JP2005214831A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005214831A JP2005214831A JP2004023002A JP2004023002A JP2005214831A JP 2005214831 A JP2005214831 A JP 2005214831A JP 2004023002 A JP2004023002 A JP 2004023002A JP 2004023002 A JP2004023002 A JP 2004023002A JP 2005214831 A JP2005214831 A JP 2005214831A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- transmission member
- sensitive element
- receiving surface
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
【解決手段】 ピエゾ抵抗効果を有する半導体からなる感圧素子10と、この感圧素子10における受圧面12に設けられた圧力伝達部材17とを備え、圧力伝達部材17を介して測定圧力を感圧素子10の受圧面12に印加するようにした圧力センサにおいて、圧力伝達部材17は、受圧面12上に銅などのめっきにより形成されている。
【選択図】 図1
Description
12…感圧素子の受圧面、17…圧力伝達部材。
Claims (5)
- ピエゾ抵抗効果を有する半導体からなる感圧素子(10)と、
この感圧素子(10)における受圧面(12)上に設けられた圧力伝達部材(17)とを備え、
前記圧力伝達部材(17)を介して測定圧力を前記感圧素子(10)の前記受圧面(12)に印加するようにした圧力センサにおいて、
前記圧力伝達部材(17)は、前記受圧面(12)上にめっきにより形成されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記圧力伝達部材(17)は、前記測定圧力の印加方向に沿って前記受圧面(12)からその外方へ凸となるような曲面を有する形状をなすものであることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記圧力伝達部材(17)は、銅、ニッケル、スズ、金およびこれらの合金から選択されためっきにより形成されたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記感圧素子(10)は単結晶シリコン基板(11)からなるものであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記感圧素子(10)の前記受圧面(12)は(110)面であることを特徴とする請求項4に記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004023002A JP4200911B2 (ja) | 2004-01-30 | 2004-01-30 | 圧力センサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004023002A JP4200911B2 (ja) | 2004-01-30 | 2004-01-30 | 圧力センサの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005214831A true JP2005214831A (ja) | 2005-08-11 |
JP4200911B2 JP4200911B2 (ja) | 2008-12-24 |
Family
ID=34906164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004023002A Expired - Fee Related JP4200911B2 (ja) | 2004-01-30 | 2004-01-30 | 圧力センサの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4200911B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010139380A (ja) * | 2008-12-11 | 2010-06-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧力センサ |
-
2004
- 2004-01-30 JP JP2004023002A patent/JP4200911B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010139380A (ja) * | 2008-12-11 | 2010-06-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧力センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4200911B2 (ja) | 2008-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10775248B2 (en) | MEMS strain gauge sensor and manufacturing method | |
KR101296031B1 (ko) | 압력 센서 및 그 제작 방법 | |
US7051595B2 (en) | Monolithic multi-functional integrated sensor and method for fabricating the same | |
JP2575939B2 (ja) | 半導体加速度センサ | |
CN112362203A (zh) | 适应多种封装方式的高温压力传感器芯片及制造方法 | |
WO2020248466A1 (zh) | 背孔引线式压力传感器及其制备方法 | |
CN114061797B (zh) | 一种双电桥结构mems压阻式压力传感器及其制备方法 | |
JP2007240250A (ja) | 圧力センサ、圧力センサパッケージ、圧力センサモジュール、及び電子部品 | |
JP2011501126A (ja) | 半導体マイクロアネモメータ装置およびファブリケーション方法 | |
KR20030026872A (ko) | 가속도 센서 | |
JP2006098321A (ja) | 半導体型3軸加速度センサ | |
CN213812675U (zh) | 实现无引线封装的高温压力传感器芯片 | |
JP2006349563A (ja) | 慣性力センサ | |
JP2007170830A (ja) | 半導体圧力センサ及びその製造方法 | |
JP2011013179A (ja) | 圧力センサ及び圧力センサの製造方法 | |
JP4200911B2 (ja) | 圧力センサの製造方法 | |
JP2008008672A (ja) | 加速度センサ | |
JP2006337378A (ja) | 半導体圧力センサ及びその製造方法 | |
JPH03114272A (ja) | 感歪センサおよびその製造方法 | |
CN107490337B (zh) | 应变检测器及其制造方法 | |
JP2008241482A (ja) | センサ装置 | |
JP2008082952A (ja) | 半導体感歪センサ | |
JP2007173637A (ja) | センサモジュール | |
JP4396009B2 (ja) | 集積化センサ | |
JP2006292478A (ja) | 物理量センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060302 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080507 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080604 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080916 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080929 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111017 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121017 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121017 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131017 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |