じている場合がある。この場合、当該絶縁不良の部分206において、電極パッド205から半導体基板201へのリーク電流が発生してしまう。これにより、歪みゲージ202を流れる測定電流に誤差が生じてしまい、検出誤差などの特性異常を引き起こしてしまうという問題がある。また、不要な電流消費が生じてしまう。
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、リーク電流に起因する特性異常を防ぐことができる圧力センサ及び圧力センサの製造方法を提供することを目的とする。
本発明にかかる第1の態様にかかる圧力センサは、半導体基板と、絶縁膜と、外部導電部とを備えている。前記半導体基板には内部抵抗部が形成されている。また、前記絶縁膜は、前記半導体基板上に形成されている。また、前記外部導電部は、前記絶縁膜の上に形成されている。また、前記絶縁膜には、前記外部導電部と前記内部抵抗部とを電気的に接続するコンタクトが形成されている。さらに、前記外部導電部は、前記半導体基板上の前記内部抵抗部が形成される範囲に相当する範囲内に形成されている。
本発明にかかる第1の態様によれば、外部導電部が、半導体基板上の内部抵抗部が形成される範囲に相当する範囲内に形成されている。換言すれば、外部導電部は、内部抵抗部が形成されている範囲上に形成されている。これにより、外部導電部の下に位置する絶縁膜に傷などの絶縁不良部がある場合、当該絶縁不良部の下には内部抵抗部が形成されていることとなる。そして、外部導電部と内部抵抗部とは理想的には同電位であるため、絶縁膜に当該絶縁不良部があっても、当該絶縁不良部を介してリーク電流はほとんど発生しない。また、仮に、当該絶縁不良部を介してリーク電流が発生しても、予めコンタクトを介して電気的に接続されている外部導電部から内部抵抗部へ電流が流れるだけである。そのため、圧力センサの特性には影響を与えない。したがって、リーク電流に起因する特性異常を防ぐことができる。
本発明にかかる第2の態様にかかる圧力センサは、半導体基板と、絶縁膜と、外部導電部とを備えている。前記半導体基板には複数の内部抵抗部が形成されている。また、前記絶縁膜は、前記半導体基板上に形成されている。また、前記外部導電部は、前記絶縁膜の上に複数形成されている。また、前記絶縁膜には、前記外部導電部と前記内部抵抗部とを電気的に接続する複数のコンタクトが形成されている。さらに、前記外部導電部は、前記半導体基板上の前記内部抵抗部が形成される範囲に相当する範囲内に形成されている。
本発明にかかる第2の態様によれば、第1の態様と同様の効果が得られる。
本発明にかかる第2の態様によれば、第1の態様と同様の効果が得られる。
また、前記半導体基板は、n型半導体基板であり、前記内部抵抗部は、p型半導体からなり、前記半導体基板の前記内部抵抗部が形成されていない部分には、前記外部導電部と同電位以上で、かつ前記半導体基板の前記内部抵抗部と前記半導体基板の前記内部抵抗部が形成されていない部分との電位差がブレークダウン電圧未満となるように、電圧が印加されていることが好ましい。
また、前記半導体基板は、p型半導体基板であり、前記内部抵抗部は、n型半導体からなり、前記半導体基板の前記内部抵抗部が形成されていない部分には、前記外部導電部と同電位以下で、かつ前記半導体基板の前記内部抵抗部と前記半導体基板の前記内部抵抗部が形成されていない部分との電位差がブレークダウン電圧未満となるように、電圧が印加されていることが好ましい。
これにより、外部導電部から、半導体基板の内部抵抗部が形成されていない部分へ流れる電流を微少量に抑えることができる。したがって、圧力センサの特性異常をより確実に防ぐことができる。
また、前記半導体基板は、p型半導体基板であり、前記内部抵抗部は、n型半導体からなり、前記半導体基板の前記内部抵抗部が形成されていない部分には、前記外部導電部と同電位以下で、かつ前記半導体基板の前記内部抵抗部と前記半導体基板の前記内部抵抗部が形成されていない部分との電位差がブレークダウン電圧未満となるように、電圧が印加されていることが好ましい。
これにより、外部導電部から、半導体基板の内部抵抗部が形成されていない部分へ流れる電流を微少量に抑えることができる。したがって、圧力センサの特性異常をより確実に防ぐことができる。
さらに、前記絶縁膜に設けられる前記コンタクトの数は、前記外部導電部の数と同じ、又は、前記外部導電部の数より少ないことが好ましい。
コンタクトの数が多いと、構造的に、圧力以外の応力の影響を受けやすくなってしまう。本発明によれば、コンタクトの数は、必要最小限に抑えられているため、圧力以外の応力が与える影響を低減することができる。
コンタクトの数が多いと、構造的に、圧力以外の応力の影響を受けやすくなってしまう。本発明によれば、コンタクトの数は、必要最小限に抑えられているため、圧力以外の応力が与える影響を低減することができる。
本発明にかかる第3の態様にかかる圧力センサの製造方法は、内部抵抗部形成処理、絶縁膜形成処理、外部導電部形成処理、コンタクト形成処理を備えている。前記内部抵抗部形成処理においては、半導体基板に内部抵抗部を形成する。また、前記絶縁膜形成処理においては、前記半導体基板上に絶縁膜を形成する。前記外部導電部形成処理においては、前記絶縁膜上に外部導電部を形成する。また、前記コンタクト形成処理においては、前記絶縁膜に、前記外部導電部と前記内部抵抗部とを電気的に接続するコンタクトを形成する。さらに、前記外部導電部形成処理において、前記半導体基板上の前記内部抵抗部が形成される範囲に相当する範囲内に前記外部導電部を形成する。
本発明にかかる第3の態様によれば、外部導電部が、半導体基板上の内部抵抗部が形成される範囲に相当する範囲内に形成されている。換言すれば、外部導電部は、内部抵抗部が形成されている範囲上に形成されている。これにより、外部導電部の下に位置する絶縁膜に傷などの絶縁不良部がある場合、当該絶縁不良部の下には内部抵抗部が形成されていることとなる。そして、外部導電部と内部抵抗部とは理想的には同電位であるため、絶縁膜に当該絶縁不良部があっても、当該絶縁不良部を介してリーク電流はほとんど発生しない。また、仮に、当該絶縁不良部を介してリーク電流が発生しても、予めコンタクトを介して電気的に接続されている外部導電部から内部抵抗部へ電流が流れるだけである。そのため、圧力センサの特性には影響を与えない。したがって、リーク電流に起因する特性異常を防ぐことができる。
また、前記コンタクト形成処理において、前記外部導電部の数と同じ数、又は、前記外部導電部の数より少ない数の前記コンタクトを前記絶縁膜に形成することが好ましい。
コンタクトの数が多いと、構造的に、圧力以外の応力の影響を受けやすくなってしまう。本発明によれば、コンタクトの数は、必要最小限に抑えられているため、圧力以外の応力が与える影響を低減することができる。
コンタクトの数が多いと、構造的に、圧力以外の応力の影響を受けやすくなってしまう。本発明によれば、コンタクトの数は、必要最小限に抑えられているため、圧力以外の応力が与える影響を低減することができる。
本発明によれば、リーク電流に起因する特性異常を防ぐことができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
以下では、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本実施の形態にかかる圧力センサ100の構成を示す上面図である。図2は、図1に示すセンサチップ10のII−II断面図であり、図3は、図1に示すセンサチップ10のIII−III断面図である。本実施の形態にかかる圧力センサ100は、半導体のピエゾ抵抗効果を利用した半導体圧力センサである。
以下では、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本実施の形態にかかる圧力センサ100の構成を示す上面図である。図2は、図1に示すセンサチップ10のII−II断面図であり、図3は、図1に示すセンサチップ10のIII−III断面図である。本実施の形態にかかる圧力センサ100は、半導体のピエゾ抵抗効果を利用した半導体圧力センサである。
圧力センサ100は、半導体基板からなるセンサチップ10を有している。センサチップ10は、正方形状になっている。図1に示すように、正方形状のセンサチップ10の各頂点をA、B、C、Dとする。図1に示すように、右上の角を角A、左下の角を角B、左上の角を角C、右下の角を角Dとする。角Aと角Bとを結ぶ対角線を対角線ABとする。角Cと角Dとを結ぶ対角線を対角線CDとする。センサチップ10は、正方形であるため、対角線ABと対角線CDは直交する。
図2に示すように、センサチップ10は、基台となる第1半導体層1、絶縁層2、及び第2半導体層3(半導体基板)の3層構造になっている。例えば、センサチップ10として、第1半導体層1と、0.5μm程度の厚さの絶縁層2、及び第2半導体層3からなるSOI(Silicon On Insulator)基板を用いることができる。第1半導体層1及び第2半導体層3は、本実施例では、n型単結晶シリコン層から構成されている。絶縁層2は、例えば、SiO2層から構成されている。第1半導体層1の上に、絶縁層2が形成されている。また、絶縁層2の上に、第2半導体層3が形成されている。従って、第1半導体層1と第2半導体層3の間に、絶縁層2が配設されている。絶縁層2は、第1半導体層1をエッチングする際に、エッチングストッパとして機能する。第2半導体層3は、差圧用ダイアフラム4(ダイアフラム部)を構成している。図2に示すように、差圧用ダイアフラム4はチップの中央部分に配設されている。
センサチップ10の中央部には、差圧を検出するための差圧用ダイアフラム4が設けられている。図2に示すように、第1半導体層1が除去されることで、差圧用ダイアフラム4が形成される。すなわち、差圧用ダイアフラム4では、センサチップ10が薄くなっている。ここでは、図1に示すように、差圧用ダイアフラム4は、正方形状に形成されている。また、差圧用ダイアフラム4の中心と、センサチップ10の中心は一致している。すなわち、センサチップ10の中心点は、対角線ABと対角線CDの交点上にある。そして、差圧用ダイアフラム4は、正方形状のセンサチップ10に対して、45°傾いて配置されている。従って、対角線ABは、差圧用ダイアフラム4の対向する2辺の中心を垂直に通る。また、対角線CDは、差圧用ダイアフラム4の対向する他の2辺の中心を垂直に通る。
差圧用ダイアフラム4の表面には、p型の差圧用ゲージ5A〜5Dが設けられている。これらの4つの差圧用ゲージ5A〜5Dをまとめて差圧用ゲージ5と称する。差圧用ゲージ5が、差圧用ダイアフラム4の端部に設けられている。ここで、正方形の差圧用ダイアフラム4の各辺の近傍に、1つずつ差圧用ゲージ5が設けられている。差圧用ゲージ5は、差圧用ダイアフラム4の各辺の中央の近傍に設けられている。従って、差圧用ダイアフラム4の中心と角Aの間には、差圧用ゲージ5Aが配置されている。差圧用ダイアフラム4の中心と角Bの間には、差圧用ゲージ5Bが配置され、差圧用ダイアフラム4の中心と角Cの間には、差圧用ゲージ5Cが配置され、差圧用ダイアフラム4の中心と角Dの間には、差圧用ゲージ5Dが配置されている。差圧用ゲージ5Aと差圧用ゲージ5Bは、センサチップ10の中心を挟んで対向する。差圧用ゲージ5Cと差圧用ゲージ5Dは、センサチップ10の中心を挟んで対向する。
差圧用ゲージ5はピエゾ抵抗効果を有する歪ゲージである。従って、センサチップ10が歪むと、各差圧用ゲージ5A〜5Dの抵抗が変化する。なお、センサチップの上面には、各差圧用ゲージ5A〜5Dと接続されるp型の拡散抵抗配線6A〜6Dが形成されている。例えば、図1に示すように、拡散抵抗配線6A〜6Dは、平面視略U字形状に形成されている。そして、拡散抵抗配線6A〜6Dの端部は、各差圧用ゲージ5A〜5Dの両端に接続されている。また、差圧用ゲージ5A〜5Dと拡散抵抗配線6A〜6Dの組み合わせでブリッジ回路が形成される。差圧用ダイアフラム4によって隔てられた空間の圧力差によって、差圧用ダイアフラム4が変形する。差圧用ゲージ5は、差圧用ダイアフラム4の変形量に応じて抵抗が変化する。この抵抗変化を検出することで、圧力を測定することができる。差圧用ゲージ5は、図2、及び図3に示すように、センサチップ10の表面に形成されている。
4つの差圧用ゲージ5A〜5Dは、互いに平行に配置されている。すなわち、4つの差圧用ゲージ5A〜5Dの長手方向は対角線ABに沿って設けられている。そして差圧用ゲージ5A〜5Dの長手方向の両端に、拡散抵抗配線6A〜6Dが接続される。差圧用ゲージ5は、センサチップ10の結晶面方位(100)において、ピエゾ抵抗係数が最大となる<110>の結晶軸方向と平行に形成される。
なお、本発明にかかる圧力センサ100のブリッジ回路パターンは、図1に限られるものではない。
なお、本発明にかかる圧力センサ100のブリッジ回路パターンは、図1に限られるものではない。
また、図1に示すように、拡散抵抗配線6の幅は、比較的広くなっている。これにより、拡散抵抗配線6の抵抗値は比較的低くなっている。一方、図1に示すように、差圧用ゲージ5の幅は、比較的狭くなっている。これにより、差圧用ゲージ5の抵抗値は比較的高くなっている。これによって、拡散抵抗配線6と差圧用ゲージ5とが協働して、ブリッジ回路を形成している。
また、ブリッジ回路を形成する差圧用ゲージ5A〜5D及び拡散抵抗配線6A〜6Dは、後述するコンタクト9A〜9Dを除いて、図4に示す絶縁膜(酸化膜)7により覆われている。
そして、差圧用ゲージ5と拡散抵抗配線6の組み合わせで形成されるブリッジ回路の各拡散抵抗配線6A〜6Dのそれぞれの所定位置には、絶縁膜7の一部を貫通して形成されたコンタクト9A〜9Dが形成されている。なお、本実施形態の場合、コンタクト9は、ブリッジ回路への電力印加用に2つ、ブリッジ回路からの出力取り出し用に2つ形成されている。したがって、コンタクト9の個数が差圧用ゲージの個数以下となっている。
そして、差圧用ゲージ5と拡散抵抗配線6の組み合わせで形成されるブリッジ回路の各拡散抵抗配線6A〜6Dのそれぞれの所定位置には、絶縁膜7の一部を貫通して形成されたコンタクト9A〜9Dが形成されている。なお、本実施形態の場合、コンタクト9は、ブリッジ回路への電力印加用に2つ、ブリッジ回路からの出力取り出し用に2つ形成されている。したがって、コンタクト9の個数が差圧用ゲージの個数以下となっている。
次に、本実施の形態にかかる圧力センサ100の構成について図4を参照しながら説明する。図4は、図1のIV−IV部分断面図であり、圧力センサ100の第2半導体層より上層の部分を示す。圧力センサ100は、図4に示すように、差圧用ゲージ5、拡散抵抗配線6(内部抵抗部)、絶縁膜7、外部導電部8などを備えている。
ここで、外部導電部8は、電極パッド、金属配線などである。
ここで、外部導電部8は、電極パッド、金属配線などである。
図4に示すように、n型の第2半導体層3の上面部分には、p型の差圧用ゲージ5が形成されている。また、n型の第2半導体層3の上面部分には、p型の差圧用ゲージ5を挟むようにp型の拡散抵抗配線6が形成されている。p型の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5は、n型の第2半導体層3の差圧用ダイアフラム4に相当する部分に形成されている。
また、n型の第2半導体層3の上には絶縁膜7が形成されている。また、絶縁膜7の上には、外部導電部8が形成されている。また、絶縁膜7には、外部導電部8と拡散抵抗配線6とを電気的に接続するコンタクト9が形成されている。また、絶縁膜7に形成されるコンタクト9の数は、絶縁膜7上に形成される外部導電部8の数と同数となっている。なお、絶縁膜7に形成されるコンタクト9の数は、絶縁膜7上に形成される外部導電部8の数より少なくてもよい。
また、n型の第2半導体層3の上には絶縁膜7が形成されている。また、絶縁膜7の上には、外部導電部8が形成されている。また、絶縁膜7には、外部導電部8と拡散抵抗配線6とを電気的に接続するコンタクト9が形成されている。また、絶縁膜7に形成されるコンタクト9の数は、絶縁膜7上に形成される外部導電部8の数と同数となっている。なお、絶縁膜7に形成されるコンタクト9の数は、絶縁膜7上に形成される外部導電部8の数より少なくてもよい。
また、外部導電部8は、n型の第2半導体層3上のp型の拡散抵抗配線6が形成される範囲に相当する範囲内に形成されている。換言すれば、外部導電部8は、p型の拡散抵抗配線6が形成されている範囲の上に形成されている。
また、n型の第2半導体層3のp型の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分には、外部導電部8と同電位以上で、かつ、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5と、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分との電位差がブレークダウン電圧未満となるように、電圧が印加されている。
ここで、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5と、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分との電位差をブレークダウン電圧未満とするのは、当該電位差がブレークダウン電圧を超えると、圧力センサとして機能しなくなり、さらには圧力センサを破壊させるおそれがあるからである。具体的には、n型の第2半導体層3からp型の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5に対する逆電圧を大きくしていくと、急激に逆方向電流が流れ出す。そして、この逆電圧が所定のブレークダウン電圧を超えると、逆電流が急激に増加し、圧力センサとして機能しなくなり、さらには圧力センサを破壊させるおそれがある。
なお、第2半導体層3がp型半導体基板であり、拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5がn型半導体からなる場合には、第2半導体層の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分には、外部導電部8と同電位以下で、かつ、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5と、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分との電位差がブレークダウン電圧未満となるように、電圧が印加されていればよい。
また、n型の第2半導体層3のp型の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分には、外部導電部8と同電位以上で、かつ、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5と、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分との電位差がブレークダウン電圧未満となるように、電圧が印加されている。
ここで、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5と、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分との電位差をブレークダウン電圧未満とするのは、当該電位差がブレークダウン電圧を超えると、圧力センサとして機能しなくなり、さらには圧力センサを破壊させるおそれがあるからである。具体的には、n型の第2半導体層3からp型の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5に対する逆電圧を大きくしていくと、急激に逆方向電流が流れ出す。そして、この逆電圧が所定のブレークダウン電圧を超えると、逆電流が急激に増加し、圧力センサとして機能しなくなり、さらには圧力センサを破壊させるおそれがある。
なお、第2半導体層3がp型半導体基板であり、拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5がn型半導体からなる場合には、第2半導体層の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分には、外部導電部8と同電位以下で、かつ、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5と、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分との電位差がブレークダウン電圧未満となるように、電圧が印加されていればよい。
次に、センサチップ10の製造方法について、図5乃至図8を用いて説明する。図5及び図6は、センサチップ10の製造方法を示す図であり、センサチップ10を上から見た構成を示している。図7及び図8は、センサチップ10の製造方法を示す工程断面図であり、それぞれ、図5のVII−VII断面の構成、図6のVIII−VIII断面の構成を示している。
まず、第1半導体層1と、0.5μm程度の厚さの絶縁層2、及び第2半導体層3からなるSOI(Silicon On Insulator)ウエハを用意する。このSOIウエハを作製するには、Si基板中に酸素を注入してSiO2 層を形成するSIMOX(Separation by IMplanted OXygen)技術を用いてもよいし、2枚のSi基板を貼り合わせるSDB(Silicon Direct Bonding)技術を用いてもよいし、その他の方法を用いてもよい。なお、第2半導体層3を、平坦化及び薄膜化してもよい。例えば、CCP(Computer Controlled Polishing)と呼ばれる研磨法等により、所定の厚さまで、第2半導体層3を研磨する。
第2半導体層3の上面に、不純物拡散あるいはイオン打ち込み法によってp型Siからなる差圧用ゲージ5A〜5Bを形成する。具体的には、第2半導体層3の上面に、不純物(例えば、ボロン)を拡散し、差圧用ゲージ5を形成する。また、同様にして、第2半導体層3の上面に、差圧用ゲージ5を挟むように、拡散抵抗配線6を形成する(内部抵抗部形成処理)。これにより、図5及び図7(a)に示す構成となる。各ゲージは、図1等で示したように、各ダイアフラムとなる箇所の所定の位置に形成されている。なお、差圧用ゲージ5A〜5D及び拡散抵抗配線6を、下記に示すダイアフラムの形成工程の後に形成してもよい。
このようにして形成されたSOIウエハの下面にレジスト11を形成する。レジスト11のパターンは、公知のフォトリソグラフィー工程によって、第1半導体層1上に形成される。すなわち、感光性樹脂膜を塗布し、露光、現像することで、レジスト11のパターンが形成される。レジスト11は、感圧領域(ダイアフラムが形成される領域)に相当する部分に開口部を有している。すなわち、ダイアフラムを形成する部分では、第1半導体層1が露出している。これにより、図7(b)に示す構成となる。
そして、レジスト11をマスクとして、第1半導体層1をエッチングする。これにより、図6、及び図8(a)に示す構成となる。例えば、公知のICPエッチングなどのドライエッチングを用いて、第1半導体層1をエッチングすることができる。もちろん、KOHやTMAH等の溶液を用いたウェットエッチングにより、第1半導体層1をエッチングしてもよい。第1半導体層1をエッチングすると、差圧用ダイアフラム4が形成される。ここで、絶縁層2がエッチングストッパとして機能している。従って、レジスト11の開口部からは、絶縁層2が露出している。
そして、レジスト11及びダイアフラム部4の絶縁層2を除去すると、図8(b)に示す構成となる。これにより、センサチップ10が完成する。なお、拡散抵抗配線6の形成工程と、歪ゲージの形成工程の順番は特に限定されるものではない。
次に、圧力センサの形成方法について、図9乃至図12を用いて説明する。図9乃至図12は、圧力センサの形成工程を示す工程断面図である。
まず、図9に示すように、第2半導体層3の上面全体を酸化させて、絶縁膜7を形成する(絶縁膜形成処理)。なお、第2の半導体層3の上面に、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、スパッタリング法などにより、絶縁膜7を形成してもよい。
次に、図10に示すように、フォトリソグラフィー法を用いて、エッチングを行い、コンタクト穴12を形成する。
次に、図10に示すように、フォトリソグラフィー法を用いて、エッチングを行い、コンタクト穴12を形成する。
次に、図11に示すように、蒸着法あるいはスパッタリング法を用いて、絶縁膜7の上に、コンタクト穴12を埋めるように、金属膜13が形成される(コンタクト形成処理)。これにより、コンタクト穴12部分にコンタクト9が形成される。
次に、図12に示すように、エッチングを行って、外部導電部8を形成する(外部導電部形成処理)。このとき、外部導電部8が形成される範囲は、拡散抵抗配線6が形成される範囲に相当する範囲内となるように、金属膜13をエッチングする。換言すれば、拡散抵抗配線6が形成される範囲の上に外部導電部8が形成されるように、金属膜13をエッチングする。
次に、図12に示すように、エッチングを行って、外部導電部8を形成する(外部導電部形成処理)。このとき、外部導電部8が形成される範囲は、拡散抵抗配線6が形成される範囲に相当する範囲内となるように、金属膜13をエッチングする。換言すれば、拡散抵抗配線6が形成される範囲の上に外部導電部8が形成されるように、金属膜13をエッチングする。
本発明の実施の形態1にかかる圧力センサ100においては、外部導電部8が、第2半導体層3上の拡散抵抗配線6が形成される範囲に相当する範囲内に形成されている。換言すれば、外部導電部8は、拡散抵抗配線6が形成されている範囲上に形成されている。これにより、例えば、図13に示すように、外部導電部8の下に位置する絶縁膜7に傷などの絶縁不良部14がある場合、当該絶縁不良部14の下には拡散抵抗配線6が形成されていることとなる。そして、外部導電部8と拡散抵抗配線6とは理想的には同電位であるため、絶縁膜7に当該絶縁不良部14があっても、当該絶縁不良部14を介してリーク電流はほとんど発生しない。また、仮に、当該絶縁不良部14を介してリーク電流が発生しても、予めコンタクト9を介して電気的に接続されている外部導電部8から拡散抵抗配線6へ電流が流れるだけである。そのため、圧力センサ100の特性には影響を与えない。したがって、リーク電流に起因する特性異常を防ぐことができる。
また、第2半導体層3はn型半導体基板であり、拡散抵抗配線6はp型半導体からなり、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分には、外部導電部8と同電位以上で、かつ、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5と、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分との電位差がブレークダウン電圧未満となるように、電圧が印加されている。
これにより、拡散抵抗配線6から、第2半導体層3の拡散抵抗配線6が形成されていない部分へ流れる電流を微少量に抑えることができる。したがって、圧力センサ100の特性異常をより確実に防ぐことができる。
なお、第2半導体層3がp型半導体基板であり、拡散抵抗配線6がn型半導体からなる場合には、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分には、外部導電部8と同電位以下で、かつ、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5と、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分との電位差がブレークダウン電圧未満となるように、電圧が印加されていればよい。
これにより、拡散抵抗配線6から、第2半導体層3の拡散抵抗配線6が形成されていない部分へ流れる電流を微少量に抑えることができる。したがって、圧力センサ100の特性異常をより確実に防ぐことができる。
なお、第2半導体層3がp型半導体基板であり、拡散抵抗配線6がn型半導体からなる場合には、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分には、外部導電部8と同電位以下で、かつ、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5と、第2半導体層3の拡散抵抗配線6及び差圧用ゲージ5が形成されていない部分との電位差がブレークダウン電圧未満となるように、電圧が印加されていればよい。
さらに、絶縁膜7に設けられるコンタクト9の数は、外部導電部8の数と同じ、又は、外部導電部8の数より少ない。
コンタクト9の数が多いと、構造的に、圧力以外の応力の影響を受けやすくなってしまう。本発明によれば、コンタクト9の数は、必要最小限に抑えられているため、圧力以外の応力が与える影響を低減することができる。
コンタクト9の数が多いと、構造的に、圧力以外の応力の影響を受けやすくなってしまう。本発明によれば、コンタクト9の数は、必要最小限に抑えられているため、圧力以外の応力が与える影響を低減することができる。
なお、本発明にかかる圧力センサ100における各ゲージなどの配置パターンは本実施の形態に限定されるものではない。
また、外部導電部8が形成される範囲をコントロールすることによって、外部導電部8が形成される範囲が、第2半導体層3上の拡散抵抗配線6が形成される範囲に相当する範囲内となるようにしてもよい。また、拡散抵抗配線6が形成される範囲をコントロールすることによって、外部導電部8が形成される範囲が、第2半導体層3上の拡散抵抗配線6が形成される範囲に相当する範囲内となるようにしてもよい。また、外部導電部8が形成される範囲及び拡散抵抗配線6が形成される範囲の両方をコントロールすることによって、外部導電部8が形成される範囲が、第2半導体層3上の拡散抵抗配線6が形成される範囲に相当する範囲内となるようにしてもよい。
また、本発明は、静圧用のピエゾ抵抗効果を有する歪ゲージを有する圧力センサにも適用可能である。
また、外部導電部8が形成される範囲をコントロールすることによって、外部導電部8が形成される範囲が、第2半導体層3上の拡散抵抗配線6が形成される範囲に相当する範囲内となるようにしてもよい。また、拡散抵抗配線6が形成される範囲をコントロールすることによって、外部導電部8が形成される範囲が、第2半導体層3上の拡散抵抗配線6が形成される範囲に相当する範囲内となるようにしてもよい。また、外部導電部8が形成される範囲及び拡散抵抗配線6が形成される範囲の両方をコントロールすることによって、外部導電部8が形成される範囲が、第2半導体層3上の拡散抵抗配線6が形成される範囲に相当する範囲内となるようにしてもよい。
また、本発明は、静圧用のピエゾ抵抗効果を有する歪ゲージを有する圧力センサにも適用可能である。
3 第2半導体層(半導体基板)
6A、6B、6C、6D 拡散抵抗配線(内部抵抗部)
7 絶縁膜
8A、8B、8C、8D 外部導電部
9A、9B、9C、9D コンタクト
100 圧力センサ
6A、6B、6C、6D 拡散抵抗配線(内部抵抗部)
7 絶縁膜
8A、8B、8C、8D 外部導電部
9A、9B、9C、9D コンタクト
100 圧力センサ
Claims (7)
- 内部抵抗部が形成された半導体基板と、前記半導体基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜の上に形成される外部導電部と、を備える圧力センサであって、
前記絶縁膜には、前記外部導電部と前記内部抵抗部とを電気的に接続するコンタクトが形成されており、
前記外部導電部は、前記半導体基板上の前記内部抵抗部が形成される範囲に相当する範囲内に形成されている圧力センサ。 - 複数の内部抵抗部が形成された半導体基板と、前記半導体基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜の上に形成される複数の外部導電部と、を備える圧力センサであって、
前記絶縁膜には、前記外部導電部と前記内部抵抗部とを電気的に接続する複数のコンタクトが形成されており、
複数の前記外部導電部の全てが、前記半導体基板上の複数の前記内部抵抗部が形成される範囲に相当する範囲内に形成されている圧力センサ。 - 前記半導体基板は、n型半導体基板であり、
前記内部抵抗部は、p型半導体からなり、
前記半導体基板の前記内部抵抗部が形成されていない部分には、前記外部導電部と同電位以上で、かつ前記半導体基板の前記内部抵抗部と前記半導体基板の前記内部抵抗部が形成されていない部分との電位差がブレークダウン電圧未満となるように、電圧が印加されている請求項1又は2に記載の圧力センサ。 - 前記半導体基板は、p型半導体基板であり、
前記内部抵抗部は、n型半導体からなり、
前記半導体基板の前記内部抵抗部が形成されていない部分には、前記外部導電部と同電位以下で、かつ前記半導体基板の前記内部抵抗部と前記半導体基板の前記内部抵抗部が形成されていない部分との電位差がブレークダウン電圧未満となるように、電圧が印加されている請求項1又は2に記載の圧力センサ。 - 前記絶縁膜に設けられる前記コンタクトの数は、前記外部導電部の数と同じ、又は、前記外部導電部の数より少ない請求項1乃至4の何れか一項に記載の圧力センサ。
- 半導体基板に内部抵抗部を形成する内部抵抗部形成処理と、
前記半導体基板上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成処理と、
前記絶縁膜上に外部導電部を形成する外部導電部形成処理と、
前記絶縁膜に、前記外部導電部と前記内部抵抗部とを電気的に接続するコンタクトを形成するコンタクト形成処理と、
を備え、
前記外部導電部形成処理において、前記半導体基板上の前記内部抵抗部が形成される範囲に相当する範囲内に前記外部導電部を形成する圧力センサの製造方法。 - 前記コンタクト形成処理において、前記外部導電部の数と同じ数、又は、前記外部導電部の数より少ない数の前記コンタクトを前記絶縁膜に形成する請求項6に記載の圧力センサの製造方法。
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